采购项目编号： GZGK22D215A0690Z

广 东 省 政 府 采 购公 开 招 标 文 件

采购计划编号： 440605-2022-12232

采购项目编号： GZGK22D215A0690Z

项目名称：广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台采购项目采购人：广东中科半导体微纳制造技术研究院

采购代理机构：广州市国科招标代理有限公司

第一章投标邀请

广州市国科招标代理有限公司受广东中科半导体微纳制造技术研究院的委托，采用公开招标方式组织采购广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台采购项目。欢迎符合资格条件的国内供应商参加投标。

一.项目概述

1.名称与编号

项目名称：广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台采购项目采购计划编号：440605-2022-12232

采购项目编号：GZGK22D215A0690Z采购方式：公开招标

预算金额：5,100,000.00元

2.项目内容及需求情况（采购项目技术规格、参数及要求）采购包1(广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台):

采购包预算金额：5,100,000.00元

品目 号	品目名称	采购标的	数量（单 位）	技术规格、参数及 要求	是否允许进口 产品
1-1	电工、电子专用生产 设备	全自动有机清洗台	1.0000(套)	详见第二章	否
1-2	电工、电子专用生产 设备	手动无机清洗台	1.0000(套)	详见第二章	否
1-3	电工、电子专用生产 设备	手动有机清洗台	1.0000(套)	详见第二章	否
1-4	电工、电子专用生产 设备	全自动RCA清洗台	1.0000(套)	详见第二章	否
1-5	电工、电子专用生产 设备	通风橱	1.0000(套)	详见第二章	否

x采购包不接受联合体投标

合同履行期限：见“标的提供时间”要求。

二.投标人的资格要求

1.投标人应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件，提供下列材料：

1）具有独立承担民事责任的能力：在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人，投标时提交有效的营业执照

（或事业法人登记证或身份证等相关证明）副本复印件。分支机构投标（响应）的，须提供总公司和分公司营业执照副本复印件，总公司出具给分支机构的授权书。

2）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录：提供投标截止日前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相

关材料。如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的，提供相应证明材料。

3）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度：供应商必须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2021年度或2022年任意1个月的财务状况报告，或基本开户行出具的资信证明）。

4）履行合同所必需的设备和专业技术能力：按投标文件格式填报设备及专业技术能力情况。

5）参加采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录：参照投标函相关承诺格式内容。 重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（根据财库〔2022〕3号文，“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款，法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的，从其规定。）

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

采购包1（广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台）： 本采购包不属于专门面向中小企业采购的项目。

3.本项目特定的资格要求：

采购包1（广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台）：

1)供应商未被列入“信用中国”网站(xxx.xxxxxxxxxxx.xxx.xx)“记录失信被执行人或重大税收违法失信主体或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网(xxx.xxxx.xxx.xx)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以采购代理机构于投标（响应）截止时间当天在“信用中国”网站（xxx.xxxxxxxxxxx.xxx.xx）及中国政府采购网（xxxx://xxx.xxxx.xxx.xx/）查询结果为准，如相关失信记录已失效，供应商需提供相关证明资料）。

2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加本采购项目（采购包）投标。 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参与本项目投标。 投标函相关承诺要求内

容。

3)已获取本项目采购文件。

三.获取招标文件

时间：详见招标公告及其变更公告（如有）地点：详见招标公告及其变更公告（如有）

获取方式：在线获取。供应商应从广东省政府采购网（xxxxx://xxxxx.xxx.xx.xxx.xx/）上广东政府采购智慧云平台（以

下简称“云平台”）的政府采购供应商入口进行免费注册后，登录进入项目采购系统完成项目投标登记并在线获取招标文件（未按上述方式获取招标文件的供应商，其投标资格将被视为无效）。

售价：免费

四.提交投标文件截止时间、开标时间和地点：

提交投标文件截止时间和开标时间：详见招标公告及其变更公告（如有）

（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日）地点：详见招标公告及其变更公告（如有）

五.公告期限、发布公告的媒介：

1、公告期限：自本公告发布之日起不得少于5个工作日。

2、发布公告的媒介：中国政府采购网(xxx.xxxx.xxx.xx)、广东省政府采购网(xxxxx://xxxxx.xxx.xx.xxx.xx/)；广州市国科招标代理有限公司网（xxx.xxxxxxxxxxx.xxx）

x.xxxxxxx：

0.xxxxx

名称：广东中科半导体微纳制造技术研究院地址： 佛山市南海区狮山镇科教路1号

联系方式： 0757-88591381

2.采购代理机构信息

名称：xxxxxxxxxxxxx

xx： xxxxxxx000xxxxxx0xxxx0x（xx广州分析测试中心对面）联系方式： 020-87684726、020-87687651

3.项目联系方式

项目联系人： xxx、x先生

电话： 000-00000000、000-00000000

4.技术支持联系方式

云平台联系方式：020-88696588

数字证书CA技术服务热线：000-000-0000

采购代理机构：xxxxxxxxxxxxx

xxx xxxx

x、xxxx：

（x）xxxx：XXXX00X000X0000X

（二）项目名称：广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台采购项目

（三）总体要求说明：

1、标有“★”的条款为必须完全满足的实质性要求，投标人如有一项带“★”的条款未响应或负偏离，将按无效投标处理。

2、标有“▲”的条款为重要性要求，投标人如有“▲”的条款未响应或负偏离的将被严重扣分。

3、投标人必须承诺提供厂商原装、全新的、符合国家及用户提出的有关质量标准的设备。

4、投标人应对采购需求中的设备性能和技术指标在响应详细内容中列出具体数值。如果投标人只注明“正偏离”或“无偏离”，将可能被视为“负偏离”，从而可能导致严重影响评标结果。

5、投标人所投产品除项目采购文件中明确规定要求提供彩页或相应检测报告等证明材料以外，所有技术参数描述均以投标文

件为准（投标文件内厂家提供的技术参数描述与投标人投标技术参数描述不一致时，以厂家提供的技术参数描述为准）。投标人须对所投产品技术参数的真实性承担法律责任。

6、凡列入《中华人民共和国实施强制性产品认证的产品目录》的产品在验收时必须出具CCC认证证书复印件，并以在产品外

部加施认证标志作为验收依据之一。

7、节能产品的优先采购和强制采购以财政部、发展改革委、生态环境部等部门公布的最新《节能产品政府采购品目清单》中所列产品及相关规定为准。如果涉及到政府强制采购节能，供应商必须在投标文件中明确列明具体产品的名称并提供国家确定的认证机构出具的处于有效期之内的节能产品认证证书。

8、环境标志产品的优先采购以财政部、发展改革委、生态环境部等部门公布的最新《环境标志产品政府采购品目清单》所列产品为准。投标产品涉及到环境标志产品的，供应商需在投标文件中明确列明具体产品的名称并提供国家确定的认证机构出具的处于有效期之内的环境标志产品认证证书。

9、涉及到软件产品的，必须采购和使用正版软件，项目中涉及计算机办公产品的，必须预装正版操作系统软件。

10、投标人没有在投标文件中注明偏离（文字说明或在响应表注明）的参数、配置、条款视为被投标人完全接受。

11、投标人应保证，采购人在中华人民共和国使用该货物或货物的任何一部分时，免受第三方提出的侵犯其专利权、商标权、著作权或其它知识产权的起诉。

12、不允许中标供应商转包、分包项目内容。

13、小型和微型企业、监狱企业和残疾人福利性单位必须按照投标须知的内容提供相应的资料。

14、需落实政府采购政策为：促进中小企业发展政策、支持监狱企业发展政策、支持残疾人福利性单位发展政策、优先采购节能产品、环境标志产品相关政策等。

15、单一产品采购项目，提供相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查的不同投标人参加同一合同项下投标的，按一家投标人计算；非单一产品采购项目，提供相同品牌核心产品且通过资格审查、符合性审查的不同投标人参加同一合同项下投标

的，按一家投标人计算。

（四）其他说明：

1、本项目采用电子系统进行招投标，请在投标前详细阅读供应商操作手册，手册获取网址： xxxxx://xxxxx.xxx.xx.xxx.xx/xxxx/xxxxxxxxxxx/xxxxxxxx.xxxx。投标供应商在使用过程中遇到涉及系统使用的问题，可通过000-0000-000进行咨询或通过广东政府采购智慧云平台运维服务说明中提供的其他服务方式获取帮助。

2、供应商参加本项目投标，需要提前办理CA和电子签章，办理方式和注意事项详见供应商操作手册与CA办理指南，指南获取地址：xxxxx://xxxxx.xxx.xx.xxx.xx/xxxx/xxxxxxx/。

3、供应商根据采购文件要求，使用投标客户端制作电子投标文件及递交电子投标文件。具体步骤详见智慧采购云平台项目电

子交易系统资料下载的操作指南中的供应商指南。

4、本项目开标方式为远程开标。参与全流程云平台采购项目的供应商登录云平台通过“新供应商开标大厅”进行签到及投标文件的解密，签到需在开标时间前30分钟内完成，不需要委派代表前往开标现场。

5、供应商电脑需提前安装CA签章客户端，并运行CA证书。

6、请各投标人在编制投标文件时注意，涉及到签字或签章的地方，请按要求签字或签章后再上传系统。投标文件加密前请注意所有需要签字、签章、盖章的地方是否齐全无缺漏。请保管好CA证书的密码，如遗忘，请及时重置，以免影响投标文件的解密。

（五）投标报价说明：

投标报价包括：货款、设计、安装、随机零配件、标配工具、运输保险、调试、培训、质量保证期服务、各项税费及合同实施过程中不可预见费用等。

（六）实现的功能

进行6〞 和 8〞 晶圆清洗。

（七）需执行国家相关标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范

（八）设备总体要求

（1）供液管路在非化学品区可以使用符合行业标准的SUS、PFA、PP、PE材料，在管路区与酸碱化学槽区必须使用符合行业标准的PFA管；N2管路在非化学品区可以使用符合行业标准的SUS、PFA、PP、PE材料，在酸碱化学槽管路区与化学槽区必须使用符合行业标准的PFA管，在有机类化学槽管路区与化学槽区必须使用符合行业标准的PFA或SUS管与优质接头。

（2）作业区照明采用日光灯管，有防护罩； 操作门结构：合页门；观察窗材质为透明PVC板，便于各工位操作和观察。

（3）设备支撑为防腐脚轮、支撑地脚；适当位置配置水枪，可对设备工艺模组槽区手动覆盖进行冲洗。

（4）设备电控区、管路区、槽体安装区均设维护门。

（5）电气控制区域与湿区隔离，依化学品环境选择充压缩空气进行正压保护。

▲（九）主要部件要求（需提供产品合格证书或产品彩页或厂家盖章资料等相关证明材料）：

（1）PP/NPP材料：厚度≧10mm，采用符合行业标准的PP/NPP材料；

（2）PVDF材料：厚度≧10mm，采用符合行业标准的PVDF材料；

（3）风囊泵（循环）：采用符合行业标准的风囊泵；

（4）过滤器：采用符合行业标准的过滤器；

（5）气体过滤减压阀：采用符合行业标准的气体过滤减压阀；

（6）气动阀：采用符合行业标准的气动阀；

（7）电磁阀：采用符合行业标准的电磁阀；

（8）漏液传感器：采用符合行业标准的漏液传感器；

（9）温控器：采用符合行业标准的温控器；

（10）流量计：采用符合行业标准的流量计；

（11）兆声波发生器：采用符合行业标准的兆声波发生器；

（11）超声波发生器：采用符合行业标准的超声波发生器；

（13）机械手伺服电机：采用符合行业标准的机械手伺服电机；

（14）机械手直线导轨/滚珠丝杠：采用符合行业标准的机械手直线导轨/滚珠丝杠；

（15）卡塞定位传感器/槽体定位传感器：采用符合行业标准的卡塞定位传感器/槽体定位传感器；

（16）CO2灭火系统：采用符合行业标准的CO2灭火系统；

（17）电阻计：采用符合行业标准的电阻计；

（18）PFA 管路材质：采用符合行业标准的PFA 管路材质;

（19）静电释放：采用符合行业标准的静电释放装置；

（20）定量泵：采用符合行业标准的定量泵。

合同包1（广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台）

1.主要商务要求

标的提供的时间	合同签订之日起 120 日（日历日）内。
标的提供的地点	采购人指定地点。
付款方式	1期：支付比例30%,合同签订生效后，采购人于5个工作日内以电汇的方式支付设备总金额的30%作为预付款给中标供应商。 2期：支付比例60%,中标供应商发货前两周内提交货运单和支付申请者资料 ，采购人于30日内以电汇的方式支付设备总金额的60%货款给中标供应商。 3期：支付比例10%,设备到货安装调试完成，并经采购人最终验收合格后，采购人于30日内以电汇的方式支付设备总金额的10%货款给中标供应商。 说明：中标供应商凭以下资料申请支付：（1）收货凭证、送货入库凭证； （2 ）安装调试报告、设备技术调试报告、验收合格报告、正式发票；（3 ）支付 方式：采用支票、银行汇付（含电汇）等形式。
验收要求	1期：1. 设备调试、培训完成后，采购人在收到供应商项目验收建议之日起7 个工作日内按照合同的约定对履约情况进行验收，对每一项技术、服务、安全标准的履约情况进行确认。验收指标按技术协议提供参数验收，无故障及设备 正常工作为合格。 2.交付验收标准依次序对照适用标准为：①符合中华人民 共和国“国家安全质量标准、环保标准或行业标准”；➁符合项目采购文件和投标承诺中采购人认可的合理最佳配置、参数及各项要求；③货物来源国官方标准。 3. 货物为原厂商未启封全新包装，具有出厂合格证，序列号、包装箱号 与出厂批号一致，并可追索查阅。所有随设备的附件必须齐全。 4. 中标供应 商将货物的用户手册、保修手册、有关单证资料及备品备件、随机工具等交付给采购人，使用操作及安全须知等重要资料应附有中文说明。具体资料包括但不限于货物装箱清单、设备使用说明书、定期保养手册、维修手册、线路图及 管路图、故障排除手册、产品合格证明书、产品安装指南等。 5. 货物验收所 发生的检验费用由中标供应商负担。 6. 设备到货并经中标供应商技术人员安装后，采购人有权委托国内有资格的单位对采购设备进行校准或检验，设备校 准或检定所需的费用由中标供应商负担。 7. 采购人组成验收小组，按照采购合同规定的技术、服务、安全标准组织对中标供应商履约情况进行验收。因货 物质量问题发生争议时，由采购人本地质量技术监督部门鉴定。货物符合质量 技术标准的，鉴定费由采购人承担；否则鉴定费由中标供应商承担。 8. 当出现不合格产品时，中标供应商要无条件更换合格产品。除采购人认可，否则不接受任何形式的降格处理。
履约保证金	不收取

其他 （一）包装与运输，包装箱应用坚固的材料制造，适用长途运输、防潮、防锈
、防震、防粗暴装卸，适于空运和整体吊装，并注明起吊位置，起吊重量及重心位置。 （二）保险，货物从出厂运至采购人指定地点的保险费用须包含在投标报价中
。 （三）安装与调试，1.中标供应商必须按项目进度安排计划，派出适当的技术人员到安装现场负责安装和调试工作。在安装施工期间，严格遵守采购人的有关规定。 2.中标供应商必须依照项目采购文件的要求和投标文件的承诺，将设备、系统安装并调试至正常运行的最佳状态。 ★3.配套：二次配（设备的二次配工作及材料由厂家负责完成）（费用须包含在报价总价中）。 4.终身软件升级（费用须包含在报价总价中）。 （四）技术培训，1.中标供应商每台设备提供现场安装调试和培训。 2. 中标供应商应提供完整的培训计划和方案，列明培训人员数量、达到的水平等。培训内容包括但不限于：（1）设备操作培训：培训设备的具体操作方法及步骤 。 （2）维修培训：介绍设备结构、维修保养知识、故障诊断及排除方法。 （3）使用技术培训：对用户在工艺和维修等重要技术参数方面及相关注意事项进行技能培训。 （4）培训所需全部费用均由中标供应商负责。 （五）质量保证期，1.质量保证期不少于1年。并提供终身维修服务。保修期内，所有服务及配件全部包含在报价中。“技术标准与要求”中另有要求的，以其中的要求为准。 2.质量保证期自采购人和中标供应商代表在货物安装调试验收后的验收书上签字之日起计算。质量保证期内中标供应商对所供货物实行 包修、包换、包退、包维护保养，保修期后设备维修配件更换只收取成本费用 。 3.质量保证期内，如设备或零部件因非人为因素出现故障而造成短期停用时，则质量保证期相应顺延。如停用时间累计超过60天则质量保证期重新计算。 4.在质量保证期内，如货品非因采购人的人为原因而出现的问题由中标供应商负责保修、包换或包退，并承担修理、调换或退货的实际费用。 5.质量保证期内，中标供应商负责对其提供的货物整机进行维修和系统维护，不再收取任何费用，但非中标供应商责任的人为因素、自然因素（如火灾、雷击等 ）造成的故障除外。 6.质量保证期间，同一硬件一个月内连续2次出现同一故障，中标供应商须无偿更换同一档次货物。 （六）售后服务，为产品提供7*24小时的响应服务。售后工程师可在24小时内到厂维修处理，特殊情况现场工程师将出具现场情况说明，给出详细解决计 划，并修复问题。

2.技术标准与要求

序 号	核心产品要求 （“△”）	品目名称	标的名称	单 位	数 量	分项预算单价 （元）	分项预算总价 （元）	所属行业	技术要 求
1		电工、电子专用 生产设备	全自动有机 清洗台	套	1. 00	0.00	0.00	工业	详见附 表一
2		电工、电子专用 生产设备	手动无机清 洗台	套	1. 00	0.00	0.00	工业	详见附 表二
3		电工、电子专用 生产设备	手动有机清 洗台	套	1. 00	0.00	0.00	工业	详见附 表三
4	△	电工、电子专用 生产设备	全自动RCA 清洗台	套	1. 00	0.00	0.00	工业	详见附 表四
5		电工、电子专用 生产设备	通风橱	套	1. 00	0.00	0.00	工业	详见附 表五

附表一：全自动有机清洗台

参数性质	序 号	具体技术(参数)要求
		基本规格：

	1		项目	标准
			★（1）晶圆尺寸/厚度	8英寸，兼容4英寸和6英寸，厚度325-1200um±25µm
			（2）台面承接高度	1000mm~ 1100mm，符合人体操作便捷性
			★（3）装置内洁净度	1）不高于Class 100
				2）风速 0.1～0.4m/s可调，无极变速
			（4）控制系统	1）符合行业标准的IPC+PLC
				2）全机自动化使用机械手进行晶圆搬送、执行清洗+干燥制程
				3）兼容手动操作与自动操作2种程序模式
				4）记录：可查询历史数据日志
				5）自定义程序：可自定义槽体作业顺序
				6）警报表示: 符合SEMI S2
				7）警报报知: 异常蜂鸣
				★8）工厂自动化: MES功能，预留SECS GEM功能
			（5）本体材质	1）骨架: 高强度304不锈钢
				2）底框: 高强度304不锈钢
			★（6）消防系统	具备符合行业标准的消防系统
			（7）监控视频	视频储存≥3个月
			★（8）设备安全	1）槽体具备防干烧、过流/超载保护、漏电保护
				2）互锁:做为安全管理，能确认各个部品在动作时避免与其他部 品相互接触
				3）漏液感应器，间距≤1m
				4）具备EMO 紧急停止功能：相邻EMO间距≤1.2m
				5）承漏盘：耐腐蚀、耐有机，配置符合行业标准的漏液感应器
			（9）排气、废液处理方式	1）排气往工厂排气处排出
				2）排气管路材质: 同主体材质，自动风阀
				3）废液管管路材质: FPA制可弯软管
				4）废液为重力排至厂务端
							▲（10）SEMI S2认证单元规格： 报告	具备
1.上货/下货部
★（1）LD/UNLD方式	上货区和下货区 （左进右出）
	1）工位数量：2个，上货区单工位、下货区单工位
	2）工位容量: 满足4寸卡塞、6寸卡塞和8寸卡塞各两个
（2）LD/UNLD定义	开放式卡塞，机械手直接夹取
（3）卡塞结构	依行业标准
（4）作业模式	开放式卡塞
（5）卡塞区块	卡塞定位监测
2.Robot部	★2 座
	1）伺服光通讯控制

（1）X、Y轴

	2）安全检测、防撞条件
（2）槽与槽传输时 间	1）槽与槽的传递≤15s
0.XX Tank部
（1）数量	1组
▲（2）主要功能	处理方式：水洗、氮气吹净手爪表面残留水珠
	介质: 去离子水和氮气
	槽体材质：NPP
	供给来源：厂务供给
4.EKC 制程槽
（1）数量	2组
▲（2）主要功能	化学品: EKC
	供应来源：EKC来自暂存槽或CDS，2号槽EKC供液至1号槽进 行重复使用
	制程温度： 90℃±1℃（液位与加热器互锁）
	70℃升温至90℃时间：≤20分钟
	液位检测：具备
	加热器: 在线式加热器
	槽体结构：溢流式循环槽
	槽体材质：优质高纯316不锈钢
	槽盖材质：优质高纯316不锈钢
	超声波功能：配备符合行业标准的超声发生器，要求40KHZ， 功率可调
	晃动功能：行程≥30mm，速度可调
	自动补液：配备
	槽体自清洗：配备
	排放方式：泵浦至冷却槽
▲（3）循环系统	泵浦：配置符合行业标准的风囊泵
	过滤器外壳材料及尺寸：优质高纯316不锈钢10”
	滤芯材料：PTFE
	过滤器过滤孔径尺寸：≤1um
	管路材质及尺寸：PFA 3/4”
	过滤器：配置符合行业标准的过滤器
	流量计监控：配置符合行业标准的流量计
	1组
	化学品: EKC
	供应来源：CDS直接供给
	槽体材质：优质高纯316不锈钢

2

▲（4）预热槽	槽体结构：静态暂存槽
	容量：≥1.2倍制程槽体积
	预热温度：≤70摄氏度（温度可设定）
	加热器:配备优质加热器（供应商需提供检测报告、证书等证明 材料）
	排放方式：重力排放到制程槽
▲（5）冷却槽	1组
	化学品: EKC
	供应来源：来自于制程槽
	槽体材质：优质高纯316不锈钢
	容量：≥1.2倍制程槽体积
	x交换方式: PCW盘管
	自动排放温度：≤50℃（温度可设定）
	排放方式：重力排放到厂务废液管路
5.IPA制程槽
（1）数量	1组
▲（2）主要功能	化学品：IPA
	供应来源：厂务CDS直供
	化学品温度：常温
	槽体结构：溢流循环槽
	槽体材质：优质高纯316不锈钢
	槽盖材质：优质高纯316不锈钢
	超声波功能：配备符合行业标准的超声发生器，要求40KHZ， 功率可调
	晃动功能：行程≥30mm，速度可调
	槽体自清洗：配备
	排放方式：泵到厂务废液管路
▲（3）循环系统	泵：符合行业标准的风囊泵
	过滤器：配置符合行业标准的过滤器
	过滤器外壳材质及尺寸：优质高纯316不锈钢10”
	过滤器过滤孔径：≤1um
	管路材质及尺寸：PFA 3/4”
	流量计监控：配置符合行业标准流量计
6.QDR槽体
（1）数量	1组
	介质: DIW
	供应来源：厂务直供
	化学品温度：常温
	槽体结构：快排结构和溢流结构

	3	作业记录： 1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风速，晃动频率，作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。
	4	★设备性能及主要部件要求 1.温度精度：±1℃（每隔一小时读取温控表数值，每天抽测三次，5天的连续测量）； 2.故障平均间隔时间≥ 800 hrs； 3.平均维护时间≤ 4 hrs； 4.月产能（22H*28D）：不低于11万片（STR：10min；IPA：5min；QDR：7min；IPA Dry ：16min）； 5.稼动率：95%（总时间-PM时间（不包含换槽洗槽）-故障时间/总时间）； 6.颗粒指标：0.3um及以上≤50颗。

▲（2）主要功能	槽体材质：优质高纯316不锈钢
	槽盖材质：优质高纯316不锈钢
	氮气鼓泡：具备
	喷淋：具备
	水阻值计：具备
	排放方式：重力排至厂务废液管路
7.IPA 干燥槽
（1）数量	1组
▲（2）主要功能	槽体材质: 优质高纯316不锈钢
	供应来源：厂务直供
	氮气温度：60℃～70℃±5℃（加热器出风口）
	氮气加热器：在线式的加热器
	静电消除：可释放±5.5KDCV中和静电
	槽体材质：优质高纯316不锈钢
	槽盖材质：优质高纯316不锈钢
8.控制软件
（1）程序开设数量	≥10000组
（2）控制内容	每个配方≥ 50个步骤
	清洗时间
（3）控制箱	可设定各种程序
（4）条码枪	设置于装置内
（5）工厂自动化	具备扫描枪，可刷条码 MES 双向抛档

打“★”号条款为实质性条款，若有任何一条负偏离或不满足则导致投标无效。

打“▲”号条款为重要技术参数，若有部分“▲”条款未响应或不满足，将导致其响应性评审加重扣分，但不作为无效投标条款。

说明

项目	标准
（1）晶圆尺寸	★8英寸，兼容4英寸和6英寸
（2）台面承接高度	1000mm~1100mm，符合人体操作便捷性
（3）装置内洁净度	★1）不高于Class 100
	2）风速: 0.1～0.4m/s可调，无极变速
（4）控制系统	1）操作接口不小于8” 触摸屏+PLC
	2）兼容手动操作与自动操作2种程序模式
	3）记录：可查询历史数据日志
	4）自定义程序：制程时间，制程温度等
	5）警报表示:符合Semi标准
	6）警报报知:异常蜂鸣
（5）本体材质	1）骨架: 高强度304不锈钢
	2）底框: 高强度304不锈钢
	3）包覆: 耐腐蚀PP
	4）各部单元: PFA, PVDF, CPVC, PTFE
★（6）设备安全	1）槽体具备防干烧、过流/超载保护、漏电保护
	2）互锁: 做为安全管理，能确认各个部品在动作时避免与其他 部品相互接触
	3）配置符合行业标准的漏液感应器，间距≤1m
	4）具备EMO 紧急停止功能：相邻EMO间距≤1.2m
	5）承漏盘：耐腐蚀、耐有机，设漏液感应器
（7）排气、废液处理方式	1）排气往工厂排气处排出
	2）排气管路材质: PP
	3）废液管管路材质: FPA制可弯软管
	4）废液为重力排至厂务端
▲（8）SEMI S2认证 报告	具备

附表二：手动无机清洗台

参数性质	序 号	具体技术(参数)要求
	1	基本规格：

1.制程槽
▲数量	2组
▲主要功能	介质: DIW
	供给来源：厂务直供
	加热温度：90℃±2℃（加热与液位互锁）
	液位检测：具备
	加热器: 投入式加热器
	槽体结构：静态槽
	槽体材质：PVDF
	槽盖材质：PVDF（手动）
	氮气鼓泡：具备
	自动补水：具备
	排放方式：重力排放到厂务废液（槽内自然冷却，排放温度 可开放设定）
2.QDR Tank部
▲数量	1组
▲主要功能	介质: DIW
	供给来源：厂务直供
	温度：RT
	槽体材质：NPP
	槽盖材质：PVC
	氮气鼓泡：具备
	喷淋：具备
	水阻值监测仪：具备
	排放方式：重力排放到厂务废水
3.作业平台
平台尺寸：1000*600（mm）或以上尺寸
配备AC 220V接口
★配备取样阀（手动开关的化学品获取阀门）： （1）区块一：H2SO4、H2O2、HC L、HF、BOE；（2）区块二：NH4OH。

单元规格：

2

	3	程序控制：
	4	作业记录： 1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次、作业起止时间、作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量、时间、排风量、晃动频率、作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。
	5	★设备性能及主要部件要求 1、故障平均间隔时间≥ 1000 hrs； 2、平均维护时间≤ 2 hrs； 3、稼动率：95%（总时间-PM时间（不包含换槽洗槽）-故障时间/总时间）。
说明	打“★”号条款为实质性条款，若有任何一条负偏离或不满足则导致投标无效。 打“▲”号条款为重要技术参数，若有部分“▲”条款未响应或不满足，将导致其响应性评审加重扣分，但不作为无效投标条款。

程序开设数量	≥10000组
控制内容	1）每个配方≥ 50个步骤
	2）清洗时间
控制箱	设置于装置内.各种程序的设定

附表三：手动有机清洗台

参数性质	序 号	具体技术(参数)要求
		基本规格

项目 标准

（1）晶圆尺寸 ★8英寸，兼容4英寸和6英寸

（2）台面承接高度

1

（3）装置内洁净度

1000mm~1100mm，符合人体操作便捷性

★1）不高于Class 100 2）风速: 0.1～0.4m/s可调

1）操作接口不小于8” 触摸屏+PLC

2）程序兼容手动操作与自动操作2种模式

（4）控制系统

3）记录：可查询历史数据日志

4）自定义程序：制程时间，制程温度等

5）警报表示: 符合Semi标准

6）警报报知: 异常蜂鸣

1）骨架: 高强度304不锈钢

（5）本体材质

2）底框: 高强度304不锈钢

3）包覆: 镜面304不锈钢

4）各部单元: PFA, PVDF, CPVC, PTFE

1）槽体具备防干烧、过流/超载保护、漏电保护

2）安全互锁: 做为安全管理，确认各个部品在动作时避免与其他

★（6）设备安全

部品相互接触

3）配置符合行业标准的漏液感应器，间距≤1m

4）EMO 紧急停止功能：具备，相邻EMO间距≤1.2m

5）承漏盘：耐腐蚀、耐有机，设漏液感应器

（7）排气、废液处理方式

1）排气往工厂排气处排出

2）排气管路材质: PP

3）废液为重力排至厂务端

单元规格

▲（8）SEMI S2认证具备报告

（ 1）制程槽
▲数量	2组
▲主要功能	介质: DIW
	供给来源：厂务直供
	介质加热温度：90℃±2℃（液位与加热器互锁）
	液位检测：具备
	加热器: 投入式加热器
	槽体结构：静态平置槽
	槽体材质：优质高纯316不锈钢
	槽盖材质：优质高纯316不锈钢
	氮气鼓泡：具备
	超声波：配备符合行业标准的超声发生器，要求40KHZ，功率可 调
	自动补水：具备
	排放方式：重力排放到厂务废液（自然冷却≤50℃）
（ 2） QDR 槽
数量	1组
▲主要功能	介质: DIW
	供给来源：厂务直供
	介质温度：RT
	槽体材质：NPP
	槽盖材质：PVC
	氮气鼓泡：具备
	喷淋：具备
	水阻值计：具备
	排放方式：重力排放到厂务废水
（ 3）作业平台
平台尺寸：1000*600（mm）或以上尺寸
配备AC 220V接口
★配备取样阀（手动开关的化学品获取阀门）： 区块：ACE、IPA、NMP、EKC。

2

	3	程序控制：
	4	作业记录： 1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风量，晃动频率，作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。
	5	★设备性能及主要部件要求 1、故障平均间隔时间≥ 1000 hrs； 2、平均维护时间≤ 2 hrs； 3、稼动率：95%（总时间-PM时间（不包含换槽洗槽）-故障时间/总时间）。
说明	打“★”号条款为实质性条款，若有任何一条负偏离或不满足则导致投标无效。 打“▲”号条款为重要技术参数，若有部分“▲”条款未响应或不满足，将导致其响应性评审加重扣分，但不作为无效投标条款。

程序开设数量	≥10000组
控制内容	每个配方≥ 50个步骤
	清洗时间
控制箱	设置于装置内.各种程序的设定

附表四：全自动RCA清洗台

参数性质	序 号	具体技术(参数)要求
		基本规格

	1		项目	标准
			（1）晶圆规格	★8英寸，兼容6英寸
				厚度: 325-1200um±25µm
			（2）台面承接高度	1000mm~1100mm，符合人体操作便捷性
			（3）装置内洁净度	★1）不高于Class 100
				2）风速: 0.1～0.4m/s可调，无极变速
			（4）控制系统	1）操作接口不小于12”符合行业标准的IPC+PLC
				2）全机自动化使用机械手进行晶圆搬送、执行清洗+干燥制 程
				3）兼容手动操作与自动操作2种程序模式
				4）记录：可查询历史数据日志
				5）自定义程序：可自定义槽体作业顺序
				6）警报表示: 符合SEMI S2
				7）警报报知: 异常蜂鸣
				★8）工厂自动化: MES功能，预留SECS GEM功能
			（5）本体材质	1)骨架: 高强度304不锈钢
				2）底框: 高强度304不锈钢
				3）包覆: 瓷白PP+镜面304不锈钢
			（6）★消防系统	具备符合行业标准的消防系统
			（7）监控视频	视频储存≥3个月
			（8）★设备安全	1）槽体具备防干烧、过流/超载保护、漏电保护
				2）互锁:做为安全管理，能确认各个部品在动作时避免与其他 部品相互接触
				3）漏液感应器，间距≤1m
				4）具备EMO 紧急停止功能：相邻EMO间距≤1.2m
				5）承漏盘：耐腐蚀、耐有机，设漏液感应器
			（9）排气、废液处理方式	1）排气往工厂排气处排出
				2）排气管路材质: PP，手动风阀
				3）废液管管路材质: FPA制可弯软管
				4）废液为重力排至厂务端
							▲（10）SEMI S2认证单元规格 报告	具备
★（ 1）上货区和下货 区部
上货方式	上货方式和下货方式（左进右出）
	1）工位数量：上货区单工位、下货区单工位
	2）工位容量: 满足6寸卡塞和8寸卡塞各两个
上下货定義	开放式卡塞，机械手直接夹取

卡塞标准	依行业标准
作业模式	开放式卡塞
卡塞区块	卡塞位置监测
★（ 2） Robot部	3 座
X、Y轴	伺服光通讯控制
	安全检测、防撞条件
槽与槽传输时间	相邻槽与槽的转移时间≤15s
行程分布	机械手1：LD-CC-SPM-HQDR-DHF-QDR 机械手2：QDR-SC1-QDR-SC2—QDR-MG6-MG8 机械手3：SRD-ULD
（ 3） CC Tank部
数量	1组
▲主要功能	介质: DIW+N2
	供给方式：厂务直供
	处理方式：水洗、氮气吹净手爪表面残留水珠
	槽体结构：喷淋式
（ 4） SPM制程槽
数量	1组
▲主要功能	化学品: SPM
	供给来源：来自于混酸槽或厂务CDS
	制程温度：120℃±5℃（加热与液位互锁）
	液位检测：具备，配置符合行业标准的液位传感器
	加热器:在线式加热器
	冷却方式：PCW盘管
	槽体结构：溢流循环槽
	槽体材质：xx
	槽盖材质：PTFE
	氮气鼓泡：具备
	自动补给：具备（H2O2），采用符合行业标准的的定量泵
	槽体自清洗：配备
	排放方式：泵至冷却槽
▲循环系统	泵：配置符合行业标准的风囊泵
	过滤器：配置符合行业标准的过滤器
	过滤器外壳材料及尺寸：PFA 10”
	滤芯材料：PTFE，要求耐高温的符合行业标准的滤芯
	过滤器过滤孔径：≤0.2um
	管路材质及尺寸：PFA 3/4”
	流量计：配置符合行业标准的流量计

▲混酸槽	1组
	化学品: H2SO4+ H2O2
	供给方式：厂务CDS直供
	槽体材质：xx
	槽体结构：静态
	冷却方式：PCW盘管
	比例控制：称重式，配液误差≤3%
	排放方式：重力排放至冷却槽
▲冷却槽	1组
	化学品: SPM
	供给来源：来自于制程槽的废热酸
	槽体材质：PTFE
	容量：≥1.2倍制程槽体积
	冷却方式: PCW盘管
	自动排放温度：≤50℃（可设定）
	排放方式：重力排放到厂务废液管路
（ 5）热水槽
数量	1组
▲主要功能	介质: DIW
	供给来源： 常温水：厂务直供 50℃热水：预热柜
	介质温度： 第一锅热水≥50℃常规Run次：RT
	槽体结构：快排+溢流槽
	槽体材质：NPP
	氮气鼓泡：配备
	喷淋：配备
	水阻值监测计：配备
	排放方式：重力排放到厂务废液管路
（ 6） DHF 制程槽
数量	1组
	化学品: DHF
	供给来源：来自于混酸槽或厂务CDS；
	化学品温度：22℃±0.5℃（液位与加热互锁）
	液位检测：具备，配置符合行业标准的液位传感器
	恒温方式：冷热交换器

2

▲主要功能	槽体材质：PVDF
	槽盖材质：PVDF
	氮气鼓泡：配备
	自动补给：配备（HF），采用符合行业标准的定量泵。
	槽体自清洗：配备
	排放方式：泵到厂务废液管路
▲循环系统	泵：配置符合行业标准的风囊泵
	过滤器：配置符合行业标准的过滤器
	过滤器过滤孔径尺寸：≤0.1um
	过滤器外壳材料及尺寸：PFA 10”
	管路材质及尺寸：PFA 3/4”
	流量计监控：配置符合行业标准的流量计
▲混酸槽	1组
	介质: HF+H2O
	供给来源：厂务CDS直供
	槽体材质：PVDF
	槽体结构：静态槽
	比例控制：称重式，配液误差≤3%
	排放方式：重力排放到制程槽
（ 7） SC1 制程槽
数量	1组
▲主要功能	化学品: SC1
	供给来源：来自于混酸槽或厂务CDS；
	化学品温度：65℃±1℃（加热与液位互锁）
	加热器：在线式加热器
	恒温方式：PCW盘管
	槽体材质：xx
	槽盖材质：PTFE
	氮气鼓泡：配备
	兆声波：配置符合行业标准的兆声发生器，要求950KHz，功 率可调
	自动补给：配备（NH4OH、H2O2），采用符合行业标准的定量泵
	槽体自清洗：配备
	排放：泵到厂务废液管路
▲循环系统	泵：配置符合行业标准的风囊泵
	过滤器：配置符合行业标准的过滤器
	过滤器外壳材料及尺寸：PFA 10”
	过滤器过滤孔径尺寸：≤0.05um

	管路材质及尺寸：PFA 3/4”
	配置符合行业标准的流量计
▲混酸槽	1组
	化学品: NH4OH+H2O2
	供给方式：厂务CDS直供
	槽体材质：xx
	槽体结构：静态槽
	比例控制：称重式，配液误差≤3%
	冷却方式：PCW盘管
	排放方式：重力排放至制程槽
（ 8） SC2 制程槽
数量	1组
▲主要功能	化学品: SC2
	供给来源：来自于混酸槽或厂务CDS；
	化学品温度：65℃±1℃（液位与加热互锁）
	加热器: 在线式加热器
	恒温方式：PCW盘管
	槽体材质：xx
	槽盖材质：PTFE
	氮气鼓泡：配备
	自动补给：配备（HCL、H2O2），采用符合行业标准的定量 泵
	槽体自清洗：配备
	排放方式：泵到厂务废液管路
▲循环系统	泵：符合行业标准的风囊泵
	过滤器：配置符合行业标准的过滤器
	过滤精度：≤0.05um
	过滤器外壳材料及尺寸：PFA 10”
	管路材质及尺寸：PFA 3/4”
	流量计监控：配置符合行业标准的流量计
▲混酸槽	1组
	化学品: HCL+H2O2
	供给来源：厂务CDS供给
	比例控制：称重式，配液误差≤3%
	槽体材质：xx
	槽体结构：静态槽
	容量：≥1.2倍制程槽体积
	冷却方式：PCW盘管

3 作业记录：
1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息、如晶圆批次、作业起止时间、作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量、时间、排风量、晃动频率、作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。

	排放方式：重力排放到制程槽
（ 9） QDR 槽
▲数量	3组
▲主要功能	介质: DIW
	供给来源：厂务直供
	介质温度：RT
	槽体结构：快排和溢流
	槽体材质：NPP
	槽盖材质：NPP
	氮气鼓泡：配备
	喷淋：配备
	水阻值监测仪：配备
	排放方式：重力排放至厂务废液管路
★（ 10）马兰戈尼干 燥部分
数量	2组.（8英寸1组，6英寸1组）
颗粒指标	0.16um及以上≤20颗
破片风险率	≤1/30000
控制软件
程序开设数量	≥10000组
控制内容	每个配方≥ 50个步骤
	清洗时间等
控制箱	各种程序的设定
条码枪	设置于装置内
工厂自动化	具备扫描枪，可刷条码 MES 双向抛档

	4	★设备性能及主要部件要求 1、温度精度：±3℃（每隔一小时读取温控表数值，每天抽测三次，5天的连续测量 ）； 2、故障平均间隔时间≥ 800 hrs； 3、平均维护时间≤ 4 hrs； 4、月产能（22H*28D）：不低于16万片（制程槽：10min；QDR：7min；MG：1 0min； 5、稼动率：95%（总时间-PM时间（不包含换槽洗槽）-故障时间/总时间）； 6、颗粒指标 0.16um及以上≤20颗。
说明	打“★”号条款为实质性条款，若有任何一条负偏离或不满足则导致投标无效。 打“▲”号条款为重要技术参数，若有部分“▲”条款未响应或不满足，将导致其响应性评审加重扣分，但不作为无效投标条款。

项目	标准
（1）台面承接高度	1000mm~1100mm，符合人体操作便捷性
（2）本体材质	1）骨架: 高强度304不锈钢
	2）底框: 高强度304不锈钢
	3）包覆: WPP
（3）排气、废液处理方式	1）排气往工厂排气处排出
	2）排气管路材质: PP
	3）废液为重力排至厂务端
（4）其他	槽区水气枪：槽区水气枪各2组（左右各分布一组）

作业平台
平台尺寸	1500*600（mm）
AC 220V接口	配备
废液倾倒口	1处 (至厂务废液管路)

附表五：通风橱

参数性质	序 号	具体技术(参数)要求
	1	基本规格
	2	单元规格
	3	★设备性能及主要部件要求 1、故障平均间隔时间≥ 100 hrs； 2、平均维护时间≤ 2 hrs； 3、稼动率：95%（总时间-PM时间（不包含换槽洗槽）-故障时间/总时间）。
说明	打“★”号条款为实质性条款，若有任何一条负偏离或不满足则导致投标无效。 打“▲”号条款为重要技术参数，若有部分“▲”条款未响应或不满足，将导致其响应性评审加重扣分，但不作为无效投标条款。

第三章 投标人须知

投标人必须认真阅读招标文件中所有的事项、格式、条款和采购需求等。投标人没有按照招标文件要求提交全部资料，或者投标文件没有对招标文件在各方面都做出实质性响应的可能导致其投标无效或被拒绝。

请注意：供应商需在投标文件截止时间前，将加密投标文件上传至云平台项目采购系统中并取得回执，逾期上传或错误方式投递送达将导致投标无效。

一、名词解释

1.采购代理机构：本项目是指广州市国科招标代理有限公司，负责整个采购活动的组织，依法负责编制和发布招标文件，对招标文件拥有最终的解释权，不以任何身份出任评标委员会成员。

2.采购人：本项目是指广东中科半导体微纳制造技术研究院，是采购活动当事人之一，负责项目的整体规划、技术方案可行性设计论证与实施，作为合同采购方（用户）的主体承担质疑回复、履行合同、验收与评价等义务。

3.投标人：是指在云平台项目采购系统完成本项目投标登记并提交电子投标文件的供应商。

4.“评标委员会”是指根据《中华人民共和国政府采购法》等法律法规规定，由采购人代表和有关专家组成以确定中标供应商或者推荐中标候选人的临时组织。

5.“中标供应商”是指经评标委员会评审确定的对招标文件做出实质性响应，经采购人按照规定在评标委员会推荐的中标候选人中确定的或评标委员会受采购人委托直接确认的投标人。

6.招标文件：是指包括招标公告和招标文件及其补充、变更和澄清等一系列文件。

7.电子投标文件：是指使用云平台提供的投标客户端制作加密并上传到系统的投标文件。（投标客户端制作投标文件时，生成的后缀为“.标书”的文件）

8.备用电子投标文件：是指使用云平台提供的投标客户端制作电子投标文件时，同时生成的同一版本的备用投标文件。

（投标客户端制作投标文件时，生成的后缀为“.备用标书”的文件）

9.电子签名和电子印章：是指获得国家工业和信息化部颁发的《电子认证服务许可证》、国家密码管理局颁发的《电子认证服务使用密码许可证》的资质，具备承担因数字证书原因产生纠纷的相关责任的能力，且在广东省内具有数量基础和服务能

力的依法设立的电子认证服务机构签发的电子签名和电子签章认证证书（即CA数字证书）。供应商应当到相关服务机构办理并取得数字证书介质和应用。电子签名包括单位法定代表人、被委托人及其他个人的电子形式签名；电子印章包括机构法人电

子形式印章。电子签名及电子印章与手写签名或者盖章具有同等的法律效力。签名（含电子签名）和盖章（含电子印章）是不同使用场景，应按招标文件要求在投标（响应）文件指定位置进行签名（含电子签名）和盖章（含电子印章），对允许采用手写签名的文件，应在纸质文件手写签名后，提供文件的彩色扫描电子文档进行后续操作。

10.“全称”、“公司全称”、“加盖单位公章”及“公章”：在电子投标（响应）文件及相关的其他电子资料中，涉及“全

称”或“公司全称”的应在对应文件编辑时使用文本录入方式，或在纸质投标（响应）文件上进行手写签名，或通过投标客户端使用电子印章完成；涉及“加盖单位公章”和“公章”应使用投标人单位的数字证书并通过投标客户端使用电子印章完成。

11.“投标人代表签字”及“授权代表”：在电子投标（响应）文件及相关的其他电子资料中，涉及“投标人代表签字”或“授权代表”应在投标（响应）文件编辑时使用文本录入方式，或在纸质投标（响应）文件上进行手写签名，或通过投标客户端使用电子签名完成。

12.“法定代表人”：在电子投标（响应）文件及相关的其他电子资料中，涉及“法定代表人”应在纸质投标（响应）文件上进行手写签名，或通过投标客户端使用电子签名完成。

13.日期、天数、时间：未有特别说明时，均为公历日（天）及北京时间。

二、须知前附表

x表与招标文件对应章节的内容若不一致，以本表为准。

序号	条款名称	内容及要求
1	采购包情况	x项目共1个采购包
2	开标方式	远程电子开标
3	评标方式	现场电子评标 （供应商应当审慎标记各评审项的应答部分，标记内容清晰且完整，否则将自行 承担不利后果）
4	评标办法	采购包1：综合评分法
5	报价形式	采购包1：总价
6	报价要求	各采购包报价不超过预算总价
7	现场踏勘	否
8	投标有效期	从提交投标（响应）文件的截止之日起90日历天
9	投标保证金	采购包1：保证金人民币：0.00元整。开户单位： 无 开户账号： 无开户银行： 无 支票提交方式： 无 汇票、本票提交方式： 无 投标保证金有效期∶与投标有效期一致。 投标保函提交方式：供应商可通过"广东政府采购智慧云平台金融服务中心"(xxxx://xxxxx. xxx.xx.xxx.xx/xxxxxxxxxx/xxx/xxxxxxxxx/)，申请办理投标（响应）担保函、保险（保证） 凭证，成功出函的等效于现金缴纳投标保证金。
10	投标文件要求	一、电子投标文件： （1）加密的电子投标文件 1 份（需在递交投标文件截止时间前成功上传至“云平台项目采购系统”）。 供应商应保证该优先步骤 （2）若现场无法使用系统进行电子开评标的，供应商须在开标现场递交非加密电子版投标文件U盘（或光盘） 0 份。 供应商保证该后备步骤。二、纸质投标文件： （3）纸质投标文件正本 0 份，纸质投标文件副本 0 份。 供应商须满足上述事项“一、电子投标文件”中（1）或（2）的要求，和“二、纸质投标文件 ”的要求。请保证电子投标文件应与纸质投标文件（如有）一致，如不一致时以电子投标文件为准。
11	中标候选供应商 推荐家数	采购包1： 2家
12	中标供应商 数量	采购包1： 1家
13	有效供应商 家数	采购包1：3家 此人数约定了开标与评标过程中的最低有效供应商家数，当家数不足时项目将不得开标、 不得评标或直接废标。

14	项目兼投兼中（ 兼投不兼中）规则	无：-
15	中标供应商确定 方式	采购人按照评审报告中推荐的成交候选人确定中标（成交）人。
16	代理服务费	收取。 采购机构代理服务收费标准：本项目的招标代理服务费收费标准以采购预算金额为计算基数,参照国家计委颁布的（计价格【2002】1980号）及国家发改委颁布的（发改办价格【2003】85 7号）收费标准的75%（即下浮25%）进行收取。
17	代理服务费收取 方式	向中标/成交供应商收取
18	其他
19	开标解密时长	具体情况根据开标时现场采购代理机构人员设置为准。 说明：具体情况根据开标时现场代理机构人员设置为准
20	专门面向中小企 业采购	采购包1：非专门面向中小企业

三、说明

1.总则

采购人、采购代理机构及投标人进行的本次采购活动适用《中华人民共和国政府采购法》及其配套的法规、规章、政策。投标人应仔细阅读本项目招标公告及招标文件的所有内容（包括变更、补充、澄清以及修改等，且均为招标文件的组成部

分），按照招标文件要求以及格式编制投标文件，并保证其真实性，否则一切后果自负。本次公开招标项目，是以招标公告的方式邀请非特定的投标人参加投标。

2.适用范围

x招标文件仅适用于本次招标公告中所涉及的项目和内容。

3.进口产品

x本项目允许采购进口产品，供应商应保证所投产品可履行合法报通关手续进入中国关境内。若本项目不允许采购进口产品，如供应商所投产品为进口产品，其响应将被认定为响应无效。

4.投标的费用

不论投标结果如何，投标人应承担所有与准备和参加投标有关的费用。采购代理机构和采购人均无义务和责任承担相关费

用。

5.以联合体形式投标的，应符合以下规定：

5.1联合体各方均应当满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件，并在投标文件中提供联合体各方的相关证明材料。

5.2 联合体各方之间应签订共同投标协议书并在投标文件中提交，明确约定联合体各方承担的工作和相应的责任。联合体各方签订共同投标协议书后，不得再以自己名义单独在同一项目（采购包）中投标，也不得组成新的联合体参加同一项目（采

购包）投标，若违反规定则其参与的所有投标将视为无效投标。

5.3 联合体应以联合协议中确定的牵头方名义登录云平台项目采购系统进行项目投标，录入联合体所有成员单位的全称并使用成员单位的电子印章进行联投确认，联合体名称需与共同投标协议书签署方一致。对于需交投标保证金的，以牵头方名义缴纳。

5.4联合体成员存在不良信用记录的，视同联合体存在不良信用记录。

5.5联合体各方均应满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件。根据《中华人民共和国政府采购法实施条例》第二十二条，联合体中有同类资质的供应商按照联合体分工承担相同工作的，应当按照资质等级较低的供应商确定资质

等级。

5.6联合体各方应当共同与采购人签订采购合同，就合同约定的事项对采购人承担连带责任。

6.关联企业投标说明

6.1 对于不接受联合体投标的采购项目（采购包）：法定代表人或单位负责人为同一个人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一项目或同一采购包的投标。如同时参加，则其投标将被拒绝。

6.2 对于接受联合体投标的采购项目（采购包）：除联合体外，法定代表人或单位负责人为同一个人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一项目或同一采购包的投标。如同时参加，则评审时将同时被拒绝。

7.关于中小微企业投标

中小微企业响应是指在政府采购活动中，供应商提供的货物均由中小微企业制造、工程均由中小微企业承建或者服务均由中小微企业承接，并在响应文件中提供《中小企业声明函》。本条款所称中小微企业，是指在中华人民共和国境内依法设立，依据国务院批准的中小企业划分标准确定的中型企业、小型企业和微型企业，但与大企业的负责人为同一人，或者与大企业存在直接控股、管理关系的除外。符合中小企业划分标准的个体工商户，在政府采购活动中视同中小企业。 中小企业划分见

《关于印发中小企业划型标准规定的通知》（工信部联企业〔2011〕300号) 。

根据财库〔2014〕68号《财政部 司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》，监狱企业视同小微企业。 监狱企业是指由司法部认定的为罪犯、戒毒人员提供生产项目和劳动对象，且全部产权属于司法部监狱管理局、戒毒管理局、

直属煤矿管理局，各省、自治区、直辖市监狱管理局、戒毒管理局，各地(设区的市)监狱、强制隔离戒毒所、戒毒康复所，以及新疆生产建设兵团监狱管理局、戒毒管理局的企业。监狱企业投标时，提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件，不再提供《中小企业声明函》。

根据财库〔2017〕141号《财政部 民政部 中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》，在政府采购活动中，残疾人福利性单位视同小型、微型企业，享受政府采购支持政策的残疾人福利性单位应当同时满足《财政部 民政部 中

国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》所列条件。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。符合条件的残疾人福利性单位在参加政府采购活动时，应当提供《残疾人福利性单位声明函》，并对声明的真实性负 责。

8.纪律与保密事项

8.1投标人不得相互串通投标报价，不得妨碍其他投标人的公平竞争，不得损害采购人或其他投标人的合法权益，投标人不得以向采购人、评标委员会成员行贿或者采取其他不正当手段谋取中标。

8.2在确定中标供应商之前，投标人不得与采购人就投标价格、投标方案等实质性内容进行谈判，也不得私下接触评标委员会成员。

8.3在确定中标供应商之前，投标人试图在投标文件审查、澄清、比较和评价时对评标委员会、采购人和采购代理机构施加任何影响都可能导致其投标无效。

8.4获得本招标文件者，须履行本项目下保密义务，不得将因本次项目获得的信息向第三人外传，不得将招标文件用作本次投标以外的任何用途。

8.5由采购人向投标人提供的图纸、详细资料、样品、模型、模件和所有其它资料，均为保密资料，仅被用于它所规定的

用途。除非得到采购人的同意，不能向任何第三方透露。开标结束后，应采购人要求，投标人应归还所有从采购人处获得的保密资料。

8.6采购人或采购代理机构有权将供应商提供的所有资料向有关政府部门或评审小组披露。

8.7在采购人或采购代理机构认为适当时、国家机关调查、审查、审计时以及其他符合法律规定的情形下，采购人或采购

代理机构无须事先征求供应商同意而可以披露关于采购过程、合同文本、签署情况的资料、供应商的名称及地址、响应文件的有关信息以及补充条款等，但应当在合理的必要范围内。对任何已经公布过的内容或与之内容相同的资料，以及供应商已经泄露或公开的，无须再承担保密责任。

9.语言文字以及度量衡单位

9.1除招标文件另有规定外，投标文件应使用中文文本，若有不同文本，以中文文本为准。投标文件提供的全部资料中，若原件属于非中文描述，应提供具有翻译资质的机构翻译的中文译本。前述翻译机构应为中国翻译协会成员单位，翻译的中文译本应由翻译人员签名并加盖翻译机构公章，同时提供翻译人员翻译资格证书。中文译本、翻译机构的成员单位证书及翻译人员的资格证书可为复印件。

9.2除非招标文件的技术规格中另有规定，投标人在投标文件中及其与采购人和采购代理机构的所有往来文件中的计量单位均应采用中华人民共和国法定计量单位。

9.3投标人所提供的货物和服务均应以人民币报价，货币单位：元。

10. 现场踏勘（如有）

10.1招标文件规定组织踏勘现场的，采购人按招标文件规定的时间、地点组织投标人踏勘项目现场。

10.2投标人自行承担踏勘现场发生的责任、风险和自身费用。

10.3采购人在踏勘现场中介绍的资料和数据等，只是为了使投标人能够利用招标人现有的资料。招标人对投标人由此而作出的推论、解释和结论概不负责。

四、招标文件的澄清和修改

1.采购代理机构对招标文件进行必要的澄清或者修改的，在指定媒体上发布更正公告。澄清或者修改的内容可能影响投标文件编制的，更正公告在投标截止时间至少15日前发出；不足15日的，代理机构顺延提交投标文件截止时间。

2.更正公告及其所发布的内容或信息（包括但不限于：招标文件的澄清或修改、现场考察或答疑会的有关事宜等）作为招标文件的组成部分，对投标人具有约束力。一经在指定媒体上发布后，更正公告将作为通知所有招标文件收受人的书面形式。

3.如更正公告有重新发布电子招标文件的，供应商应登录云平台项目采购系统下载最新发布的电子招标文件制作投标文

件。

4.投标人在规定的时间内未对招标文件提出疑问、质疑或要求澄清的，将视其为无异议。对招标文件中描述有歧义或前后

不一致的地方，评标委员会有权进行评判，但对同一条款的评判应适用于每个投标人。

五、投标要求

1.投标登记

投标人应从广东省政府采购网（xxxxx://xxxxx.xxx.xx.xxx.xx/）上广东政府采购智慧云平台（以下简称“云平台”）的政府采购供应商入口进行免费注册后，登录进入项目采购系统完成项目投标登记并在线获取招标文件（未按上述方式获取招标文件的供应商，其投标资格将被视为无效）。

2.投标文件的制作

2.1投标文件中，所有内容均以电子文件编制，其格式要求详见第六章说明。如因不按要求编制导致系统无法检索、读取相关信息时，其后果由投标人承担。

2.2投标人应使用云平台提供的投标客户端编制、标记、加密投标文件，成功加密后将生成指定格式的电子投标文件和电子备用投标文件。所有投标文件不能进行压缩处理。关于电子投标报价（如有报价）说明如下：

(1)投标人应按照“第二章采购需求”的需求内容、责任范围以及合同条款进行报价。并按“开标一览表”和“分项报价表”规定的格式报出总价和分项价格。投标总价中不得包含招标文件要求以外的内容，否则，在评审时不予核减。

(2)投标报价包括本项目采购需求和投入使用的所有费用，包括但不限于主件、标准附件、备品备件、施工、服务、专用工具、安装、调试、检验、培训、运输、保险、税款等。

2.3 如有对多个采购包投标的，要对每个采购包独立制作电子投标文件。

2.4投标人不得将同一个项目或同一个采购包的内容拆开投标，否则其报价将被视为非实质性响应。

2.5投标人须对招标文件的对应要求给予唯一的实质性响应，否则将视为不响应。

2.6招标文件中，凡标有“★”的地方均为实质性响应条款，投标人若有一项带“★”的条款未响应或不满足，将按无效投标处理。

2.7投标人必须按招标文件指定的格式填写各种报价，各报价应计算正确。除在招标文件另有规定外（如：报折扣、报优惠率等），计量单位应使用中华人民共和国法定计量单位，以人民币填报所有报价。

2.8投标文件以及投标人与采购人、代理机构就有关投标的往来函电均应使用中文。投标人提交的支持性文件和印制的文件可以用另一种语言，但相应内容应翻译成中文，在解释投标文件时以中文文本为准。

2.9投标人应按招标文件的规定及附件要求的内容和格式完整地填写和提供资料。投标人必须对投标文件所提供的全部资

料的真实性承担法律责任，并无条件接受采购人和政府采购监督管理部门对其中任何资料进行核实（核对原件）的要求。采购人核对发现有不一致或供应商无正当理由不按时提供原件的，应当书面知会代理机构，并书面报告本级人民政府财政部门。

3.投标文件的提交

3.1在投标文件提交截止时间前，投标人须将电子投标文件成功完整上传到云平台项目采购系统，且取得投标回执。时间以云平台项目采购系统服务器从中国科学院国家授时中心取得的北京时间为准，投标截止时间结束后，系统将不允许投标人上传投标文件，已上传投标文件但未完成传输的文件系统将拒绝接收。

3.2代理机构对因不可抗力事件造成的投标文件的损坏、丢失的，不承担责任。

3.3出现下述情形之一，属于未成功提交投标文件，按无效投标处理：

（1）至提交投标文件截止时，投标文件未完整上传的。

（2）投标文件未按投标格式中注明需签字盖章的要求进行签名（含电子签名）和加盖电子印章，或签名（含电子签名）或电子印章不完整的。

（3）投标文件损坏或格式不正确的。

4.投标文件的修改、撤回与撤销

4.1在提交投标文件截止时间前，投标人可以修改或撤回未解密的电子投标文件，并于提交投标文件截止时间前将修改后重新生成的电子投标文件上传至系统，到达投标文件提交截止时间后，将不允许修改或撤回。

4.2在提交投标文件截止时间后，投标人不得补充、修改和更换投标文件。

5.投标文件的解密

到达开标时间后，投标人需携带并使用制作该投标文件的同一数字证书参加开标解密，投标人须在采购代理机构规定的时间内完成投标文件解密，投标人未携带数字证书或其他非系统原因导致的逾期未解密投标文件，将作无效投标处理。

6.投标保证金

6.1投标保证金的缴纳

投标人在提交投标文件时，应按投标人须知前附表规定的金额和缴纳要求缴纳投标保证金，并作为其投标文件的组成部

分。

如采用转账、支票、本票、汇票形式提交的，投标保证金从投标人基本账户递交，由广州市国科招标代理有限公司代收。具体操作要求详见广州市国科招标代理有限公司有关指引，递交事宜请自行咨询广州市国科招标代理有限公司；请各投标人在投标文件递交截止时间前按须知前附表规定的金额递交至广州市国科招标代理有限公司，到账情况以开标时广州市国科招标代理有限公司查询的信息为准。

如采用金融机构、专业担保机构开具的投标担保函、投标保证保险函等形式提交投标保证金的，投标担保函或投标保证保险函须开具给采购人（保险受益人须为采购人），并与投标文件一同递交。

投标人可通过"广东政府采购智慧云平台金融服务中心"(xxxxx://xxxxx.xxx.xx.xxx.xx/xxxxxxxxxx/xxx/xxxxxxxxx/)，

申请办理电子保函，电子保函与纸质保函具有同样效力。

注意事项：供应商通过线下方式缴纳保证金（转账、支票、汇票、本票、纸质保函）的，需准备缴纳凭证的扫描件作为核验凭证；通过电子保函形式缴纳保证金的，如遇开标或评标现场无法拉取电子保函信息时，可提供电子保函打印件或购买凭证作为核验凭证。相关凭证应上传至系统归档保存。

6.2投标保证金的退还：

（1）投标人在投标截止时间前放弃投标的，自所投采购包结果公告发出后5个工作日内退还。

（2）未中标的投标人投标保证金，自中标通知书发出之日起5个工作日内退还。

（3）中标供应商的投标保证金，自政府采购合同签订之日起5个工作日内退还。备注：但因投标人自身原因导致无法及时退还的除外。

6.3有下列情形之一的，投标保证金将不予退还：

（1）提供虚假材料谋取中标、成交的；

（2）投标人在招标文件规定的投标有效期内撤销其投标；

（3）中标后，无正当理由放弃中标资格；

（4）中标后，无正当理由不与采购人签订合同；

（5）法律法规和招标文件规定的其他情形。

7.投标有效期

7.1投标有效期内投标人撤销投标文件的，采购人或者采购代理机构可以不退还投标保证金（如有）。采用投标保函方式替代保证金的，采购人或者采购代理机构可以向担保机构索赔保证金。

7.2出现特殊情况需延长投标有效期的，采购人或采购代理机构可于投标有效期满之前要求投标人同意延长有效期，要求与答复均以书面形式通知所有投标人。投标人同意延长的，应相应延长其投标保证金（如有）的有效期，但不得要求或被允许

修改或撤销其投标文件；投标人可以拒绝延长有效期，但其投标将会被视为无效，拒绝延长有效期的投标人有权收回其投标保证金（如有）。采用投标保函方式替代保证金的，投标有效期超出保函有效期的，采购人或者采购代理机构应提示投标人重新开函，未获得有效保函的投标人其投标将会被视为无效。

8.样品（演示）

8.1招标文件规定投标人提交样品的，样品属于投标文件的组成部分。样品的生产、运输、安装、保全等一切费用由投标人自理。

8.2投标截止时间前，投标人应将样品送达至指定地点。若需要现场演示的，投标人应提前做好演示准备（包括演示设备）。

8.3采购结果公告发布后，中标供应商的样品由采购人封存，作为履约验收的依据之一。未中标供应商在接到采购代理机构通知后，应按规定时间尽快自行取回样品，否则视同供应商不再认领，代理机构有权进行处理。

9.除招标文件另有规定外，有下列情形之一的，投标无效：

9.1投标文件未按照招标文件要求签署、盖章；

9.2不符合招标文件中规定的资格要求；

9.3投标报价超过招标文件中规定的预算金额或最高限价；

9.4投标文件含有采购人不能接受的附加条件；

9.5有关法律、法规和规章及招标文件规定的其他无效情形。

六、开标、评标和定标

1.开标

1.1 开标程序

招标工作人员按招标公告规定的时间进行开标，由采购人或者采购代理机构工作人员宣布投标人名称、解密情况，投标价格和招标文件规定的需要宣布的其他内容（以开标一览表要求为准）。开标分为现场电子开标和远程电子开标两种。

采用现场电子开标的：投标人的法定代表人或其委托代理人应当按照本招标公告载明的时间和地点前往参加开标，并携带

编制本项目（采购包）电子投标文件时加密所用的数字证书、存储有备用电子投标文件的U盘前往开标现场。

采用远程电子开标的：投标人的法定代表人或其授权代表应当按照本招标公告载明的时间和模式等要求参加开标。在投标

截止时间前30分钟，应当登录云平台开标大厅进行签到，并且填写授权代表的姓名与手机号码。若因签到时填写的授权代表信息有误而导致的不良后果，由供应商自行承担。

开标时，投标人应当使用编制本项目（采购包）电子投标文件时加密所用数字证书在开始解密后按照代理机构规定的时间内完成电子投标文件的解密，如遇不可抗力等其他特殊情况，采购代理机构可视情况延长解密时间。投标人未携带数字证书或其他非系统原因导致的在规定时间内未解密投标文件，将作无效投标处理。（采用远程电子开标的，各投标人在参加开标以前须自行对使用电脑的网络环境、驱动安装、客户端安装以及数字证书的有效性等进行检测，确保可以正常使用）。

如在电子开标过程中出现无法正常解密的，代理机构可根据实际情况开启上传备用电子投标文件通道。系统将对上传的备用电子投标文件的合法性进行验证，若发现提交的备用电子投标文件与加密的电子投标文件版本不一致（即两份文件不是编制投标文件同时生成的），系统将拒绝接收，视为无效投标。如供应商无法在代理规定的时间内完成备用电子投标文件的上传，投标将被拒绝，作无效投标处理。

1.2开标异议

投标人代表对开标过程和开标记录有疑义，以及认为采购人、采购代理机构相关工作人员有需要回避的情形的，应当场提出询问或者回避申请。投标人未参加开标的，视同认可开标结果。

1.3 投标截止时间后，投标人不足须知前附表中约定的有效供应商家数的，不得开标。同时，本次采购活动结束。

1.4开标时出现下列情况的，视为投标无效处理：

（1）经检查数字证书无效的；

（2）因投标人自身原因，未在规定时间内完成电子投标文件解密的；

（3）如需使用备用电子投标文件解密时，在规定的解密时间内无法提供备用电子投标文件或提供的备用电子投标文件与加密的电子投标文件版本不一致（即两份文件不是投标客户端编制同时生成的）。

2.评审（详见第四章）

3.定标

3.1中标公告：

中标供应商确定之日起2个工作日内， 采购人或采购代理机构将在中国政府采购网(xxx.xxxx.xxx.xx)、广东省政府采购网(xxxxx://xxxxx.xxx.xx.xxx.xx/)广州市国科招标代理有限公司网（xxx.xxxxxxxxxxx.xxx）上以公告的形式发布中标结果，中标公告的公告期限为 1 个工作日。中标公告同时作为采购代理机构通知除中标供应商外的其他投标人没有中标的书面形式，采购代理机构不再以其它方式另行通知。

3.2中标通知书：

中标通知书在发布中标公告时，在云平台同步发送至中标供应商。中标供应商可在云平台自行下载打印《中标通知书》，

《中标通知书》将作为授予合同资格的唯一合法依据。中标通知书发出后，采购人不得违法改变中标结果，中标供应商不得放弃中标。中标供应商放弃中标的，应当依法承担相应的法律责任。

3.3终止公告：

项目废标后，采购人或采购代理机构将在中国政府采购网(xxx.xxxx.xxx.xx)、广东省政府采购网 (xxxxx://xxxxx.xxx.xx.xxx.xx/)、广州市国科招标代理有限公司网（xxx.xxxxxxxxxxx.xxx）上发布终止公告，终止公告的公告期限为1个工作日。

七、询问、质疑与投诉

1.询问

投标人对政府采购活动事项（招标文件、采购过程和中标结果）有疑问的，可以向采购人或采购代理机构提出询问，采购人或采购代理机构将及时作出答复，但答复的内容不涉及商业秘密。询问可以口头方式提出，也可以书面方式提出，书面方式包括但不限于传真、信函、电子邮件。联系方式见《投标邀请函》中“采购人、采购代理机构的名称、地址和联系方式”。

2.质疑

2.1供应商认为招标文件、采购过程和中标结果使自己的权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，以书面原件形式向采购人或采购代理机构一次性提出针对同一采购程序环节的质疑，逾期质疑无效。供应商应知其权益受到损害之日是指：

(1)对招标文件提出质疑的，为获取招标文件之日或者招标文件公告期限届满之日； (2)对采购过程提出质疑的，为各采购程序环节结束之日；

(3)对中标结果提出质疑的，为中标结果公告期限届满之日。 2.2质疑函应当包括下列主要内容：

(1)质疑供应商和相关供应商的名称、地址、邮编、联系人及联系电话等； (2)质疑项目名称及编号、具体明确的质疑事项和与质疑事项相关的请求；

(3)认为采购文件、采购过程、中标和成交结果使自己的合法权益受到损害的法律依据、事实依据、相关证明材料及证据来源；

(4)提出质疑的日期。

2.3 质疑函应当署名。质疑供应商为自然人的，应当由本人签字；质疑供应商为法人或者其他组织的，应当由法定代表人、主要负责人，或者其授权代表签字或者xx，并加盖公章。

2.4以联合体形式参加政府采购活动的，其质疑应当由联合体成员委托主体提出。

2.5供应商质疑应当有明确的请求和必要的证明材料。质疑内容不得含有虚假、恶意成份。依照谁主张谁举证的原则，提出质疑者必须同时提交相关确凿的证据材料和注明证据的确切来源，证据来源必须合法，采购人或采购代理机构有权将质疑函

转发质疑事项各关联方，请其作出解释说明。对捏造事实、滥用维权扰乱采购秩序的恶意质疑者，将上报政府采购监督管理部门依法处理。

2.6质疑联系方式如下：

质疑联系人：xxx、x先生

电话：000-00000000、000-00000000传真：020-87685201

邮箱：xxxx@xxxxxxxxxxx.xxx

地址：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）邮编：510070

3.投诉

质疑人对采购人或采购代理机构的质疑答复不满意或在规定时间内未得到答复的，可以在答复期满后15个工作日内，按如下联系方式向本项目监督管理部门提起投诉。

政府采购监督管理机构名称：佛山市南海区财政局政府采购管理股

地 址：佛山市南海区桂城街道南新三路20号电 话：0757-86282779、86282776

邮 编：528200传 真：-

八、合同签订和履行

1.合同签订

1.1采购人应当自《中标通知书》发出之日起三十日内，按照招标文件和中标供应商投标文件的约定，与中标供应商签订合同。所签订的合同不得对招标文件和中标供应商投标文件作实质性修改。超过30天尚未完成政府采购合同签订的政府采购项目，采购人应当登录广东省政府采购网，填报未能依法签订政府采购合同的具体原因、整改措施和预计签订合同时间等信

息。

1.2采购人不得提出试用合格等任何不合理的要求作为签订合同的条件，且不得与中标供应商私下订立背离合同实质性内

容的协议。

1.3采购人应当自政府采购合同签订之日起2个工作日内，将政府采购合同在省级以上人民政府财政部门指定的媒体上公告，但政府采购合同中涉及国家秘密、商业秘密的内容除外。

1.4采购人应当自政府采购合同签订之日起2个工作日内，登录广东省政府采购网上传政府采购合同扫描版，如实填报政府采购合同的签订时间。依法签订的补充合同，也应在补充合同签订之日起2个工作日内公开并备案采购合同。

2.合同的履行

2.1政府采购合同订立后，合同各方不得擅自变更、中止或者终止合同。政府采购合同需要变更的，采购人应将有关合同变更内容，以书面形式报政府采购监督管理机关备案；因特殊情况需要中止或终止合同的，采购人应将中止或终止合同的理由以及相应措施，以书面形式报政府采购监督管理机关备案。

2.2政府采购合同履行中，采购人需追加与合同标的相同的货物、工程或者服务的，在不改变合同其他条款的前提下，可以与中标供应商签订补充合同，但所补充合同的采购金额不得超过原采购金额的10%。依法签订的补充合同，也应在补充合同签订之日起2个工作日内登录广东省政府采购网上传备案。

第四章 评标

一、评标要求

1.评标方法

采购包1(广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台)：综合评分法,是指投标文件满足招标文件全部实质性要求，且按照评审因素的量化指标评审得分最高的投标人为中标候选人的评标方法。（最低报价不是中标的唯一依据。）

2.评标原则

2.1评标活动遵循公平、公正、科学和择优的原则，以招标文件和投标文件为评标的基本依据，并按照招标文件规定的评标方法和评标标准进行评标。

2.2具体评标事项由评标委员会负责，并按招标文件的规定办法进行评审。

2.3合格投标人不足须知前附表中约定的有效供应商家数的，不得评标。

3.评标委员会

3.1评标委员会由采购人代表和评审专家组成，成员人数应当为5人及以上单数，其中评审专家不得少于成员总数的三分之二。

3.2评标应遵守下列评标纪律：

（1）评标情况不得私自外泄，有关信息由广州市国科招标代理有限公司统一对外发布。

（2）对广州市国科招标代理有限公司或投标人提供的要求保密的资料，不得摘记翻印和外传。

（3）不得收受投标供应商或有关人员的任何礼物，不得串联鼓动其他人袒护某投标人。若与投标人存在利害关系，则应主动声明并回避。

（4）全体评委应按照招标文件规定进行评标，一切认定事项应查有实据且不得弄虚作假。

（5）评标委员会各成员应当独立对每个投标人的投标文件进行评价，并对评价意见承担个人责任。评审过程中，不得发表倾向性言论。

※对违反评标纪律的评委，将取消其评委资格，对评标工作造成严重损失者将予以通报批评乃至追究法律责任。

4.有下列情形之一的，视为投标人串通投标，其投标无效；

4.1不同投标人的投标文件由同一单位或者个人编制；

4.2不同投标人委托同一单位或者个人办理投标事宜；

4.3不同投标人的投标文件载明的项目管理成员或者联系人员为同一人；

4.4不同投标人的投标文件异常一致或者投标报价呈规律性差异；

4.5不同投标人的投标文件相互混装；

4.6不同投标人的投标保证金或购买电子保函支付款为从同一单位或个人的账户转出；

4.7投标人上传的电子投标文件使用该项目其他投标人的数字证书加密的或加盖该项目的其他投标人的电子印章的。

说明：在评标过程中发现投标人有上述情形的，评标委员会应当认定其投标无效。同时，项目评审时被认定为串通投标的投标人不得参加该合同项下的采购活动。

5.投标无效的情形

详见资格性审查、符合性审查和招标文件其他投标无效条款。

6.定标

评标委员会按照招标文件确定的评标方法、步骤、标准，对投标文件进行评审。评标结束后，对投标人的评审名次进行排序，确定中标供应商或者推荐中标候选人。

7.价格修正

对报价的计算错误按以下原则修正：

（1）投标文件中开标一览表内容与投标文件中相应内容不一致的，以开标一览表为准；

（2）大写金额和小写金额不一致的，以大写金额为准；

（3）单价金额小数点或者百分比有明显错位的，以开标一览表的总价为准，并修改单价。

（4）总价金额与按单价汇总金额不一致的，以单价金额计算结果为准。但是单价金额计算结果超过预算价的，对其按无效投标处理。

（5）若投标客户端上传的电子报价数据与电子投标文件价格不一致的，以电子报价数据为准。

注：同时出现两种以上不一致的，按照前款规定的顺序在系统上进行价格澄清。澄清后的价格加盖电子印章确认后产生约束力，但不得超出投标文件的范围或者改变投标文件的实质性内容，投标人不确认的，其投标无效。

二.政府采购政策落实

1.节能、环保要求

采购的产品属于品目清单范围的，将依据国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的节能产品、环境标志产品认证证书，对获得证书的产品实施政府优先采购或强制采购，具体按照本招标文件相关要求执行。

相关认证机构和获证产品信息以市场监管总局组织建立的节能产品、环境标志产品认证结果信息发布平台公布为准。

2.对小型、微型企业、监狱企业或残疾人福利性单位给予价格扣除

依照《政府采购促进中小企业发展管理办法》、《支持监狱企业发展有关问题的通知》和《财政部 民政部 中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》的规定，凡符合享受《政府采购促进中小企业发展管理办法》规定的中小企业扶持政策的单位，按照以下比例给予相应的价格扣除：（监狱企业、残疾人福利性单位视同为小、微企业）。

3.价格扣除相关要求

采购包1（广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台）：

序号	情形	适用对象	价格扣除比例	计算公式
				1、根据财政部、工业和信息化部印发的《政府采购促进中 小企业发展管理办法》（财库 〔2020〕46号）的规定，对符合该办法规定的小微企业报价给予P1（货物、服务项目P 1的取值为10%，工程项目P1的取值为5%）的扣除，用扣除后的价格参与评审。 2、《政府采购促进中小企业发展管理办法》所称中小企业是指在中华人民共和国境内依法设立 ，依据国务院批准的中小企业划分标准确定的中型企业、小型企业和微型企业，但与大企业的负责人为同一人，或者与大企业存在直接控股、管理关

1
小型、微型企业，监狱企业，残疾人福利性单位
货物由小微企业制造
10% 系的除外。符合中小企业划分 标准的个体工商户，在政府采购活动中视同中小企业。 3、在政府采购活动中，供应商提供的货物、工程或者服务符合下列情形的，享受中小企业扶持政策： （1）符合《工业和信息化部、国家统计局、国家发展和改革委员会、财政部关于印发中小企业划型标准规定的通知》（工信部联企业[20 11]300号）规定的划分标准 ； （2）在货物采购项目中，货物由中小企业制造，即货物由中小企业生产且使用该中小企业商号或者注册商标； （3 ）在工程采购项目中，工程由中小企业承建，即工程施工单位为中小企业； （4）在服务采购项目中，服务由中小企业承接，即提供服务的人员为中小企业依照《中华人民共和国劳动合同法》订立劳动合同的从业人员。 （5）在货物采购项目中，供应商提供的货物既有中小企业制造货物，也有大型企业制造货物的，不享受本办法规定的中小企业扶持政策 。 4、在本项目政府采购活动中，对符合《政府采购促进中小企业发展管理办法》规定的小微企业报价给予一定比例的扣除，用扣除后的价格参加评审。具体扣除办法如下： 投标人提供的货物全部由符合政策要求的小型或微型企业制造 （工程的施工单位全部为符合政策要求的小型、微型企业，或者服务全部由符合政策要求的小型、微型企业承接），对投标人的报价给予P1的价格

扣除，即：评标价＝投标价×

（1-P1）。 5、参加本项目投标的小型和微型企业应当提供

《中小企业声明函》，否则不得享受相关中小企业扶持政策

。中标、成交供应商享受中小企业扶持政策的，随中标、成交结果公开中标、成交供应商的《中小企业声明函》。供应商提供《中小企业声明函》内容不实的，属于提供虚假材料谋取中标、成交，依照《中华人民共和国政府采购法》等国

家有关规定追究相应责任。 6

、监狱企业参加政府采购活动时，应当提供由省级以上监狱

管理局、戒毒管理局(含新疆

生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件。 7、根据

《关于促进残疾人就业政府采

购政策的通知(财库〔2017〕 141号)》，残疾人福利性单位参加政府采购活动时，应当提供《残疾人福利性单位声明函》，并对声明的真实性负责

。残疾人福利性单位属于小型

、微型企业的，不重复享受政策。

1、如投标产品属于《节能产品政府采购品目清单》中所列

的产品，供应商必须在投标文件中明确列明具体产品的名称并提供国家确定的认证机构出具的处于有效期之内的节能产品认证证书。节能产品政府采购品目清单在中国政府采购网

（http：//xxx.xxxx.xxx .c

n/）上发布。（适用于优先采购节能产品，强制节能产品不

享受价格扣除） 2、对节能产

品价格扣除的规定： （1）投

2	节能、环保产品	——	4%	标人须按“政策适用性说明”填 写，并同时提供国家确定的认证机构出具的处于有效期之内 的认证证书； （2）扣除方法 如下：节能产品金额占项目总 金额的比重达到30％及以上的，扣2％。 特别说明：已经作为评审因素进行评分的不再进行价格扣除。 3、如投标产品属于《环境标志产品政府采购品目清单》中所列的产品，供应商必须在投标文件中明确列明具体产品的名称并提供国家确定的认证机构出具的处于有效期之内的环境标志产品认证证书。环境标志产品政府采购品目清单在中国政府采购网 （xxxx://xxx.xxxx.xxx.xx/ ）上发布。 4、对环境标志产品价格扣除的规定： （1）投标人须按“政策适用性说明”填写，并同时提供国家确定的认 证机构出具的处于有效期之内 的认证证书； （2）扣除方法如下：环境标志产品金额占项目总金额的比重达到30％及以上的，扣2％。 特别说明：已经作为评审因素进行评分的不再进行价格扣除。
注：（1）上述评标价仅用于计算价格分，成交金额以实际投标价为准。 （2）组成联合体的大中型企业和其他自然人、法 人或者其他组织、与小型、微型企业之间不得存在投资关系。

（1）所称小型和微型企业应当符合以下条件：

在中华人民共和国境内依法设立，依据国务院批准的中小企业划分标准确定的小型企业和微型企业，但与大企业的负责人为同一人，或者与大企业存在直接控股、管理关系的除外。

符合中小企业划分标准的个体工商户，在政府采购活动中视同中小企业。

提供本企业（属于小微企业）制造的货物或者提供其他小型或微型企业制造的货物/提供本企业（属于小微企业）承接的服务。

（2）符合中小企业扶持政策的投标人应填写《中小企业声明函》；监狱企业须投标人提供由监狱管理局、戒毒管理局

（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位应填写《残疾人福利性单位声明函》，否则不认

定价格扣除。

说明：投标人应当对其出具的《中小企业声明函》真实性负责，投标人出具的《中小企业声明函》内容不实的，属于提供虚假材料谋取中标。

（3）投标（响应）供应商统一在一份《中小企业声明函》中说明联合体各方的中小微情况：包括联合体各方均为小型、

微型企业的，及中小微企业作为联合体一方参与政府采购活动，且共同投标协议书中约定，小型、微型企业的协议合同金额占到联合体协议合同总金额30%以上的。

三、评审程序

1.资格性审查和符合性审查

资格性审查。公开招标采购项目开标结束后，采购人或采购代理机构应当依法对投标人的资格进行审查，以确定投标人是否具备投标资格。（详见后附表一资格性审查表）

符合性审查。评标委员会依据招标文件的规定，从投标文件的有效性、完整性和对招标文件的响应程度进行审查，以确定是否对招标文件的实质性要求作出响应。（详见后附表二符合性审查表）

资格性审查和符合性审查中凡有其中任意一项未通过的，评审结果为未通过，未通过资格性审查、符合性审查的投标人按无效投标处理。

对各投标人进行资格审查和符合性审查过程中，对初步被认定为无效投标者，由评标委员会组长或采购人代表将集体意见及时告知投标当事人。

评标委员会认为投标人的报价明显低于其他通过符合性审查投标人的报价，有可能影响产品质量或者不能诚信履约的，应当要求其在评标现场合理的时间内提供书面说明，必要时提交相关证明材料；投标人不能证明其报价合理性的，评标委员会应当将其作为无效投标处理。

合格投标人不足3家的，不得评标。

表一资格性审查表：

采购包1（广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台）：

序号	资格审查内容
1	具有独立承担民事责任的能力	在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人，投标时提交有效的营业执照（或事业法人登记证或身份证等相关证明）副本复印件。分支机构投标（响应）的，须提供总公司和分公司营业执照副本复印件，总公司出具给分支机构的授权书 。
2	有依法缴纳税收和社会保障 资金的良好记录	提供投标截止日前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料。如 依法免税或不需要缴纳社会保障资金的，提供相应证明材料。
3	具有良好的商业信誉和健全 的财务会计制度	供应商必须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2021年度或2022年 任意1个月的财务状况报告，或基本开户行出具的资信证明）。
4	履行合同所必需的设备和专 业技术能力	按投标文件格式填报设备及专业技术能力情况。
5	参加采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录	参照投标函相关承诺格式内容。 重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（根据财 库〔2022〕3号文，“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款，法律、行政法规 以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的，从其规定。）
6	信用记录	供应商未被列入“信用中国”网站(xxx.xxxxxxxxxxx.xxx.xx)“记录失信被执行人或重大税收违法失信主体或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网(xxx.xxxx.xxx.xx)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加 政府采购活动期间。（以采购代理机构于投标（响应）截止时间当天在“信用中国”网站（xxx.xxxxxxxxxxx.xxx.xx）及中国政府采购网（xxxx://xxx.xxxx.xxx.xx /）查询结果为准，如相关失信记录已失效，供应商需提供相关证明资料）。
7	供应商必须符合法律、行政法规规定的其他条件	单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加本采购项目（采购包）投标。 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理 、检测等服务的供应商，不得再参与本项目投标。 投标函相关承诺要求内容。
8	特定资格要求（已获取本项 目采购文件）	已获取本项目采购文件。
9	落实政府采购政策需满足的 资格要求	本采购包不属于专门面向中小企业采购的项目。

表二符合性审查表：

采购包1（广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台）：

序号	评审点要求概况	评审点具体描述
1	投标函	投标函
2	授权文件	法定代表人（负责人）证明书、法定代表人（负责人）授权委托书
3	投标有效期	投标有效期：90天
4	签署、盖章	投标文件按照项目采购文件规定要求签署、盖章
5	投标报价	投标报价是固定唯一价且未超过本项目采购预算
6	带“★”号条款	能满足采购需求的主要参数（带“★”号条款）
7	附加条件	投标文件没有采购人不能接受的附加条件
8	其他无效情形	未出现法律、法规和项目采购文件规定的其他无效情形
9	进口情况	采购文件要求采购本国产品时未以进口产品投标

2.投标文件澄清

2.1对于投标文件中含义不明确、同类问题表述不一致或者有明显文字和计算错误的内容，评标委员会可在评审过程中发起在线澄清，要求投标人针对价格或内容做出必要的澄清、说明或补正。代理机构可根据开标环节记录的授权代表人联系方式发送短信提醒或电话告知。

投标人需登录广东政府采购智慧云平台项目采购系统的等候大厅，在规定时间内完成澄清（响应），并加盖电子印章。 若因投标人联系方式错误未接收短信、未接听电话或超时未进行澄清（响应）造成的不利后果由供应商自行承担。投标人

的澄清、说明或者补正不得超出投标文件的范围或者改变投标文件的实质性内容。

2.2评标委员会不接受投标人主动提出的澄清、说明或补正。

2.3评标委员会对投标人提交的澄清、说明或补正有疑问的，可以要求投标人进一步澄清、说明或补正。

3.详细评审

采购包1广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台

评审因素	评审标准
分值构成	商务部分10.0分技术部分60.0分 报价得分30.0分
	技术参数响应情况 (37.0分)	技术（参数）要求中 的“▲”号条款为重要技术参数（共37项），完全满足或有优于得37分。每有一项不满足（负偏离）扣1分，扣完为止。 备注：对于带“▲”条款，投标人须提供所投设备彩页（如生产厂家的彩页为英文版，请同时提供中文版，同时在产品彩页上标记与招标文件对应点的技术 条款），或经生产厂家盖章的技术条款证明文件。
	产品配置的领先性、完整性和适用性 (5.0分)	（1）所投产品配置完整、技术先进，完全能满足且优于采购人的使用要 求的，得5分； （2）所投产品配置基本完整、能满足采购人的使用要求的 ，得3分； （3）所投产品配置未提供完整的，不能完全满足采购人使用要 求的，得1分。 （4）未提供相关说明的得0分。

技术部分	产品质量保障 (5.0分)	（1）所投产品的主要技术、结构、性能、特点、操作说明和质量水平的描述详细，能清晰地反映产品的性能特点和质量状况，且能完全满足采购 人需求的，得5分； （2）所投产品的性能特点、质量水平等描述基本完整 ，基本能满足采购人需求的，得3分； （3）所投产品的性能特点、质量水平等介绍描述完整性较差或未描述完整的，得1分； （4）未提供相关说明的得0分。
	安装指导及调试方案 (3.0分)	（1）安装调试方案具体科学、培训计划全面、实施方案可行，得3分； （ 2）安装调试方案较具体合理、培训计划较全面、实施方案基本可行，得2分； （3）安装调试方案不够具体合理、培训计划不够全面、实施方案基 本可行，得1分； （4）不提供不得分。
	人员技术支持及应急方案 (5.0 分)	（1）技术人员的资质水平高、备件响应、维修响应时间及到达现场解决 故障时间应急方案详细且可行性强的，得5分； （2）技术人员的资质水平普通、备件响应、维修响应时间及到达现场解决故障时间应急方案较详细 、可行性较强的，得3分； （3）技术人员的资质水平不足、备件响应、维修响应时间及到达现场解决故障时间应急方案简单且缺少可行性，得1分 ； （4）不提供不得分。
	售后服务方案 (5.0分)	对投标人提供的售后服务方案中的售后服务内容、售后服务措施、售后 服务团队及人员安排等内容进行评审： （1）售后服务保障体系完善、科学、详实，得5分； （2）售后服务内容不全、保障体系欠缺的，得3分； （3）售后服务方案不满足项目需求的，得1分； （4）不提供不得分。
商务部分	商务响应程度 (4.0分)	（1）投标人完全满足且优于本项目商务要求的，得4分； （2）投标人完全满足本项目商务要求的，得2分； （3）投标人有负偏离本项目商务要求 的，得0分。
	同类项目业绩 (6.0分)	投标人2019年1月1日（以合同或技术协议签订时间为准）至今同类设备项目业绩情况，每提供一项业绩得1分，最高得6分。 注：须在投标文件中提供合同复印件或技术协议复印件；同一项目的业绩不重复计分。提供 合同模糊导致专家无法认定的，不得分。
投标报价	投标报价得分 (30.0分)	满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价。 投标报价得 分=（评标基准价/投标报价）×价格分分值 评标过程中，不得去掉报价中的最高报价和最低报价。 因落实政府采购政策进行价格调整的，以调整后的价格计算评标基准价和投标报价。

4.汇总、排序

采购包1：

评标结果按评审后总得分由高到低顺序排列。总得分相同的按投标报价由低到高顺序排列。得分且投标报价相同的，由评委会采取随机抽取的方式确定。排名第一的投标供应商为第一中标候选人，排名第二的投标供应商为第二中标候选人（提供相同品牌产品（非单一产品采购，以核心产品为准。多个核心产品的，有一种产品品牌相同，即视为提供相同品牌产品），评审后得分最高的同品牌投标人获得中标人推荐资格；评审得分相同的，由采购人或者采购人委托评标委员会采取随机抽取方式确定，其他同品牌投标人不作为中标候选人）。

5.中标价的确定

除了按第四章第一点第7条修正并经投标人确认的投标报价作为中标价外，中标价以开标时公开唱标价为准。

6.其他无效投标的情形：

(1)评标期间，投标人没有按评标委员会的要求提交法定代表人或其委托代理人签字的澄清、说明、补正或改变了投标文件的实质性内容的。

(2)投标文件提供虚假材料的。

(3)投标人以他人名义投标、串通投标、以行贿手段谋取中标或者以其他弄虚作假方式投标的。

(4)投标人对采购人、采购代理机构、评标委员会及其工作人员施加影响，有碍招标公平、公正的。 (5)投标文件含有采购人不能接受的附加条件的。

(6)法律、法规和招标文件规定的其他无效情形。

第五章 合同文本

佛山市南海区政府采购项目合 同 书

项目编号：      

项目名称：      

甲 方：	采购人名称
乙 方：	（中标/成交供应商名称）
签订日期：	年 月 日

注：本合同仅为合同的参考文本，可根据项目的具体要求进行修订。

佛山市政府采购项目合同书

项目名称：
项目编号：
甲 方：	（采购人名称）
乙 方：	（中标/成交供应商）
合同见证方：	广州市国科招标代理有限公司

根据《中华人民共和国政府采购法》《中华人民共和国民法典》和本项目采购文件的要求，经双方协商，本着平等互利和诚实信用的原则，一致同意签订本合同如下。

一、项目主要内容及实现功能目标：

（按照采购文件和投标/响应文件执行）

二、产品及服务供应清单： 见附件一《报价清单明细表》。三、基本合同条款一览表

序号	合同条款	内 容
1	合同总额	人民币 小写：    大写：
2	合同总额内容	（1）合同总额包括……、保期售后服务费、各种税务费及合同实施过程中的不可预见费用等。 （2）价格为固定不变价，天数为公历日。
3	交货及安装地点	甲方（用户）指定地点。详细地址为：
4	项目完工期
5	质量保证期
6	付款方式	（1）预付款：合同生效之日起 天内，支付合同总价的 %； （2）设备安装调试结束，提交全部报告材料，调试完成并验收合格后，支付至合同总价的 %； （3）从验收合格之日起，正常使用 个月后，支付合同总价 的 %。
7	付款要求	（1）乙方须向甲方提供依法纳税的发票。 （2）货款以转账方式转入乙方的银行账户。 （3）收款方、出具发票方、合同乙方均必须与中标（成交）供应商名称一致。
8	……

四、安装与调试：

以符合采购文件要求和响应承诺的前提下，乙方将设备（系统）安装并调试至正常运行的最佳状态且双方均认为满意。五、验收标准与要求：

1、交付验收：在设备安装调试完毕、工程初步验收合格后5个工作日内，乙方以甲方的名义作为终端客户，负责办理所有产品设备(包括

保修卡)的一切保修注册备案手续，然后由双方或法定专业质检部门共同验收并出具验收确认书，验收交付前的保管安全责任由乙方负责，甲方为此可无偿提供必要的临时仓储场所。

2、项目验收依次序对照执行标准为：①符合中华人民共和国国家和履约地相关安全质量标准、行业技术规范标准、环保节能标准；➁符合采购文件和响应承诺中各方共同认可的合理最佳配置、参数规格及各项要求；③符合产品来源国官方颁布的最新标准；④双方约定的其他验收标准。

3、产品均为近10个月内原厂制造的全新合格产品，且有合法透明的来源渠道，整机无污染、无侵权行为、表面无划损、无任何缺陷隐患，可依常规合法安全使用。

4、包装标准为原厂制造商未启封全新包装，序列号、包装箱号与出厂批号一致，并可追索查阅。

5、其他验收要求：（补充内容不得对采购文件和投标/响应文件作实质性修改）

                   。

六、质保期及售后服务要求：

1、质量保证期（简称“质保期”）内乙方对所供货物实行包修、包换、包退、包维护保养，期满后可同时提供终身（免费/有偿）维修保养服务。质保期内甲方对乙方享有追索权。

2、质保期内，如设备或零部件非人为因素出现故障而造成短期停用时，则质保期和免费维修期相应顺延。如货物因自身故障致停用时间

累计超过 天时，则质保期在状态恢复正常时归零重新计算或对故障设备予以重新更换。

3、质保期内提供周期上门免费服务：（按乙方的投标/响应文件和承诺文件内容） ：

                   。

4、乙方负责向甲方提供现场安全操作及必要的维护保养培训。

5、乙方设有长期稳定可靠的售后服务机构，并提供常设服务专线和长期的免费技术支持（按乙方的投标/响应文件和承诺文件内容） ：

                   。

6、若主要设备的故障在24小时内仍未处理完毕，乙方必须免费提供相同档次的设备予甲方临时使用或采取应急措施解决，不得影响甲方的正常工作业务。

7、乙方售后服务机构名称及地址：

联系人1：	，联系电话：	，手机：	；
联系人2：	，联系电话：	，手机：	；

8、其他售后服务补充内容：（补充内容不得对采购文件和投标/响应文件作实质性修改）

                   。

七、知识产权和保密要求：

                   。

八、违约责任：

1、乙方未按要求履行合同义务时，须从违约之日起每日按合同总额的 比例向甲方支付违约金；逾期 日以上时，甲方有权终止合同，由此造成甲方的经济损失由乙方承担。违约金不足以弥补损失的，乙方应按全额赔偿。

2、甲方未按要求履行合同义务时，或无故拖延验收、付款时，甲方须向乙方支付滞纳金，标准为每日按逾期应付款总额的1‰累计。

九、提出异议的时间和方法：

1、甲方在验收后 天内如对货物的型号、规格、质量有异议时，应在妥善保管货物的同时，即向乙方提出书面异议。

2、乙方在接到甲方书面异议后，应在3天内负责处理并函复甲方处理情况，否则，即视为默认甲方提出的异议和处理意见。

3、甲方因违章操作、保管、保养不善等人为造成货物损毁，所提出的异议乙方有权不予接受。

4、乙方利用专业技术和行业信息优势之便，以不道德的手段，故意隐瞒和掩盖自身缔约过失，违背投标（响应）承诺和未尽义务，损害了甲方的合法权益，甲方在任何时候均可追究乙方的违约责任并索取赔偿，且不受验收程序、质保期和合同时效的限制。

十、争议的解决：

1、合同履行过程中发生的任何争议，如双方未能通过友好协商解决，应向佛山市有管辖权的人民法院提起诉讼。对所交付标的物质量有争议的，统一由佛山市辖属的专业检测机构进行终局鉴定，鉴定结果符合质量技术标准时，鉴定费由委托方承担；否则鉴定费由乙方承担。

2、法院审理期间，除提交法院审理的事项外，其它无争议的事项和条款仍应继续履行。

十一、不可抗力：

任何一方由于不可抗力原因不能履行合同时，应在不可抗力事件结束后48小时内向对方通报，以减轻可能给对方造成的损失，在取得有关机构的不可抗力证明或双方谅解确认后，允许延期履行或修订合同，并根据情况可部分或全部免于承担违约责任。

十二、税费：

1、本合同实施过程中所发生的一切税费及不可预见费均由乙方承担。

2、乙方依照税务规章优先在合同履约地开具发票及纳税，咨询：0757-12366。十三、合同生效与合同备案：

1、本合同在甲乙双方法人代表或其授权代表签字盖章后生效。

2、自采购合同签订之日起7个工作日内，由甲方按照有关规定将采购合同副本报同级人民政府财政部门（政府采购管理部门）备案。十四、乙方应提供的资料内容：

1、进口产品必须提供原产地证明和中国商检证明及合法进货渠道全套单证。

2、中国境内制造的产品必须提供出厂合格证，并提供甲方名下终端客户保修注册资料。

3、关键产品/主机设备的用户手册、保修手册、有关单证资料及配备件、随机工具等，使用操作及安全须知等重要资料应附有中文说明。十五、关于政府采购合同融资

1、乙方是否已申请政府采购合同融资： 是 /否 ；

融资银行及联系方式：             。

2、若乙方已申请政府采购合同融资，其在本合同中登记的银行帐号应与金融机构签订融资协议中约定的融资回款账户一致，此账户作为政府采购融资合同资金回款的唯一账户，未获得融资银行同意，乙方不得随意变更。

十六、其它：

1、所有经一方或双方签署确认的文件（包括会议纪要、补充协议、往来信函）、采购文件、要约文件和响应承诺文件、合同附件及中标

（成交）通知书均为本合同不可分割的有效组成部分，与本合同具有同等的法律效力和履约义务，其缔约生效日期为有效签署或盖章确认之日期。

2、如一方（包括联系人）地址、电话、传真号码有变更，应在变更后3个工作日内书面通知对方联系人或负责人，否则，因此造成的损失

由未履行通知义务方承担相应责任。

3、未经甲方书面同意，乙方不得擅自向第三方转让其主体性和关键性合同义务。

4、本合同一式 份，甲方执 份，乙方执 份。

5、本合同（含附件）共计 页A4纸张，缺页之合同为无效合同。

6、本合同签约履约地点：广东省佛山市。

7、本合同所指“书面通知”包括但不限于短信、电子邮件等数据电文的通知形式，到达时间以民事诉讼法的规定为准，但进行书面通知前后，通知方均有义务电话确认通知事项。

8、双方均已对以上各条款及附件作充分了解，并明确理解由此而产生的相关权责。

甲方（盖章）：

乙方（盖章）：

代表：    

代表：    

地址：

地址：

电话：

电话：

传真：

传真：

日期：

年 月 日

日期： 年 月 日

收款方、开票方须与乙方一致，专户为

：

开户名称：银行账号：

开户行：

合同附件清单：

附件一：《报价清单明细表》

第六章 投标文件格式与要求

投标人应提交证明其有资格参加投标和中标后有能力履行合同的相关文件，并作为其投标文件的一部分，所有文件必须真实可靠、不得伪造，否则将按相关规定予以处罚。

1.法人或者其他组织的营业执照等证明文件，自然人的身份证明：

法人包括企业法人、机关法人、事业单位法人和社会团体法人；其他组织主要包括合伙企业、非企业专业服务机构、个体

工商户、农村承包经营户；自然人是指《中华人民共和国民法典》（以下简称《民法典》）规定的具有完全民事行为能力、能够承担民事责任和义务的公民。如投标人是企业（包括合伙企业），要提供在工商部门注册的有效“企业法人营业执照”或“营业执照”；如投标人是事业单位，要提供有效的“事业单位法人证书”；投标人是非企业专业服务机构的，如律师事务所，会计师事务所要提供执业许可证等证明文件；如投标人是个体工商户，要提供有效的“个体工商户营业执照”；如投标人是自然人，要提供有效的自然人身份证明。

这里所指“其他组织”不包括法人的分支机构，由于法人分支机构不能独立承担民事责任，不能以分支机构的身份参加政府采购，只能以法人身份参加。“但由于银行、保险、石油石化、电力、电信等行业具有其特殊性，如果能够提供其法人给予的相应授权证明材料，可以参加政府采购活动”。

2.财务状况报告，依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料（详见资格性审查表要求）

3.具有履行合同所必须的设备和专业技术能力的声明。

4.投标人参加政府采购前三年内在经营活动中没有重大违法记录书面声明函。

5.信用记录查询

（1）查询渠道：通过“信用中国”网站(xxx.xxxxxxxxxxx.xxx.xx)和“中国政府采购网”（xxx.xxxx.xxx.xx）进行查

询；

（2）查询截止时点：提交投标文件截止日当天；

（3）查询记录：对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单、信用报告

进行查询；

采购人或采购代理机构应当按照查询渠道、查询时间节点、查询记录内容进行查询，并存档。对信用记录查询结果中显示投标人被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人作无效投标处理。

6. 按照招标文件要求，投标人应当提交的资格、资信证明文件。

投 标 文 件 封 面

（ 项 目 名 称 ）投 标 文 件 封 面

（ 正 本 / 副 本 ）

采购计划编号： 440605-2022-12232

采购项目编号： GZGK22D215A0690Z

所投采购包：第 包

（投标人名称）年 月 日

投标文件目录

一、投标函

二、开标一览表三、分项报价表

四、政策适用性说明 五、法定代表人证明书六、法定代表人授权书七、投标保证金

八、提供具有独立承担民事责任的能力的证明材料九、资格性审查要求的其他资质证明文件

十、承诺函

十一、中小企业声明函十二、监狱企业

十三、残疾人福利性单位声明函十四、联合体共同投标协议书 十五、投标人业绩情况表

十六、技术和服务要求响应表十七、商务条件响应表

十八、履约进度计划表十九、各类证明材料

二十、采购代理服务费支付承诺书 二十一、需要采购人提供的附加条件

二十二、询问函、质疑函、投诉书格式

二十三、项目实施方案、质量保证及售后服务承诺等二十四、附件

格式一：

投标函

致：广州市国科招标代理有限公司

你方组织的“广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台采购项目”项目的招标[采购项目编号为：GZGK22D215A0690Z]，我方愿参与投标。

我方确认收到贵方提供的“广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台采购项目”项目的招标文件的全部内容。

我方在参与投标前已详细研究了招标文件的所有内容，包括澄清、修改文件（如果有）和所有已提供的参考资料以及有关附件，我方完全明白并认为此招标文件没有倾向性，也不存在排斥潜在投标人的内容，我方同意招标文件的相关条款，放弃对招标文件提出误解和质疑的一切权力。

(投标人名称)作为投标人正式授权(授权代表全名,职务)代表我方全权处理有关本投标的一切事宜。

我方已完全明白招标文件的所有条款要求，并xx如下：

（一）按招标文件提供的全部货物与相关服务的投标总价详见《开标一览表》。

（二）本投标文件的有效期为从提交投标（响应）文件的截止之日起90日历天。如中标，有效期将延至合同终止日为

止。在此提交的资格证明文件均至投标截止日有效，如有在投标有效期内失效的，我方承诺在中标后补齐一切手续，保证所有资格证明文件能在签订采购合同时直至采购合同终止日有效。

（三）我方明白并同意，在规定的开标日之后，投标有效期之内撤回投标或中标后不按规定与采购人签订合同或不提交履

约保证金, 则贵方将不予退还投标保证金。

（四）我方愿意向贵方提供任何与本项报价有关的数据、情况和技术资料。若贵方需要，我方愿意提供我方作出的一切承诺的证明材料。

（五）我方理解贵方不一定接受最低投标价或任何贵方可能收到的投标。

（六）我方如果中标，将保证履行招标文件及其澄清、修改文件（如果有）中的全部责任和义务，按质、按量、按期完成

《采购需求》及《合同书》中的全部任务。

（七）我方作为法律、财务和运作上独立于采购人、采购代理机构的投标人，在此保证所提交的所有文件和全部说明是真实的和正确的。

（八）我方投标报价已包含应向知识产权所有权人支付的所有相关税费，并保证采购人在中国使用我方提供的货物时，如有第三方提出侵犯其知识产权主张的，责任由我方承担。

（九）我方接受采购人委托向贵方支付代理服务费，项目总报价已包含代理服务费，如果被确定为中标供应商，承诺向贵方足额支付。（若采购人支付代理服务费，则此条不适用）

（十）我方与其他投标人不存在单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系。

（十一）我方承诺未为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务。

（十二）我方未被列入法院失信被执行人名单中。

（十三）我方具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的xx，xxxx：

（0）我方参加本项目政府采购活动前3年内在经营活动中没有以下违法记录，或因违法经营被禁止参加政府采购活动的期限已届满：因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。

（2）我方符合法律、行政法规规定的其他条件。

以上内容如有虚假或与事实不符的，评标委员会可将我方做无效投标处理，我方愿意承担相应的法律责任。

（十四）我方对在本函及投标文件中所作的所有承诺承担法律责任。

（十五）所有与本招标有关的函件请发往下列地址：

地 址： 邮政编码：            电 话：       

传 真： 电子邮箱： 代表姓名：           职 务：       

投标人法定代表人（或法定代表人授权代表）签字或盖章：       

投标人名称（xx）：       

日期： 年 月 日

格式二：

开标一览表

注：投标供应商应在投标客户端【报价部分】进行填写，投标客户端软件将自动根据供应商填写信息在线生成开标一览 表，若在投标文件中出现非系统生成的开标一览表，且与投标客户端生成的开标一览表信息内容不一致，以投标客户端在线填写报价并生成的内容为准。（下列表样仅供参考）

采购项目编号：项目名称：

投标人名称：

序号	采购项目名称/采购包名称	投标报价（元/%）	交货或服务期	交货或服务地点
1

投标人签章：       

日期： 年 月 日

格式三：

分项报价表

注：投标供应商应在投标客户端【报价部分】进行填写，投标客户端软件将自动根据供应商填写信息在线生成分项报价 表，若在投标文件中出现非系统生成的分项报价表，且与投标客户端生成的分项报价表信息内容不一致，以投标客户端在线填写报价并生成的内容为准。（下列表样仅供参考）

采购项目编号：项目名称：

投标人名称：

采购包：

货币及单位：人民币/元

品目号	序号	货物名称	规格型号	品牌	产地	制造商名称	单价	数量	总价
1

品目号	序号	服务名称	服务范围	服务要求	服务期限	服务标准	单价	数量	总价
1

投标人签章：       

日期： 年 月 日

格式四：

政策适用性说明

按照政府采购有关政策的要求，在本次的技术方案中，采用符合政策的小型或微型企业产品、节能产品、环境标志产品，主要产品与核心技术介绍说明如下：

序 号	主要产品/技术名称（规格型号 、注册商标）	制造商(开 发商)	制造商企 业类型	节能 产品	环境标志 产品	认证证书 编号	该产品报价在总报价中 占比（%）
1
2
3
4
5
...

注：1.制造商为小型或微型企业时才需要填“制造商企业类型”栏,填写内容为“小型”或“微型”；

2.“节能产品、环境标志产品”须填写认证证书编号，并在对应“节能产品”、“环境标志产品”栏中勾选，同时提供有效期内的证书复印件（加盖投标人公章）

投标人名称（xx）：       

日期： 年 月 日

格式五：

（投标人可使用下述格式，也可使用广东省工商行政管理局统一印制的法定代表人证明书格式）

法定代表人证明书

现任我单位 职务，为法定代表人，特此证明。有效期限：       

附：代表人性别： 年龄： 身份证号码： 注册号码： 企业类型： 经营范围：           

投标人名称（xx）：       

地址： 法定代表人（签字或盖章）：       

职务：       

日期： 年 月 日

格式六：

法定代表人授权书格式

（对于银行、保险、电信、邮政、铁路等行业以及获得总公司投标授权的分公司，可以提供投标分支机构负责人授权书）

法定代表人授权书

致：广州市国科招标代理有限公司

x授权书声明： 是注册于 （国家或地区）的（投标人名称）的法定代表人，现任 职务，有效证件号码： 。现授权 （姓名、职务） 作为我公司的全权代理人，就“广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台采购项目”项目采购[采购项目编号为GZGK22D215A0690Z]的投标和合同执行，以我方的名义处理一切与之有关的事宜。

本授权书于     年     月 日签字生效，特此声明。

投标人（盖章）：

地址：法定代表人（签字或盖章）：

职务：被授权人（签字或盖章）：

职务：

日期： 年 月 日

格式七：

投标保证金

采购文件要求递交投标保证金的，投标人应在此提供保证金的凭证的复印件。

格式八：

提供具有独立承担民事责任的能力的证明材料

格式九：

资格性审查要求的其他资质证明文件

详见资格性条款要求

设备和专业技术能力情况表

我单位为本项目实施提供以下设备和专业技术人员：
序号	设备名称和专业技术人员	数量及单位	备注
1
2
3
…

格式十：

（对于采购需求写明“提供承诺”的条款，供应商可参照以下格式提供承诺）

承诺函

致：广东中科半导体微纳制造技术研究院

对于 项目（项目编号：           ），我方xxxx如下：

如中标/成交，我方承诺严格落实采购文件以下条款：(建议逐条复制采购文件相关条款原文)

（一）星号条款

1.

2.

3.

.........

（二）三角号条款

1.

2.

3.

.........

（三）非星号、非三角号条款

1.

2.

3.

.........

特此承诺。

供应商名称（盖章）：       

日期： 年 月 日

格式十一：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

中小企业声明函（所投产品制造商为中小企业时提交本函，所属行业应符合采购文件中明确的本项目所属行业）

中小企业声明函（货物）

本公司（联合体）xxxx，根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库﹝2020﹞46 号）的规定，本公司

（联合体）参加（单位名称）的（项目名称）采购活动，提供的货物全部由符合政策要求的中小企业制造。相关企业（含联合体中的中小企业、签订分包意向协议的中小企业）的具体情况如下：

1.（标的名称），属于（采购文件中明确的所属行业）行业；制造商为（企业名称），从业人员 人，

营业收入为 x元，资产总额为 x元1，属于（中型企业、小型企业、微型企业）；

2.（标的名称），属于（采购文件中明确的所属行业）行业；制造商为（企业名称），从业人员            人，营业收入为 x元，资产总额为 x元1，属于（中型企业、小型企业、微型企业）；

……

以上企业，不属于大企业的分支机构，不存在控股股东为大企业的情形，也不存在与大企业的负责人为同一人的情形。

本企业对上述声明内容的真实性负责。如有虚假，将依法承担相应责任。

企业名称（xx）：       

日期： 年 月 日

1：从业人员、营业收入、资产总额填报上一年度数据，无上一年度数据的新成立企业可不填报

2：投标人应当对其出具的《中小企业声明函》真实性负责，投标人出具的《中小企业声明函》内容不实的，属于提供虚假材料谋取中标。在实际操作中，投标人希望获得中小企业扶持政策支持的，应从制造商处获得充分、准确的信息。对相关制

造商信息了解不充分，或者不能确定相关信息真实、准确的，不建议出具《中小企业声明函》。

中小企业声明函（承建本项目工程为中小企业或者承接本项目服务为中小企业时提交本函，所属行业应符合采购文件中明确的本项目所属行业）

中小企业声明函（工程、服务）

本公司（联合体）xxxx，根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库﹝2020﹞46 号）的规定，本公司

（联合体）参加（单位名称）的（项目名称）采购活动，工程的施工单位全部为符合政策要求的中小企业（或者：服务全部由符合政策要求的中小企业承接）。相关企业（含联合体中的中小企业、签订分包意向协议的中小企业）的具体情况如下：

1.（标的名称），属于（采购文件中明确的所属行业）行业；承建（承接）企业为（企业名称），从业人员

人，营业收入为 x元，资产总额为 x元1，属于（中型企业、小                                                                                                                                 型企业、微型企业）；

2.（标的名称），属于（采购文件中明确的所属行业）行业；承建（承接）企业为（企业名称），从业人员

人，营业收入为 x元，资产总额为 x元1，属于（中型企业、小                                                                                                                                 型企业、微型企业）；

……

以上企业，不属于大企业的分支机构，不存在控股股东为大企业的情形，也不存在与大企业的负责人为同一人的情形。

本企业对上述声明内容的真实性负责。如有虚假，将依法承担相应责任。

企业名称（xx）：       

日期： 年 月 日

1：从业人员、营业收入、资产总额填报上一年度数据，无上一年度数据的新成立企业可不填报。

2：投标人应当自行核实是否属于小微企业，并认真填写声明函，若有虚假将追究其责任。

格式十二：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

监狱企业

提供由监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件。

格式十三：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

残疾人福利性单位声明函

x单位xxxx，根据《财政部 民政部 中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕 141号）的规定，本单位为符合条件的残疾人福利性单位，且本单位参加 单位的 项目采购活动提供本单位制造的货物（由本单位承担工程/提供服务），或者提供其他残疾人福利性单位制造的货物（不包括使用非残疾人福利性单位注册商标的货物）。

本单位对上述声明的真实性负责。如有虚假，将依法承担相应责任。

单位名称（xx）：       

日期： 年 月 日

注：本函未填写或未勾选视作未做声明。

格式十四：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

联合体共同投标协议书

立约方：（甲公司全称）

（乙公司全称）

（……公司全称）

（甲公司全称）、（乙公司全称）、（……公司全称）自愿组成联合体，以一个投标人的身份共同参加（采购项目名称）

（采购项目编号）的响应活动。经各方充分协商一致，就项目的响应和合同实施阶段的有关事务协商一致订立协议如下：一、联合体各方关系

（甲公司全称）、（乙公司全称）、（……公司全称）共同组成一个联合体，以一个投标人的身份共同参加本项目的响

应。（甲公司全称）、（乙公司全称）、（……公司全称）作为联合体成员，若中标，联合体各方共同与签订政府采购合同。二、联合体内部有关事项约定如下：

1.（甲公司全称）作为联合体的牵头单位，代表联合体双方负责投标和合同实施阶段的主办、协调工作。

2.联合体将严格按照文件的各项要求，递交投标文件，切实执行一切合同文件，共同承担合同规定的一切义务和责任，同时按照内部职责的划分，承担自身所负的责任和风险，在法律在承担连带责任。

3.如果本联合体中标，（甲公司全称）负责本项目 部分，（乙公司全称）负责本项目 部分。

4.如中标，联合体各方共同与（采购人）签订合同书，并就中标项目向采购人负责有连带的和各自的法律责任；

5.联合体成员（公司全称）为（请填写：小型、微型）企业，将承担合同总金额   %的工作内容（联合体成员中有小型、微型企业时适用）。

三、联合体各方不得再以自己名义参与本项目响应，联合体各方不能作为其它联合体或单独响应单位的项目组成员参加本项目响应。因发生上述问题导致联合体响应成为无效报价，联合体的其他成员可追究其违约责任和经济损失。

四、联合体如因违约过失责任而导致采购人经济损失或被索赔时，本联合体任何一方均同意无条件优先清偿采购人的一切债务和经济赔偿。

五、本协议在自签署之日起生效，有效期内有效，如获中标资格，合同有效期延续至合同履行完毕之日。

六、本协议书正本一式 份，随投标文件装订 份，送采购人 份，联合体成员各一份；副本一式 份，联合体成员各执 份。

甲公司全称：   （xx）     ，乙公司全称：   （xx）     ，……公司全称：   （xx）     ，

  年   月  日，   年   月 日，   年   月   日

注：1．联合响应时需签本协议，联合体各方成员应在本协议上共同盖章确认。

2．本协议内容不得擅自修改。此协议将作为签订合同的附件之一。

格式十五：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

投标人业绩情况表

序号	客户名称	项目名称及合同金额（万元）	签订合同时间	竣工验收报告时间	联系人及电话
1
2
3
4
…

根据上述业绩情况，按招标文件要求附销售或服务合同复印件及评审标准要求的证明材料。

格式十六：

《技术和服务要求响应表》

序 号	标的名称	参数性质	采购文件规定的技术 和服务要求	投标文件响应 的具体内容	型号	是否偏离	证明文件所在 位置	备 注
1
2
3
4
5
6
… …

说明：

1.“采购文件规定的技术和服务要求”项下填写的内容应与招标文件中采购需求的 “技术要求”的内容保持一致。投标人应当如实填写上表“投标文件响应的具体内容”处内容，对采购文件提出的要求和条件作出明确响应，并列明具体响应数值或内 容，只注明符合、满足等无具体内容表述的，将视为未实质性满足招标文件要求。投标人需要说明的内容若需特殊表达，应先在本表中进行相应说明，再另页应答，否则投标无效。

2. 参数性质栏目按招标文件有标注的“★”、“▲”号条款进行填写，打“★”号条款为实质性条款，若有任何一条负偏离或不满足则导致投标无效。打“▲”号条款为重要技术参数（如有），若有部分“▲”条款未响应或不满足，将根据评审要求影响其得分，但不作为无效投标条款。

3. “是否偏离”项下应按下列规定填写：优于的，填写“正偏离”；符合的，填写“无偏离”；低于的，填写“负偏离”。 4.“备注”处可填写偏离情况的说明。

格式十七：

《商务条件响应表》

序号	参数性质	采购文件规定的商务条件	投标文件响应的具体内容	是否偏离	证明文件所在位置	备注
1
2
3
4
5
6
7
8
9
……

说明：

1. “采购文件规定的商务条件”项下填写的内容应与招标文件中采购需求的 “商务要求”的内容保持一致。

2. 投标人应当如实填写上表“投标文件响应的具体内容”处内容，对采购文件规定的商务条件作出明确响应，并列明具体

响应数值或内容，只注明符合、满足等无具体内容表述的，将视为未实质性满足招标文件要求。投标人需要说明的内容若需特殊表达，应先在本表中进行相应说明，再另页应答，否则投标无效。

3. 参数性质栏目按招标文件有标注的“★”、“▲”号条款进行填写，打“★”号条款为实质性条款，若有任何一条负偏离或不

满足则导致投标无效。打“▲”号条款为重要技术参数（如有），若有部分“▲”条款未响应或不满足，将根据评审要求影响其得分，但不作为无效投标条款。

4. “是否偏离”项下应按下列规定填写：优于的，填写“正偏离”；符合的，填写“无偏离”；低于的，填写“负偏离”。 5.“备注”处可填写偏离情况的说明。

格式十八：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

履约进度计划表

序号	拟定时间安排	计划完成的工作内容	实施方建议或要求
1	拟定 年 月 日	签订合同并生效
2	月 日— 月 日
3	月 日— 月 日
4	月 日— 月 日	质保期

格式十九：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

各类证明材料

1.招标文件要求提供的其他资料。

2.投标人认为需提供的其他资料。

格式二十：

采购代理服务费支付承诺书

致：广州市国科招标代理有限公司

如果我方在贵采购代理机构组织的广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台采购项目招标中获中标（采购项目编

号：GZGK22D215A0690Z），我方保证在收取《中标通知书》时，按招标文件对代理服务费支付方式的约定，承担本项目代理服务费。

我方如违约，愿凭贵单位开出的违约通知，从我方提交的投标保证金中支付，不足部分由采购人在支付我方的中标合同款中代为扣付；以投标担保函（或保险保函）方式提交投标保证金时，同意和要求投标担保函开立银行或担保机构、保险保函开立的保险机构应广州市国科招标代理有限公司的要求办理支付手续。

特此承诺！

投标人法定名称（公章）； 投标人法定地址：         

投标人授权代表（签字或盖章）：         

电 话：                 传 真：         

承诺日期：         

格式二十一：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

需要采购人提供的附加条件

序号	投标人需要采购人提供的附加条件
1
2
3

注：投标人完成本项目需要采购人配合或提供的条件必须在上表列出，否则将视为投标人同意按现有条件完成本项目。如上表所列附加条件含有采购人不能接受的，将被视为投标无效。

格式二十二：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

询问函、质疑函、投诉书格式

说明：本部分格式为投标人提交询问函、质疑函、投诉函时使用，不属于投标文件格式的组成部分。

询问函

广州市国科招标代理有限公司

我单位已登记并准备参与“广东中科半导体微纳制造技术研究院清洗台采购项目”项目（采购项目编

号：GZGK22D215A0690Z ）的投标活动，现有以下几个内容（或条款）存在疑问（或无法理解），特提出询问。一、             （事项一）

（1）            （问题或条款内容）

（2）            （说明疑问或无法理解原因）

（3）             （建议）二、             （事项二）

...

随附相关证明材料如下：（目录）

询问人（公章）： 法定代表人或授权代表（签字或盖章）：         

地址/邮编：         

电话/传真：         

日期： 年 月 日

质疑函

一、质疑供应商基本信息

质疑供应商：

地址： 邮编：         

联系： 联系电话： 授权代表：         

联系电话：         

地址： 邮编： 二、质疑项目基本情况

质疑项目的名称：         

质疑项目的编号： 包号： 采购人名称：         

采购文件获取日期： 三、质疑事项具体内容

质疑事项1：         

事实依据：         

法律依据： 质疑事项2：         

……

四、与质疑事项相关的质疑请求

请求：                 

签字(签章)： 公章：         

日期： 年 月 日

质疑函制作说明：

1.供应商提出质疑时，应提交质疑函和必要的证明材料。

2.质疑供应商若委托代理人进行质疑的，质疑函应按要求列明“授权代表”的有关内容，并在附件中提交由质疑供应商签署的授权委托书。授权委托书应载明代理人的姓名或者名称、代理事项、具体权限、期限和相关事项。

3.质疑供应商若对项目的某一分包进行质疑，质疑函中应列明具体采购包号。

4.质疑函的质疑事项应具体、明确，并有必要的事实依据和法律依据。

5.质疑函的质疑请求应与质疑事项相关。

6.质疑供应商为自然人的，质疑函应由本人签字；质疑供应商为法人或者其他组织的，质疑函应由法定代表人、主要负责人，或者其授权代表签字或者xx，并加盖公章。

投诉书

一、投诉相关主体基本情况

投诉人：        

地 址： 邮编： 法定代表人/主要负责人：        

联系电话：        

授权代表： 联系电话：             地 址： 邮编：        

被投诉人1：        

地址： 邮编：        

联系人： 联系电话： 被投诉人2：        

……

相关供应商：         

地址： 邮编：        

联系人： 联系电话： 二、投诉项目基本情况

采购项目名称：        

采购项目编号：   包号：        

采购人名称： 代理机构名称：        

采购文件公告:是/否 公告期限：         

采购结果公告:是/否 公告期限： 三、质疑基本情况

投诉人于      年     月     日,向提出质疑，质疑事项为：         

采购人/代理机构于   年   月   日,就质疑事项作出了答复/没有在法定期限内作出答复。四、投诉事项具体内容

投诉事项 1：         

事实依据：         

法律依据： 投诉事项2：         

……

五、与投诉事项相关的投诉请求 请求：          

投诉书制作说明：

签字(签章)：   公章   

日期：   年   月   日

1.投诉人提起投诉时，应当提交投诉书和必要的证明材料，并按照被投诉人和与投诉事项有关的供应商数量提供投诉书副

本。

2.投诉人若委托代理人进行投诉的，投诉书应按照要求xx“授权代表”的有关内容，并在附件中提交由投诉人签署的授权

委托书。授权委托书应当载明代理人的姓名或者名称、代理事项、具体权限、期限和相关事项。

3.投诉人若对项目的某一分包进行投诉，投诉书应列明具体分包号。

4.投诉书应简要列明质疑事项，质疑函、质疑答复等作为附件材料提供。

5.投诉书的投诉事项应具体、明确，并有必要的事实依据和法律依据。

6.投诉书的投诉请求应与投诉事项相关。

7.投诉人为自然人的，投诉书应当由本人签字；投诉人为法人或者其他组织的，投诉书应当由法定代表人、主要负责人，或者其授权代表签字或者xx，并加盖公章。

格式二十三：

（以下格式文件由供应商根据需要选用）

项目实施方案、质量保证及售后服务承诺等内容和格式自拟。

格式二十四：

附件（以下格式文件由供应商根据需要选用）

政府采购投标（响应）担保函

编号：【 】号

（采购人）：

鉴于     （以下简称“投标（响应）人”）拟参加编号为 的（以下简称“本项目”）投标（响应），根据本项目采购文件，投标（响应）人参加投标（响应）时应向你方交纳投标（响应）保证金，且可以投标保险凭证的形式交纳投标

（响应）保证金。应投标（响应）人的申请，我方以保险的方式向你方提供如下投标保证保险凭证：一、保险责任的情形及保证金额

（一）在投标（响应）人出现下列情形之一时，我方承担保险责任：

1.中标（成交）后投标（响应）人无正当理由不与采购人签订《政府采购合同》；

2.采购文件规定的投标（响应）人应当缴纳保证金的其他情形。

（二）我方承担保险责任的最高金额为人民币 元（大写）即本项目的投标（响应）保证金金额。二、保证的方式及保证期间

我方保证的方式为：连带责任保证。

我方的保证期间为：本保险凭证自 年 月 日起生效，有效期至开标日后的90天内。三、承担保证责任的程序

1.你方要求我方承担保证责任的，应在本保函保证期间内向我方发出索赔通知。索赔通知应写明要求索赔的金额，支付款项应到达的账号、户名和开户行，并附有证明投标（响应）人发生我方应承担保证责任情形的事实材料。

2.我方在收到索赔通知及相关证明材料后，在15个工作日内进行审查，符合应承担保证责任情形的，我方按照你方的要求代投标（响应）人向你方支付相应的索赔款项。

四、保证责任的终止

1.保证期间届满，你方未向我方书面主张保证责任的，自保证期间届满次日起，我方保证责任自动终止。

2.我方按照本保函向你方履行了保证责任后，自我方向你方支付款项（支付款项从我方账户划出）之日起，保证责任终

止。

3.按照法律法规的规定或出现我方保证责任终止的其它情形的，我方在本保函项下的保证责任终止。五、免责条款

1.依照法律规定或你方与投标（响应）人的另行约定，全部或者部分免除投标（响应）人投标（响应）保证金义务时，我

方亦免除相应的保证责任。

2.因你方原因致使投标（响应）人发生本保函第一条第（一）款约定情形的，我方不承担保证责任。

3.因不可抗力造成投标（响应）人发生本保函第一条约定情形的，我方不承担保证责任。

4.你方或其他有权机关对采购文件进行任何澄清或修改，加重我方保证责任的，我方对加重部分不承担保证责任，但该澄清或修改经我方事先书面同意的除外。

六、争议的解决

因本保函发生的纠纷，由你我双方协商解决，协商不成的，通过诉讼程序解决，诉讼管辖地法院为 法院。七、保函的生效

x保函自我方加盖公章之日起生效。

保证人：     （公章） 联系人： 联系电话：        

年 月 日