KUPNÍ SMLOUVA Tato kupní smlouva („Smlouva“) byla uzavřena ve smyslu § 2079 a násl. zákona č. 89/2012 Sb., občanského zákoníku (“NOZ”), dne, měsíce a roku uvedeného níže mezi:

KUPNÍ SMLOUVA

Tato kupní smlouva („Smlouva“) byla uzavřena ve smyslu § 2079 a násl. zákona č. 89/2012 Sb., občanského zákoníku (“NOZ”), dne, měsíce a roku uvedeného níže mezi:

České vysoké učení technické v Praze, Fakulta elektrotechnická

Sídlo: Zikova 1903/4, 166 36 – Praha 6, Czech Republic

IČ: 68407700

DIČ: CZ68407700

Zastoupená: xxxxxxx, děkan

Bankovní spojení: xxxxxxx

Číslo účtu.: xxxxxxx

na jedné straně jako kupujícím (“Kupující”)

a

OptiXs, s.r.o.

Sídlo: Xxxxxxxxxxxx 00, 000 00 Xxxxx 9

IČ: 02016770

DIČ: CZ020167700

Zastoupená: xxxxxxx

Zapsaná v: xxxxxxx

Bankovní spojení: xxxxxxx

Číslo účtu.: xxxxxxx

na druhé straně jako prodávajícím (“Prodávající”).

(Kupující a Prodávající jsou dále společně označováni jako „Smluvní strany“ a samostatně jako „Smluvní strana“.)

VZHLEDEM K TOMU, ŽE

1. Kupující je veřejným zadavatelem.

2. Pro úspěšné řešení Projektu je nezbytné pořídit předmět nákupu (dále jen „Zboží“), jehož specifikace je uvedena níže, v souladu s ustanoveními zákona č. 134/2016 Sb., o zadávání veřejných zakázek v platném znění (dále jen „ZZVZ“).

3. Prodávající poskytuje předmět smlouvy kupujícímu za úplatu.

4. Nabídka Prodávajího podaná v rámci veřejné zakázky s názvem „SPEKTROSKOPICKÝ ELIPSOMETR PRO IN-SITU A EX-SITU MĚŘENÍ“, jejímž cílem bylo vybrat dodavatele předmětu smlouvy („Veřejná zakázka“), byla Kupujícím vyhodnocena jako nejvýhodnější.

UZAVÍRAJÍ SMLUVNÍ STRANY TUTO SMLOUVU.

I.

ZÁKLADNÍ USTANOVENÍ

1. Prodávající se v rozsahu a za podmínek stanovených touto Smlouvou zavazuje dodat Kupujícímu Zboží, které splòuje požadavky uvedené v Příloze č. 1 této Smlouvy (Technické parametry nabízeného předmětu plnění), která tvoří její nedílnou součást, a zavazuje se převést na Kupujícího vlastnické právo ke Zboží. Kupující se zavazuje převzít Zboží a uhradit kupní cenu za Zboží (specifikovanou níže) dle pravidel a podmínek uvedených v této Smlouvě.

2. Součástí dodání Zboží jsou i následující činnosti („Související činnosti“)

1. vypracovat a předat Kupujícímu provozní, instalační a servisní manuál ke Zboží a další dokumenty, které jsou nezbytné pro správné převzetí a užití Zboží anglickém jazyce, a to v rozsahu Zboží specifikovaného v Příloze č. 2 (Technická specifikace);

2. předat Kupujícímu ke Zboží prohlášení o shodě s příslušnými normami;

3. vypracovat seznam konkrétních položek Zboží pro účely kontroly;

4. poskytnout 1 denní školení v místě instalace pro 4 osoby,

5. poskytnout bezplatné školení/konzultace zadavateli v průběhu záruční lhůty.

3. Prodávající se zavazuje Kupujícímu, že pokud jsou pro splnění požadavků Kupujícího podle této smlouvy nebo řádného fungování Zboží nezbytné další dodávky a činnosti neuvedené v této smlouvě, Prodávající takové dodávky nebo činnosti zajistí na vlastní náklady bez jakéhokoli vlivu na kupní cenu.

II.

DOBA A MÍSTO PLNĚNÍ

1. Prodávající se zavazuje, že dodá Kupujícímu Zboží a splní veškeré povinnosti dle čl. I. této smlouvy nejpozději do 24 týdnů od účinnosti smlouvy.

2. Prodávající je odpovědný za dodání Zboží do místa plnění. Místem plnění je následující adresa: ČVUT v Praze, FEL-Katedra elektrotechnologie,

III.

VLASTNICKÉ PRÁVO

1. Vlastnické právo Ke Zboží bude kupujícímu převedeno po podpisu Předávacího protokolu (definován níže) oběma stranami.

IV.

CENA A PLATEBNÍ PODMÍNKY

1. Kupní cena za Zboží je 3 457 650,- bez daně z přidané hodnoty („DPH“), a s DPH ve výši 21 % činí 4 183 756,50 („Kupní cena“).

2. Smluvní cena je sjednána jako nejvýše přípustná, včetně všech nákladů a poplatků Prodávajícího souvisejících s plněním povinností dle této Smlouvy. Kupní cena zahrnuje, mimojiné, všechny náklady spojené s převzetím Zboží a provedením Souvisejících činností, náklady na autorská práva, pojištění, záruční servis a veškeré další náklady a výdaje spojené s plněním této smlouvy.

3. Smluvní cenu je možné změnit pouze pokud

1. se v době mezi uzavřením této smlouvy a podpisem Předávacího protokolu mění sazby DPH (v takovém případě nová cena předmětu nákupu odráží pouze novou sazbu DPH) nebo

2. je změna provedena v souladu se ZZVZ.

4. Kupní cena za Zboží bude uhrazena v Kč na základě daòových dokladů - faktur, na účet Prodávajícího určeného na faktuře.

5. Kupující uskuteční platbu na základě řádně vystavených faktur do 15 dnů od jejich doručení. Faktura se považuje za zaplacenou v den, kdy je fakturační částka převedena z účtu Kupujícího na účet Prodávajícího.

6. Faktura vystavená Prodávajícím jako daòový doklad musí splòovat veškeré náležitosti požadované platnými právními předpisy České republiky. Faktury vydané Prodávajícím v souladu s touto smlouvou obsahují zejména následující informace:

1. název a sídlo Kupujícího,

2. DIČ Kupujícího,

3. název a sídlo Prodávajícího,

4. DIČ Prodávajícího,

5. slovní a číselné označení dokladu,

6. předmět plnění (zahrnující odkaz na tuto smlouvu),

7. kupní cenu

8. den vyhotovení účetního dokladu

9. den uskutečnění zdanitelného plnění

10. základ daně

11. sazbu daně

12. výši daně

a musí splòovat případně dohody o zamezení dvojímu zdanění.

7. V případě, že faktura neobsahuje výše uvedené informace, je Kupující oprávněn ji vrátit Prodávajícímu v době její splatnosti, a toto se nepovažuje za prodlení. Nová lhůta splatnosti se začíná dnem obdržení opravené faktury Kupujícímu.

V.

POVINNOSTI PRODÁVAJÍCÍHO

1. Prodávající je povinen dodat Zboží a Související činnosti za podmínek dle této Smlouvy zahrnující všechny její přílohy a platné právní (např. bezpečnostní), technické a kvalitativní normy. Prodávající prokáže shodu s platnými bezpečnostními normami a normami EMI / EMC min. prohlášením o shodě CE.

2. Během plnění této smlouvy Prodávající koná samostatně. Pokud Prodávající obdrží pokyny od Kupujícího, Prodávající dodrží tyto pokyny, pokud nejsou v rozporu se zákonem nebo v rozporu s touto Smlouvou. Pokud prodávající zjistí nebo by měl z pohledu profesionálního jednání zjistit, že pokyny jsou z jakéhokoli důvodu nevhodné, protizákonné nebo v rozporu s touto smlouvou, pak je Prodávající povinen na takové skutečnosti Kupujícího upozornit.

3. Pokud není ve Smlouvě stanoveno jinak, veškeré prostředky nezbytné pro plnění této smlouvy zajistí Prodávající.

4. Prodávající si je vědom, že Kupující nemá k dispozici prostory pro skladování obalů, a proto neuchovává obal od Zboží. Neexistence původního obalu nesmí být důvodem pro odmítnutí odstranění vad Zboží.

VI.

ZÁRUKA

1. Prodávající poskytuje na Zboží záruku za jakost v délce 12 měsíců. Pokud je na záručním listu nebo jiném dokumentu uvedena delší záruční lhůta, má tato delší záruční lhůta přednost před délkou záruční lhůty uvedené v této Smlouvě.

2. Záruční doba počíná běžet dnem uvedení Zboží do provozu.

3. Záruční opravy provede Prodávající bezplatně, popřípadě uspokojí jiný nárok zadavatele z vadného plnění, a to dle podmínek daných touto Smlouvou.

4. Kupující je povinen ohlásit Prodávajícímu záruční vady neprodleně poté, co je zjistí. Záruční vady mohou být Prodávajícímu nahlášeny nejpozději v poslední den záruční doby.

5. Kupující oznámí Prodávajícímu záruční vady telefonicky, písemně nebo prostřednictvím e-mailu. Prodávající akceptuje upozornění na záruční vady prostřednictvím e-mailové adresy: xxxxxxxx. Prodávající zahájí reklamační řízení nejpozději 3 dny po nahlášení závady Kupujícím tak, že informomuje kupujícího o převzetí požadavku a návrhu jeho řešení včetně termínu odstranění vady.

6. V hlášení o záruční vadě popíše Kupující vadu a způsob odstranění vady. Kupující má právo:

1. požádat o odstranění vady dodáním nového Zboží nebo jeho jednotlivých částí nebo

2. požádat o odstranění vady opravou nebo

3. požádat o přiměřené snížení kupní ceny.

Výběr výše uvedených práv náleží Kupujícímu. Kupující má také nárok na odstoupení od této Smlouvy, pokud je tato Smlouva dodáním Zboží s vadami podstatně porušena. Smlouva bude také podstatně porušena v případě, že se stejná závada opakovaně vyskytla, tj. více než třikrát.

7. Prodávající, pokud se strany nedohodnou jinak, odstraní vadu do 14 dnů od jejího oznámení.

8. Prodávající odstraní vadu v souladu s podmínkami stanovenými v této Smlouvě, a to i v případě, že oznámení o závadě je podle jeho názoru neodůvodněné. V takovém případě má Prodávající nárok na náhradu nákladů na odstranění vady. Pokud se strany nedohodnou, zda je oznámení o vadě opodstatněné nebo ne, Kupující požádá odborníka o odborný posudek, který určí, zda oznámení o závadě bylo nebo nebylo oprávněné. V případě, že odborník považuje oznámení za oprávněné, Prodávající hradí náklady na vyjádření znalce. Pokud se odborník domnívá, že oznámení je neoprávněné, pak Kupující uhradí Prodávajícímu ověřitelné a skutečně vynaložené náklady na odstranění vady.

9. Strany vyhotoví protokol o odstranění závady, který obsahuje popis závady a potvrzení, že závada byla odstraněna. V případě opravy v záruční době se tato prodlužuje o dobu od oznámení závady Kupujícím po její odstranění Prodávajícím.

10. V případě, že Prodávající neodstraní vadu ve stanovené lhůtě nebo pokud Prodávající odmítne odstranit vadu, je Kupující oprávněn odstranit vadu na vlastní náklady a Prodávající je povinen uhradit tyto náklady do 10 dnů od okamžiku, kdy obdrží fakturu od kupujícího.

11. Záruka se nevztahuje na vady způsobené neodbornou manipulací nebo nedodržením pokynů Prodávajícího pro provoz a údržbu Zboží.

12. Strany vylučují použití § 1925 NOZ.

VII.

PROHLÁŠENÍ PRODÁVAJÍCÍHO

1. Prodávající prohlašuje Kupujícímu že

1. má všechny odborné předpoklady nezbytné pro řádné plnění této smlouvy,

2. je plně oprávněn k plnění této Smlouvy a

3. na straně Prodávajícího neexistují žádné překážky bránící řádnému plnění této smlouvy.

VIII.

POKUTY

1. Pokud je Prodávající v prodlení s dodáním Zboží, tj. Prodávající poruší svou povinnost provést tuto Smlouvu včas a náležitým způsobem, Prodávající zaplatí Kupujícímu smluvní pokutu ve výši 0,1 % kupní ceny za každý (dokonce započatý) den prodlení.

2. Pokud Prodávající neodstraní závadu v rámci záruční opravy včas, zaplatí Kupujícímu smluvní pokutu ve výši 0,05 % Kupní ceny za každý (dokonce započatý) den zpoždění.

3. Prodávající zaplatí smluvní pokuty do patnácti (15) dnů ode dne, kdy Kupující uplatnil své nároky. Zaplacením smluvních pokut nejsou dotčeny práva Kupujícího na náhradu škody, a to ani v rozsahu, v jakém tato škoda překročí smluvní pokutu.

4. Celková výše smluvních pokut, na které má Kupující nárok, nesmí překročit 30 % Kupní ceny.

5. Kupující je oprávněn jednostranně započítávat nároky vyplývající ze smluvních pokut proti nároku Prodávajícího na zaplacení Kupní ceny.

6. Strany vylučují použití § 2050 NOZ.

IX.

PRÁVO NA odstoupení od SMLOUVY

1. Kupující je oprávněn odstoupit od této smlouvy bez jakýchkoli sankcí, jestliže nastane některá z následujících okolností:

1. Prodávající je v prodlení s plněním této smlouvy a toto prodlení trvá déle než dva (2) měsíce;

2. Zboží nesplňuje požadavky stanovené v této smlouvě, zejména v Příloze č. 1 (Technické parametry nabízeného předmětu plnění);

3. proti Prodávajícímu je zahájeno konkurzní řízení, nebo

4. Kupující zjistí, že Prodávající ve své nabídce podané v rámci předmětné veřejné zakázky uvedl informace nebo dokumenty, které neodpovídají skutečnosti a které měly nebo mohly mít vliv na výsledek výběrového řízení, které předcházelo uzavření této Smlouvy.

X.

DŮVĚRNOST

1. Strany nezveřejní informace, které jim budou zpřístupněny v souvislosti s touto Smlouvou a jejím plněním, jejichž zveřejnění by mohlo poškodit druhou stranu. Povinnosti Kupujícího vyplývající z platných právních předpisů zůstávají nedotčeny.

XI.

ZÁSTUPCI SMLUVNÍCH STRAN

1. Prodávající uvádí následující zástupce pro komunikaci s Kupujícím:

V technických záležitostech:

Jméno a příjmení: xxxxxxx

E-mail: xxxxxxx

Tel.: xxxxxxx

Ve smluvních záležitostech: xxxxxxx

Jméno a příjmení: xxxxxxx

E-mail: xxxxxxx

Tel.: xxxxxxx

2. Kupující uvádí následující zástupce pro komunikaci s Prodávajícím:

Jméno a příjmení: xxxxxxx

E-mail: xxxxxxx

XII.

ZÁVĚREČNÁ USTANOVENÍ

1. Tato smlouva se řídí právem České republiky, zejména NOZ.

2. Strany souhlasí se zveřejněním této smlouvy v registru smluv podle zákona č. 340/2015 Sb., O registru smluv. Zveřejnění zajišťuje ČVUT v Praze. Pokud jedna ze stran považuje některé informace uvedené ve smlouvě za osobní údaje nebo obchodní tajemství, které nemohou být zveřejněny podle zákona, musí být tyto informace výslovně označeny během uzavírání Smlouvy.

3. Veškeré spory, které vyvstaly z této Smlouvy nebo z právních vztahů souvisejících s touto Smlouvou, budou řešeny přednostně vzájemnou dohodou. V případě, že spor nebude vyřešen do šedesáti (60) dnů, rozhodne o takovém sporu soud České republiky v řízení zahájeném jednou ze stran.

4. Prodávající nese riziko změny podmínek ve smyslu § 1765 NOZ.

5. Prodávající bere na vědomí, že Kupující není ve vztahu k této Smlouvě podnikatelem, ani předmět této Smlouvy nesouvisí s podnikatelskou činností Kupujícího.

6. Prodávající není oprávněn započítávat žádnou ze svých pohledávek nebo nároků svého dlužníka vůči pohledávkám Kupujícího. Prodávající není oprávněn převést své nároky, které vznikly na základě nebo v souvislosti s touto Smlouvou vůči třetím osobám, vůči Kupujícímu. Prodávající není oprávněn převádět práva a povinnosti z této smlouvy nebo její části na třetí strany.

7. Všechny změny a dodatky k této smlouvě musí být písemné.

8. Pokud jsou některá ustanovení této Smlouvy neplatná nebo neúčinná, jsou strany povinny tuto Smlouvu změnit tak, aby neplatné nebo neúčinné ustanovení bylo nahrazeno novým ustanovením, které je platné a účinné a co nejvíce odpovídá původnímu neplatnému nebo neúčinnému ustanovení.

9. Pokud některá Smluvní strana poruší jakoukoli povinnost podle této Smlouvy a je si, nebo by měla být, vědoma takového porušení, uvědomí druhou Smluvní stranu a upozorní ji na možné důsledky porušení.

10. Smlouva se vyhotovuje ve 4 (čtyřech) stejnopisech, z nichž každý má platnost originálu. Každá ze smluvních stran obdrží po 2 (dvou) stejnopisech.

11. Nedílnou součástí této Smlouvy je Příloha č. 1 (Technické parametry nabízeného předmětu plnění) a Příloha č. 2 (Technická specifikace). V případě jakéhokoli nesouladu mezi ustanoveními této Smlouvy a ustanoveními Přílohy č. 1 (Technické parametry nabízeného předmětu plnění) budou mít přednost ustanovení této Smlouvy.

12. Tato smlouva je platná a účinná ke dni podpisu oběma Smluvními stranami.

V Praze, dne 3.12.2018 V Praze, 15.10.2018

……………………………………….. ……………………………………..

za kupujícího za prodávajícího

xxxxxxx,

děkan

PŘÍLOHA Č. 1

Technické parametry nabízeného předmětu plnění

Specifikace – ELIPSOMETR

Pořadí	Popis parametru a minimální požadovaná hodnota		Nabízená hodnota	Splòuje ANO/Ne
1.	spektrální rozsah měření	min. od 193 nm až do 1000 nm. Možnost rozšíření o NIR rozsah až do min. 1650 nm	193 – 1000 nm, možnost rozšíření až do 1690 nm	ANO
2.	spektrální rozsah zajištěný jednou detekční jednotkou bez nutnosti výměny detektoru či manuálního přepínání, spektrální detekce na bázi multikanálového detektoru (CCD, CMOS) pro rychlý záznam celého spektra v jednom okamžiku	ANO	Ano, je zde jedna detekční jednotka bez nutnosti výměny detektoru či jakéhokoliv přepínání	ANO
3.	možnost rychlého měření s ohledem na in-situ aplikace – kompletní měření vzorku c-Si se záznamem celého spektra při měření s požadovanou přesností měřených dat	max. 10 s	Ano, možnost rychlého měření se záznamem celého spektra do 0,1 s	ANO
4.	měření kompletního polarizačního stavu světla ve všech pozicích (i singulárních bodech dle fyzikální definice) po interakci se vzorkem včetně depolarizace	ANO	Ano, měření kompletního polarizačního stavu světla ve všech pozicích po interakci se vzorkem včetně depolarizace	ANO
5.	Metoda měření	měření se zařazeným kompenzátorem pro vysokou citlivost pro všechny polarizace a v celém spektrálním oboru, tj. včetně singulárních bodů.	Ano, metoda RCE se stále zařazeným, rotujícím kompenzátorem kontinuální rychlostí 20 Hz	ANO
6.	přesnost měření veličin Ψ, Δ v přímém průchodu vzduchem („straight-through“ konfigurace, kdy svazek prochází pouze vzduchem)	Ψ = 45° ± max. 0.15° Δ = 0° ± max. 0.10°.	Ano, přesnost měření lepší než Ψ: 45° ± 0,075° Δ: 0° ± 0,05°.	ANO
7.	schopnost současného měření elipsometrických dat všech polarizačních stavů (Ψ a Δ) ve všech pozicích (i singulárních bodech dle fyzikální definice) po interakci se vzorkem včetně depolarizace, obecné elipsometrie (anizotropie) a měření Muellerovy matice (11 prvků MM) v celém oboru polarizačních stavů v reflexním i transmisním módu jako funkci vlnové délky a případně úhlu dopadu.	ANO	Ano, schopnost současného měření elipsometrických dat všech polarizačních stavů (Ψ a Δ) ve všech pozicích po interakci se vzorkem včetně depolarizace, obecně elipsometrie (anizotropie) a měření Muellerovy matice (11 prvků MM) v celém oboru polarizačních stavů v reflexním i transmisním módu jako funkci vlnové délky a případně úhlu dopadu	ANO
8.	modulární systém musí umožòovat rychlou změnu konfigurace z ex-situ na in-situ a naopak bez nutnosti kvalifikované adjustace. In-situ znamená možnost elipsometrických měření přímo ve vakuové komoře pulzní laserové ablace.	ANO	Ano, modulární systém umožòuje rychlou změnu konfigurace z ex-situ na in-situ a naopak a to vlastním uživatelem	ANO
9.	konfigurace elipsometru pro ex-situ měření s motorizovaným goniometrem Theta-2Theta v horizontálním uspořádání polohy vzorku.	Rozsah goniometru min. 45° - 90° s kontinuální možností změny úhlu, s přesností nastavení úhlu lepší než 0,05° a s opakovatelností nastavení polohy < 0,005°	Ano, rozsah 45°-90°s kontinuální možností změny úhlu, přesnost nastavení úhlu < +/- 0,02°, opakovatelnost nastavení polohy < 0,005°	ANO
10.	držák vzorku (stolek)	umožòující alespoò manuální nastavení polohy vzorku (naklápění v rovině povrchu vzorku a posuv ve směru kolmém na povrch vzorku)	Ano, držák vzorku umožní motorizované nastavení polohy vzorku (naklápění v rovině povrchu vzorku a posuv ve směru kolmém na povrch vzorku)	ANO
11.	přesné nastavení polohy vzorku snímáno kvadrantovým detektorem nebo podobným systémem pro snadné nastavení optimální polohy vzorku a nastavení úhlu dopadu	s přesností minimálně 0,01°	Ano, poloha vzorku vyhodnocována kvadrantovým detektorem s přesností 0,001°	ANO
12.	dodání konfigurace pro měření s mikrobodem pro dosažení spotu na vzorku s velikostí < 400 µm. Příslušenství pro měření v mikrobodu snadno připojitelné ke stávající konfiguraci elipsometru bez nutnosti cokoliv u stávajícího hardwaru a softwaru měnit.	NE	Součástí dodávky bude optika pro měření s mikrobodem pro dosažení spotu na vzorku s velikostí < 400 µm. Tato optika je uživatelem snadno připojitelná ke stávající konfiguraci bez nutnosti cokoliv HW i SW měnit	ANO
13.	motorizovaný XY skenovací stolek s automatickým posunem	alespoò 100 mm v obou osách pro mapování měřených vzorků, minimální krok posunu ≤ 5 μm	Ano, motorizovaný XY skenovací stolek s automatickým posunem 100x100 mm, minimální krok ≤ 3 µm	ANO
14.	možnost měření malých i velkých vzorků v rozsahu	minimálně od 2 mm do 100 mm	Ano, vzorky od 2 mm do 100 mm i více	ANO
15.	in-situ příslušenství pro možnost měření přímo na PLD komoře, zahrnující alespoò (kompletní sada pro in-situ měření je požadována z důvodu rychlé změny z ex-situ konfigurace na in-situ):	křemenné průzory, příruby na komoru, držáky elipsometrických jednotek pro montáž na komoru, prvky pro snadnou justáž na komoře, sadu náhradních kabelů pro snadné přepínání z ex-situ do in-situ konfigurace nebo sadu vláken pro přivedení snímaných dat do spektrometru.	Ano, insitu sada bude součástí dodávky, bude zahrnovat křemenné průzory, příruby na komoru, držáky elipsometrických jednotek pro montáž na komoru, prvky pro snadnou justáž na komoře, sadu náhradních kabelů pro snadné přepínání z ex-situ do in-situ konfigurace a přídavné vlákno pro přivedení snímaných dat do spektrometru.	ANO
16.	příslušenství pro uživatele	počítač s monitorem spojovací kabely pomůcky pro kalibraci	Ano, počítač s monitorem, spojovací kabely a pomůcky pro kalibraci jsou součástí dodávky	ANO

Specifikace – SOFTWARE

Pořadí	Popis parametru a minimální požadovaná hodnota			Nabízená hodnota	Splòuje ANO/Ne
1.	softwarové vybavení pro řízení a ovládání přístroje, nastavení parametrů měření, načítání dat i jejich následnou analýzu včetně jejich zpracování		ANO	Ano, v rámci dodávky je softwarové vybavení pro řízení a ovládání přístroje, nastavení parametrů měření, načítání dat i jejich následnou analýzu včetně jejich zpracování	ANO
2.	přenositelnost na novější ovládací PC nebo novější operační systémy (WIN 10 a vyšší)		ANO	Ano, dodaný software je přenostielný na novější PC či novější OS Windows	ANO
3.	počet licencí pro instalaci na dalších počítačích z hlediska možného zpracování dat nezávisle na měření		min. 5	Ano, 5 licencí pro instalaci na dalších počítačích je součástí dodávky	ANO
4.	bezplatný upgrade SW včetně možnosti instalace na novější operační systém nebo HW (případná budoucí výměna řídicího počítače)		min. po dobu záruky	Ano, po dobu záruky je bezplatný upgrade software včetně možnosti instalace na novější OS či novější počítač	ANO
5.	SW pro měření a analýzu dat zahrnuje alespoò:
5.1		funkce pro automatickou kontrolu měření, včetně měření při více než jednom úhlu, měření v závislosti na čase, měření nejméně 11 prvků Muellerovy matice, měření depolarizace	ANO	Ano, sw nabízí funkce pro automatickou kontrolu měření, včetně měření při více než jednom úhlu, měření v závislosti na čase, měření nejméně 11 prvků Muellerovy matice, měření depolarizace	ANO
5.2		funkce pro zpracování dat (Ψ a Δ) změřených v závislosti na vlnové délce, úhlu a čase: výpočet (nafitování) závislostí veličin n a k na vlnové délce a tloušky; to vše pro každou z vrstev, pokud je vzorek multivrstvou	ANO	Ano, sw nabízí funkce pro zpracování dat (Ψ a Δ) změřených v závislosti na vlonové délce, úhlu a čase: dále výpočet (nafitování) závislostí veličin n a k na vlnové délce a tloušky; to vše pro každou z vrstev, pokud je vzorek multivrstvou	ANO
5.3		model, který umožòuje zahrnout externě naměřená data transmise, reflexe v prostředí o jiném indexu lomu, a to i v jiném rozsahu, než jsou elipsometrická data a obecně pro různou tloušku vrstvy	ANO	Ano, software umožòuje zahrnout externě naměřená data transmise, reflexw v prostředí o jiném indexu lomu, a to i v jiném rozsahu, než jsou elipsometrická data a obecně pro různou tloušku vrstvy	ANO
5.4		implementaci gradientních vrstev, materiálů tvořených směsí několika složek v předem neznámém poměru, povrchových drsných vrstev, korekce plynoucí z transparentního substrátu, “multiple sample analysis“	ANO	Ano, sw nabízí implementaci gradientních vrstev, materiálů tvořených směsí několika složek v předem neznámém poměru, povrchových drsných vrstev, korekce plynoucí z transparentního substrátu, “multiple sample analysis“	ANO
5.5		dostupnost rozsáhlé databáze disperzních oscilačních modelů včetně Cauchy, "classical" absorption (Drude, Lorentz), Tauc-Xxxentz, Xxxx-Xxxxxxx (Tauc-Xxxentz-Urbach), “Gaussian absorption“ oscilátory; fitování všech parametrů podle těchto modelů;	ANO	Ano, sw nabízí rozsáhlou databázi disperzních oscilačních modelů včetně Cauchy, “classical“ absorption (Xxxxx, lorentz), Tauc-Xxxentz, xxxx-Xxxxxxx (Tauc-Xxxxxxx-Xxxxxx), “Gaussian absorption“ oscilátor a fitování všech parametrů podle těchto modelů	ANO
5.6		dostupnost rozsáhlé databáze charakteristik známých materiálů	ANO	Ano, součástí softwaru je rozsáhlá databáze známých materiálů	ANO
5.7		kombinace položek 5.1 až 5.6 v jednom optickém modelu	ANO	Ano, sw umožòuje kombinaci všech funkcí 5.1 až 5.6 v jednom optickém modelu	ANO

PŘÍLOHA Č. 2

Technická specifikace

SPEKTROSKOPICKÝ ELIPSOMETR PRO IN-SITU A EX-SITU MĚŘENÍ

Technické parametry zařízení :

Půjde o dodávku spektroskopického automatizovaného elipsometru, konkrétně o model M2000 od firmy J.A. Wolllam. Nabízený přístroj bude pracovat ve spektrálním oboru UV-NIR, umožní měření elipsometrických spekter při různých úhlech dopadu spolu s intenzitním měřením spekter reflektivity a transmise a komplexní SE analýzu jak v ex-situ konfiguraci, tak v in-situ uspořádání na PLD komoře. Společně s příslušenstvím zajistí splnění všech technických parametrů v souladu se zadávacími podmínkami.

Sestava bude obsahovat tyto položky

• Spektroskopický elipsometr M2000D, rozsah 193-1000 nm, základní sestava včetně zdroje, detektoru, řídicí a vyhodnocovací jednotky

• Automatický goniometr s nastavitelným úhlem měření pro horizontální uspořádání elipsometru

• Mapovací stolek s motorizovaným posunem 100 mm v osách x a y

• Automatické nastavení polohy vzorku, motorizované naklápění v rovině povrchu vzorku a motorizovaný posuv ve směru kolmém na povrch vzorku v kombinaci s vyhodnocením polohy pro plně automatické měření

• Optika pro měření s mikrobodem pro dosažení spotu na vzorku s velikostí < 400 um

• ln-situ příslušenství pro možnost měření přímo na PLD komoře, kompletní sada pro
  in-situ měření (křemenné průzory, příruby na komoru, držáky elipsometrických jednotek pro montáž na komoru, prvky pro snadnou justáž na komoře)

• Sada náhradních kabelů pro snadné přepínání z ex-situ do in-situ konfigurace

• Náhradní vlákno pro snadné přepínání z ex-situ do in-situ konfigurace, délka 3 m

• Software pro řízení měření, sběr a analýzu dat

• Řídicí počítač s monitorem

• Potřebné spojovací kabely a pomůcky pro kalibraci systému, běžnou kontrolu a nastavení přístroje

• Manuály a prohlášení o shodě

• Dopravné a pojištění na místo určení

Součástí bude instalace, zprovoznění a předvedení systému včetně zaškolení obsluhy v požadovaném rozsahu. Během instalace budou deklarované parametry demonstrovány a prokázáno tak jejich dosažení. Dodávka bude obsahovat všechny potřebné části, které jsou zapotřebí pro chod systému, všechna zařízení jsou určena pro napětí 230V, 50Hz Součástí plnění bude také provádění záručního servisu a poskytování bezplatných konzultací/technické podpory v průběhu záruční lhůty.

Nabízená sestava bude mít tyto technické specifikace:

1. spektrální rozsah měření: od 193 nm až do 1000 nm. Elipsometr bude možné v budoucnu rozšířit o NIR rozsah až do 1690 nm.

2. spektrální rozsah bude zajištěný jednou detekční jednotkou bez nutnosti výměny detektoru či manuálního přepínání, spektrální detekce bude na bázi multikanálového detektoru (CCD) pro rychlý záznam celého spektra v jednom okamžiku

3. systém umožní rychlé měření s ohledem na in-situ aplikace, kompletní měření vzorku cSi se záznamem celého spektra od 0,1 s.

4. elipsometr měří kompletní polarizační stav světla ve všech pozicích po interakci se vzorkem včetně depolarizace

5. jedná se o metodu měření s rotujícím kompenzátorem pro vysokou citlivost měření pro všechny polarizace.

6. přesnost měření veličin Psi, Delta v přímém průchodu vzduchem („straight-through“ konfigurace, kdy svazek prochází pouze vzduchem) je. Psi = 45° ± 0,075° Delta 0° ± 0,05°

7. elipsometr zajistí současné měření elipsometrických dat všech polarizačních stavů (Psi a Delta) ve všech pozicích po interakci se vzorkem včetně depolarizace, obecné elipsometrie (anizotropie) a měření Muellerovy matice (11 prvků MM) v celém oboru polarizačních stavů v reflexním i transmisním módu jako funkci vlnové délky a úhlu dopadu.

8. sestava umožní rychlou změnu konfigurace z ex-situ na in-situ a naopak bez nutnosti kvalifikované justáže

9. půjde o konfiguraci elipsometru pro ex-situ měření s motorizovaným goniometrem Theta-2Theta v horizontálním uspořádání polohy vzorku, rozsah goniometru 45° - 90° s kontinuální možností změny úhlu, přesnost nastavení úhlu 0,02 ⁰ a opakovatelnost nastavení polohy 0,005°

10. držák vzorku (stolek) umožní motorizované nastavení polohy vzorku (naklápění v rovině povrchu vzorku a posuv ve směru kolmém na povrch vzorku)

11. přesné nastavení polohy vzorku je snímáno kvadrantovým detektorem pro snadné najustování optimální polohy vzorku a nastavení úhlu dopadu s přesností 0.001°

12. součástí dodávky bude optika pro měření s mikrobodem pro dosažení spotu na vzorku s velikostí < 400 um. Příslušenství pro měření v mikrobodu bude snadno připojitelné ke stávající konfiguraci elipsometru bez nutnosti cokoliv u stávajícího hardwaru a softwaru měnit

13. bude zde motorizovaný XY skenovací stolek s automatickým posunem 100 mm v obou osách pro mapování měřených vzorků, minimální krok posunu bude ≤ 3 um

14. je zde možnost měření malých i velkých vzorků v rozsahu od 2 mm do 100 mm i více

15. in-situ příslušenství zajistí měření přímo na PLD komoře, bude zahrnovat křemenné průzory, příruby na komoru, držáky elipsometrických jednotek pro montáž na komoru, prvky pro snadnou justáž na komoře, sadu náhradních kabelů pro snadné přepínání z ex-situ do in-situ konfigurace a náhradní vlákno pro přivedení snímaných dat do spektrometru

16. řídící počítač s monitorem, potřebné manuály, spojovací kabely a pomůcky pro kalibraci systému budou součástí sestavy

17. softwarové vybavení pro řízení a ovládání přístroje, nastavení parametrů měření, načítání dat i jejich následnou analýzu včetně jejich zpracování. V rámci dodávky bude poskytnuto 5 licencí sw pro jeho instalaci na dalších počítačích z hlediska možného zpracování dat nezávisle na měření. Software bude po dobu záruky upgradován bezplatně. Software umožní budoucí výměnu PC a upgrade operačního systému.

18. Software pro měření a analýzu dat bude splòovat následující požadavky (mít implementovány následující funkce):

• automatickou kontrolu měření, včetně měření při více než jednom úhlu, měření v závislosti na čase, měření nejméně 11 prvků Muellerovy matice, měření depolarizace

• zpracování dat (Psi a Delta) změřených v závislosti na vlnové délce, úhlu a čase: výpočet (nafitování) závislostí veličin n a k na vlnové délce a tloušky; to vše pro každou z vrstev pokud je vzorek multivrstvou

• model umožní zahrnout externě naměřená data transmise, absorpce v prostředí o jiném indexu lomu a to i v jiném rozsahu, než jsou elipsometrická data a obecně pro různou tloušku vrstvy

• implementaci gradientních vrstev, materiálů tvořených směsí několika složek v předem neznámém poměru, povrchových drsných vrstev, korekce plynoucí z transparentního substrátu, "multiple sample analysis”

• dostupnost rozsáhlé databáze disperzních oscilačních modelů včetně Cauchy, ”classical” absorption (Drude, Lorentz), Taxx-Xorentz, Xxxx-Xxxxxxx (Taxx-Xorentz-Urbach), ”Gaussian absorption” oscilátory; fitování všech parametrů podle těchto modelů;

• dostupnost rozsáhlé databáze charakteristik známých materiálů

• kombinace všeho výše uvedeného v jednom optickém modelu

Detailní popis softwaru CompIeteEASE:

Software CompleteEASE nabízí celou škálu modelů a přístupů pro transmisní i reflexní elipsometrická data, možnosti jejich analýzy, jde o komplexní a výkonný nástroj v oblasti elipsometrických měření. Uživateli umožòuje využít nejen dostupné modely, ale také vytvoření vlastních modelů na základě uživatelem definovaných vrstev a jejich disperzní závislosti. Pět licencí na sw CompleteEASE bude součástí dodávky. Uživatel ho bude moci využít a už pro vlastní měření nebo separátně na dalším PC pro analýzu a vyhodnocení naměřených dat.

Software umožòuje plnohodnotné načítání dat v různých režimech:

- standardní parametry elipsometrie Psi a Delta v reflexním či transmisním módu jako funkci vlnové délky a úhlu dopadu a času

- statická data (ex situ měření), dynamická data (in situ aplikace jako růst vrstev, depozice, leptání, atd.)

- Jonesovu matici v reflexním i transmisním módu jako funkci vlnové délky a úhlu dopadu

- Muellerovu matici v reflexním i transmisním módu jako funkci vlnové délky a úhlu dopadu

- ATR měření jako funkci vlnové délky a úhlu dopadu

- depolarizační měření jako funkci vlnové délky a úhlu dopadu

- měření intenzity prostupu či odrazu jako funkci vlnové délky a úhlu dopadu a času

- měření anizotropních materiálů jako funkci vlnové délky a úhlu dopadu a času

- možnost provádět korekce pro případ měření vrstev na transparentním substrátu, opačné měření vrstvy ze strany průhledného substrátu atd

- možnost externího řízení elipsometru přes jiné zařízení, jehož součástí elipsometr je

Software zahrnuje funkce pro kompletní analýzu získaných dat:

- vyhodnocení anizotropie opticky jednoosých i dvouosých materiálů s absorpcí či bez, určení Eulerova úhlu

- parametrické modelování s interaktivními modely, které dovoluje kombinovat různé druhy oscilátorů snadným ovládáním přes myš, jako např. Xxxxx, Xxxxxxx, Taux-Xxrentz, Taux-Xxdy, atd., dostupné modely jsou uvedeny podrobně dále

- komplexní aproximaci pro automatizované hledání startovních hodnot parametrů

- analýzu pro zadní zpětnou reflexi

- analýzu pro měření z opačné strany

- možnost stanovení tloušky měřeného vzorku

- analýzu pro ATR konfiguraci

- statistické vyhodnocení

- paralelní aproximaci různých parametrů: psi, delta, odrazivost, propustnost, depolarizaci, Xxxxxxxxxx matici různých úhlů dopadu, …

- vícenásobnou analýzu vzorků při současném užití různých modelů na různá měření několika vzorků

- povrchy tekutých krystalů

- celá řada dalších funkcí jako spojování několika parametrů (např. tlouška 1 = tlouška 2 + konstanta atd.), minimální či maximální meze parametrů, specifické fitace, vlivy nerovnoměrnosti tloušky vrstvy nebo zpětných odrazů, růst vrstev při in-situ měřeních, eliminace vlivu okének, teplotních či kapalinových cel atd.

Dostupné modely:

jednoduchá vrstva — s absorpcí nebo bez absorpce

- vícevrstvá struktura — použití teorie EMA, 2-3 složky dle EMA, Bruggemam nebo Maxwell-Garnett

- uživatelem definovaná vrstva - definovaná disperzní závislost

- stupòované kompozitní vrstvy — změna kompozitu jako funkce hloubky

- strukturované vrstvy

- vícevrstvá struktura na přední či zadní části substrátu — jedné nebo druhé části nebo obou

- povrchové drsné struktury — použití teorie EMA

- meziplošné drsné struktury - použití teorie EMA

- slitinové materiály typu Al_xGa_1-xAs, Hg_XCd_{1 -x}Te, Si_xGe_1-x, SiO_xN_y, atd

- vrstvy s nerovnoměrnou tlouškou — lze aplikovat na všechny uvedené modely

- mřížkové struktury — kombinace opakovaného počtu výše uvedených vrstev

- anizotropní vrstvy a materiály s orientovanou optickou osou: kolmo na povrch vzorku, v rovině vzorku (zde jsou možnosti typu kolmo na rovinu dopadu, paralelně s rovinou dopadu nebo v libovolném úhlu k rovině dopadu), případně v libovolném úhlu k rovině dopadu při obecně orientované optické ose.

- povrchy tekutých krystalů

- analýza mnohočetných vzorků — fitace optické konstanty materiálu mnohočetných vzorků

se stejnými vrstvami rozdílné tloušky.

Fitace parametrů:

- jednovrstvé struktury: tlouška, index lomu, koef. extinkce

- vícevrstvé struktury: tlouška, index lomu, koef. Extinkce

- disperzní modely pro příslušné materiály

- obecné oscilační modely pro kombinaci různých typů oscilace:

• Amorfní dielektrika / polovodiče (a-Si, SON, Si3N4.), kovy (Al, Ti, Ta, Au,.), databáze více než 550 materiálů dělená na dielektrika, kovy, polovodiče a speciální materiály.

• Cauchy: standardní Cauchy s Urbach absorpcí

• Sellmeier & Pole oscilátor

• ε1 Offset

• Lorentz oscilátor

• Tanguy oscilátor

• lonic & lnonic2: absorpce fotonů

• TOLO: faktorizovaný model pro absorpci fotonů

• Drude, rho-tau Drude & N-mu Drude : nulová rezonanční energie Lorentz oscilátoru

• Tauc-Lorentx & Egap Tauc-Lorentx: Xauc-Lorentx xxdely pro amorfní materiály

• Harmonické oscilátory

• Gaussian absorpční model

• Gauss-Lorentz: Gaussian-Lorentz absorpční kombinační model

• GLAD: Gaussian-Lorentz Asymmetric Doublet oscilátor

• Psemi-EO: parameterized semiconductor oscilátor

• CPPB: Critical Point Parabolic Band oscilátor pro polovodiče

• CPMO, CPMI, CPM2 & CPM3: Adachi model pro kritické body funkce M0, M1, M2, & M3

• Xxxx-Xxxxxxx oscilátor

• Lorentz-PB & Lorentz-LB oscilátor

• Krystalické polovodiče

• uživatelem definovaný disperzní model

• intuitivní grafické zobrazení hodnot na základě hodnot vstupních parametrů

• možnost fitovat disperzní model na referenční materiál

• stupòování: několik stupòovaných vrstev

• funkce pro nerovnoměrnou tloušku vrstvy

• statistické vyhodnocení: měření odchylky, váhy, parametru korelace, 90% splnění limitu atd.

• řada dalších možností, jako EMA funkce (Bruggemam, Xxxxxxx-Xxxxxxx) do 3 složek

- stupòované kompozitní vrstvy: tlouška, profil vs. hloubka (lineární, triangulární, sinusoidální, libovolně uživatelem definovaný, stupòovaný, ….)

- povrchové drsné struktury: tlouška, prostý poměr

- meziplošné drsné struktury: xxxxxxxx, poměr složek

- slitinové materiály: tlouška, poměr složek

- anizotropní vrstvy: tlouška, n a k v rovině dopadu, mimo rovinu dopadu, v libovolné pozici k rovině dopadu, eulerův úhel

- teplota

- nerovnoměrnost tloušky

- úhel dopadu

- vliv zpětných odrazů u transparentních materiálů

Kromě toho sw nabízí pokročilé funkce v rámci fitace jako spojování několika parametrů (např. tlouška 1 = tlouška 2 + konstanta atd.), minimální či maximální meze parametrů, specifické fitace, vlivy nerovnoměrnosti tloušky vrstvy nebo zpětných odrazů, růst vrstev při in-situ měřeních atd.

Přednosti nabízené sestavy:

• Metoda s rotujícím kompenzátorem: optimalizuje citlivost pro všechny stavy polarizace, tedy i pro lineární polarizaci (Delta = 0° nebo 180°), bez tohoto není možné měřit singulární body (např. sklo nebo sklo s tenkou vrstvou, nebo Si wafer), přitom je Delta parametrem důležitým pro měření velmi tenkých vrstev. Měří Delta v celém rozsahu 0-360°, což dovoluje separaci mezi pravotočivou či levotočivou polarizací, eliminuje singulární body u Psi. Díky tomu je zaručené přesné měření Psi a Delta v celém rozsahu. Přínosem je také vysoká přesnost při měření depolarizace, při obecné elipsometrii, pro Xxxxxxxxxx matici různých úhlů dopadu.

• CCD (případně i v kombinaci s lnGaAs lineárním detektorem) pro UV-NIR oblast: dokáže rozlišit až 500 resp. 700 vlnových délek s rozlišením pod 5 nm v oblasti do 1000 nm. Zajišuje vysokou rychlost měření.

• Integrovaný kvadrantový detektor pro přesné nastavení polohy vzorku (naklápění v x-y a posuv v ose z) s citlivosti 0,001° úhlu dopadu. Velmi jednoduchá a přesná metoda díky softwarovému zobrazeni na displeji. Je umístěn přímo na rameni goniometru a je jeho součástí (nejde o odnímatelný prvek), takže garantuje vždy správnou polohu vzorku.

• Modulární systém: spočívá ve velmi široké nabídce konfigurací a dalšího příslušenství.

• Široká škála možností měření: od obecných elipsometrických měření, až po anisotropii, měření depolarizace atd.

• Ověřený produkt - v oblasti elipsometrických aplikací je značka Woollam považována za měřicí standard. Firma Woollam má širokou základnu zákazníků v průmyslu i vědě a stovky instalací. Systém je tedy odzkoušený trhem a lze garantovat, že 100% splní požadavky této aplikace.

• Vlastní CompleteEASE software pro načítání dat i jejich následnou analýzu. Software nabízí celou škálu modelů a přístupů pro transmisní i reflexní elipsometrická data, možnosti jejich analýzy, jde o komplexní a výkonný nástroj v oblasti elipsometrických měření. Software je neustále zdokonalován s ohledem na zpětnou vazbu od zákazníků a s ohledem na požadavky trhu.

Firma LOT-QD obecně nabízí také zákaznická školení u nich v aplikační laboratoři. Jde o detailní proškolení v používání softwaru, praktické ukázky, použití sw v základních i pokročilých aplikacích a to u nich v aplikační laboratoři v Darmstadtu na reálném systému. Toto je vhodné provést po počátečním používání elipsometru a seznámení se obsluhy se softwarem, kdy se nasbírají základní poznatky o funkcích softwaru a je možné přistoupit k pokročilým aplikacím ve smyslu definování modelu, použití fitace atd. Další možnou

nabídkou je návštěva některého semináře s oficiálním školením na software.

Další popis k nabízenému elipsometru M2000 lze nalézt v datovém listu v příloze.

Údaje pro hodnocení technických hodnotících kritérií .

Rychlost měření pro kompletní změření vzorku c-Si v rozsahu do 1000 nm se záznamem celého spektra : do 0,1 s

Metoda měření s plně rotujícím kompenzátorem (kontinuální rotace kompenzátoru rychlostí 20 Hz, tedy RCE metoda) pro dosažení vysoké citlivosti měření ve všech polarizačních stavech, pro vysokou rychlost měření, měření depolarizace a 11 prvků normované MM : ANO

Přesnost měření v přímém průchodu vzduchem po dobu 10 s maximálně, při sejmutí celého spektra : lepší než Ψ: 45° ± 0,075°, Δ: 0° ± 0,05°

Konfigurace pro měření s mikrobodem - dodání konfigurace pro měření s mikrobodem pro dosažení spotu na vzorku s velikostí < 400 um. Příslušenství pro měření v mikrobodu bude snadno připojitelné ke stávající konfiguraci elipsometru bez nutnosti cokoliv u stávajícího hardwaru a softwaru měnit : ANO

Automatické nastavení polohy - motorizované naklápění v rovině povrchu vzorku a motorizovaný posuv ve směru kolmém na povrch vzorku v kombinaci s vyhodnocením polohy pomocí detektoru tak, aby byl vzorek nastaven v optimální poloze pro vlastní elipsometrické měření automaticky : ANO

Záruční podmínky •

Záruka na kompletní dodávku celé sestavy je 12 měsíců.

Záruka začíná běžet od podepsání předávacího protokolu

V případě záručního servisu bude odezva ze strany prodávajícího na oznámení závady maximálně 72 hodin a to telefonicky, e-mailem nebo návštěvou technika, zpravidla dříve. Odstranění závady bude provedeno v co nejkratším termínu, termín odstranění závady je standardně do 2 týdnů, pokud půjde o běžný typ závady nebo dodávku běžných náhradních dílů. Ve specifickém případě bude vždy domluvena přiměřená lhůta pro odstranění, pokud se tak smluvní strany dohodnou.

Součástí dodávky bude i technická podpora ze strany dodavatele týkající se analýzy dat, měření vzorků, poradenství a možnosti ověření měření na zařízení v laboratořích výrobce, a to po celou dobu záruční lhůty i po ní.

Čestné prohlášení:

Čestně prohlašujeme, že naše nabídka splòuje všechny technické požadavky zadavatele. Nabízené zboží je nové a nepoužité.

V Praze dne 15.10.2018

………………………………………………………….

xxxxxxxxxxxxxxxxxxxxx

Seznam příloh:

Datové listy a brožury

Strana 8 z 17