K U P N Í S M L O U V A
Depoziční zařízení – MBE systém
uzavřená ve smyslu § 2079 a násl. zákona č. 89/2012 Sb., občanský zákoník( dále jen „o.z.“)
Tato smlouva je uzavřena na základě výsledku otevřeného nadlimitního řízení veřejné zakázky evidované na profilu zadavatele pod systémovým číslem: P20V00000499 (dále jen „Zadávací řízení“)
číslo smlouvy Kupujícího: bude uvedeno v záznamu o uveřejnění smlouvy v registru smluv dle zák. č. 340/2015 Sb.
číslo smlouvy Prodávajícího: ………………
Název projektu: Technologické centrum NTC Techlab
Číslo projektu: CZ.01.1.02/0.0/0.0/20_329/0023413
Smluvní strany
1) ………………
se sídlem: ………………
IČ: ………………
DIČ: ………………
zastoupená: ………………
bankovní spojení: ………………
číslo účtu: ………………
zapsaná v obchodním rejstříku pod sp. zn.: ……………… vedenou u ………………
(dále jen „Prodávající“ nebo „dodavatel“)
a
2) Západočeská univerzita v Plzni
se sídlem: Univerzitní 2732/8, 301 00 Plzeň
IČ: 49777513
DIČ: CZ49777513
zřízena zákonem č. 314/1991 Sb.
zastoupená: doc. Dr. RNDr. Xxxxxxxxxx Xxxxxxxx, rektorem
(dále jen „Kupující“)
(společně dále také jako „Smluvní strany“)
I.
Předmět smlouvy
Prodávající se zavazuje dodat kupujícímu za podmínek stanovených touto smlouvou depoziční zařízení – MBE systém (dále také jen jako „předmět koupě“ nebo „přístroj“).
Předmět koupě je blíže specifikován v nabídce Prodávajícího podané v Zadávacím řízení a musí odpovídat specifikaci uvedené v příloze č. 2 této smlouvy a současně musí obsahovat všechny komponenty a splňovat min. všechny technické podmínky uvedené v příloze č. 1 této smlouvy (rozhodující je anglická verze přílohy).
Součástí dodávky je instalace přístroje v místě plnění a předvedení jeho plné funkčnosti provedením akceptační zkoušky (viz bod 14 písm. c) přílohy č. 1 této smlouvy).
Předmět koupě musí být nový, plně funkční a kompletní tak, aby bylo možné jeho plné využití pro obvyklé účely.
Předmět koupě musí být dodán ve sjednaném množství, tj. jeden (1) přístroj, jakosti, provedení, místě a čase.
Předmět koupě musí být bez jakýchkoliv právních a faktických vad, které by bránily plnohodnotnému užívání předmětu koupě.
Prodávající se zavazuje splnit další související povinnosti podle této smlouvy a umožnit kupujícímu nabýt vlastnické právo k předmětu koupě.
Nedílnou součástí předmětu koupě je kompletní ovládací software přístroje (viz bod. 14 písm. a) přílohy č. 1 této smlouvy).
Nedílnou součástí plnění Prodávajícího dle této smlouvy je:
dodání přístroje do místa plnění včetně jeho vykládky a kompletní instalace na místě určeném Kupujícím;
uvedení přístroje do plnohodnotného provozu, včetně úspěšného provedení akceptační zkoušky;
dodání technické dokumentace přístroje, uživatelských příruček přístroje a seznam požadovaných servisních intervalů a činností, vše v českém či anglickém jazyce, v listinné nebo elektronické podobě;
zaškolení obsluhy v místě plnění přímo na dodaném předmětu koupě v rozsahu čtyřiadvaceti (24) hodin pro minimálně dvě (2) osoby, jehož náplní bude zvládnutí obsluhy přístroje, všech jeho součástí a ovládacího softwaru v plném rozsahu;
bezplatný záruční servis (seřízení a údržba) v místě plnění po dobu záruky, včetně servisních úkonů nutných pro udržení záruky, dodávky náhradních dílů, dopravy a práce servisního technika a upgrade softwaru;
závazek Prodávajícího zajistit po dobu deseti (10) let od dodání přístroje a nejpozději do dvaceti (20) dnů od výzvy Kupujícího údržbu, náhradní díly, servis a případné další pozáruční opravy v místě instalace za cenu, která nepřevýší cenu v místě a čase obvyklou;
závazek Prodávajícího poskytovat v záruční době zákaznickou podporu v podobě telefonické konzultace (resp. odpovědi) nejpozději do 48 hodin v českém nebo anglickém jazyce Kupujícímu ve vztahu k přístroji a ovládacímu softwaru a to každý pracovní den v době od 9:00 do 15:00 hod. na tel. čísle +420 …….
Součástí dokumentace přístroje dle odst. 9 písm. c) tohoto článku smlouvy musí být rovněž (v českém či anglickém jazyce):
seznam komponent, které je potřeba pravidelně kontrolovat při zapnutí přístroje, po vypékání (bake-out) přístroje;
seznam komponent, které je nutné pravidelně servisovat vč. stanoveného časového intervalu servisu (např. těsnění na primárních pumpách, wolframové drátky na napařovacích jednotkách, apod.).
Kupující se zavazuje bez vad předaný předmět koupě převzít a uhradit Prodávajícímu cenu stanovenou v této smlouvě za podmínek v ní uvedených.
II.
Doba a místo plnění
Prodávající se zavazuje, že předmět koupě řádně dodá Kupujícímu v místě plnění, kterým je Západočeská univerzita v Plzni, budova NTC/RAM, Teslova 1240/5b, 301 00 Plzeň, místnost č. dv. 124/125 a to následujícím způsobem:
nejpozději do dvou (2) měsíců od uzavření smlouvy předloží Prodávající Kupujícímu výkresovou dokumentaci přístroje (v českém nebo anglickém jazyce) ke schválení;
nejpozději do 30. 11. 2021 dodá přístroj (v provedení v souladu s Kupujícím schválenou výkresovou dokumentaci) vč. ovládacího software a veškeré dokumentace stanovené touto smlouvou, zprovozní přístroj (vč. úspěšného provedení akceptační zkoušky) a provede zaškolení obsluhy.
Předmět koupě bude předán Prodávajícím a převzat Kupujícím na základě písemného, oboustranně podepsaného a datovaného předávacího protokolu. Kupující není povinen převzít předmět koupě, který vykazuje jakoukoliv vadu či nedodělek, nebo pokud nejsou splněny povinnosti uvedené v čl. I. odst. 9 písm. a) až d) této smlouvy.
V případě prodlení Prodávajícího s dodáním předmětu koupě vč. uvedení do provozu je Kupující oprávněn požadovat na Prodávajícím zaplacení smluvní pokuty ve výši 0,05 % z kupní ceny předmětu koupě bez DPH, a to za každý i jen započatý den prodlení.
Zaškolení obsluhy dle v čl. I. písm. d) této smlouvy provede Prodávající na dodaném přístroji v místě plnění. Přesný čas a průběh zaškolení bude dohodnut mezi smluvními stranami, nedojde-li mezi stranami k dohodě, určí jej Kupující.
Prodávající bere na vědomí, že předmět koupě je financován (z dotačního titulu projektu NTC Techlab a z Institucionální podpory na dlouhodobý koncepční rozvoj výzkumné organizace. Kupující je povinen dodržet dotační podmínky a podmínky institucionální podpory a to zejm. mezní termín (31. 12. 2021) realizace akce (vč. úplného zaplacení kupní ceny) stanovený poskytovatelem dotace. Prodávající bere na vědomí, že v případě nedodržení podmínek stanovených poskytovatelem dotace, zejm. výše uvedeného mezního termínu realizace, může dojít ke krácení či neposkytnutí dotace a současně k nemožnosti čerpání institucionální podpory. Smluvní strany sjednávají, že Prodávající je povinen nahradit Kupujícímu veškerou újmu (majetkovou i nemajetkovou) ve výši sankcí (za sankci se považuje i případné neposkytnutí či krácení dotace, nebo nemožnost čerpání institucionální podpory), které budou Kupujícímu uloženy v souvislosti s nedodržením mezního termínu realizace akce nebo jiných dotačních podmínek, bude-li takováto sankce uložena v souvislosti s porušením některé z povinností Prodávajícího stanovených touto smlouvou.
Prodávající bere na vědomí a souhlasí s tím, že dodání přístroje je podmíněno schválením výkresové dokumentace přístroje Kupujícím. V případě, že nedojde ke schválení výrobní dokumentace Kupujícím do čtrnácti (14) dnů od jejího předložení Prodávajícím Kupujícímu, je Kupující oprávněn od této smlouvy odstoupit.
III.
Cena a platební podmínky
Kupující se zavazuje uhradit Prodávajícímu za dodání předmětu koupě a souvisejících plnění dle této smlouvy kupní cenu, která činí ke dni uzavření této smlouvy částku ve výši ……………… Kč bez DPH.
Kupní cena je stanovena jako nejvýše přípustná, maximální a nepřekročitelná, včetně všech poplatků a veškerých dalších nákladů spojených s plněním předmětu smlouvy (např. dopravné, skladné, cla, schvalovací řízení, provedení předepsaných zkoušek, certifikátů a atestů, převod práv, pojištění apod.).
Kupní cena bude zaplacena v následujících částech:
30 % po nabytí účinnosti této smlouvy;
30 % kupní ceny po schválení výkresové dokumentace přístroje Kupujícím;
30 % kupní ceny po dodání přístroje;
10 % po splnění všech závazků prodávajícího dle čl. I. odst. 9 písm. a) až d) (po podepsání předávacího protokolu (vč. úspěšného provedení akceptační zkoušky) a doručení faktury vystavené prodávajícím kupujícímu, jejíž přílohou bude kopie předávacího protokolu podepsaného oprávněnými osobami obou smluvních stran). S ohledem na mezní termín realizace akce je prodávající povinen doručit poslední fakturu na úhradu kupní ceny nejpozději do 15. 12. 2021.
Splatnost faktur se sjednává na 30 dnů ode dne jejího prokazatelného doručení kupujícímu.
Faktury musí obsahovat všechny náležitosti řádného účetního a daňového dokladu ve smyslu příslušných právních předpisů, zejména zákona č. 235/2004 Sb., o dani z přidané hodnoty, ve znění pozdějších předpisů a všechny náležitosti stanovené touto smlouvou. Faktura musí obsahovat také název a reg. č. projektu: Název: Technologické centrum NTC Techlab, reg. č. projektu: CZ.01.1.02/0.0/0.0/20_329/0023413. V případě, že faktura nebude mít odpovídající náležitosti, je Kupující oprávněn ji vrátit ve lhůtě splatnosti zpět Prodávajícímu k doplnění, aniž se tak dostane do prodlení se splatností. Lhůta splatnosti počíná běžet znovu od opětovného doručení náležitě doplněné či opravené faktury kupujícímu. Přílohou faktury musí být kopie protokolu o předání a převzetí plnění podepsaného oběma smluvními stranami.
Kupní cena bude Kupujícím uhrazena na bankovní účet Prodávajícího uvedený v záhlaví této smlouvy.
V případě prodlení Kupujícího s úhradou faktury je Prodávající oprávněn uplatnit vůči Kupujícímu pouze úrok z prodlení ve výši 0,05 % z dlužné částky za každý i jen započatý den prodlení s úhradou faktury.
IV.
Přechod vlastnického práva
Vlastnické právo k předmětu koupě nabyde kupující dnem podpisu předávacího protokolu oprávněnými zástupci obou smluvních stran dle čl. II. odst. 2 této smlouvy, potvrzujícího řádné dodání a zprovoznění předmětu koupě. Stejným okamžikem přechází na Kupujícího také nebezpečí škody na věci.
V.
Záruka za jakost a servis
Prodávající poskytuje Kupujícímu záruku za předmět koupě dle této smlouvy, a to v délce trvání nejméně 24 měsíců.
Záruční doba počíná běžet ode dne řádného předání a převzetí předmětu koupě od Prodávajícího na základě podpisu předávacího protokolu oprávněnými zástupci obou smluvních stran dle čl. II. odst. 2 této smlouvy.
Kupující je oprávněn oznámit Prodávajícímu záruční vadu i vadu, která existovala v době předání předmětu koupě, a uplatnit práva z takové vady kdykoliv v průběhu záruční doby, bez ohledu na to, kdy Kupující tuto vadu zjistil nebo kdy vada měla či mohla být Kupujícím zjištěna při vynaložení odborné péče. V případě, že Kupující oznámil Prodávajícímu vadu v průběhu záruční doby tj. nejpozději poslední den běhu záruční doby, je tato vada oznámena včas.
Prodávající se zavazuje přijmout oznámení o záruční vadě telefonicky, na čísle ………………, nebo e-mailem, na e-mailové adrese ………………, v pracovní dny po dobu od 8:00 do 17:00 hodin středoevropského času.
Záruční opravy provede Prodávající bezplatně a bezodkladně s ohledem na druh vady předmětu koupě. Prodávající se zavazuje k reakci (zaevidování požadavku nahlášeného kupujícím) v pracovní dny okamžitě po doručení oznámení o vadě. Mimo pracovní dny zaeviduje požadavek bezodkladně následující pracovní den. Prodávající se zavazuje nastoupit k odstranění závady nejpozději do 96 hodin od nahlášení závady a odstranit závadu nejpozději do 20 dnů od nahlášení závady Kupujícím, nebude-li mezi smluvními stranami písemně dohodnuto jinak.
Prodávající bere na vědomí, že k odstranění vad může nastoupit v pracovní den v době od 9:00 hodin do 16:00 hodin, nedohodnou-li se smluvní strany jinak.
O odstranění reklamované vady sepíší smluvní strany protokol, ve kterém oprávnění zástupci smluvních stran potvrdí odstranění vady. Záruční doba se prodlužuje o dobu, která uplyne ode dne uplatnění reklamované vady do dne odstranění této vady.
V případě nedodržení výše uvedené (či jinak dohodnuté) lhůty pro provedení záruční opravy, je Kupující oprávněn uplatnit na Prodávajícím smluvní pokutu ve výši 1.000 Kč za každý i započatý den prodlení, čímž není dotčeno právo Kupujícího na náhradu škody.
Prodávající bude poskytovat Kupujícímu po dobu trvání záruční doby rovněž plnění dle čl. I. odst. 9 písm. e) a g) této smlouvy. A to v termínu předem písemně dohodnutém oprávněnými osobami smluvních stran. Nebude-li termín stanoven dohodou smluvních stran do 10 dnů od výzvy učiněné Kupujícím vůči Prodávajícímu, stanoví termín plnění Kupující.
Za prodlení se splněním povinnosti Prodávajícího dle čl. I. odst. 9 písm. g) této smlouvy se Prodávající zavazuje uhradit Kupujícímu smluvní pokutu ve výši 1.000 Kč a to za každý započatý den prodlení.
VII.
Komunikace mezi smluvními stranami
Veškerá sdělení či jiná jednání smluvních stran podle této smlouvy budou adresovány těmto zástupcům smluvních stran, a to v českém jazyce:
Za Prodávajícího:
jméno: ………………, e-mail: ………………, tel.: ………………
Za Kupujícího:
xxx. Xx. Xxx Xxxxx, e-mail: xxxxxx@xxx.xxx.xx, tel.: x000 000 000 000,
nebo
Xxx. Xxxxx Xxxxxxx, Ph.D., e-mail: xxxxxxxx@xxx.xxx.xx, tel.: x000 000 000 000
Zástupce Kupujícího je oprávněn i k přebírání a potvrzování poskytnutého plnění (tj. k podpisu předávacího protokolu, k odsouhlasení výkresové dokumentace přístroje, k odsouhlasení provedené akceptační zkoušky), není však oprávněn k sjednání změn této smlouvy (podpis dodatku). Zástupci smluvních stran jsou oprávněni měnit smlouvu výhradně v rozsahu, který smlouva přímo předjímá, tj. zejm. v rozsahu ust. s dovětkem „nebude-li mezi smluvními stranami dohodnuto jinak“ nebo obdobný dovětek.
Změna zástupců smluvních stran musí být oznámena druhé smluvní straně písemně, přičemž je účinná okamžikem doručení tohoto oznámení.
VIII.
Licenční ujednání
Prodávající se na základě této smlouvy zavazuje poskytnout kupujícímu ode dne převzetí předmětu koupě oprávnění (licenci) a to v rozsahu řádného a plnohodnotného užívání software, jež je součástí předmětu koupě (dále jen „SW“). Licence k SW je poskytována jako neomezená časově, teritoriálně, její cena je zahrnutá v kupní ceně. Kupující není povinen tuto licenci využívat.
IX.
Ostatní ujednání
Smluvní pokuty dle této smlouvy jsou splatné do 30 dnů ode dne doručení výzvy oprávněné smluvní k jejich zaplacení druhé smluvní strany.
Zaplacením smluvních pokut dle této smlouvy není dotčen nárok smluvní strany na náhradu vzniklé majetkové či nemajetkové újmy způsobené porušením povinností druhou smluvní stranou, na níž se sankce vztahuje, a to ani co do výše, v níž případně náhrada škody smluvní pokutu přesáhne.
Kupující je oprávněn započíst své splatné i nesplatné pohledávky z titulu nároků na zaplacení smluvních pokut či nároků na náhradu škody/újmy vůči jakékoliv splatné či nesplatné pohledávce Prodávajícího. Prodávající není oprávněn jakékoliv své pohledávky vůči Kupujícímu, vzniklé z této smlouvy, započíst, zatížit zástavním právem ani je postoupit na jiného bez předchozího písemného souhlasu Kupujícího.
Prodávající není oprávněn postoupit jakákoliv práva nebo povinnosti z této smlouvy na třetí osoby bez předchozího písemného souhlasu kupujícího.
Prodávající bere na vědomí, že jako osoba povinná dle ust. § 2 písm. e) zákona č. 320/2001 Sb., o finanční kontrole ve veřejné správě je povinen spolupůsobit při výkonu finanční kontroly.
X.
Ukončení smlouvy
Tato smlouva může být ukončena písemnou dohodou smluvních stran, nebo odstoupením od smlouvy z důvodů stanovených v této smlouvě nebo v zákoně.
Od této smlouvy může smluvní strana odstoupit pro podstatné porušení smluvní povinnosti druhou smluvní stranou. Za podstatné porušení smluvní povinnosti se považuje zejména:
na straně Kupujícího nezaplacení kupní ceny podle této smlouvy ve lhůtě delší než 30 dní po dni splatnosti příslušné faktury,
na straně Prodávajícího, jestliže předmět koupě nebude řádně dodán a zprovozněn v termínu stanoveném touto smlouvou,
na straně Prodávajícího, jestliže předmět koupě nebude mít vlastnosti deklarované Prodávajícím v této smlouvě či vlastnosti z této smlouvy vyplývající,
na straně Prodávajícího, jestliže je Prodávající v prodlení delší než 30 dní s odstraněním vad dle čl. V. této smlouvy.
Kupující je dále oprávněn odstoupit od této smlouvy v případě že:
Prodávající písemně oznámí Kupujícímu, že není schopen plnit své závazky podle této smlouvy;
příslušný soud pravomocně rozhodne, že Prodávající je v úpadku nebo mu úpadek hrozí (tj. vydá rozhodnutí o tom, že se zjišťuje úpadek Prodávajícího nebo hrozící úpadek prodávajícího), nebo ve vztahu k Prodávajícímu je prohlášen konkurs nebo povolena reorganizace;
je podán návrh na zrušení Prodávajícího podle zák. č. 90/2012 sb., zákona o obchodních korporacích nebo je zahájena likvidace Prodávajícího v souladu s příslušnými právními předpisy.
Odstoupení od této smlouvy musí být učiněno písemně a jako takové doručeno druhé smluvní straně na v záhlaví této smlouvy uvedenou adresu nebo do datové schránky.
Účinky odstoupení od této smlouvy nastanou dnem, kdy bude písemné odstoupení smluvní strany odstupující doručeno druhé smluvní straně.
V případě odstoupení od této smlouvy jsou smluvní strany povinny vypořádat své vzájemné závazky a pohledávky stanovené v zákoně nebo v této smlouvě, a to do 30 dnů od právních účinků odstoupení nebo v dohodnuté lhůtě.
XI.
Závěrečná ustanovení
Ustanovení této smlouvy lze doplňovat, měnit nebo rušit pouze písemnými, vzestupně číslovanými a datovanými dodatky podepsanými oprávněnými zástupci obou smluvních stran.
Pro vztahy touto smlouvou výslovně neupravené, včetně náhrady škody, platí příslušná ustanovení zákona č. 89/2012 Sb., občanský zákoník, ve znění pozdějších předpisů. Smluvní strany se výslovně dohodly, že tato smlouva, jakož i práva a povinnosti smluvních stan, z ní vzniklé či s ní přímo související, se řídí výhradně českým právem (s vyloučením kolizních norem), zejm. ustanoveními zákona č. 89/2012 Sb., občanský zákoník, ve znění pozdějších předpisů. Smluvní strany výslovně vylučují použití Vídeňské úmluvy OSN o smlouvách o mezinárodní koupi zboží (v ČR publikováno ve Sbírce zákonů ČR pod č. 160/1991 Sb.).
Smluvní strany se dohodly, že případné spory vzniklé z této smlouvy budou řešeny výhradně před věcně příslušným soudem České republiky, přičemž místní příslušnost soudu se určí dle sídla Kupujícího.
Smlouva je vyhotovena v elektronické podobě, se zaručenými elektronickými podpisy zástupců smluvních stran založenými na kvalifikovaném certifikátu.
Prodávající bere na vědomí, že smlouva na plnění této veřejné zakázky podléhá povinnému uveřejnění dle zákona č. 340/2015 Sb. a bude Kupujícím uveřejněna v souladu s tímto zákonem.
Tato smlouva nabývá platnosti dnem podpisu smlouvy poslední ze smluvních stran. Tato smlouva nabývá účinnosti dnem jejího uzavření, jde-li o smlouvu podléhající uveřejnění v registru smluv dle zákona č. 340/2015 Sb., pak teprve dnem uveřejnění v registru smluv.
Nebude-li tato smlouva uveřejněna Kupujícím v souladu s ust. § 5 zák. č. 340/2015 Sb. nejpozději do 1 měsíce od jejího uzavření, je Prodávající povinen ji uveřejnit v souladu s ust. § 5 zák. č. 340/2015 Sb. nejpozději do tří měsíců po jejím uzavření.
Přílohy:
Příloha č. 1 - Technická specifikace předmětu koupě (stanovená Kupujícím) v českém i anglickém jazyce (přednost má anglická verze)
Příloha č. 2 - Popis předmětu koupě nabízeného Prodávajícím (v anglickém jazyce (případně českém jazyce))
Prodávající: Kupující:
Dne (viz elektronický podpis) Dne (viz elektronický podpis)
....................................................... ..........................................................
…………….……………. Západočeská univerzita v Plzni
…………….……………. doc. Dr. RNDr. Xxxxxxxx Xxxxxxx
…………….……………. rektor
podepsáno elektronicky podepsáno elektronicky
Příloha č. 1: Technická specifikace předmětu koupě (stanovená Kupujícím) v anglickém i českém jazyce (přednost má anglická verze)
TECHNICAL SPECIFICATION OF DELIVERY
Molecular Beam Epitaxy deposition system
Device description:
The subject of the public contract is the supply of equipment for the preparation of monocrystalline thin films using Molecular Beam Epitaxy (MBE) methods, which is based on the reaction of molecular or atomic fluxes with a heated crystalline substrate. It is operated in ultra-high vacuum (UHV) and thus enables extremely clean and highly crystalline thin films with precise control of the composition, amount of dopants and interfaces in the nanometer range in the direction of growth with lateral uniformity. It is used mainly for the preparation of layers for semiconductor devices and it is one of the fundamental methods for the development of nanotechnologies.
General requirements:
All equipment listed below must be new with exception of operational testing and verification. All parts, sample transfer and manipulation has to be fully functional and interconnected in such a way that whole MBE fulfills the general device description. The whole system must be adapted at least for 2" substrates.
1. MBE chamber and pumping system
The chamber must be made of stainless steel.
The size of the chamber is at least 300 mm in diameter.
At least 5 effusion cell source ports and associated shutter ports for units specified in paragraph 12 must be installable.
A multipocket electron beam evaporator with at least 4 pockets specified in paragraph 12 must be installable.
The system must be equipped with a RHEED assembly to monitor sample growth.
The system must be equipped with at least 2-axis manipulator. The sample deposition has to be done on the horizontal orientation and all evaporation sources/cells are positioned at the bottom of the chamber. The distance between evaporators and sample has to allow homogeneous growth on the whole surface of the 2” samples.
The MBE chamber must be equipped by liquid nitrogen cryo shield panel.
The MBE chamber must contain all viewports with shutters and lead glass window. The number of viewports has been chosen in such a way that anytime during the sample manipulation and sample growth good visual inspection by one MBE operator is possible. In addition, system has to include viewports for viewing into all sources/cells.
The MBE chamber must contain sputter argon ion source for cleaning of the substrates.
A possibility to connect mass spectrometer to the MBE chamber in the future.
The achieved basic pressure after baking (bake-out) and with cryopanel at room temperature is at least 5x10-10 mbar.
The MBE chamber must be equipped with a suitable pressure measurement for the range from at least 5x10-03 mbar to UHV vacuum (less than 1x10-10 mbar).
At least one turbomolecular pump with nominal pumping speed at least 600 l/s for N2, maximum noise level of 50 dB.
The isolation valve that fails in the closed position to seal the vacuum in the event of a power failure.
At least one primary oil-free scroll pump with a pump volume with a volume at least 11 m3/h and maximum noise level of 55 dB.
At least one titanium sublimation pump must be included.
At least one ion pump with a pumping speed at least 300 l/s for N2.
2. Sample loading chamber (Load Lock)
The chamber must be made of stainless steel.
Transfer port to buffer chamber with UHV gate valve.
Loading of at least 3x 2” samples at a time.
The sample loading chamber must guarantee at least a pressure of 5x10-08 mbar.
Turbo pumping system with turbomolecular pump with pumping speed at least 260 l/s.
Loading samples must be simple and easy to operate with quick access door.
The Load lock must be equipped with a suitable pressure measurement for the entire range from atmospheric pressure to UHV vacuum.
3. Buffer chamber for 2’’ samples
Transfer port to MBE chamber with UHV gate valve.
At least 1 port provision DN100CF.
Viewports must be included.
Ion pump with a pumping speed at least 150 l/s.
The buffer chamber must be equipped with a suitable pressure measurement for the range from at least 5x10-03 mbar to UHV vacuum.
UHV storage for at least 3 samples is included.
Port provision DN40CF for transfer connection to an additional system or coupling to a UHV suitcase. The UHV suitcase is not part of this order and detailed description of the UHV suitcase will be available from the costumer upon request.
4. RACK 19 ":
It must allow the connection of all supplied electrical units, power supply, control and management panels to the MBE system, including power and control cables of sufficient length.
3-phase connection to the mains.
5. Bake-out module:
A suitable removable bake-out frames with flexible bake-out tents must be included in the delivery.
It must be possible to reach a temperature of at least 150°C during baking.
The delivery must include a control unit with temperature and time control.
Easy assembly, disassembly and handling of the baking module.
6. Manipulator for MBE chamber:
At least a 2-axis manipulator, which contains a vertical linear displacement in the z-axis. The other axis is the motorized polar or theta rotation of the sample.
Heating the sample to at least 950°C.
The manipulator is delivered including a suitable source for heating the sample, including the control panel.
The manipulator must be adapted for 2" substrates.
Substrate shutter must be included.
7. Spray material thickness monitoring system (Quartz Microbalance):
Allows to monitoring the thicknesses of the deposited material during the deposition process.
The kit must contain:
• quartz crystal oscillator mounted on DN40CF
• command and control unit, which allows automatic layer monitoring
• must contain manual or preferably automatic linear displacement in the z-axis.
8. RHEED specification:
The system must be fully equipped with RHEED measurement to monitor the growth quality of the deposited layers.
The electron gun must reach energy of at least 15kV.
The operating beam current must be at least 300μA.
The beam spot size must be less than 75μm.
The delivery must include a suitable source with a control panel.
The delivery includes a fluorescent screen for measuring and monitoring the formation of layers.
Possibility of connecting a CCD camera with suitable software for automatic data collection and evaluation.
9. Water chiller:
Closed water loop.
The cooling capacity must be at least 1kW.
10. Sputter Ion beam system:
The system must be equipped with a component for sample cleaning in a UHV environment, including a control unit.
It must be possible to clean the sample by means of a jet consisting of a current of 20 μA argon ion particles.
The delivery includes a suitable inlet (for Argon) and a shut-off valve.
11. General specification for evaporation units and crucibles:
Possibility to evaporate following materials for example W, Xx, Ta and Nb.
The delivery includes a suitable source and control panel for the evaporation unit.
Possibility connecting of evaporation unit to a closed water loop circuit defined in point 9.
Possibility to automate the evaporating process. The process is controlled via a PC with suitable software and with the possibility of full control and management.
7 crucibles for pocket e-beam source must be included.
All sources/cells have to be optimized for material evaporation on a 2’’ scientific sample area with high homogenity and high material usage efficiency.
All sources/cells have integrated water cooling for minimized heat load to the system and all corresponding connection on the water cooling cycle is guaranteed. This connection has to be bake-out able.
All sources/cells have integrated motorized and computer automatic driven rotary shutter mounted on effusion cells and/or all e-beam pockets.
All sources/cells have bake able power and thermocouple cables.
All sources/cells are connected with the computer and suitable control software which allows fully automatic deposition and PID temperature control.
All sources/cells are delivered with suitable power supply with parameters which guarantee full and longtime stable functionality during the deposition.
All sources/cells have fully UHV compatible construction.
12. The delivery must include the at least 5 effusion cells, and 1 multipocket e-beam evaporator with following additional parameters (all of them have to fulfill also general specifications defined in point 11)
Two low temperature effusion cells with temperature range at least up to 1000°C suitable for evaporation of Bismuth and Tellurium. The minimal volume of used crucibles is 10 cc.
Medium Temperature effusion with temperature range at least up to 1400°C for aluminium. The minimal volume of used crucibles is 10 cc.
Dual Filament Cell with temperature range at least up to 1400°C for Indium. The minimal volume of used crucibles is 10 cc.
High temperature effusion cell with temperature range at least up to 1750°C for Iron. The minimal volume of used crucibles is 1 cc.
At least 4 pockets e-beam source. The minimal volume of used crucibles is 1.5 cc.
13. Safety:
The system must meet machinery safety requirements (e.g. protection against moving parts), radiation safety, electrical equipment safety and electromagnetic compatibility.
The system must be fully compliant with EC regulations, in particular with the
Machinery Directive (2006/42/EC)
Electrical equipment directive (2006/95/EC)
ElectroMagnetic Compatibility directive (2004/108/EC).
The system must be supply with the current CE mark, be issued with the relevant EC declaration of compliance and be accompanied by all required documentation.
14. Others
PC with suitable operating system (Windows 10 or newer) and control software. Update of the control software should be for free during the whole warranty period.
Complete installation of the device at the designated delivery point including user manuals and manuals in Czech or English.
Training during installation and acceptance test at the delivery point for at least 2 people over a minimum of 24 hours.
Warranty for all devices for at least 24 months.
Technická specifikace dodávky
Depoziční zařízení využívající epitaxi z molekulárních svazků
Popis zařízení:
Předmětem veřejné zakázky je dodávka zařízení pro přípravu monokrystalických tenkých vrstev použitím metody MBE (Molecular Beam Epitaxy – epitaxe z molekulárních svazků), která je založena na reakci toků molekul a atomů se zahřátým krystalickým substrátem. Růst probíhá v ultravysokém vakuu (UHV) a musí umožňovat vytvoření extrémně čisté a vysoce krystalické tenké vrstvy s přesnou kontrolou kompozice, množství dopantů a rozhraní v rozsahu nanometrů ve směru růstu s přesnou laterální uniformitou (rovnoměrnost). Používá se především pro přípravu vrstev pro polovodičová zařízení a je jednou ze základních metod pro vývoj v oblasti nanotechnologií.
Obecné požadavky:
Všechna níže uvedená zařízení musí být nová, s výjimkou provozních zkoušek a ověřování. Všechny části, přenos vzorků a manipulace s nimi musí být plně funkční a propojené tak, aby celý MBE splňoval obecný popis zařízení. Celý systém musí být přizpůsoben pro substráty o velikosti alespoň 2‘‘.
1. MBE komora a čerpací systém
Komora musí být vyrobena z nerezové oceli.
Velikost průměru komory je nejméně 300 mm.
Musí být možno instalovat alespoň 5 portů pro efuzní cely a přidružené clony vhodné pro efuzní cely specifikované v odstavci 12.
Musí být možno instalovat články pro napařování elektronovým svazkem s nejméně 4 zásobníky uvedenými v odstavci 12.
Systém musí být vybaven sestavou RHEED pro sledování růstu vzorků.
Systém musí být vybaven minimálně dvouosým manipulátorem. Depozice vzorku musí být provedena v horizontální orientaci a všechny zdroje/cely pro odpařování jsou umístěny ve spodní části komory. Vzdálenost mezi výparníky a vzorkem musí umožňovat homogenní růst na celém povrchu 2“ (2 palcových) vzorků.
Komora MBE musí být vybavena kryopanelem s kapalným dusíkem.
Komora MBE musí obsahovat všechny výřezy s uzávěry a olovnatým sklem. Počet výřezů musí být zvolen takovým způsobem, že kdykoli během manipulace se vzorkem a růstu vzorku musí umožňovat dobrou vizuální kontrolu jedním operátorem MBE. Kromě toho musí systém zahrnovat výřezy pro prohlížení do všech zdrojů/cel.
Komora MBE musí obsahovat rozprašovací argonový iontový zdroj pro čištění substrátů.
Do budoucna musí být zajištěna možnost připojení hmotnostního spektrometru ke komoře MBE.
Dosažený základní tlak po vypékání a s kryopanelem při pokojové teplotě je alespoň 5x10-10mbar.
MBE komora musí být vybavena vhodným měřením tlaku v rozsahu alespoň od 5x10-03 mbar do ultra vysokého vakua (UHV) vakua (méně než 1x10-10 mbar).
Alespoň jedna turbomolekulární pumpa se jmenovitou rychlostí čerpání alespoň 600 l/s pro N2, a s maximální hladinou hluku 50 dB.
Uzavírací ventil, který bude v uzavřené poloze a utěsní/uchová vakuum v případě výpadku proudu
Alespoň jedna primární bezolejová spirálová pumpa s čerpací rychlostí nejméně 11 m3/h a maximální hladinou hluku 55 dB.
Musí být zahrnuto alespoň jedno titanové sublimační čerpadlo.
Alespoň jedno iontové čerpadlo s čerpací rychlostí alespoň 300 l/s pro N2.
2. Vkládací komora pro vzorky (Load Lock)
a) Komora musí být vyrobeny z nerezové oceli.
b) Transportní port do vyrovnávací komory s uzavíracím ventilem UHV.
c) Vkládání alespoň 3 x 2” vzorků najednou.
d) Vkládací komora vzorku musí zaručovat alespoň tlak 5x10-8 mbar.
e) Čerpací systém s turbomolekulárním pumpou o čerpací rychlosti nejméně 260 l/s.
f) Vkládání vzorků musí být jednoduché a snadno ovladatelný vstup pro rychlý přístup.
g) Vkládací komora musí být vybavena vhodným měřením tlaku pro celý rozsah od atmosférického tlaku po ultra vysoké vakuum.
3. Vyrovnávací komora pro 2“ vzorky
a) Transportní port do komory MBE včetně uzavíracího UHV ventilu.
b) Alespoň 1 port DN100CF.
c) Komora musí být vybavena pozorovacími okny.
d) Xxxxxx pumpa s rychlostí čerpání alespoň 150 l/s.
e) Vyrovnávací komora musí být vybavena vhodným měřením tlaku pro rozsah od alespoň 5x10-3 mbar do UHV.
f) UHV prostor pro uchování nejméně 3 vzorků.
g) Poskytnutí portu DN40CF pro přenosové připojení k dalšímu systému nebo k připojení UHV kufru. UHV kufr není součástí této objednávky a podrobný popis UHV kufru bude k dispozici na vyžádání u zadavatele.
4. RACK 19 ":
a) Musí umožňovat připojení všech dodávaných elektrických jednotek, napájecích, řídicích a ovládacích panelů k systému MBE, včetně napájecích a řídicích kabelů dostatečné délky.
b) 3-fázové připojení k elektrické síti.
5. Vypékací modul:
a) Součástí dodávky musí být vhodný odnímatelný vypékací rám s pružnými vypékacími stany.
b) Během vypékání musí být možné dosáhnout teploty nejméně 150°C.
c) Součástí dodávky musí být řídicí jednotka s regulací teploty a času.
d) Snadná montáž, demontáž a manipulace s modulem pro vypékání.
6. Manipulátor pro MBE komoru:
a) Alespoň dvouosý manipulátor, který obsahuje vertikální lineární posunutí v ose z. Druhou osou je motorizovaná polární nebo theta rotace vzorku.
b) Zahřátí vzorku na nejméně 950°C.
c) Manipulátor je dodáván včetně vhodného zdroje pro ohřev vzorku a včetně ovládacího panelu.
d) Manipulátor musí být upraven pro 2" substráty.
e) Musí být zahrnuta clona substrátu.
7. Systém monitorování tloušťky rostoucího materiálu (Quartz Microbalance):
Umožňuje sledovat tloušťky naneseného materiálu během procesu nanášení.
Souprava musí obsahovat:
křemenný oscilátor namontovaný na DN40CF
řídicí a řídicí jednotka, která umožňuje automatické monitorování vrstev
musí obsahovat manuální nebo nejlépe automatické lineární posunutí v ose z.
8. Specifikace RHEED:
a) Systém musí být plně vybaven měřením RHEED pro monitorování kvality růstu připravovaných vrstev.
b) Elektronové dělo musí dosáhnout energie nejméně 15 kV.
c) Proud operačního paprsku musí být alespoň 300 μA.
d) Velikost paprskového bodu musí být menší než 75 μm.
e) Součástí dodávky musí být vhodný zdroj s ovládacím panelem.
f) Součástí dodávky je fluorescenční obrazovka pro měření a sledování tvorby vrstev.
g) Možnost připojení CCD kamery s vhodným softwarem pro automatický sběr a vyhodnocení dat.
9. Chladič vody:
a) Uzavřená vodní smyčka.
b) Chladicí výkon musí být alespoň 1 kW.
10. Systém pro odprašování iontovým svazkem:
a) Systém musí být vybaven komponentou pro čištění vzorků v prostředí UHV, včetně řídicí jednotky.
b) Musí být možné vyčistit vzorek pomocí svazku argonových iontů o proudu 20 μA.
c) Součástí dodávky je vhodný přívod (pro Argon) a uzavírací ventil.
11. Obecná specifikace pro efuzní cely a kelímky (crucibles):
a) Možnost napařování následujících materiálů, například W, Mo, Ta a Nb.
b) Součástí dodávky je vhodný zdroj a ovládací panel pro odpařovací jednotku.
c) Možnost připojení odpařovacího článku k uzavřenému okruhu vodní smyčky definovanému v bodě 9.
d) Možnost automatizovat odpařovací proces. Proces je řízen pomocí PC s vhodným softwarem a s možností plné kontroly a správy.
e) Musí být zahrnuto 7 kelímků (crucibles) pro e-beam zdroje.
f) Všechny zdroje/cely musí být optimalizovány pro odpařování materiálu na 2'' vzorcích s vysokou plošnou homogenitou a vysokou účinností využití materiálu.
g) Všechny zdroje/cely mají integrované vodní chlazení pro minimalizaci tepelného zatížení systému a je zaručeno veškeré odpovídající připojení v cyklu vodního chlazení. Toto připojení musí být uzpůsobené a připraveno pro vypékaní.
h) Všechny zdroje/cely mají integrovanou motorickou a počítačem řízenou otočnou clonu namontovanou na efuzních buňkách a / nebo všech kapsách e-paprsku.
i) Všechny zdroje/cely mají zdroj pro vypékání a termočlánkové kabely.
j) Všechny zdroje/cely jsou propojeny s počítačem a vhodným řídicím softwarem, který umožňuje plně automatické ukládání a regulaci teploty PID.
k) Všechny zdroje/cely jsou dodávány s vhodným napájecím zdrojem s parametry, které zaručují plnou a dlouhodobě stabilní funkčnost během ukládání.
l) Všechny zdroje/cely mají konstrukci plně kompatibilní s UHV.
12. Dodávka musí zahrnovat nejméně 5 efuzních cel a 1 víceprvkovou elektronovou naprašovací jednotku (Multi-Pocket Electron Beam) s následujícími dalšími parametry (všechno musí splňovat také obecné specifikace definované v bodě 11)
Dvě nízkoteplotní efuzní cely s teplotním rozsahem nejméně do 1 000°C vhodné pro odpařování bizmutu a teluru. Minimální objem použitých kelímků je 10 cc (cubic centimetre).
Středně-teplotní efúzní cela s teplotním rozsahem alespoň do 1400°C pro hliník. Minimální objem použitých kelímků je 10 cc.
Článek s dvojitým vláknem s teplotním rozsahem nejméně do 1400°C pro indium. Minimální objem použitých kelímků je 10 cc.
Vysokoteplotní výpotkový článek s teplotním rozsahem alespoň do 1750°C pro železo. Minimální objem použitých kelímků je 1 cc.
Nejméně čtyřmístní e-beam zdroj. Minimální objem použitých kelímků je 1,5 cc.
13. Bezpečnost:
Systém musí splňovat bezpečnostní požadavky na strojní zařízení (např. ochranu proti pohyblivým částem), radiační bezpečnost, bezpečnost elektrických zařízení a elektromagnetickou kompatibilitu.
Systém musí být plně v souladu s předpisy ES, zejména s
Směrnice o strojních zařízeních (2006/42 / ES)
Směrnice o elektrických zařízeních (2006/95 / ES)
Směrnice o elektromagnetické kompatibilitě (2004/108 / ES).
Systém musí být dodáván s aktuální značkou CE, musí být vydán s příslušným prohlášením o shodě ES a musí být doprovázen veškerou požadovanou dokumentací.
14. Ostatní
PC s vhodným operačním systémem (Windows 10 nebo novější) a ovládacím softwarem. Aktualizace ovládacího softwaru by měla být po celou záruční dobu zdarma.
Kompletní instalace zařízení na určeném místě dodání včetně uživatelských příruček a příruček v českém nebo anglickém jazyce.
Školení během instalace a přejímací zkouška v místě dodání pro minimálně 2 osoby po dobu minimálně 24 hodin.
Záruka na všechna zařízení po dobu nejméně 24 měsíců.
Příloha č. 2 - Popis předmětu koupě nabízeného prodávajícím v anglickém jazyce (případně českém jazyce) - doplní dodavatel
…………….