Italia-Trento: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 2018/S 102-232601
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Italia-Trento: Ricerca, sperimentazione e simulatori tecnico-scientifici 2018/S 102-232601
Bando di gara Forniture
Direttiva 2014/24/UE
Sezione I: Amministrazione aggiudicatrice
I.1) Denominazione e indirizzi Fondazione Xxxxx Xxxxxxx Xxx X. Xxxxx 00
Xxxxxx 00000
Xxxxxx
E-mail: xxxx@xxx.xx Codice NUTS: ITH20 Indirizzi Internet:
Indirizzo principale: xxx.xxx.xx
I.2) Appalto congiunto
I.3) Comunicazione
I documenti di gara sono disponibili per un accesso gratuito, illimitato e diretto presso: xxxxx://xxx.xx/XXXXXx Ulteriori informazioni sono disponibili presso l'indirizzo sopraindicato
Le offerte o le domande di partecipazione vanno inviate al seguente indirizzo: FBK — sede del polo scientifico e tecnologico
Xxx Xxxxxxxxx 00 Xxxxxx
00000
Xxxxxx
E-mail: xxxx@xxx.xx Codice NUTS: ITH20 Indirizzi Internet:
Indirizzo principale: xxx.xxx.xx
I.4) Tipo di amministrazione aggiudicatrice
Organismo di diritto pubblico
I.5) Principali settori di attività
Altre attività: ricerca
Sezione II: Oggetto
II.1) Entità dell'appalto
II.1.1) Denominazione:
Fornitura di attrezzature scientifiche per il potenziamento della micro nano facility della Fondazione Xxxxx Xxxxxxx
II.1.2) Codice CPV principale
38970000
II.1.3) Tipo di appalto
Forniture
II.1.4) Breve descrizione:
Fornitura di attrezzature per il potenziamento della facility di micro-nanofabbricazione del centro materiali e microsistemi nell'ambito del progetto «Key enabling technologies Facility in Trento» finanziato all'interno del programma operativo FESR 2014-2020 con il cofinanziamento dell'Unione europea — Fondo europeo di sviluppo regionale, dello Stato italiano e della Provincia autonoma di Trento.
II.1.5) Valore totale stimato
Valore, IVA esclusa: 5 050 000.00 EUR
II.1.6) Informazioni relative ai lotti
Questo appalto è suddiviso in lotti: sì
Le offerte vanno presentate per numero massimo di lotti: 5
II.2) Descrizione
II.2.1) Denominazione:
Plasma etching Lotto n.: 1
II.2.2) Codici CPV supplementari
38970000
II.2.3) Luogo di esecuzione
Codice NUTS: ITH20
II.2.4) Descrizione dell'appalto:
Sistemi di plasma etching per la rimozione in plasma di ossidi, ossi-nitruri e nitruri di silicio, carburo di silicio (SIC), silicio amorfo, alluminio, nitruro di titanio, poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm.
II.2.5) Criteri di aggiudicazione
Il prezzo non è il solo criterio di aggiudicazione e tutti i criteri sono indicati solo nei documenti di gara
II.2.6) Valore stimato
Valore, IVA esclusa: 1 900 000.00 EUR
II.2.7) Durata del contratto d'appalto, dell'accordo quadro o del sistema dinamico di acquisizione
Durata in giorni: 300
Il contratto d'appalto è oggetto di rinnovo: no
II.2.10) Informazioni sulle varianti
Sono autorizzate varianti: no
II.2.11) Informazioni relative alle opzioni
Opzioni: no
II.2.12) Informazioni relative ai cataloghi elettronici
II.2.13) Informazioni relative ai fondi dell'Unione europea
L'appalto è connesso ad un progetto e/o programma finanziato da fondi dell'Unione europea: sì
Numero o riferimento del progetto: Programma Operativo 2014-2020 FESR della Provincia autonoma di Trento
II.2.14) Informazioni complementari
II.2) Descrizione
II.2.1) Denominazione:
FIB-SEM (Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope) Lotto n.: 2
II.2.2) Codici CPV supplementari
38510000
II.2.3) Luogo di esecuzione
Codice NUTS: ITH20
II.2.4) Descrizione dell'appalto:
Sistema integrato FIB-SEM (Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope) per la nanofabbricazione, esplicitata nei processi di: erosione/sputtering (milling) mediante fasci energetici focalizzati di ioni (FIB); deposizione ed etching mediante precursori gassosi coadiuvati dall’energia deposta da fascio ionico e/o elettronico; litografia da fascio elettronico (electron beam lithography, EBL) da condurre su strati di resist opportuno; caratterizzazione delle nanostrutture mediante immagini di elettroni prodotte tramite una colonna/ microscopio elettronico (SEM) integrata nel sistema.
II.2.5) Criteri di aggiudicazione
Il prezzo non è il solo criterio di aggiudicazione e tutti i criteri sono indicati solo nei documenti di gara
II.2.6) Valore stimato
Valore, IVA esclusa: 1 200 000.00 EUR
II.2.7) Durata del contratto d'appalto, dell'accordo quadro o del sistema dinamico di acquisizione
Durata in giorni: 300
Il contratto d'appalto è oggetto di rinnovo: no
II.2.10) Informazioni sulle varianti
Sono autorizzate varianti: no
II.2.11) Informazioni relative alle opzioni
Opzioni: no
II.2.12) Informazioni relative ai cataloghi elettronici
II.2.13) Informazioni relative ai fondi dell'Unione europea
L'appalto è connesso ad un progetto e/o programma finanziato da fondi dell'Unione europea: sì
Numero o riferimento del progetto: Programma Operativo 2014-2020 FESR della Provincia autonoma di Trento
II.2.14) Informazioni complementari
II.2) Descrizione
II.2.1) Denominazione:
ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System) Lotto n.: 3
II.2.2) Codici CPV supplementari
38970000
II.2.3) Luogo di esecuzione
Codice NUTS: ITH20
II.2.4) Descrizione dell'appalto:
Sistema ICP-PECVD (Inductively Coupled Plasma-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System) per la deposizione assistita in plasma di ossidi (SiO2), ossi-nitruri (SixOyNz) e nitruri di silicio (Si3N4), silicio amorfo, TEOS conformale, su lotti di produzione da 25 wafer con spessori indicativi di 500 nm.
II.2.5) Criteri di aggiudicazione
Il prezzo non è il solo criterio di aggiudicazione e tutti i criteri sono indicati solo nei documenti di gara
II.2.6) Valore stimato
Valore, IVA esclusa: 800 000.00 EUR
II.2.7) Durata del contratto d'appalto, dell'accordo quadro o del sistema dinamico di acquisizione
Durata in giorni: 300
Il contratto d'appalto è oggetto di rinnovo: no
II.2.10) Informazioni sulle varianti
Sono autorizzate varianti: no
II.2.11) Informazioni relative alle opzioni
Opzioni: no
II.2.12) Informazioni relative ai cataloghi elettronici
II.2.13) Informazioni relative ai fondi dell'Unione europea
L'appalto è connesso ad un progetto e/o programma finanziato da fondi dell'Unione europea: sì
Numero o riferimento del progetto: Programma Operativo 2014-2020 FESR della Provincia autonoma di Trento
II.2.14) Informazioni complementari
II.2) Descrizione
II.2.1) Denominazione:
Sistema multitarget Lotto n.: 4
II.2.2) Codici CPV supplementari
38970000
II.2.3) Luogo di esecuzione
Codice NUTS: ITH20
II.2.4) Descrizione dell'appalto:
Sistema multitarget per la deposizione mediante RF/DC cosputtering di film sottili. Il sistema consentirà a FBK di ampliare la gamma di possibilità oggi limitate al solo alluminio e titanio e di ottenere maggiore stabilità e affidabilità delle caratteristiche di adesione dei materiali.
II.2.5) Criteri di aggiudicazione
Il prezzo non è il solo criterio di aggiudicazione e tutti i criteri sono indicati solo nei documenti di gara
II.2.6) Valore stimato
Valore, IVA esclusa: 900 000.00 EUR
II.2.7) Durata del contratto d'appalto, dell'accordo quadro o del sistema dinamico di acquisizione
Durata in giorni: 300
Il contratto d'appalto è oggetto di rinnovo: no
II.2.10) Informazioni sulle varianti
Sono autorizzate varianti: no
II.2.11) Informazioni relative alle opzioni
Opzioni: no
II.2.12) Informazioni relative ai cataloghi elettronici
II.2.13) Informazioni relative ai fondi dell'Unione europea
L'appalto è connesso ad un progetto e/o programma finanziato da fondi dell'Unione europea: sì
Numero o riferimento del progetto: Programma Operativo 2014-2020 FESR della Provincia autonoma di Trento
II.2.14) Informazioni complementari
II.2) Descrizione
II.2.1) Denominazione:
Prober automatico Lotto n.: 5
II.2.2) Codici CPV supplementari
38970000
II.2.3) Luogo di esecuzione
Codice NUTS: ITH20
II.2.4) Descrizione dell'appalto:
Sistema prober automatico da integrare come slave in un sistema di misura parametrico-funzionale esistente per consentire di movimentare in maniera automatica la fetta di silicio, una volta conclusa la fase realizzativa dei dispositivi, permettendo il controllo funzionale di tutti i dispositivi realizzati e ivi presenti.
II.2.5) Criteri di aggiudicazione
Il prezzo non è il solo criterio di aggiudicazione e tutti i criteri sono indicati solo nei documenti di gara
II.2.6) Valore stimato
Valore, IVA esclusa: 250 000.00 EUR
II.2.7) Durata del contratto d'appalto, dell'accordo quadro o del sistema dinamico di acquisizione
Durata in giorni: 300
Il contratto d'appalto è oggetto di rinnovo: no
II.2.10) Informazioni sulle varianti
Sono autorizzate varianti: no
II.2.11) Informazioni relative alle opzioni
Opzioni: no
II.2.12) Informazioni relative ai cataloghi elettronici
II.2.13) Informazioni relative ai fondi dell'Unione europea
L'appalto è connesso ad un progetto e/o programma finanziato da fondi dell'Unione europea: sì
Numero o riferimento del progetto: Programma Operativo 2014-2020 FESR della Provincia autonoma di Trento
II.2.14) Informazioni complementari
Sezione III: Informazioni di carattere giuridico, economico, finanziario e tecnico
III.1) Condizioni di partecipazione
III.1.1) Abilitazione all’esercizio dell’attività professionale, inclusi i requisiti relativi all'iscrizione nell'albo professionale o nel registro commerciale
Elenco e breve descrizione delle condizioni: Vedi Disciplinare di gara.
III.1.2) Capacità economica e finanziaria
Elenco e breve descrizione dei criteri di selezione: Non richiesti.
III.1.3) Capacità professionale e tecnica
Criteri di selezione indicati nei documenti di gara
III.1.5) Informazioni concernenti contratti d'appalto riservati
III.2) Condizioni relative al contratto d'appalto
III.2.2) Condizioni di esecuzione del contratto d'appalto:
Vedi capitolato speciale di appalto per ciascun lotto.
III.2.3) Informazioni relative al personale responsabile dell'esecuzione del contratto d'appalto Sezione IV: Procedura
IV.1) Descrizione
IV.1.1) Tipo di procedura
Procedura aperta
IV.1.3) Informazioni su un accordo quadro o un sistema dinamico di acquisizione
IV.1.4) Informazioni relative alla riduzione del numero di soluzioni o di offerte durante la negoziazione o il dialogo
IV.1.6) Informazioni sull'asta elettronica
IV.1.8) Informazioni relative all'accordo sugli appalti pubblici (AAP)
L'appalto è disciplinato dall'accordo sugli appalti pubblici: sì
IV.2) Informazioni di carattere amministrativo
IV.2.1) Pubblicazione precedente relativa alla stessa procedura
IV.2.2) Termine per il ricevimento delle offerte o delle domande di partecipazione
Data: 11/07/2018 Ora locale: 16:00
IV.2.3) Data stimata di spedizione ai candidati prescelti degli inviti a presentare offerte o a partecipare
IV.2.4) Lingue utilizzabili per la presentazione delle offerte o delle domande di partecipazione:
Italiano
IV.2.6) Periodo minimo durante il quale l'offerente è vincolato alla propria offerta
Durata in mesi: 6 (dal termine ultimo per il ricevimento delle offerte)
IV.2.7) Modalità di apertura delle offerte
Data: 12/07/2018 Ora locale: 11:00 Luogo:
Xxx Xxxxxxxxx 00, 00000 Xxxxxx, c/o sede del polo scientifico e tecnologico della Fondazione Xxxxx Xxxxxxx.
Sezione VI: Altre informazioni
VI.1) Informazioni relative alla rinnovabilità
Si tratta di un appalto rinnovabile: no
VI.2) Informazioni relative ai flussi di lavoro elettronici
VI.3) Informazioni complementari:
VI.4) Procedure di ricorso
VI.4.1) Organismo responsabile delle procedure di ricorso
Tribunale Regionale di Giustizia Amministrativa del Trentino-Alto Adige, sede di Trento Xxx Xxxxxxxx 00
Xxxxxx 00000
Xxxxxx
VI.4.2) Organismo responsabile delle procedure di mediazione
VI.4.3) Procedure di ricorso
Informazioni dettagliate sui termini di presentazione dei ricorsi:
Termini di cui al D.Lgs. 104/2010 — Codice del processo amministrativo.
VI.4.4) Servizio presso il quale sono disponibili informazioni sulle procedure di ricorso
VI.5) Data di spedizione del presente avviso:
28/05/2018