표 3 RF 디텍터를 위한 파라미터 및 명령어 목록 20 표 5 RF 스위치를 위한 파라미터 및 명령어 목록 24 표 6 RF 게이트밸브를 위한 파라미터 및 명령어 목록 25 표 7 TC 센서를 위한 파라미터 및 명령어 목록 26 표 8 PLC 채널 리스트 28 표 9 PLC 시스템의 하드웨어 리스트 28