atklāta konkursa
LU CFI Iepirkumu komisijas eksemplārs
APSTIPRINĀTS
LUCFI iepirkumu komisijas 2013. gada 14. janvāra sēdē
protokols Nr. LUCFI/2013/2/ERAF-1 Iepirkuma komisijas priekšsēdētājs
X.Xxxxxxx
Latvijas Universitātes Cietvielu fizikas institūta,
Latvijas Universitātes aģentūras
atklāta konkursa
„Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”
NOLIKUMS
Iepirkuma identifikācijas Nr.: LUCFI/2013/2/ERAF
Iepirkums tiek veikts ERAF līdzfinansēta projekta Nr. 2011/0041/2DP/2.1.1.3.1/11/IPIA/VIAA/004
„Nanostrukturēto un daudzfunkcionālo materiālu, konstrukciju un tehnoloģiju Valsts nozīmes pētniecības centra zinātniskās infrastruktūras attīstīšana”
ietvaros
Rīgā, 2013
I VISPĀRĪGĀ INFORMĀCIJA 3 II PIEDĀVĀJUMA NOFORMĒŠANAS, IESNIEGŠANAS UN
ATVĒRŠANAS KĀRTĪBA 4
III INFORMĀCIJA PAR IEPIRKUMA PRIEKŠMETU 5 IV KVALIFIKĀCIJAS PRASĪBAS UN PRETENDENTU ATLASE _ 5 V PIEDĀVĀJUMU VĒRTĒŠANA UN PRETENDENTIEM
IZVIRZĀMĀS PRASĪBAS 8
VI KOMISIJAS TIESĪBAS UN PIENĀKUMI 8 VII PRETENDENTU TIESĪBAS UN PIENĀKUMI 9 VIII LĪGUMA NOSACĪJUMI 10 pielikums Nr.1 TEHNISKĀ SPECIFIKĀCIJA 11
pielikums Nr.2 LĪGUMA PROJEKTS 28 pielikums Nr.3. PIETEIKUMS (forma) 38
pielikums Nr.4 TEHNISKAIS PIEDĀVĀJUMS (forma) 41
pielikums Nr.5 FINANŠU PIEDĀVĀJUMS (forma) 66
I VISPĀRĪGĀ INFORMĀCIJA
1.1. Iepirkuma identifikācijas numurs: LU CFI 2013/2/ERAF
1.2. PASŪTĪTĀJS
Pasūtītāja nosaukums | LU Cietvielu fizikas institūts, LU aģentūra (turpmāk tekstā – LU CFI) |
Adrese | Xxxxxxxxx xxxx 0, Xxxx, XX-0000, Xxxxxxx |
Reģ. Nr. | LV90002124925 |
Tālruņa Nr. | x000 00000000 |
Faksa Nr. | x000 00000000 |
e-pasta adrese | |
Mājas lapas adrese | |
Kontaktpersona | Iepirkuma komisijas sekretārs Xxxxx Xxxxxx |
Tālruņa Nr. | x000 00000000, x000 00000000 |
Faksa Nr. | x000 00000000 |
e-pasta adrese | |
Darba laiks | 8:30-17:00 |
1.3. Iepirkuma priekšmets
Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde. CPV kods: 31712000-0.
1.4. Līguma izpildes vieta – LU CFI telpas, Xxxxxxxxx xxxx 0, Xxxx, Xxxxxxx.
1.5. Termiņi
Aktivitāte | Datums | Laiks** |
Pēdējais termiņš papildu informācijas par nolikumu pieprasīšanai no pasūtītāja* | * | |
Pēdējais termiņš sakaidrojumu sniegšanai ieinteresētajām personām | 26.02.2013. | |
Pēdējais termiņš piedāvājumu iesniegšanai | 04.03.2013. | 10:00 |
Piedāvājumu atvēršanas sanāksme | 04.03.2013. | 10:00 |
Paziņojuma par konkursa rezultātiem nosūtīšana | 14.03.2013. (orientējoši) | |
Līguma noslēgšana | 26.03.2013. (orientējoši) | |
Līguma izpildes pabeigšana, skaitot no līguma noslēgšanas | 9 mēnešu laikā (ar iespēju pagarināt līguma izpildes laiku par 3 mēnešiem) |
*Papildu informācijas par nolikumu pieprasīšanas laiks šeit nozīmē laiku, kad jautājums rakstiskā formā ir kļuvis pieejams pasūtītājam (ir saņemta vēstule, fakss vai e-pasta vēstule). Papildu informācijas par nolikumu pieprasījums LU CFI iepirkumu komisijai (turpmāk tekstā – Komisija) jāiesniedz laikus, ņemot vērā, ka Komisija nav tiesīga sniegt papildu informāciju vēlāk kā 6 (sešas) dienas pirms piedāvājumu iesniegšanas termiņa beigām.
** Latvijas laiks.
Šī iepirkuma metode ir atklāts konkurss, kuru reglamentē Latvijas Republikas „Publisko iepirkumu likums”. Konkursu organizē Latvijas Universitātes Cietvielu fizikas institūta, LU aģentūras iepirkumu komisija, kas izveidota ar LU CFI direktora rīkojumu nr. 5-v no 20.02.2012. (paragrāfs 2).
II PIEDĀVĀJUMA DOKUMENTI UN PIEDĀVĀJUMU IESNIEGŠANAS UN ATVĒRŠANAS KĀRTĪBA
2.1. Prasības attiecībā uz piedāvājuma saturu.
2.1.1. Piedāvājums ir jāiesniedz par pilnu Tehniskajās specifikācijās aprakstīto klāstera iekārtas komplektu. Pretendents drīkst iesniegt tikai vienu konkursa piedāvājumu. Piedāvājumā nedrīkst būt vairāki tehniskā vai finanšu piedāvājumu varianti.
2.1.2. Piedāvājumam jāatbilst šajā nolikumā ietvertajām prasībām un jāsastāv no:
1) Pieteikuma dalībai konkursā, kas jāaizpilda uz šā nolikuma pielikuma Nr.3.1 veidlapas;
2) Pretendenta kvalifikāciju apliecinošiem dokumentiem (skatīt šā nolikuma IV nodaļu);
3) Tehniskā piedāvājuma, kas jāsastāda, ievērojot visas Tehniskajā specifikācijā (šā nolikuma pielikums Nr.1) izvirzītās prasības; tehniskais piedāvājums jāaizpilda uz šā nolikuma pielikuma Nr.4 veidlapas; tehniskajam piedāvājumam jābūt parakstītam;
4) Finanšu piedāvājuma, kas jāaizpilda uz šā nolikuma pielikuma Nr.5 veidlapas; finanšu piedāvājumam jābūt parakstītam;
5) Bankas vai citas kredītiestādes, vai apdrošināšanas sabiedrības (turpmāk šajā nolikumā: bankas) apliecinājuma, ka tā apņemas izsniegt pretendentam avansa maksājuma garantiju, kas paredz avansa beznosacījumu atmaksu pēc pasūtītāja pirmā pieprasījuma, ne vēlāk kā 10 dienu laikā.
2.1.3. Pretendents iesniedz parakstītu piedāvājumu. Ja piedāvājumu iesniedz personu grupa, pieteikumu paraksta visas personas, kas ietilpst personu grupā.
2.1.4. Piedāvājumu paraksta paraksttiesīga vai attiecīgi pilnvarota persona. Ja piedāvājumu paraksta pilnvarota persona, piedāvājumam jāpievieno pilnvara vai normatīvajos aktos noteiktā kārtībā apliecināta pilnvarojuma kopija.
2.1.5. Piedāvājuma dokumentiem jābūt sastiprinātiem kopā tādā veidā, lai nebūtu iespējams aizvietot vai izņemt piedāvājuma lapas; lapām jābūt numurētām. Ja Pretendents piedāvājumam pievieno reklāmas materiālus, brošūras, katalogus u.c., kas nav sastiprināti kopā, uz katra pievienotā dokumenta norādāms Pretendenta nosaukums.
2.1.6. Piedāvājums jāsastāda latviešu vai angļu valodā, atbilstoši lietvedības prasībām, 3 (trīs) eksemplāros papīra formātā:
1) Oriģināls (ar norādi „Oriģināls”) – 1 gab.,
2) Kopija (ar norādi „Kopija”) – 2 gab.
Piedāvājumam jāpievieno Tehniskā piedāvājuma un Finanšu piedāvājuma elektroniskā versija (pēc iespējas MS Word vai MS Excel formātā) uz CD/DVD (1 eks.). Dokumentu elektroniskajai versijai nav jābūt parakstītai, tā ir paredzēta tikai informācijas apstrādei. Uz attiecīgā CD/DVD izdarāma atzīme „LUCFI/2013/2/ERAF” un atzīme ar pretendenta nosaukumu.
2.2. Piedāvājuma iesniegšanas vieta un kārtība: Pretendenti piedāvājumus var iesniegt līdz
1.5. apakšpunktā noteiktajam datumam un laikam LU CFI Sekretariātā – 204. telpā, 2.stāvā,
Xxxxxxxxx xxxx 0, Xxxx, XX-0000, darba dienās no 8:30 līdz 17:00
Piedāvājumu var iesūtīt ar ierakstītu vēstuli, ar kurjera pastu vai nogādāt personiski.
Piedāvājuma oriģināls un kopija jāiesniedz (jānosūta) vienā aizlīmētā un aizzīmogotā aploksnē. Uz aploksnes jānorāda sekojoša informācija:
1) Latvijas Universitātes Cietvielu fizikas institūts, Latvijas Universitātes aģentūra
Xxxxxxxxx xxxx 0, Xxxx, XX-0000, Xxxxxxx
2) Pretendenta nosaukums un adrese
3) atzīme „Konkursam „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde” (LU CFI 2013/2/ERAF)”.
2.3. Piedāvājuma derīguma termiņš – 3 (trīs) mēneši, skaitot no piedāvājumu atvēršanas dienas. Piedāvājuma nodrošinājums konkursā nav paredzēts.
2.4. Piedāvājuma atvēršanas vieta un datums: Piedāvājumu atvēršana notiks LU CFI telpās, Xxxx, Xxxxxxxxx xxxx 0, 0. stāvā, direktora vietnieka kabinetā un sāksies 1.5. apakšpunktā noteiktajā datumā un laikā. Piedāvājumu atvēršanas sanāksme ir atklāta un tajā ir atļauts piedalīties visiem interesentiem.
III INFORMĀCIJA PAR IEPIRKUMA PRIEKŠMETU
Piegādes apjoms – 1 komplekts.
3.2. Iepirkums tiek veikts ERAF līdzfinansēta projekta „Nanostrukturēto un daudzfunkcionālo materiālu, konstrukciju un tehnoloģiju Valsts nozīmes pētniecības centra zinātniskās infrastruktūras attīstīšana” (Nr. 2011/0041/2DP/2.1.1.3.1/11/IPIA/VIAA/004) ietvaros.
IV KVALIFIKĀCIJAS PRASĪBAS UN PRETENDENTU ATLASE
4.1. Pasūtītājs izskata piedāvājumus, ko iesnieguši Pretendenti, kuri atbilst šajā nodaļā izvirzītajām prasībām un ir izraudzīti saskaņā ar šajā nolikumā norādītajām procedūrām.
4.2. Pretendenta izslēgšanas nosacījumi
Pasūtītājs izslēdz Pretendentu no turpmākās dalības iepirkuma procedūrā, kā arī neizskata pretendenta piedāvājumu jebkurā no šādiem gadījumiem:
4.2.1. Pretendents nav reģistrēts atbilstoši normatīvo aktu prasībām;
4.2.2. Pretendents vai persona, kurai ir Pretendenta pārstāvības tiesības vai lēmuma pieņemšanas vai uzraudzības tiesības attiecībā uz šo Pretendentu, ar tādu tiesas spriedumu vai prokurora priekšrakstu par sodu, kurš stājies spēkā un kļuvis neapstrīdams un nepārsūdzams, ir atzīta par vainīgu noziedzīgā nodarījumā par izvairīšanos no nodokļu un tiem pielīdzināto maksājumu nomaksas, koruptīva rakstura noziedzīgos nodarījumos, krāpnieciskās darbībās finanšu jomā, noziedzīgi iegūtu līdzekļu legalizācijā vai līdzdalībā noziedzīgā organizācijā (izņemot Publisko iepirkumu likuma 39. panta ceturtās daļas 1. punktā noteiktos gadījumus);
4.2.3. Pretendents ar tādu kompetentas institūcijas lēmumu vai tiesas spriedumu, kurš stājies spēkā un kļuvis neapstrīdams un nepārsūdzams, ir atzīts par vainīgu darba tiesību būtiskā pārkāpumā, kas izpaužas kā: a) viena vai vairāku tādu valstu pilsoņu vai pavalstnieku nodarbināšana, kuri nav Eiropas Savienības dalībvalstu pilsoņi vai pavalstnieki, ja tie Eiropas Savienības dalībvalstu teritorijā uzturas nelikumīgi, b) vienas personas
nodarbināšana bez rakstveida darba līguma noslēgšanas, ja tā konstatēta atkārtoti gada laikā, vai divu vai vairāku personu nodarbināšana bez rakstveida darba līguma noslēgšanas (izņemot Publisko iepirkumu likuma 39. panta ceturtās daļas 1. un 2. punktā noteiktos gadījumus);
4.2.4. Pretendents ar tādu kompetentas institūcijas lēmumu vai tiesas spriedumu, kurš stājies spēkā un kļuvis neapstrīdams un nepārsūdzams, ir atzīts par vainīgu konkurences tiesību pārkāpumā, kas izpaužas kā vertikālā vienošanās, kuras mērķis ir ierobežot pircēja iespēju noteikt tālākpārdošanas cenu, vai horizontālā karteļa vienošanās, izņemot gadījumu, kad attiecīgā institūcija, konstatējot konkurences tiesību pārkāpumu, pretendentu ir atbrīvojusi no naudas soda (izņemot Publisko iepirkumu likuma 39. panta ceturtās daļas 3. punktā noteiktos gadījumus);
4.2.5. ir pasludināts Pretendenta maksātnespējas process, apturēta vai pārtraukta Pretendenta saimnieciskā darbība, uzsākta tiesvedība par Pretendenta bankrotu vai tiek konstatēts, ka līdz līguma izpildes paredzamajam beigu termiņam Pretendents būs likvidēts (pasūtītājs Publisko iepirkumu likuma 39. panta trešajā daļā noteiktajos gadījumos var lemt par Pretendenta neizslēgšanu no iepirkuma procedūras saskaņā ar šo punktu);
4.2.6. Pretendentam Latvijā un valstī, kurā tas reģistrēts vai kurā atrodas tā pastāvīgā dzīvesvieta (ja tas nav reģistrēts Latvijā vai tā pastāvīgā dzīvesvieta nav Latvijā), ir nodokļu parādi, tajā skaitā valsts sociālās apdrošināšanas obligāto iemaksu parādi, kas kopsummā katrā valstī pārsniedz 100 latus;
4.2.7. Pretendents sniedzis nepatiesu informāciju savas kvalifikācijas novērtēšanai vai vispār nav sniedzis pieprasīto informāciju;
4.2.8. citā Publisko iepirkumu likumā noteiktā gadījumā;
4.2.9. Šī nolikuma punktos 4.2.2.-4.2.7. minētie nosacījumi attiecas arī uz personālsabiedrī- bas biedru, ja Pretendents ir personālsabiedrība, un uz Pretendenta norādīto personu, uz kuras iespējām Pretendents balstās, lai apliecinātu, ka tā kvalifikācija atbilst iepirkuma procedūras dokumentos noteiktajām prasībām.
4.3. Lai Komisija varētu izvērtēt Pretendentu saskaņā ar punktu 4.2, līdz ar piedāvājumu Pretendents iesniedz sekojošus dokumentus:
4.3.1. Pretendenta reģistrācijas apliecības kopiju;
4.3.2. Pretendenta apliecinājumu, ka uz Pretendentu neattiecas šī nolikuma 4.2.2.–4.2.6. punktos minētie apstākļi.
4.4. Komisija ir tiesīga pieprasīt Pretendentam 15 (piecpadsmit) darbadienu laikā iesniegt šādus dokumentus:
4.4.1. Kompetentas institūcijas izziņu, kas izdota ne agrāk kā vienu mēnesi pirms iesniegšanas dienas un kas apliecina, ka Pretendentam un šī nolikuma punktā 4.2.9. minētājai personai nav pasludināts maksātnespējas process un tas neatrodas likvidācijas stadijā (Publisko iepirkumu likuma 39. panta astotajā daļā noteiktajos gadījumos);
4.4.2. izziņu, kuru izdevis Valsts ieņēmumu dienests, kura izdota ne agrāk kā vienu mēnesi pirms iesniegšanas dienas un kura apliecina, ka Pretendentam un šī nolikuma punktā 4.2.9. minētājai personai (neatkarīgi no tā, vai tie reģistrēti Latvijā vai Latvijā atrodas to pastāvīgā dzīvesvieta) Latvijā nav Valsts ieņēmumu dienesta administrēto nodokļu parādu, tajā skaitā valsts sociālās apdrošināšanas obligāto iemaksu parādu, kas kopsummā pārsniedz 100 latus (Publisko iepirkumu likuma 39. panta astotajā daļā noteiktajos gadījumos);
4.4.3. izziņu, ka ārvalstī reģistrētam (atrodas pastāvīgā dzīvesvieta) Pretendentam un šī nolikuma punktā 4.2.9. minētājai personai (ja tie ir reģistrēti ārvalstī vai ārvalstī ir to pastāvīgā dzīvesvieta) attiecīgajā ārvalstī nav nodokļu parādu, tajā skaitā valsts sociālās apdrošināšanas obligāto iemaksu parādu, kas kopsummā pārsniedz 100 latus (Publisko iepirkumu likuma 39. panta astotajā daļā noteiktajos gadījumos);
4.4.4. Pretendenta jaunākos Valsts ieņēmumu dienestā vai līdzvērtīgā nodokļu administrācijas iestādē citā valstī iesniegtos finanšu pārskatus (x.xx. bilance, peļņas vai zaudējumu aprēķins, naudas plūsmas pārskats, pašu kapitāla pārmaiņu pārskats un pielikumi) un attiecīgo revidentu ziņojumu, ja tāds ir.
4.5. Informācija par Pretendenta saimniecisko un finansiālo stāvokli
4.5.1. Pretendenta saimnieciskajam un finansiālajam stāvoklim jāatbilst šādiem nosacījumiem: Pretendenta gada vidējam finanšu apgrozījumam līdzvērtīgu preču (šajā nolikumā par iepirkuma priekšmetam līdzvērtīgām precēm tiek uzskatītas vakuuma tehnoloģijas vai tām pielīdzināmas iekārtas) piegādes jomā iepriekšējo 3 (trīs) gadu laikā ir jāpārsniedz Pretendenta piedāvātā iekārtas piegādes cena.
4.5.2. Lai varētu izvērtēt Pretendenta saimniecisko un finansiālo stāvokli, līdz ar piedāvājumu Pretendents iesniedz izziņu par Pretendenta gada vidējo finanšu apgrozījumu līdzvērtīgu preču piegādes jomā iepriekšējo trīs gadu laikā. Pretendents, kurš darbojas mazāk nekā 3 gadus, iesniedz izziņu par savas darbības periodu.
4.5.3. Pretendents var balstīties uz citu uzņēmēju iespējām, ja tas ir nepieciešams konkrētā līguma izpildei, neatkarīgi no savstarpējo attiecību tiesiskā rakstura. Šādā gadījumā Pretendents pierāda Pasūtītājam, ka viņa rīcībā būs nepieciešamie resursi, iesniedzot šo uzņēmēju apliecinājumu vai vienošanos par sadarbību konkrētā līguma izpildei.
4.6. Informācija par Pretendenta iespējām
4.6.1. Pretendenta iespējām piegādāt iepirkuma priekšmetu jāatbilst šādiem nosacījumiem:
4.6.1.1. Pretendentam ir pieredze līdzvērtīgu preču piegādē. Vismaz vienas veiktās piegādes līgumcena pārsniedz šim konkursam piedāvāto cenu;
4.6.1.2. Pretendenta rīcībā ir piedāvātās iekārtas uzstādīšanai un garantijas remonta nodrošināšanai nepieciešamais personāls;
4.6.1.3. Piedāvātās iekārtas ražotājs vai ražotāja oficiālais izplatītājs ir uzņēmies pats vai caur citu partneri veikt iekārtas garantijas apkalpošanu, ja Pretendents to nespēj nodrošināt (piemēram, maksātnespējas vai bankrota gadījumā).
4.6.2. Lai varētu izvērtēt Pretendenta iespējas, līdz ar piedāvājumu Pretendents iesniedz:
4.6.2.1. Pretendenta iepriekšējo 3 (trīs) un tekošā gadu laikā veikto līdzvērtīgu preču 3 līdz 5 lielāko piegāžu sarakstu atbilstoši šī nolikuma 3.2. Pielikumam;
4.6.2.2. Pozitīvas atsauksmes par vismaz 3 (trīs) 4.6.2.1. punktā minētajām Pretendenta veiktajām piegādēm iepriekšējo 3 (trīs) un tekošā gadu laikā;
4.6.2.3. Pretendenta tehniskā personāla, ko paredzēts izmantot iekārtas uzstādīšanā un garantijas nodrošināšanā, sarakstu atbilstoši šī nolikuma 3.3. Pielikumam (sarakstam pievieno kvalifikāciju apliecinošo dokumentu kopijas);
4.6.2.4. Ražotāja vai ražotāja oficiālā izplatītāja izsniegtu dokumentu (ja Pretendents nav iekārtas Ražotājs vai ražotāja oficiālais izplatītājs), kurā ražotājs vai ražotāja oficiālais izplatītājs norāda alternatīvu garantijas nodrošināšanai (garantiju nodrošināt uzņemas pats
ražotājs vai ražotāja oficiālais izplatītājs vai nodrošina to caur citu partneri), ja Pretendents to nespēj nodrošināt (piemēram, maksātnespējas/bankrota gadījumā);
4.6.2.5. Pretendents var balstīties uz citu uzņēmēju iespējām, ja tas ir nepieciešams konkrētā līguma izpildei, neatkarīgi no savstarpējo attiecību tiesiskā rakstura. Šādā gadījumā Pretendents pierāda Pasūtītājam, ka viņa rīcībā būs nepieciešamie resursi, iesniedzot šo uzņēmēju apliecinājumu vai vienošanos par sadarbību konkrētā līguma izpildei.
4.7. Papildus informācija
4.7.1. Ja informācija, ko Pretendents sniedzis saskaņā ar šā nolikuma punktiem 4.3., 4.4.,
4.5. un 4.6, nav pietiekama, lai konstatētu, vai uz Pretendentu attiecas šā nolikuma punktā
4.2 minētie nosacījumi, vai lai novērtētu Pretendenta saimniecisko un finansiālo stāvokli un iespējas, Pasūtītājs ir pieprasa, lai Pretendents izskaidro sniegto informāciju vai iesniedz papildus informāciju minētajos punktos noteiktajos ietvaros.
4.7.2. Lai noskaidrotu, vai nav saņemts nepamatoti lēts piedāvājums, Pasūtītājs pieprasa, lai Pretendents, kurš iesniedzis piedāvājumu ar viszemāko cenu, iesniedz īpašo, tikai šim Pretendentam pieejamo tirgus apstākļu aprakstu, kas pamato cenas pazeminājumu.
4.8. Izslēgšana no dalības iepirkuma procesā
4.8.1. Ja uz Pretendentu attiecas šā nolikuma punktā 4.2 minētie nosacījumi vai arī tā saimnieciskais un finansiālais stāvoklis un spējas neatbilst šā nolikuma punktu 4.5. un 4.6. nosacījumiem, Pasūtītājs pieņem lēmumu par Pretendenta piedāvājuma neizskatīšanu un Pretendenta izslēgšanu no turpmākās dalības iepirkuma procedūrā.
4.8.2. Ja Pretendents ir iesniedzis nepamatoti lētu piedāvājumu, Pasūtītājs pieņem lēmumu par Pretendenta izslēgšanu no turpmākās dalības iepirkuma procesā.
4.8.3. Ja Pretendents pieprasa, lai Pasūtītājs izskaidro lēmumu, kas pieņemts saskaņā ar šā nolikuma punktiem 4.8.1. un 4.8.2., Pasūtītājs 3 (trīs) dienu laikā pēc pieprasījuma saņemšanas sniedz rakstveidā šā lēmuma pamatojumu.
V PIEDĀVĀJUMU VĒRTĒŠANA
UN PRETENDENTIEM IZVIRZĀMĀS PRASĪBAS
5.1. Iesniegtie piedāvājumi, kuri izturējuši Pretendentu atlasi (IV nodaļa) un atbilst pieprasītajai tehniskajai specifikācijai (pielikums Nr.1) tiks vērtēti pēc vienīgā kritērija - zemākā cena. Tiks salīdzinātas Iekārtas kopējās cenas bez pievienotās vērtības nodokļa, izteiktas latos (cena, dota EUR, USD vai GBP, tiks konvertēta uz LVL pēc Latvijas Bankas noteiktā kursa piedāvājumu atvēršanas dienā).
5.2. Par konkursa uzvarētāju tiks atzīts tas Pretendents, kurš būs iesniedzis piedāvājumu ar viszemāko cenu, kas tiek noteikta, ņemot vērā šā nolikuma 5.1. punktu.
5.3. Pretendentam ir jānodrošina konkursā piedāvātās cenas nemainīgums visā iepirkuma līguma izpildes gaitā. Iespējamā inflācija, tirgus apstākļu maiņa vai jebkuri citi apstākļi nevar būt par pamatu cenu paaugstināšanai un šo procesu radītās sekas Pretendentam ir jāprognozē un jāaprēķina, sastādot finanšu piedāvājumu.
VI KOMISIJAS TIESĪBAS UN PIENĀKUMI
6.1. Konkursa piedāvājumu izvērtēšanu un izvēlēto Pretendentu nosaka ar LU Cietvielu fizikas institūta direktora rīkojumu izveidota iepirkumu komisija (Komisija).
6.2. Komisijai ir tiesības atteikties tālāk vērtēt jebkuru no priekšlikumiem, ja tiek konstatēts, ka piedāvājums neatbilst kādai no šajā nolikumā vai Latvijas Republikas normatīvajos aktos noteiktajām prasībām vai satur nepatiesu informāciju.
6.3. Ja Komisijai rodas šaubas par iesniegtā dokumenta kopijas autentiskumu, tā pieprasa Pretendentam uzrādīt dokumenta oriģinālu vai iesniegt apliecinātu tā kopiju.
6.4. Komisijai ir tiesības pieaicināt tās darbā speciālistus vai ekspertus ar padomdevēja tiesībām. Eksperts dod rakstisku vērtējumu. Vērtējumu pievieno Komisijas sēdes protokolam. Eksperta vērtējums nav saistošs Komisijai.
6.5. Komisija var izdarīt izmaiņas nolikumā vai pagarināt piedāvājuma iesniegšanas termiņu. Šī informācija tiks publicēta Pasūtītāja mājas lapā (xxx.xxx.xx.xx/xxxxxxxxx).
6.6. Ja Pretendenta iesniegtajos dokumentos ietvertā informācija ir nepietiekoša, Komisija var pieprasīt papildus informāciju, nosakot iesniedzamās informācijas iesniegšanas termiņu un vietu.
6.7. Ja Pretendents neiesniedz Komisijas pieprasītās ziņas vai paskaidrojumus, Komisija piedāvājumu vērtē pēc tiem dokumentiem, kas iekļauti piedāvājumā.
6.8. Komisija patur sev tiesības jebkurā laikā pārtraukt procedūru, neizvēloties nevienu no piedāvājumiem.
6.9. Komisijai, pēc visu pārbaužu veikšanas, izmantojot priekšlikumu vērtēšanas un salīdzināšanas kritērijus, kas norādīti V nodaļā, ir tiesības pieņemt vienu no sekojošiem lēmumiem:
• par iepirkuma līgumu slēgšanu ar Pretendentu;
• izbeigt konkursu, neizvēloties nevienu piedāvājumu.
6.10. Komisija savu lēmumu (6.9. punkts) ievieto Pasūtītāja mājas lapā (xxx.xxx.xx.xx/xxxxxxxxx) un par savu lēmumu trīs darba dienu laikā nosūta rakstisku paziņojumu visiem pretendentiem un Iepirkumu uzraudzības birojam (IUB).
6.11. Ja 10 (desmit) dienu un 1 (vienas) darba dienas laikā no dienas, kad paziņojums par lēmuma pieņemšanu publicēts Iepirkumu uzraudzības biroja mājas lapā, ne IUB, ne Pasūtītājs nesaņem kāda Pretendenta sūdzību par pasūtītāja darbību attiecībā uz konkursa likumību, Pasūtītājs slēdz iepirkuma līgumu ar izraudzīto Pretendentu.
VII PRETENDENTU TIESĪBAS UN PIENĀKUMI
7.1. Piedalīšanās konkursā ir Pretendenta brīva griba.
7.2. Pretendentam ir tiesības apstrīdēt konkursa nolikumā iekļautās prasības iesniedzot iesniegumu Iepirkumu uzraudzības birojā likuma “Publisko iepirkumu likums” 83.panta noteiktajā kārtībā ne vēlāk kā 10 dienas pirms piedāvājumu iesniegšanas termiņa beigām.
7.3.Iesniedzot savu piedāvājumu dalībai šajā konkursā, Pretendentam visā pilnībā ir jāpieņem un ir jābūt gatavam pildīt šā konkursa nolikuma un normatīvo aktu prasības par publisko iepirkumu.
7.4. Pretendentam ir tiesības pārsūdzēt komisijas pieņemto lēmumu likumā “Publisko iepirkumu likums” noteiktajā kārtībā.
7.5. Pretendents var mainīt vai atsaukt piedāvājumu pēc tā iesniegšanas ar nosacījumu, ja Pretendents iesniedz komisijai rakstisku paziņojumu par izmaiņām (vai atsaukšanu) līdz piedāvājumu iesniegšanas termiņa beigām.
7.6. Pēc piedāvājuma iesniegšanas termiņa beigām piedāvājumi nav grozāmi vai papildināmi.
VIII LĪGUMA NOSACĪJUMI
8.1. Līguma slēgšanas mērķis ir noteikt visas tiesiskās, mantiskās, finansiālās un citas attiecības, kādas var rasties, veicot iepirkumu Pasūtītāja vajadzībām.
8.2. Iepirkuma līguma projekts ietverts šā nolikuma pielikumā Nr.2.
8.3. Ja Pretendentam ir pamatoti iebildumi vai precizējumi attiecībā uz Tehniskajām specifikācijām vai Nolikumam pievienotā iepirkuma līguma projekta nosacījumiem, tie jāizsaka iespējami ātri, lai nepieciešamības gadījumā Pasūtītājs var izdarīt konkursa nolikumā grozījumus. Piedāvājumā norādītie vai pēc piedāvājumu atvēršanas iesniegtie iebildumi vai precizējumi attiecībā uz Tehniskajām specifikācijām vai līguma projekta nosacījumiem netiks ņemti vērā.
8.4. Pasūtītājam ir mērķis iegādāties pilnu Tehniskajās specifikācijās aprakstīto klāstera iekārtas komplektu. Tomēr, ja nepietiks finansējuma, Pasūtītājs rezervē sev tiesības pirkt iekārtu pa daļām, atkarībā no pieejamā finansējuma vai pirkt nepilnu komplektu. Minimālā sākotnējā pirkuma komplektācija ir (atbilstoši Tehnisko specifikāciju 2.daļai):
1. Centrālā kamera – parauga pārvietošana;
2. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde un jonu apstrāde;
3. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija;
4. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana (ar 3 barošanas avotiem);
5. Elektrisko un vadības sistēmu skapji;
6. Destilētā ūdens kontūrs;
7. Iekārtas vadības/kontroles darba stacija;
8. Rezerves daļu komplekts.
Pārējās klāstera iekārtas kameras: Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšana un Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai), gadījumā, ja tās netiks iegādātas uzreiz, ir paredzēts iegādāties iespējami drīz, atkarībā no pieejamā finansējuma. Ja tās netiks iegādātas kopā, to iegādes secība paredzēta tāda, kādā tās šeit ir nosauktas.
Nolikuma pielikums Nr.1 Iepirkumam „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”
Iepirkuma identifikācijas Nr.: LU CFI 2013/2/ERAF
TEHNISKĀ SPECIFIKĀCIJA
iepirkumam Nr. LU CFI 2013/2/ERAF
„Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”
(Iepirkums tiek veikts ERAF līdzfinansēta projekta
Nr. 2011/0041/2DP/2.1.1.3.1/11/IPIA/VIAA/004 „Nanostrukturēto un daudzfunkcionālo materiālu, konstrukciju un tehnoloģiju Valsts nozīmes pētniecības centra zinātniskās infrastruktūras attīstīšana” ietvaros.)
DAUDZFUNKCIONĀLA KLĀSTERA IEKĀRTA VAKUUMA PĀRKLĀJUMU IZGATAVOŠANAI
TEHNISKĀS SPECIFIKĀCIJAS NODAĻAS
0. VISPĀRĪGĀS PRASĪBAS
0.1. Nenodefinētās prasības
0.2. Piegādājamās iekārtas stāvoklis
1. PIELIETOJUMA VEIDS un IESPĒJAS
1.1. Pielietojuma veids
1.2. Iespējas
2. KOMPLEKTĀCIJA
2.1. Centrālā kamera – parauga pārvietošana
2.2. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde un jonu apstrāde
2.3. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija
2.4. Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšana
2.5. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana
2.6. Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai)
2.7. Elektrisko un vadības sistēmu skapji
2.8. Destilētā ūdens kontūrs
2.9. Iekārtas vadības/kontroles darba stacija
2.10. Rezerves daļu komplekts
3. TEHNISKIE DATI
3.1. Izmantojamie paraugi (Šajā nolikumā ar vārdu „paraugs“ tiek apzīmēta pamatne bez pārklājuma vai ar pārklājumu.)
3.2. Centrālā kamera – parauga pārvietošana
3.3. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde, jonu apstrāde
3.4. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija
3.5. Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšana
3.6. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana
3.7. Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai)
3.8. Atsūknēšanas sistēma, plūsmas regulatori un spiediena devēji
3.9. Centrālās kameras gabarīti
3.10. 1. procesa kameras gabarīti
3.11. 2., 3., 4., 5. procesa kameras gabarīti
3.12. Inženierkomunikācijas
3.13. Lietošanas apstākļi
4. IEKĀRTAS APRAKSTS
4.1. Vispārīgs apraksts
4.2. Parauga turētājs
4.3. Centrālā kamera – parauga pārvietošana
4.4. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde, jonu apstrāde
4.5. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija
4.6. Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšanai
4.7. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana
4.8. Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai)
4.9. Atsūknēšanas sistēma
4.10. Inženierkomunikācijas
5. ELEKTRISKĀ UN VADĪBAS SISTĒMA
6. IEKĀRTAS PIEŅEMŠANA/NODOŠANA PIE PRETENDENTA (Parasti šāda tipa iekārtas piegādā un uzstāda iekārtas ražotājs. Ja Pretendents nav iekārtas ražotājs, ar lietoto terminu „Pretendents” šajā tehniskajā specifikācijā vietām ir jāsaprot „ražotājs vai Pretendents”, jo rindai tehniskās specifikācijas punktu iepriekš nav iespējams pateikt, vai piedāvājumā tie būs saistīti ar ražotāju vai ar Pretendentu. Ja Pretendents nav iekārtas ražotājs, tas savā piedāvājumā pēc vajadzības var aizstāt terminu „Pretendents” ar terminu „ražotājs”.)
7. IEKĀRTAS MONTĀŽA, REGULĒŠANA UN NODOŠANA PIE PASŪTĪTĀJA
8. PERSONĀLA APMĀCĪBA
9. RASĒJUMI UN TEHNISKĀ DOKUMENTĀCIJA
10. IEPAKOŠANA, TRANSPORTĒŠANA UN GLABĀŠANA
11. GARANTIJA
12. PĒCPĀRDOŠANAS APKALPOŠANA
0. VISPĀRĪGĀS PRASĪBAS
0.1. Nenodefinētās prasības
Ja tehniskajās specifikācijās kāda uz šo līgumu attiecošās tehniskā prasība nav definēta, tai ir jāatbilst minimālajām vispārpieņemtajām prasībām vai standartiem.
0.2. Piegādājamās iekārtas stāvoklis
Līguma ietvaros piegādājamā iekārta nedrīkst būt lietota, tajā nedrīkst būt iebūvētas lietotas vai renovētas daļas.
1. PIELIETOJUMA VEIDS un IESPĒJAS
1.1. Pielietojuma veids
Klāstera iekārta vakuuma pārklājumu izgatavošanai (turpmāk – iekārta) ir R&D iekārta dažādu daudzfunkcionālu pārklājumu uznešanai izmantojot 3 metodes: vielas iztvaicēšanu, magnetronu izputināšanu un sublimāciju. Paraugs ir līdz 50x50 mm liels, ciets, plakans materiāls, kas ir piemērots pārklājuma uznešanai vakuumā. Iekārta ir paredzēta zinātniski pētnieciskiem darbiem.
1.2. Iespējas
1.2.1. Iekārta ir papildināma, modulāra un elastīga sistēma. Tās pamatā ir centrālā kamera, kurai var pieslēgt līdz pat 8 procesa kameras, no kurām viena ir paredzēta ielādes/izlādes funkciju izpildei.
1.2.2. Katra procesa kamera ir aprīkota ar centrālās kameras aizvaru un var tikt darbināta neatkarīgi no pārējām.
1.2.3. Parauga ielādi var veikt caur ielādes/izlādes un tālāk caur centrālo kameru, bez gaisa piekļuves konkrētā procesa kamerai, vai arī izmantojot jebkura procesa kameras durvis, pirms tam ielaižot gaisu procesa kamerā. Parauga ielāde / izlāde notiek, neapstādinot vakuuma sūkņus.
1.2.4. Iekārta ir ar vienkāršu dizainu, ērti apkalpojama, ar elastīgu un pielāgojamu uzbūvi.
1.2.5. Centrālā kamera un procesa kameras ir aprīkotas ar logiem.
1.2.6. Pārklājuma uznešanas procesu kameras ir izstrādātas pēc vienota dizaina un procesa aprīkojums (iztvaicētāji, sublimācijas šūnas un magnetroni) ir izvietots uz vienādiem noslēgvākiem, lai nepieciešamības gadījumā vienu un to pašu aprīkojumu varētu izmantot citā procesa kamerā, vai arī veikt ātru procesa aprīkojuma nomaiņu.
1.2.7. Pārklājuma uznešanas procesu kameras ir aprīkotas ar 2 papildus atlokiem (flančiem), kurus var izmantot papildus aprīkojuma un mērinsturmentu uzmontēšanai.
1.2.8. Kameras dizains ir izstrādātas tā, lai iekārta būtu ērti apkalpojama, vizuāli pārskatāma, viegli vadāma.
1.2.9. Iekārta ir paredzēta darbam kā parastās iekštelpās tā arī tīrtelpās.
1.2.10. Lai nodrošinātu ērtāku, ātrāku un drošāku kameru apkalpošanu, kameras ir aprīkotas ar viegli noņemamiem iekšējo virsmu aizsargekrāniem.
2. KOMPLEKTĀCIJA
2.1. Centrālā kamera – parauga pārvietošana
Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un uzglabāšanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus.
2.2. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde un jonu apstrāde
Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, jonu apstrādi, gāzu padevi, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus.
2.3. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija
Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gāzu padevi, pārklājumu izgatavošanu un izgatavošanas procesa kontroli, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus.
2.4. Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšana
Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gāzu padevi, pārklājumu izgatavošanu un izgatavošanas procesa kontroli, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus.
2.5. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana
Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gāzu padevi, pārklājumu izgatavošanu un izgatavošanas procesa kontroli, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus.
2.6. Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai)
Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gāzu padevi, pārklājumu izgatavošanu un izgatavošanas procesa kontroli, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus.
2.7. Elektrisko un vadības sistēmu skapji
2.8. Destilētā ūdens kontūrs, ieskaitot dzesētāju
2.8.1. Magnetronu dzesēšanai
2.8.2. Turbomolekulāro sūkņu dzesēšanai
2.8.3. Kvarca rezonanses uznešanas ātruma un biezuma mērītāju dzesēšanai
2.9. Iekārtas vadības/kontroles darba stacija
2.10. Rezerves daļu komplekts
Pasūtītājs nodrošina:
• Uzstādīšanai piemērotas telpas
• Inženierkomunikācijas
• Izplūdes gāzu pēcapstrādi
• Iztvaicēšanas un izputināšanas materiālus
• Gāzes/gāzu maisījumus
3. TEHNISKIE DATI
3.1. Paraugs
3.1.1. Parauga īpašības un izmēri
Materiāls Stikls, metāls vai cita cieta, plakana, vakuuma procesiem piemērota pamatne
Izmēri, mm 25x25 un 50 x 50
Biezums, mm Līdz 2
Nepārklātā zona, (ja nepieciešama) mm
3.1.2. Parauga turētājs
Tiek norādīta Pretendenta specifikācijā
Materiāls Tiek norādīts Pretendenta specifikācijā
Izmēri, mm Tiek norādīti Pretendenta specifikācijā
3.2. Centrālā kamera – parauga pārvietošana
Bāzes spiediens, Tori Transportēšanas sistēma
Ne augstāks par 1x10-6 Tiek norādīta Pretendenta specifikācijā
Kasete 5 līdz 10 paraugu uzglabāšanai
3.3. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde, jonu apstrāde
3.3.1. Parauga virsmas apstrāde
Xxxx avotu daudzums, gab. Attālums starp avotu un paraugu, mm
Jonu kūļa enerģija, eV Xxxx xxxx xxxxx, Xx
Jonu kūļa izkliedes leņķis, grādi Bāzes spiediens, Tori
Darba spiediens, Tori
Jonu plūsma 1
100…150
Līdz 230
Līdz 1500
Zem 80
Ne augstāks par 1x10-6 1x10-4
Procesa gāzes Ar, O2
Gāzes plūsma, sccm Ar - max 30, O2 - max 30
Masas plūsmas kontrolieri, gab. 2 Parauga vietu skaits, gab. 1
3.4. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija
3.4.1. Pārklājums
Materiāls Sublimācijai piemērotas organiskās
vielas
Pārklājuma vienmērība, % ± 5
3.4.2. Iztvaicēšana
Iztvaicēšanas elementa tips Iztvaicēšanas elementu skaits ar aizvariem, gab.
Tīģeļa tipa iztvaicētājs ar aizvaru 3
Tīģeļa iekšējais tilpums, cm3 ne lielāks par 1,2
Iztvaicētāju barošanas avotu skaits, gab.
Iztvaicējamā materiāla forma Bāzes spiediens, Tori
Darba spiediens, Tori
3 vai 1 pārslēdzams
Pulveris, granulas u.c. Ne augstāks par 1x10-6 1x10-6 - 1x10-4
Iztvaicēšanas temperatūra, oC līdz 600
Procesa gāzes N2
Gāzes plūsma, sccm Līdz 20 Masas plūsmas kontrolieri, gab. 1
Attālums no iztvaicētāja līdz paraugam, mm
100-200
Papildus aizvari 3 papildus aizvari, viens virs katras pamatnes
Paraugu vietu skaits, gab. 3 ar masku vietām
Attālums starp pamati un masku, mm
Tīģeļi organiko vielu iztvaicēšanai, gab
3.4.3. Parauga sildīšana/dzesēšana
Tiešs kontakts 10
Parauga temperatūra, oC Maksimālā +60, minimālā - 40 Sildītājā/dzesētāja veids Norādīts Pretendenta specifikācijā
Termopāru skaits sildītāja/dzesētāja temperatūras un pamatnes temperatūras mērīšanai, gab.
3.4.4. Mērinstrumenti
Kvarca kristāla rezonanses uznešanas ātruma un biezuma mērītāji, gab.
Kvarca kristāli rezonatoram, gab.
Uznešanas ātruma mērīšanas precizitāte, Å/s
2
3
15
≤ 0,1
Nodrošināt paraugu pārklāšanas sākšanos pie noteikta pārklāšanas ātruma
3.5. Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšana
3.5.1. Pārklājums
Iztvaicējamais materiāls Au, Ag, Al, Pd, Cu, Ni u.c.
Pārklājuma vienmērība, % ± 5
3.5.2. Termiskā iztvaicēšana
Iztvaicētāju skaits, gab. Aizvaru skaits, gab.
Rezistīvie iztvaicētāji, no kuriem vismaz divi ir tīģeļa tipa
4
1
Tīģeļa iekšējais tilpums, cm3 ne vairāk par 1,2
Bāzes spiediens, Tori
Darba spiediena diapazons, Tori Iztvaicētāju barošanas avotu skaits, gab.
Ne augstāks par 1x10-6 1x10-5 ... 1x10-4
4
Iztvaicēšanas temperatūra, oC līdz 1500
Attālums no iztvaicētāja līdz parauga centram, mm
100…150
Parauga vietu skaits, gab. 1 ar masku vietu
Attālums starp pamati un masku, mm
Tiešs kontakts
Bora nitrīda tīģeļi, gab 5
Alumīnija oksīda tīģeļi, gab 5
Kvarca tīģeļi, gab 5
Molibdēna laiviņas, gab (ja ir 20
iekļauti laiviņas rezistīvie iztvaicētāji)
Volframa laiviņas, gab (ja ir 20
iekļauti laiviņas rezistīvie iztvaicētāji)
3.5.3. Parauga sildīšana
Parauga temperatūra, oC Maksimums 200
Sildītāja veids Norādīts Pretendenta specifikācijā, paraugs nedrīkst tikts pakļauts tiešai infrasarkanai apstarošanai
Termopāru skaits sildītāja 1
temperatūras mērīšanai, gab.
Maksimālā sildītāja jauda, W Norādīta Pretendenta specifikācijā Sildītāju skaits, gab. 1
3.5.4. Mērinstrumenti
Kvarca kristāla rezonanses uznešanas ātruma un biezuma mērītāji, gab.
Kvarca kristāli rezonatoriem, gab.
Uznešanas ātruma mērīšanas precizitāte, Å/s
2 (1 uz 2 iztvaicētājiem ar vienu barošanas bloku)
10
≤ 0,1
Nodrošināt paraugu pārklāšanas sākšanos pie noteikta pārklāšanas
ātruma
3.6. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana
3.6.1. Pārklājums
Materiāli ITO, AZO, TiO2, SiO2, Al, Ti, u.c.
Pārklājuma vienmērība, % ± 5
3.6.2. Magnetronu izputināšana
Materiāla izputināšana inertas vai reaktīvas gāzes vai to maisījuma atmosfērā
Apaļš, plakans mērķis, diametrs ne mazāks kā 2 collas
Magnetronu skaits, gab. 3
Aizvaru skaits virs parauga, gab. Vidējais attālums no mērķa līdz paraugam, mm
Magnetrona mērķa slīpuma leņķis, grādi
Bāzes spiediens, Tori
Darba spiediena diapazons, Tori
1
100, ar pārvietošanās diapazonu
±50 mm 5…30
Ne augstāks par 1x10-6 (0.2-4) x10-2
Procesa gāzes Ar, O2, H2, N2 Masas plūsmas kontrolieri, gab. 4
Barošanas avoti 2 gab. pulsējošas līdzstrāvas barošanas bloki, 1 gab. RF barošanas bloks. (manuāli pārslēdzami, kopīgi ar 5. procesa kameru). Iespējama vienlaicīga izputināšana, izmantojot 2 sinhronizētus līdzstrāvas un RF barošanas avotus.
Barošanas avota jauda, kW Pieskaņota mērķa izmēram Paraugu vietu skaits, gab. 1
Parauga rotācijas ātrums, min-1 Līdz 10
3.6.3. Parauga sildīšana
Parauga temperatūra, oC Maksimāli 400
Sildītāja veids Norādīts Pretendenta specifikācijā
Termopāru skaits temperatūras 1 mērīšanai, gab.
Maksimālā sildītāja jauda, W Norādīta Pretendenta specifikācijā Sildītāju skaits, gab. 1
3.6.4. Mērinstrumenti:
Plazmas optiskās spektroskopijas kanāli,
3 (1 kanāls pie katra magnetrona)
neiekļaujot spektrofotometrus, gab
3.6.5. Gāzu padeves sistēma
Norādīts Pretendenta specifikācijā, atbilstošs izmantotajiem vakuuma sūkņiem un nepieciešamajam darba spiedienam
Norādīts Pretendenta specifikācijā
3.7. Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai)
3.7.1. Pārklājums
Materiāli Leģēts vai tīrs silīcijs
Pārklājuma vienmērība, % ± 10
3.7.2. Magnetronu izputināšana
Materiāla izputināšana inertas vai inertas un reaktīvas gāzes maisījuma atmosfērā
Apaļš, plakans mērķis, diametrs ne mazāks kā 2 collas
Magnetronu skaits, gab. 3
Aizvaru skaits virs parauga, gab. Vidējais attālums no mērķa līdz paraugam, mm
Magnetrona mērķa slīpuma leņķis, grādi
Bāzes spiediens, Tori Darba spiediens, Tori
1
100, ar pārvietošanās diapazonu ± 50 mm
5…30
Ne augstāks par 1x10-6 (0.2-4) x10-2
Procesa gāzes Ar, H2
Masas plūsmas kontrolieri, gab. 2
Barošanas avoti 2 gab. pulsējošas līdzstrāvas barošanas bloki, 1 gab. RF barošanas bloks. (manuāli pārslēdzami, kopīgi ar 4. procesa kameru). Iespējama vienlaicīga izputināšana, izmantojot 2 sinhronizētus līdzstrāvas un RF barošanas avotus.
Parauga vietu skaits, gab. 1
Parauga rotācijas ātrums, min-1 Līdz 10
3.7.3. Parauga sildīšana
Parauga temperatūra, oC Maksimāli 400
Sildītāja veids Norādīts Pretendenta specifikācijā
Termopāru skaits temperatūras 1 mērīšanai, gab.
Maksimālā sildītāja jauda, W Norādīta Pretendenta specifikācijā Sildītāju skaits, gab. 1
3.7.4. Gāzu padeves sistēma
Norādīts Pretendenta specifikācijā, atbilstošs izmantotajiem vakuuma sūkņiem un nepieciešamajam darba spiedienam
Norādīts Pretendenta specifikācijā
3.8. Atsūknēšanas sistēma, plūsmas regulatori un spiediena devēji
Bāzes spiediens centrālajā un procesa kamerās Atsūknēšanas laiks procesa kamerai (no atmosfēras līdz 1x10-6 Tori)
Ne augstāks kā 1x10-6 Tori
< 45 min.
Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas atsūknēšanas sistēmas komponentes (ieskaitot modeļu nosaukumus)
3.9. Iekārtas gabarīti
Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādīti iekārtas un atsevišķu kameru gabarīti
3.10. Inženierkomunikācijas
3.10.1. Elektriskais pieslēgums
Frekvence, Hz 50 ± 0.2
Spriegums, V Norādīti Pretendenta specifikācijā Slēguma tips
Iekārtas uzstādītā jauda, kW Norādīta Pretendenta specifikācijā
3.10.2. Saspiestais gaiss
Spiediens, bāri Prasības norādītas Pretendenta specifikācijā
Rasas punkta temperatūra,oC Prasības norādītas Pretendenta
specifikācijā
Īpašības Brīvs no eļļas tvaikiem un putekļiem
3.11. Lietošanas apstākļi
Temperatūra, oC 20 ± 5
Relatīvais mitrums, % Diapazons norādīts Pretendenta
specifikācijā
4. IEKĀRTAS APRAKSTS
4.1. Vispārīgs apraksts
4.1.1. Iekārta ir izstrādāta saskaņā ar ergonomikas principiem, kas nodrošina piekļuvi visām iekārtas daļām to apkalpošanai un nomaiņai. Visas iekārtas detaļas un aprīkojums ir paredzēts konkrētajiem procesiem, ievērojot specifiskās temperatūras, spiediena un reaktīvās vides prasības.
4.1.2. Visas kameras ir izgatavotas no nerūsējošā tērauda. Kameras iekšējās virsmas ir elektropulētas. Visām kamerām ir nodrošināti logi un apgaismojums procesa un parauga pārvietošanas novērošanai.
4.1.3. Iekārtai ir modulārs dizains. Visas procesa kameras ir viegli noņemamas.
4.1.4. Iekārtas dizains paredz ielādes/izlādes kameru, kas aprīkota jonu avotu, parauga virsmas apstrādei, 4 procesa kameras un 3 brīvas vietas, kuras nākotnē var izmantot citu procesa kameru pieslēgšanai. Centrālā kamera ir atdalīta no procesa kamerām ar slēgvārstu, caur kuru tiek nodrošināta parauga ievietošana procesa kamerā ar pārvietošanas mehānisma palīdzību. Pārklājuma uznešanas procesa kameras ir aprīkotas ar papildus 2 noslēgtiem atlokiem.
4.1.5. Katra procesa kamera var strādāt neatkarīgā, t.s. solo režīmā. Ielādes/izlādes kamera var strādāt vienlaicīgi ar citām kamerām. Parauga ievietošana konkrētā procesa kamerā ir iespējama vai nu caur ielādes/izlādes kameru un tālāk caur centrālo kameru ar pārvietošanas mehānisma palīdzību, vai atverot kameras durvis un manuāli novietojot paraugu uz parauga turētāja galdiņa.
4.1.6. Visas procesa kameras ir aprīkotas ar enģēs stiprinātām durvīm, kas dod iespēju viegli piekļūt kameras iekšpusē esošajam aprīkojumam, novietot masku un/vai paraugu uz parauga turētāja galdiņa tam paredzētajā vietā, nepieciešamības gadījumā nomainīt, papildināt iztvaicējamo, izputināmo materiālu.
4.1.7. Pārklājuma uznešanas procesa kameru iekšpusē ir paredzēti stiprinājumi tērauda vai cita materiāla plākšņveida ekrānu stiprināšanai, kas atvieglo kameras tīrīšanu pēc procesa veikšanas.
4.1.8. Organisko vielu termiskās sublimācijas kameras parauga turētāja galdiņš ir aprīkots ar 3 pozīcijām parauga ievietošanai. Parauga turētāja galdiņš ir pagriežams, lai nodrošinātu parauga novietošanu virs nepieciešamās sublimācijas šūnas vai nepieciešamo pozīciju parauga transportēšanai ar manipulatoru. Pagriešana tiek veikta ar soļu dzinēja palīdzību.
4.1.9. Metālu termiskās iztvaicēšanas kamerā un abās magnetronu izputināšanas kamerās parauga turētāja galdiņš ir aprīkots ar vienu pozīciju parauga ievietošanai.
4.1.10. Abās magnetronu izputināšanas kamerās tiek veikta parauga turētāja galdiņa rotācija vai cita mehāniska kustība, lai nodrošinātu viendabīgu pārklājumu.
4.1.11. Metālu termiskās iztvaicēšanas kamerā un abās magnetronu izputināšanas kamerās tiek nodrošināta parauga sildīšana.
4.1.12. Organisko vielu termiskās sublimācijas kamerā parauga sildīšana/dzesēšana notiek
izmantojot vara plāksni ar siltuma pārneses līdzekļa cirkulācijas caurulēm. Parauga pamatne ir tiešā kontaktā ar plāksnes virsmu. Dzesēšanas režīmā līdzeklis ir gāzveida vai šķidra viela. Tiek noversta ūdens kondensācija dzesēšanas sistēmā.
4.2. Parauga turētājs
4.2.1. Tiek izmantots speciāls parauga turētājs, lai centrālās kameras pārvietošanas mehānisms (manipulators) varētu pārvietot paraugu no vienas procesa kameras citā. Parauga turētājs ir paredzēts 25x25 mm un 50x50 mm lieliem paraugiem. Nepārklātas virsmas izmēri (ja tāda nepieciešama parauga turēšanai) norādīti Pretendenta specifikācijā.
4.3. Centrālā kamera – parauga pārvietošana
4.3.1. Centrālā kamera ir aprīkota ar 8 atlokiem, pie kuriem tiek stiprinātas procesa kameras.
4.3.2. Parauga pārvietošana tiek veikta ar pārvietošanas mehānisma palīdzību. Centrālajā kamerā atrodas kasete 5-10 paraugu uzglabāšanai.
4.4. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde, jonu apstrāde
4.4.1. Pirmā procesa kamera ir paredzēta parauga ielādei un izlādei no iekārtas, parauga virsmas apstrādei ar jonu plūsmu un parauga nogādāšanai uz centrālo kameru.
4.4.2. Jonu apstrādes laikā izmantotās procesa gāzes (Ar un O2) tiek padotas izmantojot divus masas plūsmas kontrolierus (MFC).
4.5. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija
4.5.1. Otrā procesa kamera ir paredzēta organisku vielu uznešanai uz parauga, izmantojot 3 termiskās sublimācijas šūnas.
4.5.2. Katra sublimācijas šūna ir aprīkota ar individuālu aizvaru. Kamerā ir izvietoti 3 kvarca rezonanses uznešanas ātruma un biezuma mērītāji. Līdz nepieciesamā uznešanas ātruma sasniegšanai paraugu aizsedz papildus centrālais rotācijas aizvars, kas tiek darbināts ar pneimatisku piedziņu
4.5.3. Kamerā tiek nodrošināta parauga uzsildīšana līdz + 600 grādiem un atdzesēšana līdz
-400 izmantojot plākšņveida sildītāju/dzesētāju ar cirkulācijas caurulēm.
4.6. Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšanai
4.6.1. Trešā procesa kamera ir paredzēta metālu uznešanai uz parauga, izmantojot 4 iztvaicētājus.
4.6.2. Kamerā ir izvietoti 4 iztvaicētāji un 2 kvarca rezonatori uz katriem diviem iztvaicētājiem. Starp kvarca rezonatoriem un paraugu ir novietots aizvars, kas tiek darbināts ar pneimatisko piedziņu.
4.6.3. Kamerā tiek nodrošināta parauga uzsildīšana līdz +2000 grādiem.
4.7. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana
4.7.1. Ceturtā procesa kamera ir paredzēta dažādu materiālu uznešanai uz parauga,
izmantojot 3 magnetronus.
4.7.2. Kamerā ir izvietoti 3 magnetroni, no kuriem viens vai jebkuri divi vai visi trīs var strādāt vienlaicīgi. Magnetrona attālums līdz paraugam un tā leņķis pret paraugu var tikt mainīts. Procesa kamerai ir pievadītas 4 gāzes (Ar, O2, N2, H2) izmantojot četrus gāzu plūsmas kontrolierus (MFC). Katram magnetronam ir atsevišķs gāzu sadalītājs.
4.7.3. Pārklājuma uznešanas procesa nodrošināšanai 4. un 5. kamera ir aprīkota ar kopīgiem diviem pulsējošas līdzstrāvas barošanas blokiem un vienu RF barošanas bloku..
4.7.4. Kamerā tiek nodrošināta parauga uzsildīšana līdz + 4000 grādiem.
4.7.5. Kamera ir aprīkota ar 3 plazmas optiskās emisijas spektroskopijas kanāliem (viens pie katra magnetrona), izņemot spektrofotometrus.
4.8. Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai)
4.8.1. Piektā procesa kamera ir paredzēta silīcija bāzes materiālu uznešanai uz parauga, izmantojot 3 magnetronus. Kamerā ir paredzēts uznest pārklājumus, kas nepieciešami PIN struktūras izveidošanai.
4.8.2. Kamerā ir izvietoti 3 magnetroni, no kuriem viens vai jebkuri divi vai visi trīs var strādāt vienlaicīgi. Magnetrona attālums līdz paraugam un tā leņķis pret paraugu var tikt mainīts. Procesa kamerai ir pievadītas 2 gāzes (Ar, H2) izmantojot divus gāzu plūsmas kontrolierus (MFC). Katram magnetronam ir atsevišķs gāzu sadalītājs.
4.8.3. Pārklājuma uznešanas procesa nodrošināšanai 4. un 5. kamera ir aprīkota ar kopīgiem diviem pulsējošas līdzstrāvas barošanas blokiem un vienu RF barošanas bloku.
4.8.4. Kamerā tiek nodrošināta parauga uzsildīšana līdz + 4000 grādiem.
4.9. Atsūknēšanas sistēma
4.9.1. Centrālā kamera un katra procesa kamera ir aprīkota ar individuālu atsūknēšanas sistēmu, kas sastāv no viena mehāniskā sūkņa un viena turbomolekulārā sūkņa.
4.9.2. Pārklājuma uznešanas procesa kamerām (2., 3., 4. un 5. procesa kamerām) starp kameru un turbomolekulāro sūkni ir uzstādīts droselēšanas vārsts. Atsūknēšanas sistēma katrā kamerā nodrošina bāzes spiedienu ne augstāku kā 1x10-6 Tori.
4.9.3. Pretendenta specifikācijā tiek norādīti vakuuma mērīšanai paredzētie devēji visu kameru atsūknēšanas sistēmās, kā arī starp mehāniskajiem un turbomolekulārajiem sūkņiem.
4.9.4. Gaisa ielaišanai kamerā ir paredzēts gaisa padeves ventilis un elektromagnētiskais slēgvārsts.
4.10. Inženierkomunikācijas
4.10.1. Elektrības kabeļu, elektrisko līniju un gāzes līniju, kā arī ūdens un saspiestā gaisa sistēmu inženierkomunikāciju izvietojums *paneļos virs iekārtas vai uz grīdas) tiek saskaņots ar pasūtītāju iekārtas izstrādes laikā.
4.10.2. Inženierkomunikāciju pieslēguma punkti tiek saskaņoti ar pasūtītāju iekārtas izstrādes laikā.
5. ELEKTRISKĀ UN VADĪBAS SISTĒMA
5.1. Elektrosistēma tiek izstrādāta saskaņā ar 73/23 EEC direktīvām.
5.2. Iekārtas vadībai tiek izmantots programmējamais loģiskais kontrolieris (PLC)
5.3. Iekārtas vadības sistēma nodrošina tehnoloģiskā procesa vadību un kontroli.
5.4. Vadības sistēma nodrošina:
• Atsūknēšanas sistēmu vadību;
• Manipulatora vadību;
• Magnetronu izputināšanas vadību;
• Sildītāju vadību;
• Organiskās sublimācijas šūnu (Organic Molecular Evaporator) vadību;
• Termisko iztvaicētāju vadību;
• Gāzu padeves sistēmas vadību;
• Xxxx avota vadību;
• Ūdens dzesēšanas sistēmas vadību.
5.5. Katrai iekārtas kamerai ir individuāla atsūknēšanas sistēma. Vadības sistēma nodrošina visu sūkņu, vārstu un atsūknēšanas sistēmas aizvaru vadību, kontrolējot spiedienu katrā kamerā un atsūknēšanas sistēmas līnijās. Sūkņu, vārstu un aizvaru stāvoklis tiek atspoguļoti vizualizācijas sistēmā.
5.6. Vadības sistēma nodrošina centrālajā kamerā esošā manipulatora piedziņas vadību, nodrošinot paraugu pārvietošanu uz jebkuru procesa kameru. Paraugu izvietojums kamerās tiek atspoguļots vizualizācijas sistēmā. Ja paraugs tieks izņemt/ievietot procesa kamera caur kameras durvīm, operators ievada to vadības sistēmā.
5.7. Vadības sistēma nodrošina paraugu sildītāju vadību procesa kamerās, nodrošinot sildītāju temperatūras stabilizāciju. Paraugu temperatūras parametru uzstādīšana un atspoguļošana tiek veikta izmantojot vizualizācijas sistēmu.
5.8. Vadības sistēma nodrošina magnetronu barošanas avotu vadību, nodrošinot iespēju mainīt magnetrona režīmu ar jaudas, sprieguma vai strāvas stipruma stabilizāciju. Magnetronu darbības parametru uzstādīšana un atspoguļošana tiek veikta izmantojot vizualizācijas sistēmā.
5.9. Vadības sistēma nodrošina 3 termiskās sublimācijas šūnu vadību organisko pārklājumu uznešanai uz parauga otrajā procesa kamerā. Vadības sistēma regulē un stabilizē temperatūru katra tīģeļa iztvaicētājā. Termiskās sublimācijas šūnu darbības parametri (temperatura, jauda) tiek atspoguļoti vizualizācijas sistēmā. Pārklājuma biezums tiek mērīts izmantojot kvarca rezonatorus un iegūtie mērījumi tiek atspoguļoti vizualizācijas sistēmā.
5.10. Vadības sistēma nodrošina termisko iztvaicētāju vadību trešajā procesa kamerā ar pārklājuma biezuma kontroli izmantojot kvarca rezonatorus. Parametru uzstādīšana tiek veikta izmantojot vizualizācijas sistēmu.
5.11. Vadības sistēma veic masas plūsmas kontrolieru (MFC) vadību, nodrošinot darba gāzu padevi procesa kamerās. Gāzu padeves sistēmu parametri tiek uzstādīti un atspoguļoti izmantojot vizualizācijas sistēmu.
5.12. Lai nodrošinātu labāku pārklājuma adhēziju, pirmajā procesa kamerā tiek veikta
parauga apstrāde ar jonu plūsmu. Vadības sistēma veic jonu avotu vadību ar parametru kontroli un procesa gāzu (Ar un O2) padevi. Xxxx avota elektrisko parametru un gāzu padeves parametru uzstādīšana un atspoguļošana tiek veikta izmantojot vizualizācijas sistēmu.
5.13. Vadības sistēma veic iekārtas dzesēšanas sistēmas monitoringu un ūdens plūsmas kontroli dzesēšanas līnijās.
5.14. Veicot tehnoloģisko ciklu, pēc operatora izvēles uz vizualizācijas datora ekrāna tiek atspoguļota sekojoša informācija:
• Atsūknēšanas sistēmas stāvoklis;
• Spiediens kamerās un sūkņos;
• Darba parametri magnetronu barošanas avotiem, sildītājiem, jonu avotiem, organiskās sublimācijas šūnām un termiskajiem iztvaicētājiem;
• Gāzu padeves sistēmu parametri;
• Ūdens dzesēšanas sistēmas stāvoklis.
5.15. Vizualizācijas datora monitorā tiks atspoguļotas sekojošas sadaļas:
• Process;
• Atsūknēšanas sistēma;
• Ūdens dzesēšanas sistēma;
• Ūdens dzesētāja stāvoklis;
• Bojājumi un brīdinājumi.
5.16. Vizualizācijas sistēma nodrošina procesa datu saglabāšanu un saglabāto datu atspoguļošanu.
5.17. Iekārtā tiek nodrošinātas programmatūras un aparatūras bloķēšanas, nodrošinot personāla drošu darbu un novēršot iespējamas avārijas situācijas, kas saistītas ar izpildierīču iziešanu no ierindas vai operatora kļūdainām darbībām.
5.18. Vadības sistēma darbojas sekojošos režīmos:
• Rokas vadības režīms;
• Pusautomātiskais vadības režīms (automatiska atsūknēšana centrālā kamera un katra processa kamera).
5.19. Iekārtas komplektācijā, kas tiek nodota pasūtītājam, ietilpst vadības skapis, visi ārējie kabeļi, PC, vadības sistēmas pirmkodi, vizualizācijas sistēmas licence.
6. IEKĀRTAS PIEŅEMŠANA/NODOŠANA PIE PRETENDENTA
6.1. Iekārta sākotnēji tiek montēta pie Pretendenta. Pirmās kārtas nodošana/pieņemšana tiek organizēta saskaņā ar Pieņemšanas/nodošanas testu programmu, par ko vienojušās abas puses, un tiek veikta ar Pasūtītāja līdzdalību, kad ir izpildītas visas tehniskās specifikācijas prasības.
6.2. Pasūtītājs nodrošina paraugus un pārklājuma materiālus testēšanai..
6.3. Testēšanas rezultāti tiek iekļauti pieņemšanas aktā. Minētie dokumenti apliecina iekārtas gatavību nosūtīšanai pie Pasūtītāja.
6.4. Vienlaikus ar Pieņemšanas/nodošanas testiem tiek organizēta arī Pasūtītāja personāla
apmācība.
7. IEKĀRTAS MONTĀŽA, REGULĒŠANA UN NODOŠANA PIE PASŪTĪTĀJA
7.1. Pasūtītājs sagatavo iekārtai paredzēto telpu, nodrošina nepieciešamās pacelšanas ierīces un aprīkojumu saskaņā ar montāžas rasējumiem un telpas izkārtojumu, par ko puses iepriekš vienojušās.
7.2. Iekārtas piegādi līdz uzstādīšanas telpai organizē un veic Pretendents vai trešā persona, ko nolīdzis Pretendents.
7.3. Kad Pasūtītājs ir saņēmis iekārtu, ierodas Pretendenta pārstāvji (inženieru un darbinieku komanda), lai uzstādītu un saregulētu iekārtu. Elektrisko ierīču pievienošana, testēšana un kontrole notiek konsultējoties ar vai nu Pasūtītāja autorizētu un kvalificētu pārstāvi vai licenzētu speciālistu, ko pieaicinājis Pasūtītājs. Pasūtītājs nodrošina saspiesta gaisa, procesa gāzu, elektrības pieslēguma, gāzu izplūdes kanāla pieejamību ne vairāk kā 3 metru attālumā no iekārtas novietošanas vietas.
7.4. Pēc visu uzstādīšanas darbu pabeigšanas un iekārtas darba uzsākšanas, tiek veikta testēšana, lai noteiktu atbilstību tehniskajai specifikācijai. Testēšanu veic saskaņā ar Pieņemšanas/nodošanas testu programmu, par kuru vienojušās puses. Pasūtītājs nodrošina paraugus un pārklājuma materiālus testēšanai.
7.5. Testēšanas rezultāti tiek atspoguļoti nodošanas aktā. Pats akts ir pamats galīgajam līguma maksājumam. Garantijas laiks sākas no dienas, kad parakstīts nodošanas akts.
7.6. Pasūtītājs nodrošina visas celšanas ierīces, kas nepieciešamas iekārtas uzstādīšanai un ekspluatācijai, uzturēšanai un remontdarbiem, kā arī nepieciešamo Pasūtītāja personāla atbalstu.
8. PERSONĀLA APMĀCĪBA
8.1. Pasūtītāja darbiniekiem tiek nodrošināta teorētiskā un praktiskā apmācība laikā, kad notiek iekārtas testēšana pie Pretendenta. Šāda apmācību programma un Pasūtītāja komandas uzturēšanās ilgums pie Pretendenta tiek norunāta ar Pasūtītāju ne vēlāk kā vienu mēnesi pirms iekārtas testēšanas.
8.2. Iekārta montēšanas, regulēšanas un palaišanas laikā pie Pasūtītāja norādītais personāls var tikt apmācīts un var piedalīties visos uzstādīšanas, regulēšanas un darbības uzsākšanas posmos.
9. RASĒJUMI UN TEHNISKĀ DOKUMENTĀCIJA
9.1. Ne vēlāk kā nedēļu pēc līguma parakstīšanas, Pasūtītājs nodrošina Pretendentu ar iekārtas novietošanas telpu izkārtojuma rasējumiem (plāniem).
9.2. Ne vēlāk kā mēneša laikā pēc līguma parakstīšanas Pretendents nodrošina Pasūtītāju ar Ieplānoto darbu grafiku.
9.3. 45 dienu laikā no dienas, kad avanss saņemts bankā, Pretendents nodrošina Klientu ar sekojošiem dokumentiem:
• Priekšlikums iekārtas uzstādīšanai saskaņā ar paredzētās telpas izkārtojumu. Visas iekārtas dizaina izmaiņas pēc saskaņojuma parakstīšanas, kas veiktas pēc Klienta pieprasījuma, būs uz Klienta rēķina;
• Elektriskās un vadības sistēmas specifikācija;
• Montāžas rasējumi galvenajām iekārtas daļām;
• Shematiskās diagrammas (vakuuma, elektriskās, hidrauliskās, gāzes, pneimatiskās);
• Risku protokols;
• Pieņemšanas/nodošanas testu programma;
• Iegādāto daļu un to piegādātāju saraksts;
• Rezerves daļu saraksts.
9.4. Divu nedēļu laikā pēc dokumentu nosūtīšanas, Pasūtītāja un Pretendenta pārstāvji tos var apspriest Pasūtītāja birojā (pēc Pasūtītāja pieprasījuma).
9.5. Vienlaikus ar iekārtu, Pretendents piegādā Pasūtītājam pilnu darbības dokumentācijas paketi, iekļaujot:
• Operatora tehnoloģiskā karte & Rokasgrāmata – 2 komplekti;
• Apkopes tehnoloģiskā karte & Rokasgrāmata – 2 komplekti;
• Elektriskās un vadības shēmas – 3 komplekti;
• PLC un MMI pirmkods – 2 komplekti;
• Piegādātāju Rokasgrāmatas – 1 komplekts;
• Izcelsmes sertifikāts.
9.6. Tehniskā dokumentācija par iekārtu tiek piegādāta divos sējumos latviešu vai angļu valodā. Visa dokumentācija un prasības rasējumos ir latviešu vai angļu valodā. Rasējumi ir SolidWorks un/vai ACAD formātos. Tiek nodrošināta arī elektroniska visu dokumentu un rasējumu kopija.
10. IEPAKOŠANA, TRANSPORTĒŠANA UN GLABĀŠANA
10.1. Iekārta tiek iepakota konteineros, kuri nodrošina tās drošību transportēšanas laikā. Pretendents veic iekārtas sagatavošanu transportēšanai atbilstoši nozares standartiem.
10.2. Iekārta tiek nodota Pārvadātājam. Pretendents izvēlas Pārvadātāju un saskaņo to ar Pasūtītāju.
10.3. Iekārta tiek transportēta transportēšanas veidam atbilstošos konteineros.
11. GARANTIJA
11.1. Pretendents garantē iekārtas darbību tīrtelpās, parametru izpildi atbilstoši tehniskajai specifikācijai.
11.2. 12 mēnešu laikā no dienas, kad parakstīts nodošanas akts, Pretendents nodrošina iekārtas remontu un/vai detaļu nomaiņu, kas kļuvušas nederīgas, vai apdraud atbilstošu iekārtas darbību, ja šie defekti radušies ne Pasūtītāja vainas dēļ.
12. PĒCPĀRDOŠANAS APKALPOŠANA
12.1. Pēcpārdošanas apkalpošana pēcgarantijas periodā var tikt veikta atbilstoši atsevišķi noslēgtam līgumam starp Pretendentu un Pasūtītāju. Saskaņā ar šo līgumu, Pretendents sniedz nepieciešamo informāciju, veic pakalpojumus, tekošo vai kapitālo remontu, profilakses darbus un detaļu piegādi.
ANNEX 2
Procurement No.: LU CFI 2013/2/ERDF
Pielikums Nr.2
atklāta konkursa „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde” nolikumam
Iepirkums Nr.: LU CFI 2013/2/ERAF
LĪGUMS (projekts)
Rīgā, 2013. gada . Latvijas Universitātes aģentūras – LU Cietvielu fizikas institūta līgumu uzskaites Nr. 2013/2/ERAF | Riga, 2013. Institute of Solid State Physics University of Latvia Contract registration No. 2013/2/ERDF |
Latvijas Universitātes aģentūra – Latvijas Universitātes Cietvielu fizikas institūts (turpmāk tekstā – LU CFI), turpmāk tekstā – Pircējs, tā direktora Xxxxx Xxxxxxxxxx personā, kas rīkojas saskaņā ar LU CFI nolikumu, no vienas puses, | Institute of Solid State Physics University of Latvia (hereinafter – the ISSP), hereinafter – the Purchaser, in the person of Mr. Xxxxxx Xxxxxxxxxx, its Director, acting pursuant to the Regulation of the ISSP on the one side, and , hereinafter – the Seller, in the person of , its , acting pursuant to the Articles of Association, on the other side, both hereinafter referred to as the Parties; each separately hereinafter referred to as the Party, on the basis of the Seller’s offer and decision by the Procurement Commission of the Purchaser on the results of the Open Tender “Delivery of the Multifunctional Cluster Plant for Deposition of Vacuum Coatings” (LU CFI 2013/2/ERDF) for fulfilment of the ERDF Project No.: 2011/0041/2DP/2.1.1.3.1/11/IPIA/VIAA/004 “Development of Scientific Infrastructure for the National Research Centre of Nanostructured and Multifunctional Materials, Constructions and Technologies” shall conclude the following contract, hereinafter – the Contract: |
un , turpmāk tekstā – Pārdevējs, tās personā, kas rīkojas saskaņā ar tās statūtiem, no otras puses, | |
abi kopā turpmāk tekstā – Puses un katrs atsevišķi turpmāk tekstā arī Puse, | |
pamatojoties uz Pārdevēja piedāvājumu un Pircēja iepirkumu komisijas lēmumu par atklāta konkursa LU CFI 2013/2/ERAF „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde” rezultātiem, | |
ERAF līdzfinansēta projekta „Nanostrukturēto un daudzfunkcionālo materiālu, konstrukciju un tehnoloģiju Valsts nozīmes pētniecības centra zinātniskās infrastruktūras attīstīšana” (projekta Nr. 2011/0041/2DP/2.1.1.3.1/ 11/IPIA/VIAA/004) izpildei | |
noslēdz šādu līgumu, turpmāk tekstā saukts Līgums: | |
1. LĪGUMA PRIEKŠMETS | 1 SUBJECT OF THE CONTRACT |
1.1. Pārdevējs pārdod, bet Pircējs pērk | 1.1 The Seller shall sell and the Purchaser shall |
Daudzfunkcionālu klāstera iekārtu | buy the Multifunctional Cluster Plant for |
vakuuma pārklājumu izgatavošanai, kuras | Deposition of Vacuum Coatings, the technical |
tehniskā specifikācija norādīta šā līguma | specification of which has been indicated in Annex |
pielikumā Nr.1. (turpmāk tekstā - Prece). | 1 herein (hereinafter - the Goods). |
1.2. Līguma summa, ieskaitot visus ar līguma izpildi saistītos izdevumus un nodokļus ir Ls ( ), turpmāk šā līguma tekstā saukta Līgumcena. | 1.2 The Contract price is ( ), including all the expenses, taxes and duties related to the performance with the Contract. |
2. PIEGĀDES IZPILDES - PIEŅEMŠANAS NOSACĪJUMI UN APMAKSAS KĀRTĪBA | 2 CONDITIONS OF THE PERFORMANCE AND APPROVAL OF THE DELIVERY AND THE PROCEDURE OF PAYMENT |
2.1. Prece Pircējam tiek piegādāta Xxxxxxxxx xxxx 0, Xxxx, Xxxxxxx, XX Cietvielu fizikas institūta telpās. | 2.1 The Goods shall be delivered to the Purchaser at the address: Xxxxxxxxx xxxxxx 0, Xxxx, Xxxxxx, the premises of the ISSP. |
2.2. Saskaņā ar Līgumu: 2.2.1. piegādājamās Preces nodošanas Pircējam pirmā kārta notiek Pārdevēja (Ražotāja) telpās ne vēlāk kā 8 (astoņu) mēnešu laikā skaitot no Līguma noslēgšanas. Nodošanas pirmā kārta notiek atbilstoši Tehniskās specifikācijas 6.nodaļai. 2.2.2. piegādājamā Prece tiek nodota Pircējam (akceptēta, abpusēji parakstot pieņemšanas – nodošanas aktu) Pircēja telpās ne vēlāk kā 9 (deviņu) mēnešu laikā skaitot no Līguma noslēgšanas. Nodošana notiek atbilstoši Tehniskās specifikācijas 7.nodaļai. 2.2.3. Līguma punktos 2.2.1. un 2.2.2. minētos termiņus ir iespējams pagarināt par laiku līdz 3 (trīs) mēnešiem. | 2.2 Pursuant to the Contract: 2.2.1 The first acceptance of the Goods by the Purchaser shall take place at the premises of the Seller (Producer) no later than within 8 (eight) months time as of the day of entering into the Contract. The first acceptance of the Goods shall take place in accordance with the Chapter 6 of the Technical Specifications. 2.2.2 the Goods to be delivered shall be delivered to the Purchaser (accepted by the mutual signing of the Deed of Transfer) no later than within 9 (nine) months time as of the day of entering into the Contract. The acceptance of the Goods shall take place in accordance with the Chapter 7 of the Technical Specifications. 2.2.3 The terms indicated in Items 2.2.1 and 2.2.2. of the Contract can be extended, but not more than for 3 (three) months. |
2.3. Pircējs veic avansa maksājumu Ls ( ) jeb 50% apmērā no Līgumcenas 30 (trīsdesmit) dienu laikā pēc Līguma abpusējas parakstīšanas un bankas avansa garantijas un avansa rēķina saņemšanas. | 2.3 The Purchaser shall make a prepayment in the amount of LVL ( ) or 50% of the Contract price within 30 (thirty) days from mutual signing of the Contract and receiving of the advance payment bank warranty and advance payment invoice. |
Atlikušo Līguma summas daļu Pircējs apņemas apmaksāt 2 (divos) maksājumos: Ls ( ) jeb 30% no līgumcenas Pircējs apmaksā 30 (trīsdesmit) dienu laikā pēc Preces pieņemšanas Pārdevēja (Ražotāja) telpās un pēc rēķina saņemšanas | The Purchaser hereby undertakes to make the payment of the remaining part of the Contract price in 2 (two) payments: LVL ( ) or 30% of the Contract price shall be paid by the Purchaser within 30 (thirty) days from the day of the acceptance of the Goods at the premises of the Seller (Producer) and receipt of the invoice |
un Ls ( ) jeb 20% no līgumcenas Pircējs apmaksā 30 (trīsdesmit) dienu laikā skaitot no abpusēji parakstīta pieņemšanas – nodošanas akta parakstīšanas un rēķina saņemšanas dienas. | and LVL ( ) or 20% of the Contract price shall be paid by the Purchaser within 30 (thirty) days from the day of the mutual signing of the Deed of Transfer and receipt of the invoice. |
3. LĪGUMSLĒDZĒJU PUŠU ATBILDĪBA | 3 LIABILITY OF THE CONTRACTING PARTIES |
3.1. Līdz piegādātās Preces pilnas apmaksas izdarīšanai, piegādātā Prece ir Pārdevēja īpašums. | 3.1 The delivered Goods shall be the property of the Seller until making full payment for the delivered Goods. |
Preces nejaušas bojāejas (bojājuma) risku sākot ar brīdi, kad Prece ir nogādāta Pircēja telpās, uzņemas Pircējs. | The risk for an unintentional destruction (damage) of the Goods shall be assumed by the Purchaser from the moment of delivery of the Goods to the premises of the Purchaser. |
Īpašumtiesības uz piegādāto Preci pāriet Pircējam ar brīdi, kad Pircēja banka ir akceptējusi maksājuma uzdevumu par piegādājamās Preces pilnu apmaksu. | The ownership rights to the Goods shall be transferred to Purchaser from the moment the Purchaser’s bank has approved the payment order on the full payment for the delivered Goods. |
3.2. Par apmaksas termiņa neievērošanu Pircējs, pēc Pārdevēja pirmā pieprasījuma, maksā Pārdevējam līgumsodu 0,1% (procenta vienas desmitdaļas) apmērā no nokavētā maksājuma summas par katru nokavēto dienu, bet ne vairāk kā 10% (desmit procentus) no nokavētā maksājuma summas. Nokavējuma procentu samaksa neatbrīvo no Līguma saistību izpildes. | 3.2 For the failure to comply with the payment term the Purchaser, upon the first request by the Seller, shall pay the contractual penalty to the Seller in the amount of 0.1% (one-tenths of one percent) from the sum of the delayed payment for each delayed day, but no more than 10% (ten percent) of the delayed payment. The payment of the contractual penalty shall not free from the compliance with the Contract commitments. |
3.3. Par Preces piegādes kavējumu Pārdevējs, pēc Pircēja pirmā pieprasījuma, maksā Pircējam līgumsodu 0,1% (procenta vienas desmitdaļas) apmērā no līgumsummas par katru nokavēto dienu, bet ne vairāk kā 10% (desmit procentus) no Līguma summas. Līgumsoda samaksa neatbrīvo no Līguma saistību izpildes. | 3.3 For the delay of the delivery of the Goods the Seller, upon the first request by the Purchaser, shall pay the contractual penalty to the Purchaser in the amount of 0.1% (one-tenths of one percent) from the Contract price for each delayed day, but no more than 10% of the Contract price. The payment of the contractual penalty shall not free from the compliance with the Contract obligations. |
3.4. Katra līgumslēdzēja Puse atbild par | 3.4 Every Contracting Party shall be liable for |
Līguma neizpildi vai nepienācīgu izpildi, ja | the failure to comply with the Contract or for |
tās vainas dēļ nodarīts kaitējums otrai | inadequate compliance, if the detriment is thus |
līgumslēdzēja Pusei. | caused to the other Contracting Party. |
3.5. Puses ir tiesīgas rīkoties caur saviem pārstāvjiem. | 3.5 The Parties shall be entitled to act through their representatives. |
3.6. Pārdevējs atbild par Pircējam piegādātās Preces kvalitāti, kādu noteicis attiecīgo preču ražotājs saskaņā ar Pārdevēja izsniegto garantijas sertifikātu. Preces garantijas remonts ir jāveic atbilstoši vispārpieņemtajai praksei šādām Precēm. Preces bojājumus Pircējs piesaka rakstiski pa faksu vai ziņojot uz e-pasta adresi . Paraleli informācijas nodošanai var izmantot tālr. . Pārdevējs rakstiski pa faksu vai e-pastu apstiprina pieteikuma par Preces bojājumu saņemšanu. | 3.6 The Seller shall be liable to the Purchaser for the quality of the delivered Goods, stated by the manufacturer of the respective Goods subject to the warranty certificate issued by the Seller. The warranty repair of the Goods shall be made subject to the common practice for the respective Goods. The Purchaser shall notify of the damaged Goods in writing by fax or by sending an e-mail message to the address: . Information may at the same time be provided by telephone . The Seller shall confirm the receipt of the the notification of the damaged Goods in writing by fax or e-mail. |
3.7. Pārdevēja reakcijas laiks (laiks no Preces bojājuma pieteikšanas līdz Pārdevēja speciālista ierašanās pie Pircēja brīdim) ir ne vairāk kā 5 (piecas) darba dienas. Pretējā gadījumā Xxxxxxxxx, pēc Pircēja pirmā pieprasījuma, maksā Pircējam sodu par līguma saistību nepildīšanu Ls 200 (divi simti latu) par katru reakcijas kavējuma darba dienu. | 3.7 The Seller's reaction (the time from the notification of the damaged Goods until the arrival of the Seller's expert at the Purchaser's location) shall not exceed 5 (five) business days. Failing to do so, the Seller shall pay the Purchaser, upon the Purchaser's first request, the penalty for the failure to comply with the Contract obligations in the amount of LVL 200 (two hudred lats) for each business day of the above delayed reaction. |
3.8. Pārdevējam ir pienākums novērst pieteiktos defektus nekavējoties un ne ilgāk kā 3 (trīs) nedēļu laikā. Ja bojājums nav novērsts norādītajā termiņā, tad par katru kavēto dienu Pircējs var pieprasīt Pārdevējam maksāt sodu 200 Ls (divi simti latu) apmērā par katru kavējuma dienu. Par aprēķinātu sodu piestāda rēķinu reizi mēnesī. | 3.8 The Seller shall have an obligation to perform the repair work of the notified defects as soon as possible and no later than in 3 (three) weeks time. If such defect has not been repaired until specified time, the Seller shall pay the Purchaser, upon the Purchaser's first request, the penalty in the amount of LVL 200 (two hudred lats) for each delayed day. The invoice for the calculated penalty shall be issued once a month. |
3.9. Ja bojājumu neizdodas novērst 3 (trīs) mēnešu laikā, tad nākamā 1 (viena) mēneša laikā Pārdevējs atgriež Pircējam summu iekārtas iegādes vērtībā. | 3.9 If it is not possible to perform the repair work in 3 (three) months time, the Seller shall return the Purchaser the sum equal to the equipment purchase amount in 1 (one) month time. |
3.10. Garantijas apkalpošanas perioda laikā notikuša bojājuma gadījumā Pārdevējs uz sava rēķina, nepazeminot Preces kvalitāti, veic bojātās daļas nomaiņu vai remontu. Garantijas saistības ir spēkā pie nosacījuma, ka nav iestājušies garantijas sertifikātā norādītie apstākļi, kas pārtrauc garantijas saistības. | 3.10 In the event of a damage occurring during the warranty maintenance period, the Seller shall replace the faulty part or make the repair at his/her expense, without diminishing the quality of the Goods. The warranty commitments are valid on the condition that the circumstances stated in the warranty certificate and terminating the warranty commitments, have not set in. |
3.11. Precei tiek noteikts garantijas laiks: 12 (divpadsmit) mēneši no Preces piegādes brīža. | 3.11 The following warranty period shall be stipulated for the Goods: 12 (twelve) months from the performance of the delivery. |
3.12. Visos dokumentos, kas saistīti ar šo Līgumu Pārdevējs obligāti norāda visus nepieciešamos rekvizītus un datus, tajā skaitā ERAF projekta nosaukumu un numuru (Projekts Nr.: 2011/0041/2DP/2.1.1.3.1/11/ IPIA/VIAA/004 „Nanostrukturēto un daudzfunkcionālo materiālu, konstrukciju un tehnoloģiju Valsts nozīmes pētniecības centra zinātniskās infrastruktūras attīstīšana”) un iepirkuma identifikācijas numuru (LU CFI 2013/2/ERAF). | 3.12 The Seller on a mandatory basis shall indicate all the necessary banking data and information including the name and the number of ERDF project (Project No.: 2011/0041/2DP/ 2.1.1.3.1/11/IPIA/VIAA/004 “Development of Scientific Infrastructure for the National Research Centre of Nanostructured and Multifunctional Materials, Constructions and Technologies) and the procurement identification number (LUCFI 2013/2/ERDF) in all the documents regarding the present Contract. |
3.13. Līguma 3.12.p. prasību neievērošanas gadījumā, Pircējs patur tiesības neapmaksāt rēķinus līdz minēto prasību izpildei. | 3.13 In the event of non-compliance with the requirements of Item 3.12 of the Contract, the Purchaser shall reserve the rights to make no payment of the invoices until the compliance with the stated requirements. |
4. NEPĀRVARAMA VARA | 4 FORCE MAJEURE |
4.1. Gadījumā, kad rodas nepārvaramas varas apstākļi, tādi kā dabas katastrofas, karš, jebkuras militāras akcijas, valsts pārvaldes institūciju rīkojumi, lēmumi vai aizliegumi un citi ārkārtēji apstākļi, kurus Puses nevarēja paredzēt un novērst ar saviem līdzekļiem, līgumsaistību izpildes laiks pagarinās par periodu, kurā pastāv nepārvaramas varas radītie apstākļi. Ja nepārvaramas varas apstākļi pastāv ilgāk kā 3 (trīs) mēnešus, Līguma darbība tiek izbeigta un Puses veic savstarpējo norēķinu atbilstoši faktiski piegādātajai Precei. | 4.1 In the cases of the force majeure circumstances, such as the natural hazards, war, any military actions, orders by the state administration institutions, decisions or prohibitions and other extraordinary circumstances, which the Parties could not envisage and prevent with their own resources, the time period of compliance with the Contract obligations shall be extended by the period of the existence of the circumstances caused by the force majeure. If the force majeure circumstances exist for more than 3 (three) months, the Contract shall be terminated and the Parties shall make mutual settlement subject to the actually delivered Goods. |
5. CITI NOTEIKUMI | 5 OTHER CONDITIONS |
5.1. Līgums stājas spēkā ar tā parakstīšanas brīdi un darbojas līdz pilnīgai abpusējai Līguma saistību izpildei. Līgums atspoguļo Pušu vienošanos attiecībā uz Līguma priekšmetu, apmaksas, piegādes u.c. nosacījumiem un atceļ visas iepriekšējās sarakstes un mutiskas vienošanās, kas pastāvējušas starp Pusēm līdz Līguma parakstīšanai. | 5.1 The Contract shall take effect from the moment of signing and shall be valid until full mutual compliance with the Contract obligations. The Contract shall reveal the agreement of the Parties with respect to the subject of the Contract, conditions of the payment, delivery and other provisions, and shall revoke all the preceding written communication and oral arrangements existing among the Parties until the signing of the Contract. |
5.2. Pārdevējs, slēdzot Līgumu, iesniedz Pircējam bankas izsniegtu avansa maksājuma garantiju 50% apmērā no Līgumcenas (ietverot PVN, ja piemērojams) ar derīguma termiņu līdz laikam, kad Pircējs apliecina Preces saņemšanu Pircēja telpās, bet ne īsāku kā 11 (vienpadsmit) mēneši no līguma noslēgšanas brīža. 2.2.3. punktā minētā līguma pagarināšana stājas spēkā tikai tad, ja ir iesniegts bankas garantijas pagarinājums, nosakot tās derīguma gala termiņu ne īsāku, kā iekārtas pieņemšanas datums (saskaņā ar pagarināto 2,2.2. punkta termiņu) plus 2 (divi) mēneši. Pircējs atgriež avansa maksājuma garantiju Pārdevējam 2 (divu) nedēļu laikā pēc Preces saņemšanas Pircēja telpās. | 5.2 The Seller, entering into the Contract, shall submit to the Purchaser the Advance Payment Guarantee issued by the bank in the amount of 50% of the Contract value (including VAT, if applicable) valid until the Purchaser confirms receipt of the Goods at the premises of the Purchaser. Validity term of the Advance Payment Guarantee shall be not less than 11 (eleven) months from the date of entering into the Contract. The prolongation of the Contract indicated in Item 2.2.3 of the Contract shall take effect if the prolongation of the Advance Payment Guarantee granted by the bank is submitted. The validity term of the prolonged Advance Payment Guarantee shall be up to the date of the acceptance of the Goods (in accordance with the prolonged term of Item 2.2.2 of the Contract) plus 2 (two) months. The Purchaser shall return the Advance Payment Guarantee to the Seller in 2 (two) weeks after receipt of the Goods at the premises of the Purchaser and receipt of the invoice. |
5.3. Pasūtītājs vienpusēji ir tiesīgs lauzt Līgumu, ja Līguma termiņš nav likumīgi pagarināts un Preču piegāde kavējas vairāk par 1 (vienu) mēnesi pēc šī Līguma termiņa beigām. | 5.3 The Purchaser shall be entitled to terminate the Contract unilaterally, if the Contract deadline is not legally extende and delivery of the Goods has been delayed by more than 1 (one) month following the expiry of the deadline of the present Contract. |
5.4. Ja Prece netiek piegādāta un līgums tiek lauzts, bet Pārdevējs neatmaksā avansu 2 (divu) nedēļu laikā pēc Līguma laušanas, Pircējs pieprasa garantijas izdevējam nekavējoties atmaksāt samaksāto avansu. | 5.4. If the Goods are not delivered and the Contract is terminated, but the Seller has failed to repay the advance payment in 2 (two) weeks time after the Contract has been terminated, the Purchaser shall request that the issuer of the above Guarantee repay the advance payment immediately. |
5.5. Visi būtiskie paziņojumi, kas attiecas uz šā Līguma noteikumu izpildi, sūtāmi ierakstītā vēstulē uz šā Līguma 6.punktā norādītām adresēm, vai nododami Pusēm personīgi. Ja paziņojumi tiek sūtīti ierakstītā vēstulē, tie uzskatāmi par saņemtiem trešajā dienā pēc to nosūtīšanas Latvijas adresātiem vai 14. dienā pēc to nosūtīšanas ārvalstu adresātiem. Adreses maiņa kļūst saistoša otrai Pusei, tad, kad Puse, kuras adrese tiek mainīta nosūta tai paziņojumu vai dokumentu, kas apstiprina šādas izmaiņas. Lai paātrinātu informācijas apriti, visi dokumenti adresātam vispirms jānosūta pa faksu vai uz oficiālo norādīto e-pasta adresi un saņēmējam jāatsūta apstiprinājums par saņemšanu. | 5.5 All notifications related to the compliance with the conditions of the present Contract shall be sent in a registered letter to the addresses stated in Item 6 herein or delivered to the Parties in person. If the notifications are sent in a registered letter, they shall be deemed to be received on the third day after mailing, if the addressee is in Latvia, or on the fourteenth day after mailing, if the addressee is outside Latvia. The change of address shall be binding on the other Party, when the Party whose address is changed sends the other Party a notification or a document certifying such changes. To accelerate the information exchange, at first, all documents shall be sent to the addressee by fax or to the official e-mail address specified, and the recipient shall send a confirmation of such receipt. |
5.6. Visi strīdi un domstarpības, kādas Pusēm radušās šā Līguma izpildes gaitā, un nav atrisināmas pārrunu ceļā 30 dienu laikā, tiek izskatītas Latvijas Republikas tiesu iestādēs, Latvijas Republikas normatīvajos aktos paredzētajā kārtībā. | 5.6 All disputes and disagreements arising between the Parties in the course of compliance with the present Contract and cannot be resolved by way of negotiations in 30 days, shall be settled in the court institutions of the Republic of Latvia in the procedure stipulated by the regulatory enactments of the Republic of Latvia. |
5.7. Puses ar savu parakstu apliecina, ka tām ir visas tiesības (pilnvaras) slēgt Līgumu un ar to iegūstot savu pārstāvamo vārdā Līgumā minētās tiesības un pienākumus. Ja Pārdevēja pārstāvis līguma noslēgšanas brīdī nav bijis pilnvarots pārstāvēt Pārdevēju, tad viņš/viņa pats/pati, kā fiziska persona atbild par līgumsaistību izpildi ar visu savu mantu. | 5.7 The Parties shall certify with their signatures that they have all the rights (authorisations) to enter into the Contract, thereby acquiring, in the name of the persons represented by them, the rights and obligations stated in the Contract. If the Seller’s representative has not been authorised to represent the Seller at the moment of entering into the Contract, then he/she as a natural person shall be held liable for the compliance with the Contract obligations with all his/her property. |
5.8. Puses pilnvaro veikt ar šā Līguma izpildi saistītās darbības (kontaktēties ar otru Pusi, parakstīt Preces pavadzīmes-rēķinus, nodot/saņemt Preci) šādas personas: | 5.8 The Parties shall hereby authorise the following persons to perform the activities related to the compliance with the present Contract (to contact with the other Party, to sign the invoices of the Goods, to transfer, to accept the Goods): |
5.8.1. no Pircēja puses: ; | 5.8.1 on the Purchaser’s side ; |
5.8.2. no Pārdevēja puses . | 5.8.2 on the Seller’s side . |
5.9. Šis Līgums ir uzrakstīts divos autentiskos eksemplāros latviešu un angļu valodā uz ( ) lapām. Līguma 1. pielikums un citi Līguma iespējamie pielikumi ir tā neatņemamas sastāvdaļas. Pēc Līguma parakstīšanas viens eksemplārs tiek nodots Pircējam, bet otrs – Pārdevējam. | 5.9 The present Contract shall be drawn up on ( ) pages in Latvian and English in two authentic copies. Annex 1 to the Contract and other potential Annexes to the Contract are an integral part of the Contract. After signing of the Contract, one copy shall be delivered to the Purchaser, but the other – to the Seller. |
6. LĪGUMSLĒDZĒJU PUŠU JURIDISKĀS ADRESES UN CITI REKVIZĪTI | 6 THE LEGAL ADDRESSES AND OTHER DATA OF THE CONTRACTING PARTIES |
Pircējs: | Purchaser: |
Latvijas Universitātes aģentūra – Latvijas Universitātes Cietvielu fizikas institūts Juridiskā adrese: Xxxxxxxxx xxxx 0, Xxxx, XX-0000, Xxxxxxx PVN xxx.Xx. LV90002124925 Norēķinu konts: XX00XXXX0000000000000, Banka: Valsts Kase, Bankas kods: TRELLV22 | Institute of Solid State Physics University of Latvia Legal address: Xxxxxxxxx xxxxxx 0, Xxxx, XX- 0000, Xxxxxx VAT reg. No. LV90002124925 Account number: XX00XXXX0000000000000 Bank: Riga Treasury Unit Code: TRELLV22 |
Pārdevējs: | Seller: |
Nosaukums: Juridiskā adrese: Biroja adrese: PVN xxx.Xx. Norēķinu konts: Banka: Bankas kods: | Name: Legal address: Address of the office: VAT reg. No. Account number: Bank: Code: |
Pircējs / Purchaser: | Pārdevējs / Seller: |
Paraksts / Signature Z.v./ Seal | Paraksts / Signature Z.v./ Seal |
Līguma pielikums Nr.1
līgumam par iepirkumu Nr. LU CFI 2013/2/ERAF
„Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”, noslēgtam starp LU Cietvielu fizikas institūtu, LU aģentūru
un
Annex 1 to the Contract
on the Procurement No. LU CFI 2013/2/ERDF “Delivery of the Multifunctional Cluster Plant for Deposition of Vacuum Coatings” concluded between the Institute of Solid State Physics University of Latvia
and
Rīgā, 201 . gada . LU Cietvielu fizikas institūta līgumu uzskaites Nr. 2013/2/ERAF | Riga, 201 . Institute of Solid State Physics University of Latvia Contract registration No. 2013/2/ERDF |
Latvijas Universitātes Cietvielu fizikas institūts, Latvijas Universitātes aģentūra (turpmāk tekstā – LU CFI), turpmāk tekstā – Pircējs, tā direktora Xxxxx Xxxxxxxxxx personā, kas rīkojas saskaņā ar LU CFI nolikumu, no vienas puses, un , turpmāk tekstā – Pārdevējs, tās personā, kas rīkojas saskaņā ar tās statūtiem, no otras puses, | Institute of Solid State Physics University of Latvia (hereinafter – the ISSP), hereinafter – the Purchaser, in the person of Mr. Xxxxxx Xxxxxxxxxx, its Director, acting pursuant to the Regulation of the ISSP on the one side, and , hereinafter – the Seller, in the person of , its , acting pursuant to the Articles of Association, on the other side, |
vienojas par šādu piegādājamo Preci, tās līgumcenu un garantijas laika termiņu: | agree on the following items constituting the Goods to be supplied, price and the deadlines of the warranty period: |
Piegādājamā Prece (iekārtas nosaukums, ražotājs, modelis) / Goods to be supplied (equipment name, manufacturer, model) | Cena piegādes vietā / Price at the place of delivery | Garantijas laiks / Warranty period | Piegādes vieta / Place of delivery |
12 (divpadsmit) mēneši 12 (twelve) months | LU Cietvielu fizikas institūts, Xxxxxxxxx xxxx 0, Xxxx, Xxxxxxx / Institute of Solid State Physics University of Latvia, Xxxxxxxxx xxxxxx 0, Xxxx, Xxxxxx |
Turpinājums nākamajā lappusē / Continued on next page
Atklāta konkursa Nr. LU CFI 2013/2/ERAF „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde” nolikums
Līguma pielikums Nr.1 / Annex 1. to the Contract
TEHNISKĀS SPECIFIKĀCIJAS / TECHNICAL SPECIFICATIONS
Daudzfunkcionāla klāstera iekārta vakuuma pārklājumu izgatavošanai Multifunctional Cluster Plant for Deposition of Vacuum Coatings
Šeit tiks ievietota Pārdevēja tehniskā piedāvājuma tabula (sastādīta, izmantojot šī nolikuma 4.pielikumā doto veidlapu) The table of the Seller’s Technical bid (drawn up on the form given in Annex 4 to the Regulation) will be inserted here.
Pircējs / Purchaser: | Pārdevējs / Seller: |
Paraksts / Signature Z.v./ Seal | Paraksts / Signature Z.v./ Seal |
37/66
AIZPILDA PRETENDENTS
Nolikuma pielikums Nr.3.1
Iepirkumam „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”
Iepirkuma identifikācijas Nr.: LU CFI 2013/2/ERAF
PIETEIKUMS DALĪBAI ATKLĀTĀ KONKURSĀ
Pasūtītājs: Latvijas Universitātes Cietvielu fizikas institūts, LU aģentūra
Iepirkums Nr: LUCFI/2013/2/ERAF
/Datums/
Iepirkuma nosaukums:
„Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde” (Projekta ID Nr.: 2011/0041/2DP/2.1.1.3.1/11/IPIA/VIAA/004)
Iepazinušies ar konkursa nolikumu, mēs, apakšā parakstījušies, piedāvājam piegādāt Daudzfunkcionālu klāstera iekārtu vakuuma pārklājumu izgatavošanai saskaņā ar konkursa nolikuma prasībām un piekrītot visiem konkursa noteikumiem, par summu:
(kopējā piedāvājuma cena bez PVN, vārdos un skaitļos)
Ja mūsu piedāvājums tiks akceptēts, mēs apņemamies piegādāt un uzstādīt Daudzfunkcionālu klāstera iekārtu vakuuma pārklājumu izgatavošanai 9 (deviņu) mēnešu laikā saskaņā ar Tehnisko piedāvājumu, kas ir daļa no mūsu piedāvājuma.
Ar šo mēs apstiprinām, ka mūsu piedāvājums ir spēkā 3 (trīs) mēnešus no konkursa Nolikumā noteiktā piedāvājumu iesniegšanas termiņa, un var tikt akceptēts jebkurā laikā pirms tā spēkā esamības termiņa izbeigšanās.
Ar šo mēs iesniedzam savu piedāvājumu, kas satur Pretendentu atlases dokumentus, Tehnisko piedāvājumu un Finanšu piedāvājumu.
Pretendenta nosaukums: Jurid.adrese
Faktiskā adrese Xxx.Xx
PVN maksātāja Nr. Tālrunis
Fakss
e-pasta adrese Interneta adrese Kontaktpersona
Kontaktpersonas tālr. un e-pasts
Pilnvarotās personas vārds, uzvārds, amats
Pilnvarotās personas paraksts
AIZPILDA PRETENDENTS
Nolikuma pielikums Nr.3.2
Iepirkumam „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”
Iepirkuma identifikācijas Nr.: LU CFI 2013/2/ERAF
Iepriekšējo 3 (trīs) un tekošā gadu laikā veikto līdzvērtīgu* preču piegāžu saraksts (minēt 3-5 lielākās piegādes)
(Sarakstam jāpievieno atsauksmes par vismaz 3 no sarakstā minētajām piegādēm)
Nr. | Piegādes līguma īss raksturojums | Piegādes līguma apjoms, LVL | Pasūtītāja nosaukums, adrese | Piegādes datums |
* Šajā nolikumā par iepirkuma priekšmetam līdzvērtīgām precēm tiek uzskatītas vakuumtehnoloģiskās vai tām pielīdzināmas iekārtas
Pretendenta pilnvarotā persona:
/vārds, uzvārds/ /amats/ /paraksts/
, 2013.gada .
/vieta/ /datums/
AIZPILDA PRETENDENTS
Nolikuma pielikums Nr.3.3
Iepirkumam „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”
Iepirkuma identifikācijas Nr.: LU CFI 2013/2/ERAF
Pretendenta tehniskā personāla, kuru paredzēts izmantot Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai uzstādīšanai un garantijas remontam saskaņā ar Līguma nosacījumiem, saraksts
(Sarakstam jāpievieno kvalifikāciju apliecinošo dokumentu kopijas)
Vārds, uzvārds | Ieņemamais amats | Specialitāte, kvalifikācija, pieredze |
Pretendenta pilnvarotā persona:
/vārds, uzvārds/ /amats/ /paraksts/
, 2013.gada .
/vieta/ /datums/
AIZPILDA PRETENDENTS
Nolikuma pielikums Nr.4 Iepirkumam „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”
Iepirkuma identifikācijas Nr.: LU CFI 2013/2/ERAF
TEHNISKAIS PIEDĀVĀJUMS
iepirkumam Nr. LU CFI 2013/2/ERAF
„Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde ”
(Iepirkums tiek veikts ERAF līdzfinansēta projekta Nr. 2011/0041/2DP/2.1.1.3.1/11/IPIA/VIAA/004 „Nanostrukturēto un daudzfunkcionālo materiālu, konstrukciju un tehnoloģiju Valsts nozīmes pētniecības centra zinātniskās infrastruktūras attīstīšana” ietvaros.)
Daudzfunkcionāla klāstera iekārta vakuuma pārklājumu izgatavošanai
Pasūtītāja prasības | Pretendenta tehniskais piedāvājums (Pretendents šeit sniedz piedāvājuma detalizētu aprakstu vai ievieto atsauci uz pievie- notiem parakstītiem dokumentiem, kuros ir atbilstošs detalizēts apraksts, norādot dokumentu un atbilstošo vietu dokumentā) |
0. VISPĀRĪGĀS PRASĪBAS 0.3. Nenodefinētās prasības Ja tehniskajās specifikācijās kāda uz šo līgumu attiecošās tehniskā prasība nav definēta, tai ir jāatbilst minimālajām vispārpieņemtajām prasībām vai standartiem. 0.4. Piegādājamās iekārtas stāvoklis Līguma ietvaros piegādājamā iekārta nedrīkst būt lietota, tajā nedrīkst būt iebūvētas lietotas vai renovētas daļas. | |
1. PIELIETOJUMA VEIDS un IESPĒJAS 1.1. Pielietojuma veids Klāstera iekārta vakuuma pārklājumu izgatavošanai (turpmāk – iekārta) ir R&D iekārta dažādu daudzfunkcionālu pārklājumu uznešanai izmantojot 3 metodes: vielas iztvaicēšanu, magnetronu izputināšanu un sublimāciju. Paraugs ir līdz 50x50 mm liels, ciets, plakans materiāls, kas ir piemērots pārklājuma uznešanai vakuumā. |
Iekārta ir paredzēta zinātniski pētnieciskiem darbiem. 1.2. Iespējas 1.2.1. Iekārta ir papildināma, modulāra un elastīga sistēma. Tās pamatā ir centrālā kamera, kurai var pieslēgt līdz pat 8 procesa kameras, no kurām viena ir paredzēta ielādes/izlādes funkciju izpildei. 1.2.2. Katra procesa kamera ir aprīkota ar centrālās kameras aizvaru un var tikt darbināta neatkarīgi no pārējām. 1.2.3. Parauga ielādi var veikt caur ielādes/izlādes un tālāk caur centrālo kameru, bez gaisa piekļuves konkrētā procesa kamerai, vai arī izmantojot jebkura procesa kameras durvis, pirms tam ielaižot gaisu procesa kamerā. Parauga ielāde / izlāde notiek, neapstādinot vakuuma sūkņus. 1.2.4. Iekārta ir ar vienkāršu dizainu, ērti apkalpojama, ar elastīgu un pielāgojamu uzbūvi. 1.2.5. Centrālā kamera un procesa kameras ir aprīkotas ar logiem. 1.2.6. Pārklājuma uznešanas procesu kameras ir izstrādātas pēc vienota dizaina un procesa aprīkojums (iztvaicētāji, sublimācijas šūnas un magnetroni) ir izvietots uz vienādiem noslēgvākiem, lai nepieciešamības gadījumā vienu un to pašu aprīkojumu varētu izmantot citā procesa kamerā, vai arī veikt ātru procesa aprīkojuma nomaiņu. 1.2.7. Pārklājuma uznešanas procesu kameras ir aprīkotas ar 2 papildus atlokiem (flančiem), kurus var izmantot papildus aprīkojuma un mērinsturmentu uzmontēšanai. 1.2.8. Kameras dizains ir izstrādātas tā, lai iekārta būtu ērti apkalpojama, vizuāli pārskatāma, viegli vadāma. 1.2.9. Iekārta ir paredzēta darbam kā parastās iekštelpās,tā arī tīrtelpās. 1.2.10. Lai nodrošinātu ērtāku, ātrāku un drošāku kameru apkalpošanu, kameras ir aprīkotas ar viegli noņemamiem iekšējo virsmu aizsargekrāniem. | |
2. KOMPLEKTĀCIJA |
2.1. Centrālā kamera – parauga pārvietošana Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un uzglabāšanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus. 2.2. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde un jonu apstrāde Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, jonu apstrādi, gāzu padevi, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus. 2.3. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gāzu padevi, pārklājumu izgatavošanu un izgatavošanas procesa kontroli, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus. 2.4. Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšana Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gāzu padevi, pārklājumu izgatavošanu un izgatavošanas procesa kontroli, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus. 2.5. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gāzu padevi, pārklājumu izgatavošanu un izgatavošanas procesa kontroli, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus. 2.6. Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai) Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas visas kameras |
komponentes, ieskaitot komponentes, kas nodrošina paraugu pārvietošanu un novietošanu, vakuuma ieguvi un mērīšanu, gāzu padevi, pārklājumu izgatavošanu un izgatavošanas procesa kontroli, gaisa padevi ventilēšanai, novērošanas logus. 2.7. Elektrisko un vadības sistēmu skapji 2.8. Destilētā ūdens kontūrs, ieskaitot dzesētāju 2.8.1. Magnetronu dzesēšanai 2.8.2. Turbomolekulāro sūkņu dzesēšanai 2.8.3. Kvarca rezonanses uznešanas ātruma un biezuma mērītāju dzesēšanai 2.9. Iekārtas vadības/kontroles darba stacija 2.10. Rezerves daļu komplekts Pasūtītājs nodrošina: • Uzstādīšanai piemērotas telpas • Inženierkomunikācijas • Izplūdes gāzu pēcapstrādi • Iztvaicēšanas un izputināšanas materiālus • Gāzes/gāzu maisījumus | |
3. TEHNISKIE DATI 3.1. Paraugs 3.1.1. Parauga īpašības un izmēri Materiāls Stikls, metāls vai cita cieta, plakana, vakuuma procesiem piemērota pamatne Izmēri, mm 25 x 25 un 50 x 50 Biezums, mm Līdz 2 Nepārklātā zona, (ja Tiek norādīta Pretendenta nepieciešama) mm specifikācijā |
3.1.2. Parauga turētājs Materiāls Tiek norādīts Pretendenta specifikācijā Izmēri, mm Tiek norādīti Pretendenta specifikācijā 3.2. Centrālā kamera – parauga pārvietošana Bāzes spiediens, Tori Ne augstāks par 1x10-6 Transportēšanas sistēma Tiek norādīta Pretendenta specifikācijā Paraugu uzglabāšana Kasete 5 līdz 10 paraugu uzglabāšanai 3.3. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde, jonu apstrāde 3.3.1. Parauga virsmas apstrāde Apstrādes veids Jonu plūsma Xxxx avotu daudzums, gab. 1 Attālums starp avotu un 100…150 paraugu, mm Jonu kūļa enerģija, eV Līdz 230 Jonu kūļa jauda, W Līdz 1500 Jonu kūļa izkliedes leņķis, grādi Zem 80 Bāzes spiediens, Tori Ne augstāks par 1x10-6 Darba spiediens, Tori 1x10-4 Procesa gāzes Ar, O2 Gāzes plūsma, sccm Ar - max 30, O2 - max 30 Masas plūsmas kontrolieri, gab. 2 |
Parauga vietu skaits, gab. 1 3.4. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija 3.4.1. Pārklājums Materiāls Sublimācijai piemērotas organiskās vielas Pārklājuma vienmērība, % ± 5 3.4.2. Iztvaicēšana Iztvaicēšanas elementa tips Tīģeļa tipa iztvaicētājs ar aizvaru Iztvaicēšanas elementu skaits ar 3 aizvariem, gab. Tīģeļa iekšējais tilpums, cm3 ne lielāks par 1,2 Iztvaicētāju barošanas avotu 3 vai 1 pārslēdzams skaits, gab. Iztvaicējamā materiāla forma Pulveris, granulas u.c. Bāzes spiediens, Tori Ne augstāks par 1x10-6 Darba spiediens, Tori 1x10-6 - 1x10-4 Iztvaicēšanas temperatūra, oC līdz 600 Procesa gāzes N2 Gāzes plūsma, sccm Līdz 20 Masas plūsmas kontrolieri, gab. 1 Attālums no iztvaicētāja līdz 100-200 paraugam, mm Papildus aizvari 3 papildus aizvari, viens virs katras pamatnes Paraugu vietu skaits, gab. 3 ar masku vietām Attālums starp pamati un masku, Tiešs kontakts mm Tīģeļi organiko vielu 10 |
3.4.3. Parauga sildīšana/dzesēšana Parauga temperatūra, oC Maksimālā +60, minimālā - 40 Sildītājā/dzesētāja veids Norādīts Pretendenta specifikācijā Termopāru skaits 2 sildītāja/dzesētāja temperatūras un pamatnes temperatūras mērīšanai, gab. 3.4.4. Mērinstrumenti Kvarca kristāla rezonanses 3 uznešanas ātruma un biezuma mērītāji, gab. Kvarca kristāli rezonatoram, 15 gab. Uznešanas ātruma mērīšanas ≤ 0,1 precizitāte, Å/s Nodrošināt paraugu pārklāšanas sākšanos pie noteikta pārklāšanas ātruma 3.5. Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšana 3.5.1. Pārklājums Iztvaicējamais materiāls Au, Ag, Al, Pd, Cu, Ni u.c. Pārklājuma vienmērība, % ± 5 3.5.2. Termiskā iztvaicēšana Iztvaicēšanas elementa tips Rezistīvie iztvaicētāji, no kuriem |
vismaz divi ir tīģeļa tipa Iztvaicētāju skaits, gab. 4 Aizvaru skaits, gab. 1 Tīģeļa iekšējais tilpums, cm3 ne vairāk par 1,2 Bāzes spiediens, Tori Ne augstāks par 1x10-6 Darba spiediena diapazons, Tori 1x10-5 1x10-4 Iztvaicētāju barošanas avotu 4 skaits, gab. Iztvaicēšanas temperatūra, oC līdz 1500 Attālums no iztvaicētāja līdz 100…150 parauga centram, mm Parauga vietu skaits, gab. 1 ar masku vietu Attālums starp pamati un masku, Tiešs kontakts mm Bora nitrīda tīģeļi, gab 5 Alumīnija oksīda tīģeļi, gab 5 Kvarca tīģeļi, gab 5 Molibdēna laiviņas, gab (ja ir 20 iekļauti laiviņas rezistīvie iztvaicētāji) Volframa laiviņas, gab (ja ir 20 iekļauti laiviņas rezistīvie iztvaicētāji) 3.5.3. Parauga sildīšana Parauga temperatūra, oC Maksimums 200 Sildītāja veids Norādīts Pretendenta specifikācijā, paraugs nedrīkst tikts pakļauts tiešai infrasarkanai apstarošanai Termopāru skaits sildītāja 1 temperatūras mērīšanai, gab. Maksimālā sildītāja jauda, W Norādīta Pretendenta specifikācijā |
3.5.4. Mērinstrumenti Kvarca kristāla rezonanses 2 (1 uz 2 iztvaicētājiem ar vienu uznešanas ātruma un biezuma barošanas bloku) mērītāji, gab. Kvarca kristāli rezonatoriem, 10 gab. Uznešanas ātruma mērīšanas ≤ 0,1 precizitāte, Å/s Nodrošināt paraugu pārklāšanas sākšanos pie noteikta pārklāšanas ātruma 3.6. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana 3.6.1. Pārklājums Materiāli ITO, AZO, TiO2, SiO2, Al, Ti, u.c. Pārklājuma vienmērība, % ± 5 3.6.2. Magnetronu izputināšana Pārklājuma uznešanas veids Materiāla izputināšana inertas vai reaktīvas gāzes vai to maisījuma atmosfērā Magnetrona tips Apaļš, plakans mērķis, diametrs ne mazāks kā 2 collas Magnetronu skaits, gab. 3 Aizvaru skaits virs parauga, gab. 1 Vidējais attālums no mērķa līdz 100, ar pārvietošanās diapazonu |
paraugam, mm ±50 mm Magnetrona mērķa slīpuma 5…30 leņķis, grādi Bāzes spiediens, Tori Ne augstāks par 1x10-6 Darba spiediena diapazons, Tori (0.2-4) x10-2 Procesa gāzes Ar, O2, H2, N2 Masas plūsmas kontrolieri, gab. 4 Barošanas avoti 2 gab. pulsējošas līdzstrāvas barošanas bloki, 1 gab. RF barošanas bloks. (manuāli pārslēdzami, kopīgi ar 5. procesa kameru). Iespējama vienlaicīga izputināšana, izmantojot 2 sinhronizētus līdzstrāvas un RF barošanas avotus. Barošanas avota jauda, kW Pieskaņota mērķa izmēram Paraugu vietu skaits, gab. 1 Parauga rotācijas ātrums, min-1 Līdz 10 3.6.3. Parauga sildīšana Parauga temperatūra, oC Maksimāli 400 Sildītāja veids Norādīts Pretendenta specifikācijā Termopāru skaits temperatūras 1 mērīšanai, gab. Maksimālā sildītāja jauda, W Norādīta Pretendenta specifikācijā Sildītāju skaits, gab. 1 3.6.4. Mērinstrumenti: Plazmas optiskās 3 (1 kanāls pie katra magnetrona) spektroskopijas kanāli, neiekļaujot spektrofotometrus, gab |
Gāzu plūsmu diapazons Norādīts Pretendenta specifikācijā, atbilstošs izmantotajiem vakuuma sūkņiem un nepieciešamajam darba spiedienam Gāzu ievadīšanas ģeometrija Norādīts Pretendenta specifikācijā 3.7. Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai) 3.7.1. Pārklājums Materiāli Leģēts vai tīrs silīcijs Pārklājuma vienmērība, % ± 10 3.7.2. Magnetronu izputināšana Pārklājuma uznešanas veids Materiāla izputināšana inertas vai inertas un reaktīvas gāzes maisījuma atmosfērā Magnetrona tips Apaļš, plakans mērķis, diametrs ne mazāks kā 2 collas Magnetronu skaits, gab. 3 Aizvaru skaits virs parauga, gab. 1 Vidējais attālums no mērķa līdz 100, ar pārvietošanās diapazonu ± paraugam, mm 50 mm Magnetrona mērķa slīpuma 5…30 leņķis, grādi Bāzes spiediens, Tori Ne augstāks par 1x10-6 |
Darba spiediens, Tori (0.2-4) x10-2 Procesa gāzes Ar, H2 Masas plūsmas kontrolieri, gab. 2 Barošanas avoti 2 gab. pulsējošas līdzstrāvas barošanas bloki, 1 gab. RF barošanas bloks. (manuāli pārslēdzami, kopīgi ar 4. procesa kameru). Iespējama vienlaicīga izputināšana, izmantojot 2 sinhronizētus līdzstrāvas un RF barošanas avotus. Parauga vietu skaits, gab. 1 Parauga rotācijas ātrums, min-1 Līdz 10 3.7.3. Parauga sildīšana Parauga temperatūra, oC Maksimāli 400 Sildītāja veids Norādīts Pretendenta specifikācijā Termopāru skaits temperatūras 1 mērīšanai, gab. Maksimālā sildītāja jauda, W Norādīta Pretendenta specifikācijā Sildītāju skaits, gab. 1 3.7.4. Gāzu padeves sistēma Gāzu plūsmu diapazons Norādīts Pretendenta specifikācijā, atbilstošs izmantotajiem vakuuma sūkņiem un nepieciešamajam darba spiedienam Gāzu ievadīšanas ģeometrija Norādīts Pretendenta specifikācijā |
3.8. Atsūknēšanas sistēma, plūsmas regulatori un spiediena devēji Bāzes spiediens centrālajā un Ne augstāks kā 1x10-6 Tori procesa kamerās Atsūknēšanas laiks procesa kamerai (no atmosfēras līdz < 45 min. 1x10-6 Tori) Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādītas atsūknēšanas sistēmas komponentes (ieskaitot modeļu nosaukumus) 3.9. Iekārtas gabarīti Pretendenta tehniskajā specifikācijā tiek norādīti iekārtas un atsevišķu kameru gabarīti 3.10. Inženierkomunikācijas 3.10.1. Elektriskais pieslēgums Frekvence, Hz 50 ± 0.2 Spriegums, V Norādīti Pretendenta specifikācijā Slēguma tips Iekārtas uzstādītā jauda, kW Norādīta Pretendenta specifikācijā 3.10.2. Saspiestais gaiss Spiediens, bāri Prasības norādītas Pretendenta specifikācijā Rasas punkta temperatūra,oC Prasības norādītas Pretendenta specifikācijā Īpašības Brīvs no eļļas tvaikiem un putekļiem |
3.11. Lietošanas apstākļi Temperatūra, oC 20 ± 5 Relatīvais mitrums, % Diapazons norādīts Pretendenta specifikācijā | |
4. IEKĀRTAS APRAKSTS 4.1. Vispārīgs apraksts 4.1.1. Iekārta ir izstrādāta saskaņā ar ergonomikas principiem, kas nodrošina piekļuvi visām iekārtas daļām to apkalpošanai un nomaiņai. Visas iekārtas detaļas un aprīkojums ir paredzēts konkrētajiem procesiem, ievērojot specifiskās temperatūras, spiediena un reaktīvās vides prasības. 4.1.2. Visas kameras ir izgatavotas no nerūsējošā tērauda. Kameras iekšējās virsmas ir elektropulētas. Visām kamerām ir nodrošināti logi un apgaismojums procesa un parauga pārvietošanas novērošanai. 4.1.3. Iekārtai ir modulārs dizains. Visas procesa kameras ir viegli noņemamas. 4.1.4. Iekārtas dizains paredz ielādes/izlādes kameru, kas aprīkota jonu avotu, parauga virsmas apstrādei, 4 procesa kameras un 3 brīvas vietas, kuras nākotnē var izmantot citu procesa kameru pieslēgšanai. Centrālā kamera ir atdalīta no procesa kamerām ar slēgvārstu, caur kuru tiek nodrošināta parauga ievietošana procesa kamerā ar pārvietošanas mehānisma palīdzību. Pārklājuma uznešanas procesa kameras ir aprīkotas ar papildus 2 noslēgtiem atlokiem. 4.1.5. Katra procesa kamera var strādāt neatkarīgā, t.s. solo režīmā. Ielādes/izlādes kamera var strādāt vienlaicīgi ar citām kamerām. Parauga ievietošana konkrētā procesa kamerā ir iespējama vai nu caur ielādes/izlādes kameru un tālāk caur centrālo kameru ar pārvietošanas mehānisma palīdzību, vai atverot kameras durvis un manuāli novietojot paraugu uz parauga turētāja galdiņa. 4.1.6. Visas procesa kameras ir aprīkotas ar enģēs stiprinātām durvīm, kas dod |
iespēju viegli piekļūt kameras iekšpusē esošajam aprīkojumam, novietot masku un/vai paraugu uz parauga turētāja galdiņa tam paredzētajā vietā, nepieciešamības gadījumā nomainīt, papildināt iztvaicējamo, izputināmo materiālu. 4.1.7. Pārklājuma uznešanas procesa kameru iekšpusē ir paredzēti stiprinājumi tērauda vai cita materiāla plākšņveida ekrānu stiprināšanai, kas atvieglo kameras tīrīšanu pēc procesa veikšanas. 4.1.8. Organisko vielu termiskās sublimācijas kameras parauga turētāja galdiņš ir aprīkots ar 3 pozīcijām parauga ievietošanai. Parauga turētāja galdiņš ir pagriežams, lai nodrošinātu parauga novietošanu virs nepieciešamās sublimācijas šūnas vai nepieciešamo pozīciju parauga transportēšanai ar manipulatoru. Pagriešana tiek veikta ar soļu dzinēja palīdzību. 4.1.9. Metālu termiskās iztvaicēšanas kamerā un abās magnetronu izputināšanas kamerās parauga turētāja galdiņš ir aprīkots ar vienu pozīciju parauga ievietošanai. 4.1.10. Abās magnetronu izputināšanas kamerās tiek veikta parauga turētāja galdiņa rotācija vai cita mehāniska kustība, lai nodrošinātu viendabīgu pārklājumu. 4.1.11. Metālu termiskās iztvaicēšanas kamerā un abās magnetronu izputināšanas kamerās tiek nodrošināta parauga sildīšana. 4.1.12. Organisko vielu termiskās sublimācijas kamerā parauga sildīšana/dzesēšana notiek izmantojot vara plāksni ar siltuma pārneses līdzekļa cirkulācijas caurulēm. Parauga pamatne ir tiešā kontaktā ar plāksnes virsmu. Dzesēšanas režīmā līdzeklis ir gāzveida vai šķidra viela. Tiek noversta ūdens kondensācija dzesēšanas sistēmā. 4.2. Parauga turētājs 4.2.1. Tiek izmantots speciāls parauga turētājs, lai centrālās kameras pārvietošanas mehānisms (manipulators) varētu pārvietot paraugu no vienas procesa kameras citā. Parauga turētājs ir paredzēts 25x25 mm un 50x50 mm lieliem paraugiem. Nepārklātas virsmas izmēri (ja tāda |
nepieciešama parauga turēšanai) norādīti Pretendenta specifikācijā. 4.3. Centrālā kamera – parauga pārvietošana 4.3.1. Centrālā kamera ir aprīkota ar 8 atlokiem, pie kuriem tiek stiprinātas procesa kameras. 4.3.2. Parauga pārvietošana tiek veikta ar pārvietošanas mehānisma palīdzību. Centrālajā kamerā atrodas kasete 5-10 paraugu uzglabāšanai. 4.4. Pirmā procesa kamera – parauga ielāde/izlāde, jonu apstrāde 4.4.1. Pirmā procesa kamera ir paredzēta parauga ielādei un izlādei no iekārtas, parauga virsmas apstrādei ar jonu plūsmu un parauga nogādāšanai uz centrālo kameru. 4.4.2. Jonu apstrādes laikā izmantotās procesa gāzes (Ar un O2) tiek padotas izmantojot divus masas plūsmas kontrolierus (MFC). 4.5. Otrā procesa kamera – organisko vielu termiskā sublimācija 4.5.1. Otrā procesa kamera ir paredzēta organisku vielu uznešanai uz parauga, izmantojot 3 termiskās sublimācijas šūnas. 4.5.2. Katra sublimācijas šūna ir aprīkota ar individuālu aizvaru. Kamerā ir izvietoti 3 kvarca rezonanses uznešanas ātruma un biezuma mērītāji. Līdz nepieciesamā uznešanas ātruma sasniegšanai paraugu aizsedz papildus centrālais rotācijas aizvars, kas tiek darbināts ar pneimatisku piedziņu 4.5.3. Kamerā tiek nodrošināta parauga uzsildīšana līdz + 600C un atdzesēšana līdz -400C izmantojot plākšņveida sildītāju/dzesētāju ar cirkulācijas caurulēm. 4.6. Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšanai 4.6.1. Trešā procesa kamera ir paredzēta metālu uznešanai uz parauga, izmantojot 4 iztvaicētājus. 4.6.2. Kamerā ir izvietoti 4 iztvaicētāji un 2 kvarca rezonatori uz katriem diviem iztvaicētājiem. Starp kvarca rezonatoriem un paraugu ir novietots aizvars, kas tiek darbināts ar pneimatisko piedziņu. |
4.6.3. Kamerā tiek nodrošināta parauga uzsildīšana līdz +2000C. 4.7. Ceturtā procesa kamera – magnetronu izputināšana 4.7.1. Ceturtā procesa kamera ir paredzēta dažādu materiālu uznešanai uz parauga, izmantojot 3 magnetronus. 4.7.2. Kamerā ir izvietoti 3 magnetroni, no kuriem viens vai jebkuri divi vai visi trīs var strādāt vienlaicīgi. Magnetrona attālums līdz paraugam un tā leņķis pret paraugu var tikt mainīts. Procesa kamerai ir pievadītas 4 gāzes (Ar, O2, N2, H2) izmantojot četrus gāzu plūsmas kontrolierus (MFC). Katram magnetronam ir atsevišķs gāzu sadalītājs. 4.7.3. Pārklājuma uznešanas procesa nodrošināšanai 4. un 5. kameras ir aprīkotas ar kopīgiem diviem pulsējošas līdzstrāvas barošanas blokiem un vienu RF barošanas bloku.. 4.7.4. Kamerā tiek nodrošināta parauga uzsildīšana līdz + 4000C. 4.7.5. Kamera ir aprīkota ar 3 plazmas optiskās emisijas spektroskopijas kanāliem (viens pie katra magnetrona), izņemot spektrofotometrus. 4.8. Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai) 4.8.1. Piektā procesa kamera ir paredzēta silīcija bāzes materiālu uznešanai uz parauga, izmantojot 3 magnetronus. Kamerā ir paredzēts uznest pārklājumus, kas nepieciešami PIN struktūras izveidošanai. 4.8.2. Kamerā ir izvietoti 3 magnetroni, no kuriem viens vai jebkuri divi vai visi trīs var strādāt vienlaicīgi. Magnetrona attālums līdz paraugam un tā leņķis pret paraugu var tikt mainīts. Procesa kamerai ir pievadītas 2 gāzes (Ar, H2) izmantojot divus gāzu plūsmas kontrolierus (MFC). Katram magnetronam ir atsevišķs gāzu sadalītājs. 4.8.3. Pārklājuma uznešanas procesa nodrošināšanai 4. un 5. kameras ir aprīkotas ar kopīgiem diviem pulsējošas līdzstrāvas barošanas blokiem un vienu RF barošanas bloku. |
4.8.4. Kamerā tiek nodrošināta parauga uzsildīšana līdz + 4000 grādiem. 4.9. Atsūknēšanas sistēma 4.9.1. Centrālā kamera un katra procesa kamera ir aprīkota ar individuālu atsūknēšanas sistēmu, kas sastāv no viena mehāniskā sūkņa un viena turbomolekulārā sūkņa. 4.9.2. Pārklājuma uznešanas procesa kamerām (2., 3., 4. un 5. procesa kamerām) starp kameru un turbomolekulāro sūkni ir uzstādīts droselēšanas vārsts. Atsūknēšanas sistēma katrā kamerā nodrošina bāzes spiedienu ne augstāku kā 1x10-6 Tori. 4.9.3. Pretendenta specifikācijā tiek norādīti vakuuma mērīšanai paredzētie devēji visu kameru atsūknēšanas sistēmās, kā arī starp mehāniskajiem un turbomolekulārajiem sūkņiem. 4.9.4. Gaisa ielaišanai kamerā ir paredzēts gaisa padeves ventilis un elektromagnētiskais slēgvārsts. 4.10. Inženierkomunikācijas 4.10.1. Elektrības kabeļu, elektrisko līniju un gāzes līniju, kā arī ūdens un saspiestā gaisa sistēmu inženierkomunikāciju izvietojums *paneļos virs iekārtas vai uz grīdas) tiek saskaņots ar pasūtītāju iekārtas izstrādes laikā. 4.10.2. Inženierkomunikāciju pieslēguma punkti tiek saskaņoti ar pasūtītāju iekārtas izstrādes laikā. | |
5. ELEKTRISKĀ UN VADĪBAS SISTĒMA 5.1. Elektrosistēma tiek izstrādāta saskaņā ar 73/23 EEC direktīvām. 5.2. Iekārtas vadībai tiek izmantots programmējamais loģiskais kontrolieris (PLC) 5.3. Iekārtas vadības sistēma nodrošina tehnoloģiskā procesa vadību un kontroli. 5.4. Vadības sistēma nodrošina: • Atsūknēšanas sistēmu vadību; |
• Manipulatora vadību; • Magnetronu izputināšanas vadību; • Sildītāju vadību; • Organiskās sublimācijas šūnu (Organic Molecular Evaporator) vadību; • Termisko iztvaicētāju vadību; • Gāzu padeves sistēmas vadību; • Xxxx avota vadību; • Ūdens dzesēšanas sistēmas vadību. 5.5. Katrai iekārtas kamerai ir individuāla atsūknēšanas sistēma. Vadības sistēma nodrošina visu sūkņu, vārstu un atsūknēšanas sistēmas aizvaru vadību, kontrolējot spiedienu katrā kamerā un atsūknēšanas sistēmas līnijās. Sūkņu, vārstu un aizvaru stāvoklis tiek atspoguļoti vizualizācijas sistēmā. 5.6. Vadības sistēma nodrošina centrālajā kamerā esošā manipulatora piedziņas vadību, nodrošinot paraugu pārvietošanu uz jebkuru procesa kameru. Paraugu izvietojums kamerās tiek atspoguļots vizualizācijas sistēmā. Ja paraugs tieks izņemt/ievietot procesa kamera caur kameras durvīm, operators ievada to vadības sistēmā. 5.7. Vadības sistēma nodrošina paraugu sildītāju vadību procesa kamerās, nodrošinot sildītāju temperatūras stabilizāciju. Paraugu temperatūras parametru uzstādīšana un atspoguļošana tiek veikta izmantojot vizualizācijas sistēmu. 5.8. Vadības sistēma nodrošina magnetronu barošanas avotu vadību, nodrošinot iespēju mainīt magnetrona režīmu ar jaudas, sprieguma vai strāvas stipruma stabilizāciju. Magnetronu darbības parametru uzstādīšana un atspoguļošana tiek veikta izmantojot vizualizācijas sistēmā. 5.9. Vadības sistēma nodrošina 3 termiskās sublimācijas šūnu vadību organisko pārklājumu uznešanai uz parauga otrajā procesa kamerā. Vadības sistēma regulē un stabilizē temperatūru katra tīģeļa iztvaicētājā. Termiskās |
sublimācijas šūnu darbības parametri (temperatura, jauda) tiek atspoguļoti vizualizācijas sistēmā. Pārklājuma biezums tiek mērīts izmantojot kvarca rezonatorus un iegūtie mērījumi tiek atspoguļoti vizualizācijas sistēmā. 5.10. Vadības sistēma nodrošina termisko iztvaicētāju vadību trešajā procesa kamerā ar pārklājuma biezuma kontroli izmantojot kvarca rezonatorus. Parametru uzstādīšana tiek veikta izmantojot vizualizācijas sistēmu. 5.11. Vadības sistēma veic masas plūsmas kontrolieru (MFC) vadību, nodrošinot darba gāzu padevi procesa kamerās. Gāzu padeves sistēmu parametri tiek uzstādīti un atspoguļoti izmantojot vizualizācijas sistēmu. 5.12. Lai nodrošinātu labāku pārklājuma adhēziju, pirmajā procesa kamerā tiek veikta parauga apstrāde ar jonu plūsmu. Vadības sistēma veic jonu avotu vadību ar parametru kontroli un procesa gāzu (Ar un O2) padevi. Xxxx avota elektrisko parametru un gāzu padeves parametru uzstādīšana un atspoguļošana tiek veikta izmantojot vizualizācijas sistēmu. 5.13. Vadības sistēma veic iekārtas dzesēšanas sistēmas monitoringu un ūdens plūsmas kontroli dzesēšanas līnijās. 5.14. Veicot tehnoloģisko ciklu, pēc operatora izvēles uz vizualizācijas datora ekrāna tiek atspoguļota sekojoša informācija: • Atsūknēšanas sistēmas stāvoklis; • Spiediens kamerās un sūkņos; • Darba parametri magnetronu barošanas avotiem, sildītājiem, jonu avotiem, organiskās sublimācijas šūnām un termiskajiem iztvaicētājiem; • Gāzu padeves sistēmu parametri; • Ūdens dzesēšanas sistēmas stāvoklis. 5.15. Vizualizācijas datora monitorā tiks atspoguļotas sekojošas sadaļas: • Process; • Atsūknēšanas sistēma; |
• Ūdens dzesēšanas sistēma; • Ūdens dzesētāja stāvoklis; • Bojājumi un brīdinājumi. 5.16. Vizualizācijas sistēma nodrošina procesa datu saglabāšanu un saglabāto datu atspoguļošanu. 5.17. Iekārtā tiek nodrošinātas programmatūras un aparatūras bloķēšanas, nodrošinot personāla drošu darbu un novēršot iespējamas avārijas situācijas, kas saistītas ar izpildierīču iziešanu no ierindas vai operatora kļūdainām darbībām. 5.18. Vadības sistēma darbojas sekojošos režīmos: • Rokas vadības režīms; • Pusautomātiskais vadības režīms (automatiska atsūknēšana centrālā kamera un katra processa kamera). 5.19. Iekārtas komplektācijā, kas tiek nodota pasūtītājam, ietilpst vadības skapis, visi ārējie kabeļi, PC, vadības sistēmas pirmkodi, vizualizācijas sistēmas licence. | |
6. IEKĀRTAS PIEŅEMŠANA/NODOŠANA PIE PRETENDENTA 6.1. Iekārta sākotnēji tiek montēta pie Pretendenta. Pirmās kārtas nodošana/pieņemšana tiek organizēta saskaņā ar Pieņemšanas/nodošanas testu programmu, par ko vienojušās abas puses, un tiek veikta ar Pasūtītāja līdzdalību, kad ir izpildītas visas tehniskās specifikācijas prasības. 6.2. Pasūtītājs nodrošina paraugus un pārklājuma materiālus testēšanai.. 6.3. Testēšanas rezultāti tiek iekļauti pieņemšanas aktā. Minētie dokumenti apliecina iekārtas gatavību nosūtīšanai pie Pasūtītāja. 6.4. Vienlaikus ar Pieņemšanas/nodošanas testiem tiek organizēta arī Pasūtītāja personāla apmācība. |
7. IEKĀRTAS MONTĀŽA, REGULĒŠANA UN NODOŠANA PIE PASŪTĪTĀJA 7.1. Pasūtītājs sagatavo iekārtai paredzēto telpu, nodrošina nepieciešamās pacelšanas ierīces un aprīkojumu saskaņā ar montāžas rasējumiem un telpas izkārtojumu, par ko puses iepriekš vienojušās. 7.2. Iekārtas piegādi līdz uzstādīšanas telpai organizē un veic Pretendents vai trešā persona, ko nolīdzis Pretendents 7.3. Kad Pasūtītājs ir saņēmis iekārtu, ierodas Pretendenta pārstāvji (inženieru un darbinieku komanda), lai uzstādītu un saregulētu iekārtu. Elektrisko ierīču pievienošana, testēšana un kontrole notiek konsultējoties ar vai nu Pasūtītāja autorizētu un kvalificētu pārstāvi vai licenzētu speciālistu, ko pieaicinājis Pasūtītājs. Pasūtītājs nodrošina saspiesta gaisa, procesa gāzu, elektrības pieslēguma, gāzu izplūdes kanāla pieejamību ne vairāk kā 3 metru attālumā no iekārtas novietošanas vietas. 7.4. Pēc visu uzstādīšanas darbu pabeigšanas un iekārtas darba uzsākšanas, tiek veikta testēšana, lai noteiktu atbilstību tehniskajai specifikācijai. Testēšanu veic saskaņā ar Pieņemšanas/nodošanas testu programmu, par kuru vienojušās puses. Pasūtītājs nodrošina paraugus un pārklājuma materiālus testēšanai. 7.5. Testēšanas rezultāti tiek atspoguļoti nodošanas aktā. Pats akts ir pamats galīgajam līguma maksājumam. Garantijas laiks sākas no dienas, kad parakstīts nodošanas akts. 7.6. Pasūtītājs nodrošina visas celšanas ierīces, kas nepieciešamas iekārtas uzstādīšanai un ekspluatācijai, uzturēšanai un remontdarbiem, kā arī nepieciešamo Pasūtītāja personāla atbalstu. 8. PERSONĀLA APMĀCĪBA 8.1. Pasūtītāja darbiniekiem tiek nodrošināta teorētiskā un praktiskā apmācība laikā, kad notiek iekārtas testēšana pie Pretendenta. Šāda apmācību programma un Pasūtītāja komandas uzturēšanās ilgums pie Pretendenta tiek norunāta ar |
Pasūtītāju ne vēlāk kā vienu mēnesi pirms iekārtas testēšanas. 8.2. Iekārta montēšanas, regulēšanas un palaišanas laikā pie Pasūtītāja norādītais personāls var tikt apmācīts un var piedalīties visos uzstādīšanas, regulēšanas un darbības uzsākšanas posmos. | |
9. RASĒJUMI UN TEHNISKĀ DOKUMENTĀCIJA 9.1. Ne vēlāk kā nedēļu pēc līguma parakstīšanas, Pasūtītājs nodrošina Pretendentu ar iekārtas novietošanas telpu izkārtojuma rasējumiem (plāniem). 9.2. Ne vēlāk kā mēneša laikā pēc līguma parakstīšanas Pretendents nodrošina Pasūtītāju ar Ieplānoto darbu grafiku. 9.3. 45 dienu laikā no dienas, kad avanss saņemts bankā, Pretendents nodrošina Klientu ar sekojošiem dokumentiem: • Priekšlikums iekārtas uzstādīšanai saskaņā ar paredzētās telpas izkārtojumu. Visas iekārtas dizaina izmaiņas pēc saskaņojuma parakstīšanas, kas veiktas pēc Klienta pieprasījuma, būs uz Klienta rēķina; • Elektriskās un vadības sistēmas specifikācija; • Montāžas rasējumi galvenajām iekārtas daļām; • Shematiskās diagrammas (vakuuma, elektriskās, hidrauliskās, gāzes, pneimatiskās); • Risku protokols; • Pieņemšanas/nodošanas testu programma; • Iegādāto daļu un to piegādātāju saraksts; • Rezerves daļu saraksts. 9.4. Divu nedēļu laikā pēc dokumentu nosūtīšanas, Pasūtītāja un Pretendenta pārstāvji tos var apspriest Pasūtītāja birojā (pēc Pasūtītāja pieprasījuma). 9.5. Vienlaikus ar iekārtu, Pretendents piegādā Pasūtītājam pilnu darbības dokumentācijas paketi, iekļaujot: |
• Operatora tehnoloģiskā karte & Rokasgrāmata – 2 komplekti; • Apkopes tehnoloģiskā karte & Rokasgrāmata – 2 komplekti; • Elektriskās un vadības shēmas – 3 komplekti; • PLC un MMI pirmkods – 2 komplekti; • Piegādātāju Rokasgrāmatas – 1 komplekts; • Izcelsmes sertifikāts. 9.6. Tehniskā dokumentācija par iekārtu tiek piegādāta divos sējumos latviešu vai angļu valodā. Visa dokumentācija un prasības rasējumos ir latviešu vai angļu valodā. Rasējumi ir SolidWorks un/vai ACAD formātos. Tiek nodrošināta arī elektroniska visu dokumentu un rasējumu kopija. | |
10. IEPAKOŠANA, TRANSPORTĒŠANA UN GLABĀŠANA 10.1. Iekārta tiek iepakota konteineros, kuri nodrošina tās drošību transportēšanas laikā. Pretendents veic iekārtas sagatavošanu transportēšanai atbilstoši nozares standartiem. 10.2. Iekārta tiek nodota Pārvadātājam. Pretendents izvēlas Pārvadātāju un saskaņo to ar Pasūtītāju. 10.3. Iekārta tiek transportēta transportēšanas veidam atbilstošos konteineros. | |
11. GARANTIJA 11.1. Pretendents garantē iekārtas darbību tīrtelpās, parametru izpildi atbilstoši tehniskajai specifikācijai. 11.2. 12 mēnešu laikā no dienas, kad parakstīts nodošanas akts, Pretendents nodrošina iekārtas remontu un/vai detaļu nomaiņu, kas kļuvušas nederīgas, vai apdraud atbilstošu iekārtas darbību, ja šie defekti radušies ne Pasūtītāja vainas dēļ. | |
12. PĒCPĀRDOŠANAS APKALPOŠANA 12.1. Pēcpārdošanas apkalpošana pēcgarantijas periodā var tikt veikta atbilstoši |
atsevišķi noslēgtam līgumam starp Pretendentu un Pasūtītāju. Saskaņā ar šo līgumu, Pretendents sniedz nepieciešamo informāciju, veic pakalpojumus, tekošo vai kapitālo remontu, profilakses darbus un detaļu piegādi. |
Pretendenta pilnvarotā persona:
/vārds, uzvārds/ /amats/ /paraksts/
, 2013.gada .
/vieta/ /datums/
Atklāta konkursa Nr. LU CFI 2013/2/ERAF „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde” nolikums
Nolikuma pielikums Nr.5 Iepirkumam „Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”
Iepirkuma identifikācijas Nr.: LU CFI 2013/2/ERAF
AIZPILDA PRETENDENTS
FINANŠU PIEDĀVĀJUMS
iepirkumam Nr. LU CFI 2013/2/ERAF
„Daudzfunkcionālas klāstera iekārtas vakuuma pārklājumu izgatavošanai piegāde”
(Iepirkums tiek veikts ERAF līdzfinansēta projekta
Nr. 2011/0041/2DP/2.1.1.3.1/11/IPIA/VIAA/004 „Nanostrukturēto un daudzfunkcionālo materiālu, konstrukciju un tehnoloģiju Valsts nozīmes pētniecības centra zinātniskās infrastruktūras attīstīšana” ietvaros.)
Daudzfunkcionāla klāstera iekārta vakuuma pārklājumu izgatavošanai
N.p.k. | Pozīcija | Cena*, bez PVN |
1 | Iekārta bez Trešā procesa kameras (metālu iztvaicēšana) un bez Piektā procesa kameras (magnetronu izputināšana silīcija PIN struktūru iegūšanai) | |
2 | Trešā procesa kamera – metālu iztvaicēšana ** | |
3 | Piektā procesa kamera – magnetronu izputināšana (silīcija PIN struktūru iegūšanai) ** | |
Iekārtas kopējā cena |
* Finanšu piedāvājumā cenas norādāmas ar visām atlaidēm un visiem nodokļiem, ar kuriem tiek apliktas piedāvātās preces, bet bez PVN. Cena, kas nebūs dota LVL, tiks konvertēta uz LVL pēc Latvijas Bankas noteiktā kursa piedāvājumu atvēršanas dienā.
** Jānorāda cena kamerai kopā ar aprīkojumu, kas attiecas tieši uz attiecīgo kameru un nav nepieciešams iekārtas funkcionēšanai, ja kamera nav uzstādīta.
Pretendenta pilnvarotā persona:
/vārds, uzvārds/ /amats/ /paraksts/
, 2013.gada .
/vieta/ /datums/
66/66