N.p.k.
|
Nosacījumi/Requirements
|
Pasūtītāja
prasības/ Contracting Authority’s requirements
|
Pretendenta
piedāvājums/ tenderer’s offer
|
|
Spectroscopic
ellipsometer
|
Spektrālais
elipsometrs
|
1
(viens) komplekts
1
(one) set
|
|
0.
|
General
requirements
|
Vispārīgās
prasības
|
|
|
0.1
|
Undefined
requirements
|
Nenodefinētās
prasības
|
If
some of technical requirements are not defined in the technical
specification, it must comply with the minimum commonly accepted
requirements or standards.
Ja
tehniskajās specifikācijās kāda uz šo līgumu attiecošās
tehniskā prasība nav definēta, tai ir jāatbilst minimālajām
vispārpieņemtajām prasībām vai standartiem.
|
|
0.2
|
Technical
condition of equipment to be delivered
|
Piegādājamās
iekārtas stāvoklis
|
The
equipment supplied in the contract shall not be used, it shall not
have built-in used or renovated parts.
Līguma
ietvaros piegādājamā iekārta nedrīkst būt lietota, tajā
nedrīkst būt iebūvētas lietotas vai renovētas daļas.
|
|
1.
|
Ellipsometer
|
|
|
|
1.1.
|
Ellipsometer
Type
|
Elipsometra
tips
|
Dual
rotating compensator ellipsometr.
Divu
rotējošu kompensatoru elipsometrs.
|
|
1.2.
|
Purpose
|
Pielietojums
|
Suitable
for Ex-situ thin film analysis: quick quality control, real-time
process monitoring, uniformity mapping.
Suitable for
dielectric, semiconductors, thin metals and other samples
analysis.
Piemērots
Ex-situ plānu kārtiņu analīzei, ātrai kvalitātes kontrolei,
reāllaika procesa uzraudzībai, viendabīguma kartēšanai.
Izmantojams
dielektriķiem, pusvadītājiem, plānām metālu kārtiņām un
cita veida paraugu analīzēm.
|
|
1.3.
|
Compensators
|
Kompensatori
|
Two
achromatic compensators, continuously rotating, should work in all
spectral range.
Divi
ahromātiski nepārtraukti rotējoši kompensatori, kuri darbojas
visā spektra diapazonā.
|
|
1.4.
|
Measurement
method
|
Mērīšanas
metode
|
Simultaneous
measurement in all spectral range.
Vienlaicīgs
mērījums visā spektra diapazonā.
|
|
|
|
|
|
|
2.
|
Base
and sample stage
|
Bāze
un paraugu galdiņš
|
|
|
2.1.
|
Base
type
|
Bāzes
tips
|
Automated
with variable angle.
Automātiska
ar maināmu leņķi.
|
|
2.2.
|
Angle
|
Leņkis
|
Variable
from 45° to 90° degree.
Maināms
no 45° to 90° grādiem.
|
|
2.3.
|
Angle
accuracy
|
Leņķa
precizitāte
|
Not
worse than ± 0,02°.
Ne
sliktāka kā ± 0,02°.
|
|
2.4.
|
Angle
repeatability
|
Leņķa
atkārtojamība
|
<0,005°
|
|
2.5.
|
3
axis sample alignment
|
3
asu parauga centrēšana
|
Required.
Nepieciešama.
|
|
2.7.
|
Sample
alignment method
|
Parauga
centrēšanas metode
|
By
two integrated position sensitive alignment detectors.
Izmantojot
divus pozīcijās jutīgus centrēšanas detektorus.
|
|
2.7.
|
X
and Y axis resolution
|
X
un Y ass izšķiršana
|
Not
worse than 0,001°.
Ne
sliktāka kā 0,001°.
|
|
2.8.
|
Z
axis resolution
|
Z
ass izšķiršana
|
Not
worse than 5 µm.
Ne
sliktāka kā 5 µm.
|
|
2.9.
|
Sample
mounting
|
Parauga
novietojums
|
Horizontal
with automated Z-height adjustment.
Horizontāls
ar automātisku Z (augstuma) koriģēšanu.
|
|
2.10.
|
Sample
mapping
|
Parauga
kartēšana
|
Required
automated X-Y axis.
Nepieciešama
X-Y asu virzienos.
|
|
2.11.
|
Mapping
area
|
Kartējamais
laukums
|
At
least 100 x 100 mm area.
Vismaz
100 x 100 mm laukums.
|
|
2.12.
|
Sample
size
|
Parauga
izmērs
|
Up
to 300 mm diameter.
Līdz
300 mm diametrā
|
|
2.13.
|
Sample
thickness
|
Parauga
biezums
|
Up
to 15 mm.
Līdz
15 mm.
|
|
|
|
|
|
|
3.
|
Light
source
|
Gaismas
avots
|
|
|
3.1.
|
Number
of light sources
|
Gaismas
avotu skaits
|
One
for entire spectrum.
Viens
visam spektram.
|
|
3.2.
|
Type
|
Tips
|
Xenon
or similar.
Ksenona
vai līdzīgs.
|
|
3.3.
|
Power
|
Jauda
|
<
80 W
|
|
3.4.
|
Beam
intensity control
|
Intensitātes
vadība
|
Computer
controlled to automatically optimize signal on any sample.
Izmantojot
datoru, lai automātiski optimizētu signālu no dažādiem
paraugiem.
|
|
3.5.
|
Standard
beam diameter
|
Stara
diametrs
|
In
range of 3-4 mm.
No
3 mm līdz 4 mm.
|
|
3.6.
|
Beam
deviation in thickness
|
Stara
novirze biezumā
|
<0.005
nm.
|
|
3.7.
|
Beam
divergence
|
Stara
diverģence
|
Less
than 0.5° degree.
Mazāka
par 0.5° grādiem.
|
|
3.8.
|
Beam
focusing
|
Iespēja
fokusēt staru
|
Required
(up to at least 200 µm diameter).
Nepieciešama
(līdz 200 µm diametrā)
|
|
|
|
|
|
|
4.
|
Data
Acquisition
|
|
|
|
4.1.
|
Spectral
range
|
Spektrālais
diapazons
|
Not
shorter than from 220 nm to 1600 nm.
Ne
mazāks kā 220 nm to 1600 nm.
|
|
4.2.
|
Measurement
time for complete spectrum
|
Pilna
spektra mērīšanas laiks
|
Not
worse than 1 second for all measurement types (see below).
Ne
sliktāks kā 1 sekundes visiem mērījumu veidiem (sk. zemāk).
|
|
4.3.
|
Detection
system
|
Detekcijas
sistēma
|
One
system for whole spectral range.
Vienota
(viena) visam spektrālajam diapazonam.
|
|
4.4.
|
Number
of wavelength points
|
Viļņa
garumu skaits
|
At
least 1000 wavelengths in whole
spectral range.
Vismaz
1000 viļņa garuma punkti visa spektrālajā diapazonā.
|
|
4.5.
|
Resolution
(UV to 1000 nm)
|
Izšķiršana
(UV līdz 1000 nm)
|
Not
worse than 1.0 nm/pixel.
Ne
sliktāka kā 1.0 nm uz pikseli.
|
|
4.6.
|
Resolution
(in range 1000 nm and 1600 nm)
|
Izšķiršana
(diapazonā 1000 nm līdz 1600 nm)
|
Not
worse than 2.5 nm/pixel.
Ne
sliktāka kā 2.5 nm uz pikseli.
|
|
|
|
|
|
|
5.
|
Measurement
Types
|
Mērījumu
veidi (režīmi)
|
|
|
5.1.
|
Psi/Delta
|
Psi/Delta
|
Included
Iekļauts
|
|
5.2.
|
Generalized
SE
|
Vispārīga
SE
|
Complete
2x2 Jones matrix for anisotropic samples.
Pilnībā
2x2 Jones matrica anizotropisku paraugu gadījumā.
|
|
5.3.
|
Mueller
Matrix SE
|
Mueller
matricas SE
|
All
16 elements of the 4x4 Mueller matrix. Visi 16 Muellera matricas
elementi.
|
|
5.4.
|
Depolarization
|
Depolarizācijas
|
Included.
Iekļauts.
|
|
5.5.
|
Intensity
|
Intensitātes
|
Reflectance
and transmittance including anisotropic terms.
Atstarojums
un caurlaidība ieskaitot anizotropiju.
|
|
|
|
|
|
|
6.
|
Control
PC and Software
|
Vadības
dators un programmu nodrošinājums
|
|
|
6.1.
|
PC
workstation including monitor and printer
|
Personālais
dators ar monitoru un drukas ierīci
|
Included.
Iekļauts.
|
|
6.2.
|
Software
for system control, acquisition control and data acquisition and
manipulation
|
Iekārtas
vadības, datu iegūšanas un apstrādes programmatūra
|
Included
(at least 5 licenses).
Iekļauta
(vismaz 5 licences).
|
|
|
|
|
|
|
7.
|
Installation,
training, warranty
|
Instalācija,
apmācība, garantija
|
|
|
7.1.
|
Delivery
and insurance
|
Piegāde
un apdrošināšana
|
Included.
Iekļauts.
|
|
7.2.
|
Installation
|
Uzstādīšana
pie pasūtītāja
|
Delivery
and installation should be done in 3 months after the entering
into the contract.
Piegādei
un uzstādīšanai jānotiek 3 mēnešu laikā pēc līguma
noslēgšanas.
|
|
7.3.
|
On-site
basic training
|
Pamata
apmācība pie pasūtītāja
|
Included
Iekļauts
|
|
7.4.
|
Warranty
|
Garantija
|
≥ 2
gadi (years)
|
|
|
|
|
|
|
|
ADDITIONAL
OPTION 1
|
PAPILDUS
OPCIJA 1
|
|
|
8.
|
Sample
temperature control unit
|
Parauga
temperatūras kontroles ierīce
|
|
|
8.1.
|
Type
|
Tips
|
Sealed
cooling/heating chamber.
Noslēgta
dzesēšanas/sildīšanas kamera.
|
|
8.2.
|
Temperature
range
|
Temperatūras
diapazons
|
-70°C
to +600°C
|
|
8.3.
|
Sample
size
|
Parauga
izmērs
|
Up
to 22 mm in diameter and up to 5 mm thick.
Līdz 22 mm
diametrā un 5 mm biezumā.
|
|
8.4.
|
Chamber
windows
|
Kameras
logi
|
Fused
silica. Kvarca stikla.
|
|
8.5.
|
Gas
purge
|
Gāzu
caurplūde
|
Required
inlets and outlets for gas purge.
Nepieciešamas
ieplūdes un izplūdes atveres gāzu caurplūdei.
|
|
8.6.
|
Cooling
|
Dzesēšana
|
Izmantojot
šķidro slāpekli (tai sk. djuārs un sūknis).
With
Liquide Nitrogen (including dewar and pump).
Izmantojot
šķidro slāpekli (tai sk. djuārs un sūknis).
|
|
8.7.
|
Temperature
measurement
|
Temperatūras
mērīšana
|
By
thermocouple.
Izmantojot
termopāru.
|
|
8.8.
|
Temperature
control
|
Temperatūras
vadība
|
Integrated
with ellipsometer control program. Integrēta ar elipsometra
kontroles programmu.
|
|
8.9.
|
Temperature
programming
|
Temperatūras
programmēšana
|
Possibility
program temperature ramping recipes.
Iespēja
programmēt temperatūras izmaiņas receptes.
|
|
AIZPILDA
PRETENDENTS