（2）乙方为甲方提供微加工相关的一系列仪器和装置，如：反应离子刻蚀机（简称PLASMA）、涂胶系统、热板及显影系统、表面形貌仪（简称DEKTAK）等，还包括各 种光刻胶，显影液，酸碱液，和多种特殊气体等。
项目名称： 电子束微纳结构加工
委托方（甲方） ：中国科学院高能物理研究所
受托方（乙方） ：中国科学院物理研究所（微加工实验室）
签订时间：2014年3月25日
签订地点：北京
有效期限：2014年4月1日至2014年9月30日
本合同甲方委托乙方就基于电子束的微纳米结构微加工服务项目进行专项技术服务，并支付相应的技术服务报酬。双方经过平等协商，在真实、充分地表达各自意愿的基础上，根据《中华人民共和国合同法》的规定，达成如下协议，并由双方共同恪守。
第一条 甲方委托乙方进行技术服务的内容如下：
乙方利用其单位的电子束光刻系统、涂胶机等设备，以及光刻胶和显影液等材料，在甲方提供的硅片等衬底表面制备出符合甲方要求的光刻胶图形。甲方的技术要求为：光刻胶图形以甲方每次发送的具体图形数据为准；光刻胶厚度根据具体需要在0.4-0.8微米之间。
第二条 乙方应按下列要求完成技术服务工作：
1．技术服务地点： 北京 ；
2．技术服务期限： 2014年4月1日至2014年9月30日；
3．技术服务质量要求： 乙方承诺在服务期间保证根据甲方提出的具体要求完成技术服务 ；
第三条 乙方应当向甲方提供下列工作条件和协作事项：
（1）乙方所使用的电子束曝光设备分辨率优于20纳米、对准和拼接精度可达20纳米 ；
（2）乙方为甲方提供微加工相关的一系列仪器和装置，如：反应离子刻蚀机（简称PLASMA）、涂胶系统、热板及显影系统、表面形貌仪（简称DEKTAK）等，还包括各种光刻胶，显影液，酸碱液，和多种特殊气体等。
第四条 甲方向乙方支付技术服务报酬及支付方式为：
1．技术服务费总额为： 5万元 ；电子束光刻的机时费用为1000元/小时，项目中设备机时及工艺材料和人员等费用包含在单价中。项目完成时将根据具体使用的机时进行核算，不足部分将另行支付，剩余部分乙方将返还给甲方。
2．技术服务费由甲方 一次 支付乙方。
具体支付方式和时间：
合同签订生效之日起20日内,支付5万元 ；
第五条 双方确定因履行本合同应遵守的保密义务如下：
甲方：
1.保密内容（包括技术信息和经营信息）: 双方约定 。
2．涉密人员范围: 完成该项目的相关人员 。
3．保密期限： 合同签订之日起两年 。
4．泄密责任： 承担相应的经济损失及责任 。
乙方：
1.保密内容（包括技术信息和经营信息）: 甲方技术要求，技术数据和提供的技术文件 。
2．涉密人员范围: 完成该项目的相关人员。
3．保密期限： 合同签订之日起两年 。
4．泄密责任： 承担相应的经济损失及责任 。
第六条 本合同的变更必须由双方协商一致，并以书面形式确定。
第七条 双方确定，按以下约定承担各自的违约责任：
1． 甲 方违反本合同第 四 条约定，应当 支付违约金，支付标准为每延期付款一周，支付违约金2%，超过两个月，支付违约金总金额20% （支付违约金或损失赔偿额的计算方法）。
2． 乙 方违反本合同第 二、三、五 条约定，应当 支付违约金，金额为合同总金额的50% （支付违约金或损失赔偿额的计算方法）。
第八条 双方确定，出现下列情形，致使本合同的履行成为不必要或不可能的，可以解除本合同：
1．发生不可抗力；
第九条 双方因履行本合同而发生的争议，应协商、调解解决。
协商、调解不成的，确定按以下第 1 种方式处理：
1．提交 北京仲裁委员会仲裁；
2．依法向人民法院起诉。
第十条 本合同一式 4 份，具有同等法律效力。
第十一条 本合同经双方签字盖章后生效。
以下无正文。
委托人（甲方） |
名称（或姓名） |
中国科学院高能物理研究所 （签章） |
技术合同专用章 或 单位公章
2014年3月 31日 |
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委托代理人 |
xxx （签章） |
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联系（经办人） |
xxx （签章） |
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住所 （通讯地址） |
xxxxx00x乙 |
邮政编码 |
100049 |
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电话 |
00000000 |
传真 |
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开户银行 |
|
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帐号 |
|
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受托人（乙方） |
名称（或姓名） |
中国科学院物理研究所 (微加工实验室) （签章） |
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委托代理人 |
xxx （签章） |
||||
联系（经办人） |
xxx （签章） |
||||
住所 （通讯地址） |
xxxxxxxxxx |
邮政编码 |
100190 |
||
电话 |
00000000 |
传真 |
82648198 |
||
开户银行 |
中国农业银行北京科院南路支行 |
||||
帐号 |
11250101040005699 |
||||