项目编号：0773-2341GNSHHWCS3090
项目编号：0773-2341GNSHHWCS3090
政府采购编号：0023-W00040922
上海大学多功能衬底表面化学机械抛光设备项目
竞争性磋商文件
采 购 人：上海大学
采购代理机构：中金招标有限责任公司时 间：2023 年 10 月
目 录
根据《中华人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国政府采购法实施条例》、《政府采购竞争性磋商采购方式管理暂行办法》等规定，中金招标有限责任公司（以下简称“采购代理”）受上海大学的委托，现就下列项目进行竞争性磋商采购，欢迎提供本国货物、服务的生产制造厂商或其合格代理商参加：
1、项目基本情况
（1）项目名称：上海大学多功能衬底表面化学机械抛光设备项目
（2）项目编号：0773-2341GNSHHWCS3090
（3）政府采购编号：0023-W00040922
（4）简要规格描述或项目基本情况介绍、用途：采购内容：多功能衬底表面化学机械抛光设备；数量：1 套；
项目概况：
1.1 设备类型：全新 8 英寸（兼容 6 和 4 英寸）衬底半自动化学机械抛光机
1.2 主要用途：主要用于氧化层或金属层的平坦化合同履约期限（交货期）：合同签订后 7 个月。 合同履约地点（交货地点）：上海大学指定地点；具体设备组成及参数详见本文件第六章。
（5）预算及投标限价：
预算金额：人民币 370.00 万元
投标限价：人民币 370.00 万元，不得超过投标限价，超过投标限价按废标处理。
备注：①本项目不允许采购进口设备。【根据财政部《政府采购进口产品管理办法》（财库 [2007]119 号）规定：进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品】。
②不允许采购《上海市政府集中采购目录及标准（2021 年版）》内涉及的项目。
2、合格的供应商应具备的资格条件：
（1）供应商须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： 1）具有独立承担民事责任的能力；
2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
6）法律、行政法规规定的其他条件。
（2）落实政府采购政策需满足的资格要求：本次招标执行政府强制采购节能产品、鼓励环保
产品、支持中小微企业、促进残疾人就业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区以及限制采购进口产品等相关政策。
根据政府采购法，政府采购应当有助于实现国家的经济和社会发展政策目标，包括保护环境，扶持不发达地区和少数民族地区，促进中小企业发展等。
如果有国家或者上海市规定政府采购应当强制采购或优先采购的其他产品和服务，按照其规定实行强制采购或优先采购。
中小企业按照《政府采购促进中小企业发展管理办法》享受中小企业扶持政策，对预留份额项目专门面向中小企业采购，对非预留份额采购项目按照规定享受价格扣除优惠政策。中小企业应提供《中小企业声明函》。享受扶持政策获得政府采购合同的，小微企业不得将合同分包给大中型企业，中型企业不得将合同分包给大型企业。
在政府采购活动中，监狱企业和残疾人福利性单位视同小微企业，监狱企业应当提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件，残疾人福利性单位应当提供《残疾人福利性单位声明函》。
（3）本项目的特定资格要求：
1）供应商在近三年内未被国家财政部指定的“信用中国”网站（xxx.xxxxxxxxxxx.xxx.xx）、 “中国政府采购网”（xxx.xxxx.xxx.xx）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信名单；
2）本项目非专门面向中、小、微型企业采购；
3）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同单位，不得参加同一包件的竞争或者未划分包件的同一采购项目的竞争。
4）本项目不接受联合体投标。
3、获取采购文件
（1）获取采购文件时间：自 2023-10-08 至 2023-10-13 每日上午 00:00:00-12:00:00，下午 12:00:00-23:59:59（节假日除外）；
（2）获取采购文件地点：上海市政府采购云平台（xxx.xxxx.xx.xxx.xx）
（3）获取采购文件方式：网上获取（网上报名成功后，务必将供应商名称、项目名称、加盖公章的营业执照复印件、加盖公章的法定代表人证明文件或法定代表人授权委托书（含被授权人代表身份证）发送邮件至 xxxxxxx@000.xxx）
（4）采购文件售价：本项目采用电子化采购方式，采购人、采购代理机构向供应商免费提供电子采购文件，磋商文件请至公告附件处下载。不免费提供纸质文件。
（5）获取采购文件其他说明：供应商需在网上招标系统中上报名。同时将营业执照复印件（加盖公章）、法定代表人证明文件或法定代表人授权委托书发至 xxxxxxx@000.xxx 邮箱，邮件中明确投标项目名称、项目编号及公司名称等基本信息。
响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致，如递交虚假的
响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
4、磋商响应截止时间及响应文件开启时间
（1）磋商响应截止时间：2023 年 10 月 19 日 13:30（北京时间）
（ 2 ）磋商响应文件递交地点： 电子版（ 已盖章已签字） 上传至上海市政府采购云平台
（xxx.xxxx.xx.xxx.xx）（纸质版文件递交至xxxxxxxxx 000 xxxxxxx 000 x）
（3）响应文件开启时间：2023 年 10 月 19 日 13:30（北京时间）
（4）磋商地点：xxxxxxxxx 000 xxxxxxx 000 x
（5）磋商所需携带其他材料：
①纸质版响应文件壹正肆副（需按要求密封）；
②磋商保证金底单及退款账户信息；
③数字证书（CA 证书）、笔记本电脑（能登陆上海政府采购云平台并完成线上操作）、响应文件（需保证与网上上传文件一致）、黑色水笔；
④与响应文件一致的法定代表人委托书（法定代表人证明书）以及相应身份证原件，以供采购人确认谈判资格。否则，将被视为自动放弃投标。
注：逾期送达或未密封的响应文件恕不接受。
5、公告期：自本公告发布之日起 3 个工作日。
6、磋商保证金专用账户：
户 名：中金招标有限责任公司上海分公司开户行：中国建设银行上海斜桥支行
账 号：31001514800050010790
7、本项目公告发布媒介：上海市政府采购云平台（xxx.xxxx.xx.xxx.xx）、上海大学采购与招标管理办公室（xxx.xxx.xxx.xx）
8、联系方式：
（1）采购人名称：上海大学
详细地址：xxxxxxxxx 00 x邮编：200444
校方联系人：xxx
联系电话：000-00000000
技术联系人：xx
联系电话：00000000000
（2）采购代理机构：中金招标有限责任公司
详细地址：xxxxxxxxx 000 xxxxxxx 000 x邮编：200086
联系人：xxx、xxx
联系电话：000-00000000-000传 真：00-00-00000000
序号 | 名称 | 内容 |
1 | 项目内容 | （1）项目名称：上海大学多功能衬底表面化学机械抛光设备项目 （2）项目编号：0773-2341GNSHHWCS3090 （3）政府采购编号：0023-W00040922 （4）简要规格描述或项目基本情况介绍、用途：采购内容：多功能衬底表面化学机械抛光设备；数量：1 套； 项目概况： 1.1 设备类型：全新 8 英寸（兼容 6 和 4 英寸）衬底半自动化学机械抛光机 1.2 主要用途：主要用于氧化层或金属层的平坦化合同履约期限（交货期）：合同签订后 7 个月。 合同履约地点（交货地点）：上海大学指定地点；具体设备组成及参数详见本文件第六章。 （5）预算及投标限价： 预算金额：人民币 370.00 万元 投标限价：人民币 370.00 万元，不得超过投标限价，超过投标限价按废标处理。 |
2 | 采购人 | 采购人名称：上海大学 详细地址：xxxxxxxxx 00 x邮编：200444 校方联系人：xxx 联系电话：000-00000000 技术联系人：xx 联系电话：00000000000 |
3 | 采购代理机构 | 采购代理机构名称：中金招标有限责任公司 详细地址：xxxxxxxxx 000 xxxxxxx 000 x联系人：xxx、xxx 联系电话：000-00000000-000传真：00-00-00000000 |
4 | 纸质版响应文件 份数 | 正本的份数：1 份 副本的份数：4 份 |
5 | 装订、密封要求 | 装订要求：响应文件采用不可拆分装订,不允许用可换页的活页装订(活页装订（是指用卡条、抽杆夹、订书机等形式装订，使标书可以拆卸或者在翻动过程中易脱落的一种装订方式）的响应文件将作无效标处理)内容较多时可分册装订。 密封要求：响应文件递交时必须密封包装 详见下列“供应商须知” |
6 | 磋商通知 | 磋商时需携带的资料： 1.纸质版响应文件壹正肆副（需按要求密封） 2.磋商保证金底单及退款账户信息 3. 政府采购专用 CA 认证证书、笔记本电脑（能登陆上海政府采购云平台并完成线上操作）、响应文件（需保证与网上上传文件一致）、黑色水笔 4.与响应文件一致的法定代表人委托书（法定代表人证明书）以及相应身份证原件，以供采购人确认谈判资格。否则，将被视为自动放弃投标。 其他： 提交响应文件时间截止后，所有通过资格审查和符合性审查的供应商均参加磋商。请各提交响应文件的供应商法定代表人或其授权代表于前文规定的磋商时间在磋商地点出席磋商会议。 参加磋商的供应商，在磋商结束后还有一次最后报价的机会。最后的磋商报价是履行合同的最终价格，除《磋商文件》中另有说明外，最后的磋商报价应包括响应供应商为完成采购项目而提供服务的一切费用，包括响应供应商 的各种成本、费用、利润和税金等。 |
7 | 响应文件上传 | 1、供应商须在响应截止时间前将签字、盖章后的响应文件扫描上传至上海市政府采购云平台（xxx.xxxx.xx.xxx.xx）。 2、本项目招投标相关活动在上海市政府采购云平台（xxx.xxxx.xx.xxx.xx） （简称：电子采购平台）电子招投标系统进行。电子采购平台是由市财政局建设和维护。供应商应根据《上海市电子政府采购管理暂行办法》等有关规定和要求执行。供应商在电子采购平台的有关操作方法可以参照电子采购平 台中的“操作须知”专栏的有关内容和操作要求办理。 |
8 | 响应文件递交截止时间和地址 | 响应文件递交截止时间：2023 年 10 月 19 日 13:30（北京时间） 响应文件递交地点：电子版（已盖章已签字）上传至上海市政府采购云平台 |
（xxx.xxxx.xx.xxx.xx）（纸质版文件递交至xxxxxxxxx 000 xx xxxxx 000 x） 解密时间：同响应文件提交截止时间 解密地点网址：上海市政府采购云平台（xxx.xxxx.xx.xxx.xx) | ||
9 | 磋商时间、地点 | 磋商开始时间：2023 年 10 月 19 日 13:30（北京时间） 磋商地点：xxxxxxxxx 000 xxxxxxx 000 x |
10 | 磋商有效期 | 90 个日历日 |
11 | 磋商保证金 | 1.保证金金额：人民币叁万伍仟元整 2.递交时间：投标截止时间前； 3.递交形式：电汇、转帐。供应商提交的磋商保证金应当从其基本账户转出，并在磋商保证金递交截止时间前到达下列账户： 标书费、磋商保证金、中标服务费专用账户（人民币）：户名：中金招标有限责任公司上海分公司 开户行：中国建设银行上海斜桥支行账号：31001514800050010790 4.供应商缴纳保证金时应备注所投项目名称及编号（可简写）。 |
12 | 招标服务费 | 成交供应商在与采购人签订合同后 5 个工作日内，需向采购代理支付成交服务费。本项目按成交金额作为收费的计算基数。 收费标准按国家计委招标代理服务费暂行标准[2002]1980 号文收费标准为基 础，再打 6.3 折（63%）计取。不足贰仟xx元按贰仟xx元收取。 |
13 | 项目类型 | 货物类 |
14 | 疑问 | 如供应商认为磋商文件、招标过程或中标结果使自己的合法权益受到损害的，应在有关法律、法规、部门规章及规范性文件所规定的质疑期限内，以符合要求的书面形式向投标邀请书中注明的采购人或采购代理机构一次性提出针对同一采购程序环节的全部质疑，否则将不予受理。 供应商将扫描件发送至 xxxxxxx@000.xxx，原件寄往xxxxxxxxx 000 xxxxxxx 000 x，如逾期未提出疑问的视无疑问处理。 |
15 | 其他 | 中标后须向甲方提供增值税专用发票和其抵扣联。 |
16 | 是否接受联合体 投标 | |
17 | 资金落实情况 | 已落实 |
18 | 非单一产品采购项目的核心产品 | / |
19 | 小微企业价格扣除百分比 | 10% |
20 | 解释权 | 本磋商文件的解释权属于中金招标有限责任公司 |
21 | 统一踏勘 | 本项目不组织统一踏勘 |
供应商须知
一、总则
1、资金来源和磋商费用
1.1 采购人已经获得足以支付本次磋商后所签订的合同项下的款项。
1.2 采购人委托采购代理办理此次采购项下有关商务事宜。
1.3 无论磋商的结果如何，供应商应自行承担所有与磋商有关的费用。
2、合格的供应商应具备的资格条件
（1）供应商须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： 1）具有独立承担民事责任的能力；
2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
6）法律、行政法规规定的其他条件。
（2）落实政府采购政策需满足的资格要求：
本次招标执行政府强制采购节能产品、鼓励环保产品、支持中小微企业、促进残疾人就业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区以及限制采购进口产品等相关政策。
根据政府采购法，政府采购应当有助于实现国家的经济和社会发展政策目标，包括保护环境，扶持不发达地区和少数民族地区，促进中小企业发展等。
如果有国家或者上海市规定政府采购应当强制采购或优先采购的其他产品和服务，按照其规定实行强制采购或优先采购。
中小企业按照《政府采购促进中小企业发展管理办法》享受中小企业扶持政策，对预留份额项目专门面向中小企业采购，对非预留份额采购项目按照规定享受价格扣除优惠政策。中小企业应提供《中小企业声明函》。享受扶持政策获得政府采购合同的，小微企业不得将合同分包给大中型企业，中型企业不得将合同分包给大型企业。
在政府采购活动中，监狱企业和残疾人福利性单位视同小微企业，监狱企业应当提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件，残疾人福利性单位应当提供《残疾人福利性单位声明函》。
（3）本项目的特定资格要求：
1）供应商在近三年内未被国家财政部指定的“信用中国”网站（xxx.xxxxxxxxxxx.xxx.xx）、“中国政府采购网”（xxx.xxxx.xxx.xx）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信名单；
2）本项目非专门面向中、小、微型企业采购；
3）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同单位，不得参加同一包件的竞争或者未划分包件的同一采购项目的竞争。
4）本项目不接受联合体投标。
3、磋商文件的澄清
3.1 任何要求对磋商文件进行澄清的供应商，均应按竞争性磋商公告中的通讯地址在响应文件递交截止日期前 5 日以书面形式如电报、传真等通知采购代理，采购代理对收到的任何澄清要求将以书面形式予以答复，同时将书面答复发送给每个购买磋商文件的潜在供应商，答复中包括所提问题，但不包括问题的来源。
4、磋商文件的修改
4.1 在响应文件递交截止期前，采购人可主动地或在解答潜在供应商提出的澄清问题时对磋商文件进行修改。为使潜在供应商编写响应文件时有充分时间对磋商文件的修改部分进行研究，采购人应酌情决定延长磋商截止日期。
4.2 磋商文件的修改将以书面形式通知所有购买磋商文件的潜在供应商，并对其具有约束力。所有收到通知的潜在供应商应立即以邮件、传真等形式确认已收到修改文件。二、响应文件的编制
5、磋商语言
5.1 供应商提交的响应文件以及供应商与采购人就有关磋商的所有来往函电均应使用中文书写。
6、响应文件构成
6.1 供应商编写的响应文件应包括以下部分：
6.2 报价函格式
6.3 磋商报价一览表
6.4 技术条款偏离表
6.5 商务条款偏离表
6.6 供应商资格证明
6.6.1 法定代表人资格证明书
6.6.2 法定代表人授权委托书
6.6.3 供应商资格证明文件
6.6.4 供应商的资格声明
6.6.5 磋商保证金交纳证明
6.6.6 供应商保证金退还账户信息
6.6.7 项目实施方案
6.6.8 项目实施保障
6.6.9 针对本项目的服务团队
6.6.10 服务方案
6.6.11 类似成功案例证明
6.6.12 供应商认为有必要提供的证明
7、磋商报价
7.1 供应商均以人民币报价，对每种货物或服务只允许有一个报价，采购代理机构和采购人不接受有任何选择的报价，同时不接受有条件的优惠报价。
7.2 供应商最后的最终报价包括可能发生的所有与完成本项目有关的一切费用。该报价必须包括供应商提供相关服务所包括的所有人力、物力、财力、成本、操作成本、管理费用、增值税和其他全部税费），如一旦中标，在服务过程中出现任何遗漏，均由中标人免费提供，采购人不再支付任何费用。并由法定代表人或其授权代表签署。
7.3 在磋商过程中允许供应商进行二次报价，其最终报价将作为磋商小组评审的依据。
8、报价货币
8.1 所有报价按规定以人民币报价。供应商的报价应遵守“中华人民共和国价格法”。
9、磋商保证金
9.1 供应商应按照须知前附表要求提交磋商保证金。保证金的有效期与磋商有效期一致。
9.2 磋商保证金以电汇、转账形式交纳，应在递交响应文件同时出具汇款底单复印件。
9.3 在磋商时，凡是没有交纳磋商保证金的，将视为非响应性磋商，响应文件予以拒绝。
9.4 未成交的供应商的保证金，将在成交通知书发出后 5 个工作日内予以退还。
9.5 成交供应商的保证金，在采购合同签订后 5 个工作日内予以退还。
9.6 下列任何情况发生时，磋商保证金将不予退还：
(1)供应商在投标函中规定的有效期内撤销或修改其响应文件的；
(2)成交人在收到成交通知书后，无正当理由不与采购人订立合同，在签订合同时向采购人提出附加条件，或者不按照磋商文件要求提交履约保证金的；
(3)被证实在本项目磋商中有围标、串标，损害采购人利益行为；
(4)成交人未能按磋商要求履行承诺的或拒绝完成磋商文件规定的其它约定； (5)具有欺诈、弄虚作假的行为；
(6)其他违背或不符合招标投标法及有关法律法规相关规定的行为。
10、磋商报价有效期
10.1 磋商报价有效期不满足磋商文件要求的，将视为非响应且予以拒绝。磋商报价有效期从响应文件递交截止之日起至少向后延续 90 个日历日。
10.2 在原磋商报价有效期满之前，采购人可要求延长磋商报价有效期。这种要求与供应商的答复均应为书面形式进行。供应商可以拒绝采购人的这种要求而退还保证金。同意延长磋商报价有效期的供应商要相应延长其保证金的有效期。
11、响应文件的式样和签署
11.1 供应商应按本磋商文件规定的格式和顺序编制、装订响应文件并标注页码，响应文件内容不完整、编排混乱导致响应文件被误读、漏读或者查找不到相关内容的，是供应商的责任。
11.2 供应商应按响应文件正本、副本规定的份数分别编制并按 A4 纸规格分别单独装订成册，响应文件的封面应注明“正本”、“副本”字样，不可采用活页装订（活页装订是指用卡条、抽杆夹、订书机等形式装订，使标书可以拆卸或者在翻动过程中易脱落的一种装订方式）的响应文件将作无效标处理。
11.3 响应文件的正本需打印或用不褪色的墨水填写，副本为正本的复印件。本次招标提倡双面打印或书写。纸质版与线上电子版不符的，以线上电子版为准。
11.4 响应文件须由供应商在规定位置盖章并由法定代表人或法定代表人的授权委托人签署，供应商应写全称。
11.5 响应文件不得涂改，若有修改错漏处，须加盖供应商公章或者法定代表人或授权委托人签名或盖章。响应文件因字迹潦草或表达不清所引起的后果由供应商负责。
11.6 响应文件封装后，外包装封面上应注明供应商名称、供应商地址、响应文件、项目名称、项目编号、包件名/包件号（如有）及“开标时启封”字样，并加盖供应商公章。
三、响应文件的递交
12、响应文件的密封和标记
12.1 响应文件应密封，外包装封面上应注明供应商名称、供应商地址、响应文件、项目名称、项目编号、包件名/包件号（如有）及“开标时启封”字样，并加盖供应商公章。
12.2 响应文件正本及副本采用不可拆分装订，不可采用活页装订（活页装订是指用卡条、抽杆夹、订书机等形式装订，使标书可以拆卸或者在翻动过程中易脱落的一种装订方式）的响应文件将作无效标处理。
12.3 供应商递交响应文件时，如出现下列情况之一的，响应文件将被拒收：
12.3.1 仅以非纸制文本形式的响应文件；
12.3.2 未成功办理供应商报名手续的；
12.3.3 超过响应截止时间送达的逾期送达或未密封的。
13、响应文件递交
13.1 递交截止时间详见供应商须知前附表；
13.2 递交地点详见供应商须知前附表；
13.3 除供应商须知前附表另有规定外，供应商所递交的响应文件不予退还。
13.4 采购人可以按有关规定推迟磋商响应截止时间。在此情况下，采购人、采购代理机构和供应商受磋商响应截止时间制约的所有权利和义务均应延长至新的截止时间。
14、迟交的响应文件
采购人或采购代理机构将拒绝并原封退回磋商截止时间后递交的任何响应文件。
15、响应文件的撤回
15.1 供应商在递交响应文件后，可以修改或撤回其投标，但供应商必须在规定的响应文件递交截止期之前将修改或撤回的书面通知递交到采购人或采购代理机构。
15.2 供应商的修改或撤回通知应按照本章规定编制、签署、密封、标记和递交。
15.3 在响应文件递交截止时间之后，供应商不得对其投标做任何修改和补充。
15.4 从响应文件递交截止时间至供应商在响应文件中确定的磋商有效期期满的这段时间内，供应商不得撤销其投标，否则其磋商保证金将按照本章的规定不予退还。
四、响应文件的评审
16、磋商
16.2 按照规定，提交了可接受的“撤回”通知的响应文件将不予开封。
17、磋商过程的保密性
17.1 凡与审查、澄清、评价和比较磋商的有关资料等，均不得向供应商及无关的其他人员透露。
17.2 在谈判过程中，如果供应商试图在响应文件审查、澄清、比较及授予合同方面向采购人施加任何违法违规的影响，采购人有权取消其谈判资格。
17.3 参与竞争性磋商活动的各方应对磋商文件和响应文件中的商业和技术等秘密保密，违者应对由此造成的后果承担法律责任。
18、响应文件的澄清
18.1 为有助于对响应文件的审查、评价和比较，磋商小组可分别在谈判中要求供应商对其响应文件进行澄清，有关澄清的要求和答复应以书面形式记录在案，并由供应商授权代表当面签字确认。
18.2 对磋商小组提出的澄清要求，供应商未能给予回复或拒绝签字确认的相关澄清内容将被评审为 “不合格”，其后果由供应商承担。
19、磋商程序
19.1 采购人或采购代理机构对响应文件进行资格性及符合性审查确定供应商的响应文件是否为实质上响应了磋商文件。若供应商提供的响应文件不能实质上响应磋商文件要求的，该响应文件将不予进行进一步评审。如发现下列情况之一的，其磋商应答属于不具备磋商资格或非实质响应磋商文件要求，将予以拒绝：
1、资格性审查
资格中有下列情形之一的，视为资格审查不通过，不得进入下一步评审：
（1）不满足“合格的供应商应具备的资格条件”的； 2、符合性评审
（1）磋商保证金不符合磋商文件规定；
（2）磋商有效期不足的；
（3）响应文件未按磋商文件规定盖章及签字；
（4）响应文件中有两个及两个以上报价；
（5）投标报价与市场偏离较大，低于成本，形成不正当竞争的；
（6）响应文件附有采购人不能接受的条件；
（7）不符合磋商文件中规定的其他实质性要求
19.2 磋商开始后，磋商小组将首先根据签到的先后顺序分别与供应商进行磋商并修正可能出现的磋商内容偏差。
19.3 在磋商过程中，允许供应商进行二次报价，二次报价须在供应商与磋商小组进行谈判环节结束后 15 分钟内完成，其最终报价将作为磋商小组评审的依据。如供应商未在规定时间内完成二次报价，则视为放弃二次报价的机会，放弃投标。
19.4 提交最后报价的供应商不得少于 3 家,政府购买服务项目（含政府和社会资本合作项目）、市场竞争不充分的科研项目以及需要扶持的科技成果转化项目，提交最后报价的供应商可以为 2 家。
19.5 磋商小组将根据响应文件中的内容和经供应商授权代表在磋商中确认的结果，对供应商进行详细评审。
五、授予合同
20、合同授予标准
采购人将把合同授予经评审小组审核合格，根据供应商的综合得分由高至低排序，向采购人推荐综合得分排名前三的为成交候选人，最终确定综合得分排名第一的为成交供应商。
21、资格审查
21.1 采购人将对供应商是否有能力履行合同义务进行审查的权利。
21.2 审查将根据供应商提交的响应文件中的资格证明文件和采购人认为其它必要的、合适的资料，对供应商的财务、技术和生产能力等进行审查。
21.3 如果审查通过，则该供应商可以进入详细评审阶段；如果审查没有通过，则不得进入详细评审阶段。
22、采购人授予合同时更改采购项目内容数量的权利
22.1 采购人在授予合同时有权对标的物数量和服务予以增加和减少。
23 成交通知书
23.1“成交通知书”将由采购代理机构在采购人确认磋商结果后发给成交供应商。
23.2 在磋商有效期期满之前，接到书面通知的成交供应商应按照通知要求按时到指定地点与采购人签订合同。
23.3 未能成交的供应商将在磋商有效期结束前得到采购方的通知，并按照磋商文件的规定办理退还保证金的事宜。
23.4 成交供应商在领取成交通知书之前应向采购代理机构支付足额代理服务费。
24、签订合同
24.1 采购代理在发“成交通知书”的同时，将通知成交供应商预定签订合同的时间、地点。签订合同应在“成交通知书”发出后 30 天内完成。
24.2 如果成交供应商没有按照要求与采购人签约，采购人将有充分理由取消该成交决定，并不退还其保证金。在此情况下采购人可将合同授予下一个次高评分的供应商以此类推，或重新组织竞争性磋 商 。
第三章 响应文件格式
项目编号：0773-2341GNSHHWCS3090
政府采购编号：0023-W00040922
上海大学多功能衬底表面化学机械抛光设备项目
响应文件
包件名称及包件号：（如有请填写）
供应商名称： （公章）
法定代表人或授权委托代理人签字： 时 间： 年 月 日
供应商（全称并加盖公章）： 法定代表人或授权代表签字： 日期： 年 月 日
供应商名称： 项目编号：
评分项目 | 响应文件页码 |
对应第五章评分办法及评分标准 | |
…… | |
附件1．投标函格式
致：上海大学、中金招标有限责任公司
根据贵方为(项目名称)项目的竞争性磋商邀请(项目编号),签字代表(姓名、职务)经正式授权并代表供应商（供应商名称、地址）提交下述文件正本一份及副本 份：
1．磋商报价一览表
2．磋商分项报价表
3．偏离表
4．资格证明文件
5．遵守国家有关法律、法规和规章，按竞争性磋商文件中供应商须知和技术规格要求提供的有关文件。
6．以 形式出具的磋商保证金，金额为人民币 元。
据此，签字代表宣布同意如下：
（1）附磋商报价表中规定的应提交和交付的项目总价为人民币
（用文字和数字表示的总价）。
（2）我方将按竞争性磋商文件的规定履行合同责任和义务。
（3）我方已详细审查全部磋商文件，包括第 号（项目编号、补充通知）
（如有）。我们完全理解并同意放弃对这方面有不明及误解的权力。
（4）本此磋商有效期为自磋商开始之日起 90 个日历日。
（5）在规定的磋商开始时间后，我方保证遵守磋商文件中有关保证金的规定。
（6）我方同意提供按照贵方可能要求的与本次磋商有关的一切数据或资料，完全理解贵方不一定接受最低价的磋商应答或收到的任何磋商应答。
7．与本次磋商有关的一切正式往来信函请寄：
地址 传真
电话 电子函件
供应商授权代表签字
供应商名称（全称）
供应商开户银行（全称）
供应商银行帐号：
供应商公章： 日 期：
附件2．磋商报价一览表
项目编号： 项目名称：
质保期 | 合同履约期限 （交货期） | 合同履约地点 （交货地点） | 磋商保证金 | 备注 | 最终报价( 总 价、元) |
注：
1、投标报价保留两位小数，单位均为“元”。
供应商（全称并加盖公章）： 法定代表人或授权代表签字： 日 期：
附件3. 磋商分项报价表
项目编号： 项目名称：
序号 | 产品名称 | 品牌 | 型号及规格 | 单位 | 数量 | 单价 | 总价 | 备注 |
小计（人民币元） | ||||||||
人工费 | ||||||||
培训费 | ||||||||
安装、调试费 | ||||||||
第三方检测费 | ||||||||
税金 | ||||||||
其他（如有请详细列明） | ||||||||
合计总价： | ||||||||
注：1.供应商应自行编制提供投标报价明细，报价精确到小数点后两位如有未列明的请详细在表中列出。一旦成交，在服务过程中出现任何遗漏，均由成交供应商免费提供，上海大学不再支付任何费用。
2. ①本表应对应“磋商报价一览表”。供应商如果不提供分项报价明细表，其投标无效。②不得填写“免费”或“赠与”，也不得进行“零”报价，否则投标无效。③若报价不涉及该费用的请用“无”表示。④供应商在提交响应文件的截止时间前修改“磋商报价一览表”中的投标报价的，本表相应内容应同时修改。否则，分项报价按磋商报价一览表修改的相同比例进行调整，其风险由供应商自已承担。
供应商（全称并加盖公章）： 法定代表人或授权代表签字： 日 期：
23
附件4. 偏离表
4-1 技术条款偏离表项目编号：
项目名称：
序号 | 磋商文件条款号 | 磋商文件要求 | 响应文件应答 | 响应/偏离 | 备注 |
注：供应商根据“第六章 技术指标要求及商务要求”中的“技术要求”须逐条填写此表格。
供应商（全称并加盖公章）： 法定代表人或授权代表签字： 日 期：
24
4-2 商务条款偏离表项目编号：
项目名称：
序号 | 磋商文件条款号 | 磋商文件的商务条款 | 响应文件的商务条款 | 说明 |
注：供应商根据“第六章 技术指标要求及商务要求”中的“商务条款”须逐条填写此表格。
供应商（全称并加盖公章）： 法定代表人或授权代表签字： 日 期：
（适用于法定代表人投标）
单位名称： 地 址： 姓 名： 性 别： 年龄： 职务：
系 的法定代表人。为供货和保修 （项目名称）的项目，签署上述项目的响应文件、进行合同谈判、签署合同和处理与之有关的一切事务。
特此证明。
附：法定代表人身份证复印件
供应商：（全称并加盖公章） 法定代表人或授权代表签字： 日期： 年 月 日
（二） 法定代表人授权委托书
（适用于法定代表人授权委托代表投标）
本人 （姓名）系 （供应商名称）的法定代表人，现委托 （姓名）为我方代理人。代理人根据授权，以我方名义签署、澄清、说明、补正、递交、撤回、修改 （项目名称）响应文件、签订合同和处理有关事宜，其法律后果由我方承担。
委托期限： 代理人无转委托权。
附：法定代表人身份证复印件
附：法定代表委托代理人身份证复印件
供应商： （全称并加盖公章）法定代表人： （签字或盖章）
身份证号码：
委托代理人： （签字或盖章）身份证号码：
日期： 年 月 日
（1）供应商须满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 1）具有独立承担民事责任的能力；（须提供营业执照）
2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（以供应商自行提供的书面声明为准，格式详见附件 1）
3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（格式自拟）
4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（以供应商自行提供的书面声明为准，格式详见附件 1）
5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（以供应商自行提供的书面声明为准，格式详见附件 2）
6）法律、行政法规规定的其他条件。
（2）本项目的特定资格要求：
1) 供 应 商 在 近 三 年 内 未 被 国 家 财 政 部 指 定 的 “ 信 用 中 国 ” 网 站
（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信名单；（本项目磋商公告发布后至（响应截止时间）前，由采购代理机构在“信用中国”、“中国政府采购网”对参与投标的供应商进行信息查询、截图留存，确认供应商是否被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信名单，若存在上述情况将拒绝其参与政府采购活动。）
2）本项目非专门面向中、小、微型企业采购；（以中小型企业声明函为准，格式详见附件 3。）
3）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同单位，不得参加同一包件的竞争或者未划分包件的同一采购项目的竞争。（以供应商自行提供的书面声明为准，格式详见附件 4）
4）本项目不接受联合体投标。
注：1.如供应商为残疾人福利性单位，则提供符合财库〔2017〕141 号文格式要求的残疾人福利性单位正本声明函（格式详见附件 5），一旦中标将在中标公告中公告其声明函，接受社会监督；若提供声明函与事实不符的，将依照《中华人民共和国政府采购法》第七十七条第一款的规定追究法律责任。
2. 如供应商为监狱或戒毒企业，应提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱或戒毒企业的证明文件。
附件 1：财务状况及税收、社会保障资金缴纳情况声明函
财务状况及税收、社会保障资金缴纳情况声明函
我方（供应商名称）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款第（二）项、第（四）项规定条件，具体包括：
1. 具有健全的财务会计制度；
2. 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。特此声明。
我方对上述声明的真实性负责。如有虚假，将依法承担相应责任。特此承诺！
供应商全称（公章）： 授权代表签名：
日期： 年 月 日
附件 2：参加政府采购活动前 3 年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明
参加政府采购活动前 3 年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明
我方 （供应商名称） 在参加政府采购活动前 3 年内在经营活动中没有重大违法记录。特此声明。
注：1.重大违法记录：是指供应商未因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。
2.“较大数额罚款”的规定见财政部关于《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十九条第一款“较大数额罚款”具体适用问题的意见。
供应商全称（公章）： 授权代表签名：
日期： 年 月 日
附件 3：中小型企业声明函（仅适用于中、小、微企业）
中小型企业声明函
本公司郑重声明， 根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库(2020) 46 号）的规定，本公司参加 （采购人名称） 的 （项目名称） 采购活动， 提供的货物全部由符合政策要求的中小企业制造。相关企业（含联合体中的中小企业、签订分包意向协议的中小企业）的具体情况如下
1. 多功能衬底表面化学机械抛光设备，属于 工业 行业；制造商为（企业名称） ， 从业人员 人，营业收入为 万元，资产总额为 万元，属于 （中型企业、小型企业、微 型 企 业 ） ；
……
以上企业，不属于大企业的分支机构，不存在控股股东为大企业的情形，也不存在与大企业的负责人为同一人的情形。
本企业对上述声明内容的真实性负责。如有虚假，将依法承担相应责任。
企业名称（盖章）：
日期： 年 月 日
说明：（1）本声明函所称中小企业，是指在中华人民共和国境内依法设立，依据国务院批准的中小企业划分标准确定的中型企业、小型企业和微型企业，但与大企业的负责人为同一人，或者与大企业存在直接控股、管理关系的除外。符合中小企业划分标准的个体工商户，在政府采购活动中视同中小企业。事业单位、团体组织等非企业性质的政府采购供应商，不属于中小企业划型标准确定的中小企业，不得按《关于印发中小企业划型标准规定的通知》规定声明为中小微企业，也不适用
《政府采购促进中小企业发展管理办法》。
（2）本声明函所称货物由中小企业制造，是指货物由中小企业生产且使用该中小企业商号或者注册商标，否则不享受中小企业扶持政策。供应商提供的货物既有中小企业制造货物，也有大型企业制造货物的，不享受中小企业扶持政策。
（3）从业人员、营业收入、资产总额填报上一年度数据，无上一年度数据的新成立企业可不填报。
（4）中标人为中小微企业的，认定结果将随中标结果同时公告。
（5）供应商未按照上述格式正确填写《中小企业声明函》的，视为未提供《中小企业声明
函》，不享受政府采购促进中小企业发展政策。
注：各行业划型标准：
（一）农、林、牧、渔业。营业收入 20000 万元以下的为中小微型企业。其中，营业收入 500 万元及以上的为中型企业， 营业收入 50 万元及以上的为小型企业， 营业收入 50 万元以下的为微型企业。
（二）工业。从业人员 1000 人以下或营业收入 40000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员 300 人及
以上，且营业收入 2000 万元及以上的为中型企业；从业人员 20 人及以上，且营业收入 300 万元及以上的为小型企业 ； 从 业 人 员 20 人 以 下 或 营 业 收 入 300 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（三）建筑业。营业收入 80000 万元以下或资产总额 80000 万元以下的为中小微型企业。其中，营业收入 6000
万元及以上，且资产总额 5000 万元及以上的为中型企业；营业收入 300 万元及以上，且资产总额 300 万元及以上的 为 小 型 企 业 ； 营 业 收 入 300 万 元 以 下 或 资 产 总 额 300 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（四）批发业。从业人员 200 人以下或营业收入 40000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员 20 人及
以上，且营业收入 5000 万元及以上的为中型企业；从业人员 5 人及以上，且营业收入 1000 万元及以上的为小型企业 ； 从 业 人 员 5 人 以 下 或 营 业 收 入 1000 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（五）零售业。从业人员 300 人以下或营业收入 20000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员 50 人及
以上，且营业收入 500 万元及以上的为中型企业；从业人员 10 人及以上，且营业收入 100 万元及以上的为小型企业 ； 从 业 人 员 10 人 以 下 或 营 业 收 入 100 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（六）交通运输业。从业人员 1000 人以下或营业收入 30000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员 300
人及以上，且营业收入 3000 万元及以上的为中型企业；从业人员 20 人及以上，且营业收入 200 万元及以上的为小型 企 业 ； 从 业 人 员 20 人 以 下 或 营 业 收 入 200 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（七）仓储业。从业人员 200 人以下或营业收入 30000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员 100 人及
以上，且营业收入 1000 万元及以上的为中型企业；从业人员 20 人及以上，且营业收入 100 万元及以上的为小型企业 ； 从 业 人 员 20 人 以 下 或 营 业 收 入 100 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（八）邮政业。从业人员 1000 人以下或营业收入 30000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员 300 人
及以上，且营业收入 2000 万元及以上的为中型企业；从业人员 20 人及以上，且营业收入 100 万元及以上的为小型企 业 ； 从 业 人 员 20 人 以 下 或 营 业 收 入 100 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（九）住宿业。从业人员 300 人以下或营业收入 10000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员 100 人及
以上，且营业收入 2000 万元及以上的为中型企业；从业人员 10 人及以上，且营业收入 100 万元及以上的为小型企业 ； 从 业 人 员 10 人 以 下 或 营 业 收 入 100 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（十）餐饮业。从业人员 300 人以下或营业收入 10000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员 100 人及
以上，且营业收入 2000 万元及以上的为中型企业；从业人员 10 人及以上，且营业收入 100 万元及以上的为小型企业 ； 从 业 人 员 10 人 以 下 或 营 业 收 入 100 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（十一）信息传输业。从业人员 2000 人以下或营业收入 100000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员
100 人及以上，且营业收入 1000 万元及以上的为中型企业；从业人员 10 人及以上，且营业收入 100 万元及以上的为 小 型 企 业 ； 从 业 人 员 10 人 以 下 或 营 业 收 入 100 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（十二）软件和信息技术服务业。从业人员 300 人以下或营业收入 10000 万元以下的为中小微型企业。其中，
从业人员 100 人及以上，且营业收入 1000 万元及以上的为中型企业；从业人员 10 人及以上，且营业收入 50 万元及 以 上 的 为 小 型 企 业 ； 从 业 人 员 10 人 以 下 或 营 业 收 入 50 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（十三）房地产开发经营。营业收入 200000 万元以下或资产总额 10000 万元以下的为中小微型企业。其中，
营业收入 1000 万元及以上，且资产总额 5000 万元及以上的为中型企业；营业收入 100 万元及以上，且资产总额 2000
万元及以上的为小型企业； 营业收入 100 万元以下或资产总额 2000 万元以下的为微型企业。
（十四）物业管理。从业人员 1000 人以下或营业收入 5000 万元以下的为中小微型企业。其中，从业人员 300
人及以上，且营业收入 1000 万元及以上的为中型企业；从业人员 100 人及以上，且营业收入 500 万元及以上的为小 型 企 业 ； 从 业 人 员 100 人 以 下 或 营 业 收 入 500 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（十五）租赁和商务服务业。从业人员 300 人以下或资产总额 120000 万元以下的为中小微型企业。其中，从
业人员 100 人及以上，且资产总额 8000 万元及以上的为中型企业；从业人员 10 人及以上，且资产总额 100 万元及以 上 的 为 小 型 企 业 ； 从 业 人 员 10 人 以 下 或 资 产 总 额 100 万 元 以 下 的 为 微 型 企 业 。
（十六）其他未列明行业。从业人员 300 人以下的为中小微型企业。其中，从业人员 100 人及以上的为中型企
业；从业人员 10 人及以上的为小型企业；从业人员 10 人以下的为微型企业。
附件 4：单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同单位，不得参加同一包件的竞争或者未划分包件的同一采购项目的竞争。
书面声明
本公司 （公司名称） 在此声明，在参加 （项目名称、项目编号） 投标活动作出以下情况声明：
我司不存在单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同单位，不得参加同一包件的竞争或者未划分包件的同一采购项目的竞争。
供应商全称（公章）： 授权代表签名：
日期： 年 月 日
附件 5：残疾人福利性单位声明函（仅适用于残疾人福利性单位）
残疾人福利性单位声明函
本单位郑重声明，根据《财政部 民政部 中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕 141 号）的规定，本单位为符合条件的残疾人福利性单位，且本单位参加
单位的 项目采购活动提供本单位制造的货物（由本单位承担工程/提供服务），或者提供其他残疾人福利性单位制造的货物（不包括使用非残疾人福利性单位注册商标的货物）。
本单位对上述声明的真实性负责。如有虚假，将依法承担相应责任。
供应商全称（公章）： 授权代表签名：
日期： 年 月 日
说明：根据《财政部 民政部 中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》享受政府采购支持政策的残疾人福利性单位应当同时满足以下条件：
（1）安置的残疾人占本单位在职职工人数的比例不低于 25%（含 25%），并且安置的残疾人人数不少于 10 人（含 10 人）；
（2）依法与安置的每位残疾人签订了一年以上（含一年）的劳动合同或服务协议；
（3）为安置的每位残疾人按月足额缴纳了基本养老保险、基本医疗保险、失业保险、工伤保险和生育保险等社会保险费；
（4）通过银行等金融机构向安置的每位残疾人，按月支付了不低于单位所在区县适用的经省级人民政府批准的月最低工资标准的工资；
（5）提供本单位制造的货物、承担的工程或者服务（以下简称产品），或者提供其他残疾人福利性单位制造的货物（不包括使用非残疾人福利性单位注册商标的货物）。
成交供应商为残疾人福利性单位的，本声明函将随中标结果同时公告。如供应商不符合残疾人福利性单位条件，无需填写本声明。
供应商的资格声明 | ||
1.名称及其他情况 （1）供应商名称： （2）地址： （3）成立和注册日期： （4）上级主管部门： （5）公司性质： （6）主要负责人： （7）职员人数： （8）近期资产负债表（到 | 年 | 月 日止） |
（a）固定资产： | ||
2.近三年的年营业额年份 | 总额 |
3.近三年投标货物（或该服务提供）在境内和境外主要销售客户的名称及地址名称和地址 销售的物品和数量
（1）出口销售：
（2）境内销售：
4.同意为供应商制造投标货物的制造厂（或同意为供应商提供相关服务的服务提供者）
制造厂（或服务提供者）的名称和地址 制造的物品和数量
5.须由其他制造厂供应和制造的部件（如果有的话）（本条对服务类招标不适用）制造厂的名称和地址 制造的物品
6.近三年中成交的此种投标货物（或服务）（如果有的话）
合同号： 签字日期： 产品名称： 数量： 合同金额：
7.有关开户银行的名称和地址
银行的名称 地址
8.供应商认为需要声明的其他情况
兹证明上述声明是真实、正确的，并提供了全部能提供的资料和数据，我方同意遵照贵方要求出示有关证明文件。
日期： 授权代表签字： 授权代表的职务： 电话号码： 传真号码： 电子信箱：
公章：
（将磋商保证金交纳凭证附此页并加盖供应商公章） 注：此页应单独打印一张并且密封，于磋商时一并递交。
一、项目基本信息：项目名称：
项目编号：
包件号及包件名（如有请填写）：供应商名称：
保证金金额： （元）
二、退款账户信息（需与递交保证金账户一致）：账户名称：
账号： 开户行：
开户行地址：税号：
注：1.供应商自行提供以上内容，若信息错误导致无法退还的后果自负。
2. 此页应单独保存一份 WORD 于 U 盘内。
供应商名称（公章）：
供应商授权代表签字、职务： 日 期：
（格式自拟）
为保障项目实施进度和项目完成质量，供应商需提供完善的项目实施方案。
（格式自拟）
1、服务团队管理架构的合理性、各专业人员配备的全面性以及人员数量等。
包括服务团队项目负责人及项目团队成员的学历、相关证书、年龄、类似经验等相关证明 2、服务团队项目负责人。
需提供社保机构出具的缴纳社保证明（投标前六个月中的连续三个月的养老保险缴费清单复印件）
（格式自拟）
（1）对本项目的理解，服务范围及目标
（2）时间进度保证措施
（3）售后服务（包括维护保养、零部件更换、故障响应时间、回访计划等）
（4）培训计划
（5）应急方案
（格式自拟）
序号 | 项目名称 | 合同签订时间 | 项目金额 | 项目类型 | 备注 |
1 | |||||
2 | |||||
3 | |||||
…… |
注：1.业绩时间要求详见打分表
2.业绩以相关的合同复印件为准，合同中需体现合同内容及甲乙双方的公章/合同章。
（格式自拟）
第四章 合同
合同统一编号： [合同中心-合同编码]
合同各方：
甲方：[合同中心-采购单位名称] | 乙方：[合同中心-供应商名称] |
法定代表人：[合同中心-供应商法人姓名] （[合同中心-供应商法人性别]） | |
地址：[合同中心-采购单位所在地] | 地址：[合同中心-供应商所在地] |
电话：[合同中心-采购单位联系人电话] | 电话：[合同中心-供应商联系人电话] |
联系人：[合同中心-采购单位联系人] | 联系人：[合同中心-供应商联系人] |
根据《中华人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国民法典》之规定，本合同当事人在平等、自愿基础上，经协商一致，同意按下述条款和条件签署本合同：
1．乙方根据本合同的规定向甲方提供以下货物：
1.1 乙方所提供的货物其来源应符合国家的有关规定，货物质量等详见合同附件。
2. 合同价格、交货地点、时间
2.1 合同价格
本合同的合同价为[合同中心-合同总价]元整（[合同中心-合同总价大写]）
乙方为履行本合同而发生的所有费用均应包含在合同价中，甲方不再另行支付其它任何费用。
2.2 交货地点：上海大学指定地点
2.3 交货时间：合同签订后 7 个月。（具体以乙方响应为准）
2.4 交货状态：设备安装、调试、验收合格。
2.5 合同有效期：[合同中心-合同有效期] 3．质量标准和要求
3.1 乙方所出售标的物的质量标准按照国家标准或行业标准或企业标准确定。没有国家标准、行业标准和企业标准的，按照通常标准或者符合合同目的的特定标准确定。
3.2 乙方所出售的标的物还应符合国家和上海市人民政府之有关规定。
3.3 如果质量标准不统一的，应以甲方所选择的质量标准为依据。 4．权利瑕疵担保
4.1 乙方保证对其出售的标的物享有合法的权利；
4.2 乙方应保证在其出售的标的物上不存在任何未曾向甲方透露的担保物权，如抵押权、质押权、留置权等；
4.3 乙方应保证其所出售的标的物没有侵犯任何第三人的知识产权和商业秘密等权利。
4.4 如甲方使用该标的物构成上述侵权的，则由乙方承担全部责任。 5．包装要求
5.1 乙方所出售的全部货物均应按标准保护措施进行包装，这类包装应适应于远距离运输、防潮、防震、防锈和防野蛮装卸等要求，以确保货物安全无损地运抵指定现场。
5.2 每一个包装箱内应附一份详细装箱单、质量证书和保修保养证书。 6．验收
6.1 货物的数量不足或表面瑕疵甲方应在验收时当面提出，对质量问题之异议应在安装调试后七日内提出。
6.2 甲方可采取以下第 (1) 方式对货物组织验收：
（1） 甲方收货后根据货物的技术规格要求和质量标准，对货物进行检查验收，如果发现数量不足或有质量、技术等问题，乙方应负责按照甲方的要求采取补足、更换或退货等处理措施，并承担由此发生的一切损失和费用。验收合格后，甲方收取发票并签署验收意见。甲方在货物送达后无正当理由而拖延验收或不验收超过上述 6.1 款所规定的验收期的，则视为其已验收通过。但对货物有质量保证期的，适用质量保证期之规定。
（2） 邀请国家认可的质量检测机构参加验收。对于大型或者复杂的政府项目应当由甲方邀请法定的质量检测机构参加验收，由其出具验收报告，参加验收的成员应当在验收书上签字，并承担相应的法律责任。
7．付款
7.1 本合同以人民币付款（元）。
7.2 本合同款项按照以下方式支付： [合同中心-补充条款列表]
8．伴随服务
8.1 乙方应提交所提供货物的技术文件，应包括相应的每一套设备和仪器的中文技术文件，例如：产品目录、图纸、操作手册、使用说明、维护手册和/或服务指南。这些文件应包装好随同货物一起发运。
8.2 乙方还应提供下列服务：
（1） 货物的现场安装、调试和启动监督；
（2） 提供货物组装和维修所需的专用工具和辅助材料；
（3） 在合同各方商定的一定期限内对所有的货物实施运行监督、维修，但前提条件是该服务并不能免除乙方在质量保证期内所承担的义务；
（4） 在厂家和/或在项目现场就货物的安装、启动、运营、维护对使用单位操作人员进行培
训。
8.3 伴随服务的费用应包含在合同价中，甲方不再另行支付。 9．质量保证
9.1 乙方应保证所供货物是全新的、未使用过的，并完全符合合同规定的质量、规格和性能的要求。乙方应保证其货物在正确安装、正常使用和保养条件下，在其使用寿命期内应具有满意的性能。在货物最终交付验收后不少于 零部件质保期为设备到货期开始 13 个月；维护人力服务为设 备到货期开始 25 个月。（具体以乙方响应为准） 的质量保证期内，乙方应对由于设计、工艺或材料的缺陷而产生的故障负责免费维修服务。质保期满后提供终身维修服务。
9.2 在质量保证期内，如果货物的质量或规格与合同不符，或证实货物是有缺陷的，包括潜在的缺陷或使用不符合要求的材料等，甲方根据本合同第 10 条规定以书面形式向乙方提出补救措施或索赔。
9.3 乙方在约定的时间内未能弥补缺陷，甲方可采取必要的补救措施，但其风险和费用将由乙方承担，甲方根据合同规定对乙方行使的其他权利不受影响。
10．补救措施和索赔
10.1 甲方有权根据质量检测部门出具的检验证书向乙方提出索赔。
10.2 在检验期和质量保证期内，如果乙方对缺陷产品负有责任而甲方提出索赔，乙方应按照甲方同意的下列一种或多种方式解决索赔事宜：
乙方同意退货并将货款退还给甲方，由此发生的一切费用和损失由乙方承担。
根据货物的质量状况以及甲方所遭受的损失，经过甲乙双方商定降低货物的价格。
乙方应在接到甲方通知后七天内负责采用符合合同规定的规格、质量和性能要求的新零件、部件和设备来更换有缺陷的部分或修补缺陷部分，其费用由乙方负担。同时，乙方应在约定的质量保证期基础上相应延长修补和/或更换件的质量保证期。
10.3 如果在甲方发出索赔通知后十天内乙方未作答复，上述索赔应视为已被乙方接受。如果乙方未能在甲方索赔通知后十天内或甲方同意延长的期限内，按照上述规定的任何一种方法采取补救措施，甲方有权从应付货款中扣除索赔金额或没收质量保证金，如不足以弥补甲方损失的，甲方有权向乙方提出赔偿损失的要求。
11．履约延误
11.1 乙方应按照合同规定的时间、地点交货和提供服务。
11.2 如乙方无正当理由而拖延交货，甲方有权没收乙方提供的履约保证金，或解除合同并追究乙方的违约责任。
11.3 在履行合同过程中，如果乙方可能遇到妨碍按时交货和提供服务的情况时，应及时以书面形式将拖延的事实，可能拖延的期限和理由通知甲方。甲方在收到乙方通知后，应尽快对情况进行评价，并确定是否同意延长交货时间或延期提供服务。
12．误期赔偿
12.1 除合同第 13 条规定外，如果乙方没有按照合同规定的时间交货和提供服务，甲方应从货款中扣除误期赔偿费而不影响合同项下的其他补救方法，赔偿费按每周赔偿迟交货物的交货价或延期服务的服务费用的百分之一（1%）计收，直至交货或提供服务为止。但误期赔偿费的最高限额不超过合同价的百分之五（5%）。一周按七天计算，不足七天按一周计算。一旦达到误期赔偿的最高限额，甲方可考虑终止合同。
13．不可抗力
13.1 如果合同各方因不可抗力而导致合同实施延误或不能履行合同义务的话，不应该承担误期赔偿或不能履行合同义务的责任。
13.2 本条所述的“不可抗力”系指那些双方不可预见、不可避免、不可克服的事件，但不包括双方的违约或疏忽。这些事件包括但不限于：战争、严重火灾、洪水、台风、地震、国家政策的重大变化，以及其它双方商定的其他事件。
13.3 在不可抗力事件发生后，当事方应尽快以书面形式将不可抗力的情况和原因通知对方。合同各方应尽实际可能继续履行合同义务，并积极寻求采取合理的方案履行不受不可抗力影响的其他事项。合同各方应通过友好协商在合理的时间内达成进一步履行合同的协议。
14．履约保证金
14.1 在签署本合同之前，乙方应向甲方提交一笔金额为 / 元人民币的履约保证金。履约保证金在按本合同规定验收合格后 15 日内退还乙方。
14.2 履约保证金可以采用支票或者甲方认可的银行出具的履约保函。乙方提交履约保证金所需的有关费用均由其自行负担。
14.3 如乙方未能履行本合同规定的任何义务，则甲方有权从履约保证金中得到补偿。履约保证金不足弥补甲方损失的，乙方仍需承担赔偿责任。
15．争端的解决
15.1 合同各方应通过友好协商，解决在执行本合同过程中所发生的或与本合同有关的一切争端。如从协商开始十天内仍不能解决，可以向提请调解。
15.2 调解不成则提交仲裁，仲裁应由上海仲裁委员会根据其仲裁规则和程序进行。
15.3 在仲裁期间，除正在进行仲裁的部分外，本合同的其它部分应继续执行。 16．违约终止合同
16.1 在甲方对乙方违约而采取的任何补救措施不受影响的情况下，甲方可在下列情况下向乙方发出书面通知书，提出终止部分或全部合同。
（1） 如果乙方未能在合同规定的限期或甲方同意延长的限期内提供部分或全部货物。
（2） 如果乙方未能履行合同规定的其它任何义务。
16.2 如果甲方根据上述 16.1 款的规定，终止了全部或部分合同，甲方可以依其认为适当的条件和方法购买与未交货物类似的货物，乙方应对购买类似货物所超出的那部分费用负责。但是，乙方应继续执行合同中未终止的部分。
16.3 如果乙方在履行合同过程中有不正当竞争行为，甲方有权解除合同，并按《中华人民共和国反不正当法》之规定由有关部门追究其法律责任。
17．破产终止合同
17.1 如果乙方破产或丧失清偿能力，甲方可在任何时候以书面形式通知乙方终止合同而不给乙方补偿。该终止合同将不损害或影响甲方已经采取或将要采取任何行动或补救措施的权利。
18．合同转让和分包
18.1 除甲方事先书面同意外，乙方不得部分转让和分包或全部转让和分包其应履行的合同义务。
19．合同生效
19．1 本合同在合同各方签字盖章并且在甲方收到乙方提供的履约保证金后生效。
19．2 本合同一式叁份，以中文书就，签字各方各执一份，一份报备案。
20. 合同附件
20.1 本合同附件包括：磋商文件、响应文件、回应表等。
20.2 本合同附件与合同具有同等效力。
20.3 合同文件应能相互解释，互为说明。若合同文件之间有矛盾，则以最新的文件为准。 21．合同修改
21.1 除了双方签署书面修改协议，并成为本合同不可分割的一部分之外，本合同条件不得有任何变化或修改。
签约各方： | |
甲方（盖章）: | 乙方（盖章）： |
日期：[合同中心-签订时间] | 日期：[合同中心-签订时间_1] |
合同签订点:网上签约 |
第五章 评标办法
1、评标方式
采用综合评分法。 2、投标否决
供应商有以下情形之一的，评标委员会应当否决其投标：
2.1、与采购人存在利害关系可能影响招标公正性的法人、其他组织或者个人，不得参加投标；
2.2、供应商参与项目前期咨询或磋商文件编制的；
2.3、单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，参加了同一标段投标；
2.4、供应商未按照磋商文件要求提交磋商保证金的；
2.5、串通投标或弄虚作假或有其他违法行为的；
2.6、磋商文件规定其他否决投标条件；
2.7、法律规定其他否决投标条件。
3、初步评审
3.1、资格性审查
响应文件有下列情形之一的，视为资格审查不通过，不得进入下一步评审： 3.1.1、不满足“合格的供应商应具备的资格条件”的；
3.2、符合性评审
响应文件出现下列情形之一的按无效标处理，不得进入下一步评审： 3.2.1、磋商保证金不符合磋商文件规定；
3.2.2、磋商有效期不足的；
3.2.3、响应文件未按磋商文件规定盖章及签字；
3.2.4、响应文件中有两个及两个以上报价；
3.2.5、投标报价与市场偏离较大，低于成本，形成不正当竞争的；
3.2.6、响应文件附有采购人不能接受的条件；
3.2.7、不符合磋商文件中规定的其他实质性要求。全部通过初步评审合格的供应商方可进入详细评审。
4、详细评审
序号 | 评审因素 | 满分 | 评分要点及标准说明 |
客观分 | |||
1 | 报价分 | 30 分 | 采用低价优先法计算，即满足磋商文件要求且最后报价最低的供应商的价格为磋商基准价，其价格分为满分。 其他供应商的价格分统一按照下列公式计算：磋商报价得分=（磋商基准价/最后磋商报价）×30%×100。 本项目执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库(2020) 46 号）和财政部《关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（财库〔2022〕19号）的规定, 如为小微企业，享受评标价格 10%的下浮，按扣除后的价格进行评 审。 |
2 | 业绩 | 5 分 | 提供近三年（2020 年 9 月 1 日至今）同类产品业绩。 提供 10 个以上（包含 10 个）有效业绩得 5 分；提供 7-9 个有效业绩得 4 分； 提供 4-6 个有效业绩得 3 分；提供 2-3 个有效业绩得 2 分；提供 1 个有效业绩 得 1 分；所以提供业绩不符合要求或不提供的不得分。 注：业绩以相关的合同复印件为准，合同中需体现合同内容及甲乙双方的公章/合同章。 |
3 | 技术指标 | 30 分 | 1、完全满足磋商文件基本要求得 30 分； 2、标“△”技术指标需提供佐证材料，有一项负偏离或未提供佐证材料的扣 4分，扣完为止； 3、无标识则表示一般指标项，有一项负偏离的扣 2 分，扣完为止。 注：①“△”参数未提供相关佐证资料/技术支持资料的按负偏离处理。 ②佐证资料/技术支持资料是指厂家授权、第三方检测机构出具的检测报告、认证证书、白皮书、官网公示的内容等。 |
4 | 质保期 | 3 分 | 满足磋商文件要求得 1 分，每增加一年加 1 分，最多加 2 分。不满足磋商文件 要求不得分。 |
5 | 项目负责人 | 2 分 | 根据本项目的服务团队项目负责人社保情况进行评审。 评审标准：服务团队项目负责人需提供社保机构出具的缴纳社保证明（投标前 六个月中的连续三个月的养老保险缴费清单复印件）并加盖公章。提供得 2 分，不提供或不齐全不得分。 |
主观分 | |||
6 | 项目实施方案 | 5 分 | 为保障项目实施进度和项目完成质量，供应商需提供的项目实施方案。 评审标准：①方案内容完整、严密、科学、能针对本项目分解节点，并可跟踪实施，主要技术措施内容详尽得 4-5 分； ②方案内容基本完整、基本能针对本项目分解节点，并可跟踪实施、主要技术措施内容详尽得 2-3 分； ③方案内容基本完整得 1 分； |
④未提供或不符合要求不得分。 | |||
7 | 服务团队 | 6 分 | 根据供应商拟投入的服务团队管理架构的合理性、各专业人员配备的全面性以及人员数量等进行评审，评审内容包括服务团队项目负责人及项目团队成员的学历、相关证书、年龄、类似经验等相关证明。 评审标准：①架构合理、专业人员配备齐全、项目团队管理与骨干人员有多年相关从业经历、人员数量能够满足需求或优于需求，人员资料及证书齐全且优秀得 5-6 分； ②架构基本合理、专业人员基本配备齐全、人员数量基本能够满足需求但有所欠缺，人员资料及证书基本满足要求得 3-4 分； ③架构不合理、专业人员配备不齐全、人员数量不能够满足需求的得 1-2 分； ④未提供不得分。 |
8 | 服务方案 | 19 分 | （1）对本项目的理解，服务范围及目标（0-3 分） 评审标准：①对项目内容理解深刻透彻，服务范围及目标明确的得 3 分； ②对项目内容理解有一般，服务范围及目标不明确的得 1-2 分； ③不提供不得分。 |
（2）时间进度保证措施（0-3 分） 评审标准：①针对本项目时间进度保证措施全面完善的，可行度较高的得 3 分； ②针对本项目时间进度保证措施较为全面，可行度一般的得 1-2 分； ③未编制方案的不得分。 | |||
（3）售后服务（包括维护保养、零部件更换、故障响应时间、回访计划等）（0-6分） 评审标准：①方案编制科学合理可行，详细，对项目售后服务具有指导意义的得 5-6 分； ②方案编制基本合理，基本能够满足项目售后服务需要的得 2-4 分； ③方案编制基本可行，但存在部分缺陷的得 1 分； ④不提供的得 0 分。 | |||
（4）培训计划（0-4 分） 评审标准：①所提供的培训计划内容全面，保障措施完整，保障承诺可行性强得 3-4 分； ②所提供的培训计划内容缺漏较多，保障措施不全面，保障承诺较空得 1-2 分； ③不提供不得分。 | |||
（5）应急方案（0-3 分） 评审标准：①所提供的应急保障内容全面，保障措施完整，保障承诺可行性强得 3 分； |
②所提供的应急保障内容缺漏较多，保障措施不全面，保障承诺较空得 1-2 分； ③不提供不得分。 |
4.1 价格调整
（1）如供应商为残疾人福利性单位，须在响应文件中提供符合财库〔2017〕141 号文格式要求的残疾人福利性单位正本声明函；在评标时残疾人福利性单位将视同小型和微型企业，执行上述支持小型和微型企业的相同政策。
（2）如供应商为监狱或戒毒企业，应在其响应文件中提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱或戒毒企业的证明文件；在评标时监狱或戒毒企业将视同小型和微型企业，执行上述支持小型和微型企业的相同政策。
4.2 落实政府采购政策需满足的资格要求：本次招标执行政府强制采购节能产品、鼓励环保产品、支持中小微企业、促进残疾人就业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区以及限制采购进口产品等相关政策。
根据政府采购法，政府采购应当有助于实现国家的经济和社会发展政策目标，包括保护环境，扶持不发达地区和少数民族地区，促进中小企业发展等。
如果有国家或者上海市规定政府采购应当强制采购或优先采购的其他产品和服务，按照其规定实行强制采购或优先采购。
中小企业按照《政府采购促进中小企业发展管理办法》享受中小企业扶持政策，对预留份额项目专门面向中小企业采购，对非预留份额采购项目按照规定享受价格扣除优惠政策。中小企业应提供《中小企业声明函》。享受扶持政策获得政府采购合同的，小微企业不得将合同分包给大中型企业，中型企业不得将合同分包给大型企业。
在政府采购活动中，监狱企业和残疾人福利性单位视同小微企业，监狱企业应当提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件，残疾人福利性单位应当提供《残疾人福利性单位声明函》。
5.评标过程中的询标与澄清
5.1 评标委员会有权就响应文件中有疑义之处或前后表述不一致的问题，向供应商书面提出询问。供应商必须在评标委员会规定的时间内派技术和商务人员进行澄清，有关澄清的内容应以书面形式（包括电传、传真）提交，并由供应商法定代表人或被授权人签名确认。澄清时供应商只作说明和解释，不得借此对投标报价、优惠条件、售后服务等实质性内容做任何修改。
5.2 磋商文件和响应文件作为评标的依据，澄清内容只作为评标参考。
5.3 评标委员会认为有必要对需要询标、澄清的供应商采取询标、澄清，各供应商对需要澄清的问题进行文字澄清。
5.4 响应文件应按给定的格式如实填写，充分反映磋商文件的要求，出现下列情况，按以下原则修订：
（1）正本与副本不符，以正本为准。
（2）大写金额与小写金额不符，以大写金额为准。
（3）总价金额与单价金额不符，以单价金额为准，但单价金额小数点有明显错误的除外。
（4）用数字表示的数额与用文字表示的数额不一致时，以文字数额为准。
（5）单价与数量的乘积与总价之间不一致时，以单价为准；若单价有明显的小数点错位，应以总价为准，并修改单价。
按上述规定调整后的报价经供应商确认同意，调整后的报价对供应商起约束作用。不得调整投标函中的投标总报价后产生约束力。
6.评标报告
评标委员会完成评标后，应当向采购人提交书面评标报告。评标报告应由全体评标委员会成员签字。
第六章 技术指标要求及商务要求
⮚ 技术要求
一、技术指标
1.1 设备类型：全新 8 英寸（兼容 6 和 4 英寸）衬底半自动化学机械抛光机
1.2 主要用途：主要用于氧化层或金属层的平坦化
1.3 技术规格及技术要求
1.3.1 设备前端模块
1.3.1.1) 传片方式：手动取放片。
1.3.1.2) 晶圆类型支持：缺口和平边。
△1.3.1.3) 晶圆尺寸支持：4、6、8 英寸。
1.3.2 研磨主机
1.3.2.1) 抛光头数量：4、6、8 英寸各 1 个。
1.3.2.2) 研磨台数量 1 个。
1.3.2.3) 晶圆装载：含自动装载托盘，8 英寸可在装载托盘上自动装载，抛光头自动装载和卸载晶圆，不需要手动操作。
△1.3.2.4) 8 英寸抛光头：≥4 压力区；6 英寸抛光头：≥3 压力区。
△1.3.2.5) 8 英寸抛光头对应的保持环至少有 1 个压力区；6 英寸抛光头对
应的保持环至少有 1 个压力区。
1.3.2.6) 抛光头转速：最大转速≥200 rpm，误差在 1%之内。
1.3.2.7) 抛光头加压方式：分区加压控制，最小压力≤0.5 psi，最大压力
≥5 psi，误差在 0.1 psi 之内。
△1.3.2.8) 抛光盘电机：采用直驱方式，最大转速≥150 rpm，误差在 1%之内，可连续稳定运行至少 1 年。
1.3.2.9) 保持环压力：最小压力≥0.5 psi，最大压力≤14 psi，误差在
0.1 psi 之内。
1.3.2.10) 研磨台直径≥20 英寸。
△1.3.2.11) 终点检测系统：研磨台配备终点检测，包含摩擦学终点检测、光学终点检测和电涡流终点检测，精度误差在 400 nm 之内。
1.3.2.12) 修整器直径≥4 英寸。
1.3.2.13) 研磨液供给管路：每个研磨台搭配 2 路。
1.3.2.14) 研磨液流量：最小流量≥50 mL/min，最大流量≤500 mL/min，误差在设置值的 2%之内。
1.3.2.15) 抛光头在抛光过程中可直线往复摆动。
△1.3.2.16) 修整器为摆臂式且带压力侦测功能，侦测精度不低于 0.2 lbs。
△1.3.2.17) 修整器在抛光过程中可和抛光头摆动协同摆动，增加至少 20%的修正幅度，减少至少 20%的修正时间。
1.3.2.18) 操控屏幕位置灵活可调：摆臂旋转角度≥ 60°，屏幕可调整角度≥ 120°。
1.3.3 附属设备
1.3.3.1) 半自动抛光液供液系统（SDS）1 套。
1.3.3.2) 具备自动送液功能：供液流量≥ 500mL/min。
1.3.3.3) 具备异常情况报警功能，安装有报警指示灯和蜂鸣器，可在触摸屏上查看报警信息。
1.3.3.4) 可与化学机械抛光机主机通讯：方式通讯方式为点对点，1 组“待命”（Ready）信号，1 组“请求”（Request）信号。
1.3.3.5) 具备液位检测功能：可检测空液位、低液位、高液位、超高液位，液位传感器检测范围 2~15 mm 之间，响应时间≤2 ms。
1.3.3.6) 具备漏液检测功能：检测范围在 3~10 mm 之间。
1.3.3.7) 具备厂务排风压力检测功能：检测精度在 1.5%之内。
1.3.3.8) 具有 PLC 控制及触摸屏操作面板。
二、主机、附件详细清单
配置模块 | 配置单元 | 数量 |
研磨主机 | 研磨台 | 1 套 |
8 英寸抛光头 | 1 套 | |
6 英寸抛光头 | 1 套 | |
4 英寸抛光头 | 1 套 | |
晶圆自动装载托盘 | 1 套 | |
修整器 | 1 套 | |
附属设备 | 半自动抛光液供给系统 | 1 套 |
手动抛光液供液泵（特改） | 1 套 |
三、易损、易耗件清单
免键轴衬 | 轴流实心圆锥喷嘴 |
圆形树脂垫圈 | 继电器 |
深沟球轴承 | 柔性环 |
速度控制阀 | 树脂垫圈 |
传动柱 | 高扭矩齿形同步带 |
两位三通电磁阀 | USB 延长线 |
三通电磁阀 | 交流接触器 |
电气比例阀 | 实心锥形喷嘴 |
O 型圈 | 滑动膜 |
喷嘴 | 密封垫 |
F.R.L 组合单元 | 浮动接头 |
真空过滤器 | 保湿密封垫 |
洁净型气体过滤器 | 挡圈密封垫 |
⮚ 商务要求
一、付款方式
银行保函。合同签订后，乙方需在银行办理合同总额 80%的押金担保手续，甲方收到合同总额 80%的银行保函后，向乙方支付 100%货款。其中合同总额 50%的银行保函在货到后退还乙方，合同总额 30%的银行保函在甲方对货物验收合格并签署验收报告后退还乙方。
注：保函申请人（供应商）在办理银行保函时必须列明并知晓以下内容：
1、保函开立银行在此保证并约束本行及其后继者，如保函申请人未能忠实地履行合同约定或单方面终止合同（以下简称“违约”），在收到上海大学的书面索赔通知及保函正本后_ 个工作日内，按索赔通知要求的方式和累计金额不超过【合同总价】的 _%支付到上海大学。本保函见索即付，索赔通知书应包括声明保函申请人违约的索赔事由、索赔金额、赔付方式等内容，并由上海大学法定代表人（或委托代理人）签署并加盖公章。上海大学无需提供其他证明保函申请人违约的任何证明或证据。
2、保函申请人在履行合同过程中，如遇到妨碍按时交货和提供服务的情况，未能按照合同规定的时间交货或提供服务（以下简称“履约延误”），保函申请人须在银行保函履约到期日前 个工作日内完成保函延期或保函重开手续。
3、银行保函有效期按照以下 方式确定：
（1）银行保函是 1 张合同总价 80%额度的保函，有效期至 交货期+60 日（日期）止。
（2）银行保函是 2 张保函，50%合同总价的保函有效期至 交货期（日期）止；30%合同总价的保函有效期至交货期+60 日（日期）止。
二、合同履约期限（交货期）合同签订后 7 个月
三、质保期
零部件质保期为设备到货期开始 13 个月；维护人力服务为设备到货期开始 25 个月。
四、合同履约地点（交货地点）上海大学指定地点
五、验收条款（包括验收的指标、验收过程、特殊要求）
1.1 卖方应在设备到货前 3 月，对仪器实验室场地条件，如工作台，水，电，气等配套设施向买方提出建议并出具场地准备书。
1.2 设备到货后，由卖方和买方共同开箱验货；卖方必须保证货号的型号、规格、数量与合同相符。
1.3 在系统整体调试完成后，买方认为合格后，签订系统安装验收报告。
1.4 卖方负责派制造商工程师到用户现场免费进行符合规范的安装调试，主要验收指标包括但不限于下方表格中列举出的参数：（以下现场验收均会通过实际现场跑片，提供跑片情况报告，双方认可后，作为现场验收依据）
序号 | 指标 | 验收指标 | 验收方法 |
1 | 设备功能 | 具备 8 英寸硅、二氧化硅、玻璃、铜等晶圆抛光；抛光液供给；晶圆干进 湿出功能。 | 现场验收：配套抛光单元，抛光液供应系统。 |
2 | 设备类型 | 半自动设备。 | 现场验收：自动抛光，手动取 片。 |
3 | 抛光材料 | 硅、二氧化硅、玻璃、铜等介质和金 属。 | 现场验收：现场进行客户要求 的抛光测试验证。 |
4 | 抛光粗糙度 | 硅、二氧化硅、玻璃等介质：抛光后 | 现场验收，其中硅等介质： |
Ra≤1 nm @ 5×5 μm（AFM 量测）；铜等金属：抛光后 Ra≤1.5 nm @ 5×5 μm（AFM 量测）。 | Ra≤1 nm @ 5×5 μm（ AFM量测）；铜等金属：抛光后 Ra≤1.5 nm @ 5×5 μm（AFM 量测）。 | ||
5 | 片内均匀性、 片间均匀性 | WIWNU、WTWNU≤5%（1sigma，去边 5 mm）。 | 现场验收：WIWNU、WTWNU≤5%。 |
6 | 抛光液供液 柜（SDS） | 提供 1 套 SDS，可以实现一路抛光液 供给，支持 20 L/桶规格。 | 现场验收：抛光液供液柜的安 装调试及测试验证。 |
7 | 压力分区控制 | 抛光头分区加压控制，8 寸抛光头压 力至少 4 区，且均为独立控制，压力范围为 0.2～6 psi。 | 现场验收：压力范围在 0.2～ 6 psi。 |
8 | 抛光转速 | 抛光头转速 0～200 rpm。 | 现场验收：测试转速在 0～ 200 rpm。 |
9 | 保持环压力 范围 | 保持环压力控制范围 0.3 ～ 14.5 psi。 | 现场验收：保持环压力控制在 0.3～14.5 psi。 |
10 | 终点检测系统 | 配置力学监测、光学检测和电涡流监测模块，精度在 400nm 以内。 | 现场验收：具备 3 套不同监测 系统，且精度达到项目 4 和 5的工艺要求。 |
11 | 设备尺寸 | 长度不超过 1.4 m，宽度不超过1.4 m， 高度不超过 2.7 m。 | 现场验收：出厂设备尺寸符合 指标。 |
12 | 抛光工艺数据实时监测 | 1） 可监测抛光头旋转速度、抛光盘速度、下压力、抛光头压力，抛光温度等数据； 2）可检测工作过程涉及的所有动态参数，例如电机扭矩、抛光液流量、修整器压力、修整器位置、抛光头位置等； 3）可使用冷区模块对抛光盘温度进 行调控，控制热效应对抛光的影响。 | 现场验收：使用客户要求工艺，进行数据监测。压力事实数据及调节功能确认正常运行，出示工艺报告。 |
13 | 工艺服务 | 售后安排设备工程师及工艺工程师 协助配合采购方进行设备工艺性能验证。 | 现场验收：直到客户确认工艺部门达到以上项目指标。 |
14 | 抛光盘转速 和直径 | 抛光盘转速 0～150 rpm、直径≥20 英寸。 | 现场验收：抛光盘转速 0～ 150 rpm。 |
15 | 设备安装服务 | 抛光设备主机和辅机（SDS）之间的化学品双套管路连接由供应商完成 施工。 | 现场验收：进行抛光测试，确保主机和辅机间稳定控制工 作。 |
16 | 修整器直径、 转速、下压力 | 直径≥4 英寸、最大转速≥150 rpm、 下压力可达到 15 Ibf。 | 现场验收： 最大转速≥150 rpm、下压力达到 15 Ibf。 |
17 | 控制系统 | 1）配置 PC 控制系统； 2）软件为图形化操作界面，能监控和存储设备配置参数、工艺菜单、操作记录、工艺参数记录、报警记录、工艺日志等重要参数，且具有三级密码权限分级控制； 3）具有程序存储功能； 4）具备视觉和声音警报功能，带有状态指示灯； 5）控制系统应能检测相关部件的运行状态，具有自我故障诊断功能； 6）具有所有用户活动的日志文件保存功能；操作记录、工艺记录和报警记录； 7）具备设备工艺运行异常报警功能。 | 现场验收：演示指标项所以功能及控制，得到客户确认。 |
六、培训方式、要求、计划、大纲
2.1 培训方式和要求：现场培训和公司培训相结合
2.1.1 现场培训：
2.1.1.1) 中标供应商现场对买方人员进行理论知识讲解，以及设备操作、保养、维修等方面培训。
2.1.1.2) 现场设备安装验机阶段实施。
2.1.1.3) 买方被培训人员数目无限制。
2.1.2 公司培训：
2.1.2.1) 中标供应商安排买方人员到中标供应商公司内部进行理论知识讲解，以及设备操作、保养、维修等方面培训。
2.1.1.2) 至少提供 2 个名额。
2.2 培训计划和大纲：现场培训或公司培训需涵盖（但不限于）以下内容
清洗刷模块实物结构讲解、组头理论讲解和实操、化学研磨抛光工艺基础知识介绍、化学研磨抛光工艺配方和参数讲解、工艺终点监测讲解、自动抛光时间压力调节系统功能讲解等
七、售后服务
1、质保期内及质保期外，现有设备运行软件终身维护，售后服务响应时间 2 小时以内，
48 小时内厂家安排专业技术人员上门服务。
2、设备交付使用后，将定期对该设备进行保养，每学年定期到客户进行检测与检修。
3、对保证期内的维修服务，在收到买方通知后 2 小时响应，2 小时内通过电话或网络方式提供解决方案，如不能解决，48 小时内派专业维修人员到现场，无偿负责设备的调试或更换已损坏的零部件。
4、对保证期后的维修服务，在收到买方通知后 2 小时响应，2 小时内通过电话或网络方式提供解决方案，如不能解决，48 小时内派专业维修人员到现场，负责设备的调试或更换已损坏的零部件，只收取材料的成本费和人工费，免差旅费，技术服务费。
5、超出保修期限的零配件供应，保证以优惠价格提供。
备注：1.本项目不允许采购进口设备。【根据财政部《政府采购进口产品管理办法》（财库[2007]119 号）规定：进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品】。
2.不允许采购《上海市政府集中采购目录及标准（2021 年版）》内涉及的项目。