28/31/33/36/37F, SK T

北京市中伦律师事务所

关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市的

补充法律意见书（一）

二〇二二年九月

北京市朝阳区建国门外大

28/31/33/36/37F, SK T

北京市中伦律师事务所

关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市的

补充法律意见书（一）

致：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

北京市中伦律师事务所（以下简称“本所”）接受矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“发行人”、“公司”或“矽电股份”）的委托，担任发行人申请首次公开发行人民币普通股（A 股）并在深圳证券交易所（以下简称“深交所”）创业板上市（以下简称“本次发行”或“本次发行上市”）事宜的专项法律顾问。

根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）等有关法律、法规和中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）发布的《创业板首次公开发行股票注册管理办法（试行）》（以下简称“《创业板注册管理办法》”）及《公开发行证券公司信息披露的编报规则第12 号-公开发行证券的法律意见书和律师工作报告》（证监发[2001]37 号）（以下简称“《编报规则第 12 号》”），深交所发布的《深圳证券交易所创业板股票上市规则》（以下简称“《创业板上市规则》”）以及中国证监会、司法部联合发布的《律师事务所从事证券法律业务管理办法》

（司法部、证监会令第 41 号）、《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》

（司法部、证监会公告（2010）33 号）等有关规定，于 2022 年 5 月 25 日出具了《北京市中伦律师事务所关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公

开发行股票并在创业板上市出具法律意见书的律师工作报告》（以下简称 “《律师工作报告》”）和《北京市中伦律师事务所关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市的法律意见书》（以下简称“原法律意见书”）。

发行人本次发行上市原申报财务资料的审计基准日为 2021 年 12 月 31 日，

现已将审计基准日调整为 2022 年 6 月 30 日。未免疑义，本补充法律意见书中

“报告期”指 2019 年 1 月 1 日至 2022 年 6 月 30 日。本所现就发行人在审计基准日调整后是否继续符合发行上市的实质条件事宜出具本补充法律意见书，并对原法律意见书出具以来发行人涉及的有关重大事项，以及深圳证券交易所

（ 以下简称“深交所”） 上市审核中心于 2022 年 6 月 27 日出具审核函

[2022]010556 号《关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市申请文件的审核问询函》（以下简称“《问询函》”）所涉及的有关事宜出具本补充法律意见。

本补充法律意见书中所使用的术语、名称、缩略语，除特别说明外，与其在《法律意见书》《律师工作报告》所使用的术语、名称、缩略语具有完全相同的含义，本所在《法律意见书》《律师工作报告》中的声明也同样适用于本补充法律意见书。

本补充法律意见书为《律师工作报告》《法律意见书》之补充性文件，应与《律师工作报告》《法律意见书》一起使用，如本补充法律意见书与《律师工作报告》《法律意见书》内容有不一致之处，则以本补充法律意见书为准。

本所律师根据现行法律、法规规定，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，现出具补充法律意见如下：

目 录

第一部分对《问询函》反馈意见的回复 6

一、 《问询函》第 1 题“关于客户关联方入股” 6

二、 《问询函》第 2 题“关于业务与技术” 76

三、 《问询函》第 3 题“关于实际控制人” 102

四、 《问询函》第 4 题“历史沿革” 113

五、 《问询函》第 5 题“关于关联交易” 162

六、 《问询函》第 6 题“关于子公司” 174

七、 《问询函》第 7 题“关于劳务派遣” 179

八、 《问询函》第 8 题“关于资质与经营合法合规性” 184

第二部分对《律师工作报告》、原法律意见书披露内容的更新 191

一、本次发行上市的批准和授权 191

二、发行人本次发行上市的主体资格 191

三、本次发行上市的实质条件 191

四、发行人的设立 195

五、发行人的独立性 195

六、发行人的发起人、股东和实际控制人 195

七、发行人的股本及其演变 195

八、发行人的业务 195

九、关联交易及同业竞争 197

十、发行人的主要财产 211

十一、发行人的重大债权债务 217

十二、发行人的重大资产变化及收购兼并 218

十三、发行人章程的制定与修改 219

十四、发行人股东大会、董事会、监事会议事规则及规范运作 219

十五、发行人董事、监事和高级管理人员及其变化 219

十六、发行人的税务和财政补贴 221

十七、发行人的环境保护和产品质量、技术等标准 222

十八、发行人募集资金的运用 222

十九、发行人的业务发展目标 222

二十、诉讼、仲裁或行政处罚 222

二十一、发行人招股说明书法律风险的评价 223

二十二、结论意见 223

第一部分 对《问询函》反馈意见的回复‌

一、 《问询函》第 1 题“关于客户关联方入股”‌

申报材料显示：（1）公司存在股东及其关联方于主要客户中占有权益或任 职的情况：①持有公司 2.40%股权的股东xxxxxx光电股份有限公司（以 下简称三安光电）之董事长、其父xxxx三安光电的实际控制人，控制三安 光电 32.54%的表决权；②持有公司 1.74%股权的股东顾乡的父亲xx为xxx 驰半导体有限公司的母公司深圳市兆驰股份有限公司（以下简称兆驰股份）的 实际控制人。（2）报告期内，发行人对三安光电的销售金额分别为 725.98 万元、

5,702.34 万元和 9,979.62 万元；2020 年对兆驰股份的销售金额为 2,675.80 万元。

（3）2020 年度及 2021 年度，发行人对三安光电收入确认时点主要集中在 12 月

份，其中 2020 年 12 月份确认收入 5,655.32 万元，占发行人全年对其销售收入的 99.69%；2021 年 12 月确认收入 9,300.90 万元，占发行人全年对其销售收入的 93.62%。（4）发行人销售至三安光电的同型号产品相较于其他客户普遍低 20%左右。

请发行人：

（1）说明xxx与顾乡直接入股发行人的商业合理性及入股价格的定价依据，是否构成股份支付；结合与三安光电、兆驰股份的合作背景、入股时间等说明发行人是否存在用订单换取股权的情形，并结合同行业公司情况说明类似入股上下游的情形是否符合行业惯例，是否存在业务合作协议，发行人对三安光电与兆驰股份的销售是否需要比照关联方披露及认定依据；

（2）说明报告期各期与三安光电、兆驰股份各项订单的合同签订时间、合同金额与收入确认金额的匹配关系、探针台类型及单价、约定收款时间、实际收款时间等，并说明销售毛利率大幅波动的原因；

（3）结合产品流转过程说明三安光电验收时间集中在 12 月份的原因及合理性，并说明报告期内向三安光电、兆驰股份销售产品的验收周期与其他同类客户是否存在差异，如是，请说明原因；

（4）说明 2021 年对三安光电销售收入大幅增长的原因，与三安光电业务

开展情况是否匹配；并说明 2019 年与 2021 年对兆驰股份销售收入较小的原因及合理性；

（5）对比说明入股前后向三安光电、兆驰股份及向第三方销售相同型号产品的单价及毛利率、信用政策等，并结合产品定价依据、定价权归属等，说明向三安光电、兆驰股份销售产品的定价公允性；分析发行人销售至三安光电产品价格低于其他客户的原因；三安光电、兆驰股份对发行人的采购占其同类采购的比例；

（6）结合xxx、顾乡入股前后相关产品销量变化、与三安光电、兆驰 股份的合作历史及在手订单情况等，说明xxx、顾乡入股发行人对发行人业 务发展的影响，是否存在为发行人提供商业机会的情形，并谨慎合理分析发行 人与三安光电、兆驰股份之间未来交易的可持续性，综合测算扣除与三安光电、兆驰股份往来后的收入与利润情况，是否对三安光电、兆驰股份存在重大依赖，相关信息披露及风险揭示是否充分。

请保荐人、发行人律师、申报会计师发表明确意见。核查过程：

1、 审阅发行人设立至今的工商档案、xxx及顾乡入股时签署的相关投资协议；

2、 审阅xxx、顾乡出具的股东调查表，并就入股相关事宜访谈xxx、顾乡；

3、 通过公开渠道查询同期同行业公司融资的相关情况以及同产业链上下游之间入股等相关案例。

4、 取得发行人就与三安光电、兆驰股份首次开展业务合作的说明；

5、 访谈三安光电、兆驰股份等报告期内的主要客户；

6、 从公开渠道获得三安光电、兆驰股份的近年来募投项目的实施情况；

7、 核查报告期内发行人与三安光电、兆驰股份的交易相关合同；

8、 查阅《审计报告》及截至 2022 年 6 月 30 日的《审阅报告》。

核查内容及结论：

一、说明xxx与顾乡直接入股发行人的商业合理性及入股价格的定价依据，是否构成股份支付；结合与三安光电、兆驰股份的合作背景、入股时间等说明发行人是否存在用订单换取股权的情形，并结合同行业公司情况说明类似入股上下游的情形是否符合行业惯例，是否存在业务合作协议，发行人对三安光电与兆驰股份的销售是否需要比照关联方披露及认定依据

（一）说明xxx与顾乡直接入股发行人的商业合理性及入股价格的定价依据，是否构成股份支付

1、说明xxx与xxxx入股发行人的商业合理性

（1）xxx与顾乡入股发行人的商业合理性

自然人xxx、顾乡于 2020 年 9 月以增资形式入股发行人，xxx、顾乡分别为三安光电、兆驰股份的关联方。三安光电及兆驰股份均为国内 LED 芯片行业的主要企业，同时也是发行人的主要客户。xxx、顾乡入股发行人的主要原因及背景如下：

① 出于对发行人技术水平及行业地位的认可，看好发行人未来的发展前景

A．经长期合作后，认可发行人产品在探针测试技术领域的技术水平

发行人与三安光电、兆驰股份分别于 2015 年、2017 年开展商务接触，并分别于 2016 年 9 月和 2017 年 7 月首次发送样机至上述客户处开展验证工作，发行人与上述两家客户已形成了多年的合作历史。

发行人在半导体探针测试技术领域形成的技术水平和发展前景得到了xxx、顾乡的认可。发行人通过长期技术积累掌握了多项探针测试核心技术，新

一代全自动超精密 12 英寸晶圆探针台已实现产业化应用，晶粒探针台性能参数已达到国际同类设备水平。

B．在国内 LED 芯片行业的探针台市场，发行人打破了进口垄断、实现了在商业应用领域的国产替代，是大陆地区 LED 芯片行业主要企业唯一的国产探针台设备供应商

在三安光电、兆驰股份所处的国内 LED 芯片行业领域，半导体探针台设备市场长期被中国台湾地区的旺矽科技、惠特科技、豪勉科技等公司占据。发行人凭借技术优势迅速打开市场，成功跻身为国内 LED 芯片行业主要企业的探针台设备供应商，发行人产品在客户芯片制造产线上实现了大批量应用。发行人在光电芯片行业的探针台领域打破了进口垄断、实现了在商业应用领域的国产替代。

根据对三安光电、xx光电股份有限公司（以下简称“xx光电”）、兆驰股份、厦门乾照光电股份有限公司（以下简称“乾照光电”）、聚灿光电科技股份有限公司（以下简称“聚灿光电”）、淮安澳洋顺昌光电技术有限公司（以下简称“澳洋顺昌”）、佛山市国星光电股份有限公司（以下简称“国星光电”）等主要客户的访谈，发行人是上述企业在报告期内唯一的国产探针台供应商，上述企业其余半导体探针台均为进口设备，具体如下表所示：

序号	公司名称	进口探针台供应商	国产探针台供应商	对发行人产品的采购占同类采购的比 例
1	三安光电	惠特科技	矽电股份	60%-80%
2	xx光电	惠特科技	矽电股份	40%-50%
3	兆驰股份	惠特科技	矽电股份	约 50%
4	乾照光电	惠特科技、旺矽 科技	矽电股份	约 50%
5	澳洋顺昌	惠特科技	矽电股份	约 70%
6	聚灿光电	惠特科技	矽电股份	约 80%

根据前瞻产业研究院、国家半导体照明工程研发及产业联盟产业研究院

（CSAResearch）、LEDinside 的研究，目前国内 LED 芯片厂商的主要企业包括

三安光电、xx光电、兆驰股份、聚灿光电、乾照光电、江苏蔚蓝锂芯股份有 限公司（以下简称“蔚蓝锂芯”，系澳洋顺昌的母公司）等代表性厂商。依照产 能计算，根据国家半导体照明工程研发及产业联盟产业研究院（CSA Research）数据显示，2020 年及 2021 年上述 6 家企业的产能占行业总产能的比例分别为 86.85%、85.41%，具体如下表所示：

序号	公司名称	产能分布情况
		2020 年度	2021 年度
1	三安光电	28.29%	31.68%
2	xx光电	19.74%	14.28%
3	兆驰股份	13.16%	12.42%
4	乾照光电	9.87%	10.56%
5	蔚蓝锂芯	9.21%	9.63%
6	聚灿光电	6.58%	6.84%
合计		86.85%	85.41%

由上表知，发行人的客户主要为国内 LED 芯片行业的主要企业。经上述客户访谈确认，报告期内上述客户均对发行人进行了规模化的采购，且对发行人产品的采购占其同类采购的比例约为 40%至 80%，发行人报告期内是该等 LED芯片主要企业的探针台设备主要供应商，也是其中唯一的国产探针台设备供应商。

报告期内，发行人的探针台设备产品已在上述企业完成验证并投入正式生产使用，发行人设备的技术水平及稳定性获得了客户的认可。报告期内，发行人先后获得客户授予的主要荣誉如下：

序号	客户名称	授予称号	时间
1	乾照光电	战略核心供应商	2019 年度
2	xx光电	金牌合作伙伴	2021 年度
2	聚灿光电	优秀战略合作伙伴	2021 年度

综上所述，基于发行人的产品技术水平及行业地位，xxx、顾乡看好发

行人的发展前景，因此希望入股发行人以获取长期投资收益。

② xxx、顾乡及其亲属具备一定的投资经验，拥有较强的资金实力和行业布局能力

A．xxx及其亲属的投资经验

xxx是三安光电的董事长，其父亲xxxx三安光电的实际控制人，控制三安光电 32.54%的表决权。通过光电行业数十年的积累，xxx及其亲属对光电行业及上下游领域具有较为深刻的认识，有丰富的产业投资经验。截至本补充法律意见书出具之日，xxx的主要对外投资及任职情况如下：

序 号	被投资企业	注册资本 （万元）	主营业务	持股 比例	担任职务
1	福建三安集团有限公司	139,215	项目投资（控股型主 体），三安光电的控股股东	12.15%	董事
2	福建省安芯投资管理有限责任公司	3,000	投资管理	6.00% （注 1）	董事
3	安徽蓝盾光电子股份有限公司 （SZ.300862）	13,186.99	高端分析测量仪器制 造；软件开发；系统集成及工程；运维服务；数据服务；军工雷达部 件的生产	5.84%	-
4	北京特思迪半导体设备有限公司	1,487.57986	半导体专用设备	0.24% （注 2）	-
5	江苏亚电科技有限公司	8,021.5375	半导体晶圆制造行业湿 法制程设备商	0.10% （注 2）	-
6	安徽光达电子科技有限公司	506	从事 LED 在智慧城市行业研究与应用，主要产品有信号灯、信号 机，交通专用补光灯，交通警示灯，LED 显示屏，路口、弯道安全预警系统，公路恶劣天 气智能预警防控系统等	5.84% （注 3）	-
7	福建富兰光学股份有限公司	4,500	从事光学产品研发与制造，产品主要应用于汽车、消费电子、安防、虚拟现实、智能家居、 照明、医疗等	3.56% （注 4）	-
8	浙江xx半导体有限公司	7,167.10	砷化镓晶片	0.15% （注 2）	-
9	广州印芯半导体技术有限公司	1,860.4639	提供 CMOS 图像传感器（CIS）芯片设计服 务	1.01% （注 4）	-

10	浙江泓芯半导体有限公司	1,150	xx制品研发、加工、销售；陶瓷、石墨、碳化硅制品、半导体配 件、机械设备、机械配件、智能机器人及配件 的销售	0.39% （注 2）	-
11	厦门中电三安股权投资基金合伙企业 （有限合伙）	3,751	股权投资	59.98%	-
12	宁波梅山保税港区福珩投资合伙企业 （有限合伙）	7,450	投资管理	49.33%	-
13	嘉兴鸿诺创业投资合伙企业（有限合 伙）	3,600	股权投资	97.22%	-
14	珠海横琴泓沛股权投资基金（有限合 伙）	51,310	股权投资	42.88%	-
15	厦门德润成长创业投资有限公司	3,000	创业投资	40.35%	董事
16	厦门鼎硕股权投资基金合伙企业（有 限合伙）	15,501	投资管理	25.80%	-
17	福建省泉州国光工贸有限公司	3,000	金属材料、冶金材料、化工产品（化学危险物品除外）、水泥、五 金、交电、机械设备。	70%	-
18	厦门骐俊物联科技股份有限公司 （NQ.833504）	6,000	无线通信模组、终端销售；相关软件及技术服 务	28.46%	董事
19	北京中电科锐科技有限公司	5,200	节能环保设备、系统集 成技术	15.00% （注 5）	-
20	福建浔兴拉链科技股份有限公司 （SZ.002098）	35,800	拉链业务；跨境电商 （出口）零售业务	1.71%	-

注：1.此处为xxx通过晋江安瀛投资合伙企业（有限合伙）间接持有的出资比例。

2.此处为xxx通过杭州泽财xxx芯众城半导体股权投资基金合伙企业（有限合伙）的间接持有的出资比例。

3.此处为xxx通过安徽蓝盾光电子股份有限公司间接持有的出资比例。

4.此处为xxx通过厦门鑫瑞集微创业投资合伙企业（有限合伙）间接持有的出资比例。

5.此处为xxx通过厦门中电三安股权投资基金合伙企业（有限合伙）间接持有的出资比例。

B．顾乡及其亲属的投资经验

顾乡为兆驰股份董事长xx的女儿，顾乡家族具备近 20 年的光电行业从业

经验。除发行人、兆驰股份及其合并范围内的主体外，顾乡及其父亲xx对外投资及担任重要职务的主要企业如下：

序号	被投资企业	注册资本 （万元）	主营业务	持股 比例	担任职务
1	深圳市欢欣贸易有限公司	100	国内贸易、进出口业务、投 资兴办企业	70%	执行董事 兼总经理
2	江西兆驰光元科技股份有限公司	31,786.25	发光二极管（LED）器件、 LED 背光源产品、LED 背光源液晶电视显示屏的技术开 发、生产和销售	0.57%	报告期内曾担任董事
3	深圳市瑞驰智能系统有限公司	1,000	药房自动化设备（不含医疗器械）的技术开发、技术服务与销售；自动化机械电子设备、智能系统的技术开发与销售；药房自动化系统软件、自动化药房设备系统软件的技术开发与销售；自动 化药房设备的租赁	xx持股 44%	-
4	南昌兆驰投资合伙企业 （有限合伙）	1,236.4705	股权投资	xx持股 94.36%	-

综上所述，xxx、顾乡及其亲属具备一定的投资经验，拥有较强的资金实力和行业布局能力。

③发行人当时具有资金需求

近年来，发行人及所处的半导体专用设备行业进入了高速发展期，发行人业务规模快速扩张，生产需求快速上涨。

发行人采取以销定产的生产模式，在设备发货前需投入较高的原材料及人 力成本。2020 年下半年正值发行人订单数量大增、产能亟需扩张的前夕，根据 当时的订单情况，发行人预测 2020 年四季度的原材料采购支出约为 9,000 万元，

对发行人的资金储备提出了较高的要求。截至 2020 年 9 月（xxx、顾乡入股

当月）底，发行人货币资金余额为8,182.85 万元，较上年末下降3,247.36 万元，降幅达 28.41%，资金余额难以应对当时产能扩张的需求。

在此背景下，xxx、顾乡作为发行人长期合作对象的关联自然人，对发 行人的经营情况较为了解，能够在短时间内完成投资决策并及时提供运营资金，故发行人接受上述二人的投资。

综上所述，xxx、顾乡入股发行人符合各方的商业利益，具有商业合理性。

2、xxx、顾乡入股发行人的定价依据，是否构成股份支付

xxx、顾乡入股发行人的估值定价依据为综合发行人所处行业、成长性等因素由各方协商定价，该次增资价格公允，不构成股份支付。具体如下：

（1）发行人报告期内历次外部融资的定价依据等情况

报告期内，发行人共完成了三次增资及一次股份转让。xxx、顾乡入股发行人为其中第三次增资。报告期内历次股权变动的原因、定价依据等具体情况如下表所示：

序号	时间	事项	入股原因	增资及股权转让价格	对应股改前注册资本的出资 价格	对应估值 （投后）	定价依据
1	2019 年 1 月	西博壹号、众微创新、西博贰号新技术增资入股	吸收外部投资人进入	6,200 万元 （30.95 元/出资额）	30.95 元/出资额	5.76 亿元	综合考虑公司所处行业、成长性等因素，经双方 协商确定
2	2019 年 8 月	丰年君和、丰年君传、西博贰号新材料、众微创新、西博叁号增资和受让股份	吸收外部投 资，实际控制人部分减持	12,000 万元 （45.67 元/出资额）	45.67 元/出资额	9.70 亿元	综合考虑公司所处行业、成长性等因素，经双方协商确定
3	2020 年 9 月	xxx、顾乡增资入股	看好公司发展前景入股	4,750 万元 （36.67 元/股）	51.79 元/出资额	11.47 亿元	看好行业发展，经双方协商确定
4	2021 年 12 月	哈勃合伙	对发行人所处 行业的产业布局的需要	8,000 万元 （63.91 元/股）	90.27 元/出资额	20.00 亿元	处于产业布局考 虑，经双方协商确定

由上表可见，发行人历次融资的入股价格系通过友好协商确定。由于发行人业务呈良性发展且入股时点接近于发行人预期 IPO 申报时间，因此历次融资估值呈现逐步提高的态势，两位自然人入股发行人的估值高于前两次外部投资机构的入股价格、低于哈勃合伙的入股价格，不存在异常情况。

（2）同期的半导体设备行业公司估值的市场水平

根据公开信息，同期的半导体设备行业公司对外融资的估值情况如下表所示：

序号	公司名称	所处行业	主要产品	投资时间	投后估值 （亿元）	2019 年 营业收入 （亿元）	对应静态 PS
1	金海通	半导体 专用设备	测试分选机	2020 年 10 月	7.89	0.72	11.02
2	联动科技	半导体专用设备	半导体行业后道封装测试领 域专用设备	2019 年 12 月	11.35	1.48	7.66
3	屹唐股份	半导体专用设备	干法去胶设备、快速热处理设备、干法 刻蚀设备等	2020 年 10 月	199.76	15.74	12.69
4	中科飞测	半导体 专用设备	检测设备、量 测设备	2020 年 1 月	4.67	0.56	8.35
同期同行业公司外部融资估值对应的平均 PS 水平							9.93
-	发行人	半导体 专用设备	探针台、分选 机等	2020 年 9 月	11.47	0.93	12.30

由上表可见，同期半导体设备行业公司对外融资估值对应静态 PS 的范围为

7.66 至 12.69 不等，平均值为 9.93。发行人该次融资估值对应的静态 PS 为 12.30，与可比案例不存在重大差异。因此，xxx、顾乡入股发行人的价格符合市场 水平，该次增资价格公允。

《企业会计准则第 11 号——股份支付》规定：“股份支付，是指企业为获取职工和其他方提供服务而授予权益工具或者承担以权益工具为基础确定的负债的交易”。根据对xxx、顾乡的访谈，本次增资入股发行人并非发行人为获取上述人员服务为目的，而是基于其看好发行人的业务前景等做出市场化的投资行为。不符合《企业会计准则第 11 号—股份支付》关于股份支付的认定情形，该增资入股行为不构成股份支付。

综上所述，xxx、顾乡入股发行人的价格公允，增资入股行为不构成股份支付。

（二）结合与三安光电、兆驰股份的合作背景、入股时间等说明发行人是否存在用订单换取股权的情形

林志强、顾乡基于对发行人及其所处行业的看好入股发行人，入股后发行

人与三安光电、兆驰股份的交易规模快速增长是相关客户对发行人设备认可及其自身需求增长的反映，林志强、顾乡入股发行人不存在用订单换取股权的情形，具体如下：

① 入股之前，三安光电、兆驰股份与发行人已存在多年的合作历史，认可发行人产品的质量以及发行人提供的本土化服务

发行人与三安光电、兆驰股份分别于 2015 年、2017 年开展商务接触，并分别于 2016 年 9 月和 2017 年 7 月首次发送样机至上述客户处进行设备验证。在通过工艺试验和设备验证后，三安光电、兆驰股份逐步对发行人产品开展批量采购。入股之前，发行人与上述两家客户已存在多年的合作历史，入股前三安光电、兆驰股份已分别验收发行人 115 台和 101 台探针台设备。

随着合作的深入，一方面三安光电、兆驰股份对于发行人产品质量等认可度逐渐上升，发行人的探针台设备在测试精度、测试效率、设备稳定性等核心指标上满足上述客户的生产要求，前期发货的探针台设备均在试运行后顺利完成验收并已投入客户的日常生产；另一方面，发行人充分利用其自身产品开发优势，针对特定客户需求加大研发和服务力度，获得了客户的认可。

同时，相较于惠特科技、旺矽科技等竞争对手，发行人对客户的本土化服务优势凸显。发行人在三安光电、兆驰股份的厂房现场均安排技术服务人员定向服务，在地域上更接近客户。自疫情爆发以来，受交通管制、出入境等因素的影响，竞争对手为客户提供现场服务的难度较大，而半导体测试设备涉及较多的设备调试和现场沟通，发行人在疫情期间能够更全面、更迅速地提供方案及技术支持，能够更加及时地了解需求，从而获得了上述客户的认可。

综上，发行人与三安光电、兆驰股份在入股前已存在多年的合作历史，上述客户对发行人产品的质量以及发行人的本土化服务较为认可，对发行人设备的采购具有合理性。

② 发行人是国内 LED 芯片行业主要企业唯一的国产探针台设备供应商，晶粒探针台的性能参数已达到国际同类设备水平，且生产规模和交付能力也可

满足客户需求，在国产替代和疫情因素的叠加影响下，三安光电及兆驰股份对发行人设备采购量上升具有合理性

A. 发行人是国内 LED 芯片行业主要企业在报告期内唯一的国产探针台供应商

大陆地区符合 LED 芯片制造工艺要求和技术标准的探针台制造商数量较少，如前文所述，在 LED 芯片行业领域，半导体探针台设备市场长期被中国台湾地 区的旺矽科技、惠特科技、豪勉科技等公司占据，发行人凭借自身设备质量及 服务优势，在光电芯片行业的探针台领域打破了进口垄断、实现了在商业应用 领域的国产替代。

根据主要客户访谈内容，发行人是国内 LED 芯片行业主要企业在报告期内唯一的国产探针台供应商。

B. 发行人设备的技术水平达到国际同类设备，且生产规模和交付能力也可满足客户需求

发行人在探针测试领域的技术水平以及在 LED 芯片领域的项目经验在行业内处于领先水平，通过长期行业客户服务的积累，形成了一定的技术壁垒。发行人晶粒探针台的技术水平已达到国际同类设备的水平，部分核心指标已超越同行业竞争对手，具体对比情况如下表所示：

项目	发行人	惠特科技	旺矽科技
定位精度	±1.3μm	±4μm	±2μm
OTS 功能	有	无	无
Docking 测试能力	有	无	无
100μm 以下超薄晶 圆全自动测试能力	有	无	无
高低温耐压全自动 测试能力	8kv，-55-200	未披露	200v，-50-200
自动化生产线能力	支持天车系统；自动化生产线并行传 输级联	自动化生产线串行传输级联	无
测试可靠性保证	墨点监控、针痕检 测、高压防打火、	针痕检测、探针位 置自动校正	针痕检测、探针位 置自动校正

项目	发行人	惠特科技	旺矽科技
	探针位置自动校正
探针测试一体化解决方案	Mini/Micro LED、 PD/APD、VCSEL、 MLCC、GPP、RF、 红外传感器	Mini/Micro LED、 PD/APD、VCSEL	Mini/Micro LED、 PD/APD、VCSEL、 RF

根据 SEMI 和 CSA Research 统计，2019 年矽电股份占中国大陆探针台设备市场 13%的市场份额，市场份额排名第四，为中国大陆设备厂商第一。同时，三安光电、兆驰股份是国内 LED 芯片行业的龙头企业，LED 芯片产能在国内处于领先地位，近年来积极扩产，对设备的需求量较大。发行人也是国内为数不多生产规模和交付能力可以满足三安光电、兆驰股份采购需求的探针台设备制造商。

C. 在国产替代和疫情因素的叠加影响下，客户出于供应链安全的考虑，加大了对国产设备的采购力度，具有合理性

自疫情爆发以来，市场对芯片的需求随着 5G、人工智能、电动汽车市场的快速扩张而大幅增长。为应对全球芯片短缺，各芯片制造企业纷纷建厂扩张，半导体专用设备紧缺的情况较为普遍。

以三安光电、兆驰股份为首的 LED 芯片行业近年来快速发展，产能快速增长，但在近年来国际政治形势的变化和地缘冲突的加剧等紧张形势下，政策性限制使得境外半导体专用设备制造商对我国芯片制造企业的供应稳定性大幅下降，无法满足我国芯片制造企业对设备的需求。新冠疫情的爆发也对进口半导体专用设备的运输、物流以及企业之间的技术人员交流造成了不利影响。

近年来，面对上述国际贸易摩擦不断加深和半导体设备受制于人的情形，我国半导体设备企业不断取得技术突破，凭借具备技术水平及性价比优势的产品、更加及时完善的本地化服务获得了下游客户的认可。客户出于供应链安全的考虑，加大了对国产设备的采购力度，具有合理性。

综上，发行人在设备技术水平和交付能力方面具有较强的竞争力，是国内

LED 芯片行业主要企业唯一的国产探针台供应商。在国产替代和疫情因素的叠

加影响下，三安光电及兆驰股份出于供应链安全的考虑，加大对国产设备的采购力度，因此，三安光电及兆驰股份对发行人设备采购量上升具有合理性。

③ 三安光电近年来快速扩产，对半导体专用设备具有规模化的采购需求

三安光电近年来积极扩产并升级产品结构，主推 Mini/Micro LED、红外/紫外 LED、车用 LED、植物照明 LED 等产品。根据三安光电 2021 年年度报告，其营收规模达 125.72 亿元，同比增长 48.71%，mini/micro LED 业务也在 2021 年取得较大突破，与国内外知名客户达成深度合作，销售额同比去年增长 246.61%。

根据三安光电的新建产能规划，LED 业务细分领域的新增产能主要在泉州三安半导体科技有限公司（以下简称“泉州三安”）和湖北三安光电有限公司

（以下简称“湖北三安”），两者均为三安光电的全资子公司，核心产品为 LED 外延片、LED 芯片等。泉州三安及湖北三安是三安光电在 LED 芯片新建项目的实施主体，从而对半导体专用设备具有规模化的采购需求，具体如下：

单位：亿元

项目名称	预算投资额	截至 2022 年 6 月累计投资额	其中：设备投资额	拟购买 探针台数量 （台）
泉州三安半导体科技有限公司半导体研发与产业化一期 工程	138.05	137.81	94.05	3,112 （注）
湖北三安光电有限公司 Mini/Micro 显示产业化项目	120.00	20.34	102.57	3,377

注：根据三安光电的公告，湖北三安项目拟计划采购3,377 台探针台，泉州三安项目具体的探针台采购数量未予披露。由于两大项目的核心产品均为 LED 外延片、芯片及其应用产品，生产工艺及设备布局接近。此处假设两项目探针台数量占设备投资额的比重相同，以此推测泉州三安的探针台需求量。

由上表可见，作为新建项目的实施主体，泉州三安及湖北三安对发行人的产品均具有采购需求。报告期内，泉州三安及湖北三安采购发行人探针台的订单量分别为 2,810 台及 1,825 台，采购数量合理。

同时，根据三安光电的 2021 年年度报告，其“在 Mini LED 市场拓展已取 得初步成效，已与 S004、A006 等国际大客户进入深度合作”，2022 年在 mini- LED 芯片领域的意向性订单约 2.2 亿元/月，为了应对未来预期到来的大量订单，三安光电积极投资建设新产线。三安光电 mini-LED 芯片产品已获国际客户的认 证，发行人的探针台设备为经国际客户认证产线中的探针台设备。在此背景下，对发行人的探针台设备具有规模化采购需求。

④ 三安光电、兆驰股份拥有严格的采购流程内控，供应商遴选系基于商业实质

三安光电、兆驰股份作为国内知名的 LED 芯片企业，对供应商有着严格的遴选程序，且半导体专用设备是半导体制造的基础，芯片设计、晶圆制造和封装测试等需在设备技术允许的范围内设计和制造，因此只有符合技术标准、生产工艺、功能要求、交付能力等多方面综合要求的设备供应商才能入围其合格供应商名录。

具体到项目的设备采购流程，三安光电、兆驰股份均设立了独立的采购中心负责采购流程，且需相关技术部门负责设备性能的技术评估工作。上述部门执行独立、严格的市场询价、技术验证、商务谈判和比价等遴选程序，只有设备技术指标符合要求，且价格、交期、服务条款等商务条件方面具有竞争力的合格供应商才会最终成为项目的设备供应商。三安光电、兆驰股份严格的采购流程制度保证了双方交易具有商业实质。

综上所述，林志强、顾乡投资发行人是基于对发行人及其所处行业的看好，三安光电、兆驰股份均为国内 LED 芯片行业龙头企业，具有规范的治理结构和 内控流程，且在产能扩张的背景下具有规模化采购需求。发行人是大陆地区领 先的探针台设备制造商，在技术水平和交付能力方面具有较强的竞争力，三安 光电、兆驰股份在国产替代和疫情因素的影响下加大了对国产设备的采购力度，发行人与三安光电的交易规模于入股后大幅增长具有合理性，不存在以股权换 订单的情形。

（三）结合同行业公司情况说明类似入股上下游的情形是否符合行业惯例，

是否存在业务合作协议

1、类似入股上下游的情形是否符合行业惯例

对于半导体设备企行业而言，客户或客户关联方入股有利于保持稳定合作关系，保障其供应链的安全性和稳定性。半导体专用设备是芯片制造流程中的核心生产要素，直接影响芯片制造的工艺路线和制程水平。

芯片制造企业非常重视供应链的安全性和稳定性，根据查询公开市场信息，半导体行业企业中客户入股上游供应商的部分案例如下表所示：

序 号	公司名称	入股方式	入股时间	主要产品	入股股东	对应客户	入股主体与 客户的关系
1	金海通	上市前间接 入股	2017 年 8 月	半导体测试设备， 具体为测试分选机	南通华泓	通富微电	客户的同一 控制下企业
2	中科飞测	上市前增资	2016 年 9 月	高端半导体质量控制设备等，具体为检测设备和量测设 备	聚源载兴、 聚源启泰	中芯国际及其联营企业	客户联营企业管理的私募基金
			2020 年 9 月		聚源铸芯
3	ASML	上市后增资	2012 年	先进半导体设备系 统的提供商,包括提供光刻系统	三星、英 特尔、台积电	三星、英 特尔、台积电	客户本身
4	峰岹科技	上市前增资	2020 年 1 月	电机驱动控制专用芯片	小米长江产业基金	小米集团 为终端客户	客户控制的 企业管理的私募基金
5	奕东电子	上市前增资	2019 年 10 月	LED 背 光 模 组 、 FPC、连接器零组件	小米长江产业基金	小米集团为直接及 间接客户	客户控制的企业管理的 私募基金
6	灿瑞科技	上市前受让 股权	2020 年 5 月	高性能数模混合集成电路及模拟集成电路研发设计、封装测试和销售	小米长江产业基金	小米集团	客户控制的企业管理的私募基金
		上市前增资	2020 年 12 月
		上市前增资	2020 年 12 月		深圳展想	传音控股	客户全资子 公司
7	华海诚科	未公开	报告期前入股	半导体封装材料的研发及产业化，主要产品为环氧塑封料和电子胶黏剂	天水华天科技股份有限公司 （以下简 称“华天科技”）	华天科技	客户本身
		未公开	报告期前入 股		江苏新潮	长电科技	客户的控股 股东
		上市前受让 股权	2019 年 6 月		杨森茂	银河微电	客户的实际控制人
		上市前增资	2021 年 4 月

8	盛美上海	IPO 发行阶段战略配售	2021 年 11 月	半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等半导体专用设备的研发、生产和销 售	华力微电子	华力微电子为终端客户	客户本身
9	沪硅产业	IPO 发行阶段战略配售	2020 年 4 月	半 导 体 硅 片 的 研 发、生产和销售	上海华虹	上海华虹为终端客 户	客户本身
10	金宏气体	IPO 发行阶段战略配售	2020 年 6 月	从事气体研发、生产、销售和服务的环保集约型综合气体供应商	中芯晶圆股权投资 （宁波）有限公 司	中芯国际	客户全资子公司

由上表可见，半导体设备行业及半导体产业链均存在较多下游客户或其关 联方入股公司以增强合作稳定性的案例，类似入股上下游的情形符合行业惯例。

2、林志强、顾乡入股发行人不存在与业务合作相关的协议和约定

林志强、顾乡入股时与发行人及所有其他股东共同签署了《股份认购协议》，林志强、顾乡的入股条款与发行人的其他投资者相同，不存在与业务合作相关 的协议或安排，也不存在超出普通股东的权利和义务之外的其他附加条件。

发行人与三安光电、兆驰股份等主要客户之间，除正常生产经营以外，不存在其他资金往来或其他利益安排。根据三安光电、兆驰股份出具的声明，其与发行人不存在日常购销半导体设备以外的特殊协议或安排。

（四）发行人对三安光电与兆驰股份的销售是否需要比照关联方披露及认定依据

1、未将三安光电及兆驰股份认定为关联方的依据

（1）未认定三安光电及兆驰股份为关联方的原因

根据《公司法》《企业会计准则第 36 号——关联方披露》和《深圳证券交易所创业板股票上市规则》的相关规定，林志强、顾乡及三安光电、兆驰股份均不属于公司的关联方，具体如下：

适用文件 相关规定 分析

《公司法》	第二百一十六条第四款规定，关联关系，是指公司控股股东、实际控制人、董事、监事、高级管理人员与其直接或者间接控制的企业之间的关系，以及可能导致公司利益转移的其他关系。但是，国家控股的企业之间不仅因为同受国家控股而具有关联关系。	林志强、顾乡未在发行人担任董监高，也不存在可能导致发行人利益转移的其他关系， 不属于《公司法》规定的关联方。
《企业会计准则第 36 号— — 关 联 方 披露》	第三条规定，一方控制、共同控制另一方或对另一方施加重大影响，以及两方或两方以上同受一方控制、共同控制或重大影响的，构成关联方。	林志强、顾乡分别持股发行人 2.40%和 1.74%的股份，对发行人不存在控制、共同控制或重大影响的情形，不属于《企业会计准则第 36 号——关联方披露》第三条认定的关联方。
	第四条规定，下列各方构成企业的关联方：（一）该企业的母公司。（二）该企业的子公司。（三）与该企业受同一母公司控制的其他企业。（四）对该企业实施共同控制的投资方。（五）对该企业施加重大影响的投资方。（六）该企业的合营企业。（七）该企业的联营企业。（八）该企业的主要投资者个人及与其关系密切的家庭成员。主要投资者个人，是指能够控制、共同控制一个企业或者对一个企业施加重大影响的个人投资者。（九）该企业或其母公司的关键管理人员及与其关系密切的家庭。	经逐项比对如下： 第（一）-（四）项：不适用； 第（五）项：林志强、顾乡未对企业施加重大影响； 第（六）、（七）项：不适用； 第（八）项：林志强、顾乡未能够控制、共同控制一个企业或者对一个企业施加重大影响，不属于主要投资者； 第（九）项：林志强、顾乡不是发行人或其母公司的关键管理人员及与其关系密切的家庭。 综上，林志强、顾乡不属于《企业会计准则第 36 号—关联方披露》第四条认定的关联方。
《深圳证券交易所创业板股票上市规则》	7.2.5 条：“具有下列情形之一的自然人，为上市公司的关联自然人： （一）直接或者间接持有上市公司 5%以上股份的自然人； （二）上市公司董事、监事及高级管理人员； （三）直接或者间接地控制上市公司的法人或者其他组织的董事、监事及高级管理人员； (四）本条第一项至第三项所述人士的关系密切的家庭成员，包括配偶、父母、配偶的父母、兄弟姐妹及其配偶、年满十八周岁的子女及其配偶、配偶的兄弟姐妹和子女配偶的父母； （五）中国证监会、本所或者上市公司根据实质重于形式的原则认定的其他与上市公司有特殊关系，可能造成上市公司对其 利益倾斜的自然人	经逐项比对如下： 第（一）项：林志强、顾乡分别持股发行人 2.40%和 1.74%的股份，持股比例未超 5%； 第（二）项：林志强、顾乡未在发行人担任董监高； 第（三）项：林志强、顾乡未在直接或者间接地控制上市公司的法人 （或者其他组织）的董事、监事及高级管理人员； 第（四）项：林志强、顾乡不属于 7.2.5 条第一项至第三项所述人士的关系密切的家庭成员。 综上，林志强、顾乡不属于《深圳证券交易所创业板股票上市规则》 7.2.5 条认定的关联自然人。

综上，根据《公司法》《企业会计准则第 36 号——关联方披露》和《深圳证券交易所创业板股票上市规则》的相关规定，林志强、顾乡及三安光电、兆驰股份均不属于发行人的关联方。

（2）同行业相关案例分析

以本题之“（三）结合同行业公司情况说明类似入股上下游的情形是否符合行业惯例，是否存在业务合作协议”之相关回复中的同行业公司为例，上述案例中不存在客户或其关联方在持股低于 5%的情况下被认定为关联方的情形，具体如下：

序 号	公司名称	入股股东	对应客户	入股主体与客 户的关系	持股比 例	是否认定 关联方
1	金海通	南通华泓	通富微电	客户的同一控 制下企业	8.80%	是
2	中科飞测	聚源载兴、 聚源启泰、聚 源铸芯	中芯国际及其联营 企业	客户联营企业管理的私募基 金	三者合计持股 4.84%，	否
3	峰岹科技 （688279.SH）	小米长江产业基金	小米集团 为终端客户	客户控制的企 业管理的私募基金	2.03%	否
4	奕东电子 （301123.SZ）	小米长江产业基金	小米集团为直接及 间接客户	客户控制的企业管理的私募 基金	3.00%	否
5	灿瑞科技	小米长江产业基金	小米集团	客户控制的企业管理的私募 基金	3.89%	否
		深圳展想	传音控股	客户全资子公 司	0.98%	否
6	华海诚科	华天科技	华天科技	客户本身	5.38%	是
		江苏新潮	长电科技	客户的控股股 东	7.73%	是
		杨森茂	银河微电	客户的实际控 制人	8.91%	是
7	盛美上海 （688082.SH）	华力微电子	华力微电子为终端 客户	客户本身	0.16%	否
8	沪硅产业 （688126.SH）	上海华虹	上海华虹为终端客 户	客户本身	0.52%	否
9	金宏气体 （688106.SH）	中芯晶圆股权投资（宁波） 有限公司	中芯国际	客户全资子公司	1.33%	否

2、报告期内与三安光电、兆驰股份的交易情况

报告期内，发行人与三安光电与兆驰股份的交易均属于经常性交易，具体如下表所示：

单位：万元

客户名称	交易内容	2022 年 1-6 月		2021 年度		2020 年度		2019 年度
		金额	占营业收入比例	金额	占营业收入比例	金额	占营业收入比 例	金额	占营业收入比 例
三安光电	销售设备、配 件	14,431.79	61.79%	9,979.62	25.00%	5,702.34	30.33%	725.98	7.78%
兆驰股份	销售设备、配 件	3,378.61	14.47%	205.64	0.52%	2,675.80	14.23%	18.94	0.20%

报告期内各期末，公司对三安光电与兆驰股份的应收应付款项余额情况如下表所示：

单位：万元

客户	项目名称	账面余额
		2022.6.30	2021.12.31	2020.12.31	2019.12.31
三安光电	预收款项	-	-	-	2,870.04
	合同负债	15,201.99	22,737.82	1,516.01	-
	应收账款	2,656.79	996.79	654.07	66.10
	应收票据	3,335.36	10,864.24	1,746.81	89.85
	应收款项融资	400.00	2,124.91	-	-
兆驰股份	预收款项	-	-	-	2,307.57
	合同负债	2,322.46	1,218.62	1,064.52	-
	应收账款	770.11	392.28	33.31	2.14
	合同资产	228.98	-	7.79	-
	应收票据	747.17	-	-	-
	应收款项融资	1,165.07	-	-	-

为了提升招股说明信息披露质量，为投资者作出价值判断和投资决策提供充分信息，发行人与三安光电、兆驰股份之间的交易比照关联交易补充披露于招股说明书“第七节公司治理与独立性”之“十四、其他交易情况”部分。

二、说明报告期各期与三安光电、兆驰股份各项订单的合同签订时间、合同金额与收入确认金额的匹配关系、探针台类型及单价、约定收款时间、实际收款时间等，并说明销售毛利率大幅波动的原因

（一）报告期各期发行人与三安光电、兆驰股份各项订单的合同签订时间、合同金额与收入确认金额的匹配关系、探针台类型及单价、约定收款时间、实 际收款时间

1、三安光电

报告期内各期，发行人与三安光电的交易情况汇总如下表所示：

单位：万元、台、万元/台

产品 型号	产品 类型	项目	2022 年 1-6 月	2021 年度	2020 年度	2019 年度
		主营业务收入	9,654.29	7,128.84	1,277.61	-
L-11DM/	6 英寸倒装	收入占比	67.15%	71.76%	22.52%	-
L-10DM	晶粒探针台	销量	*	*	*	-
		销售单价	*	*	*	-
L-9DM	4 英寸倒装晶粒探针台	主营业务收入	-	17.29	1,578.84	557.91
		收入占比	-	0.17%	27.83%	85.14%
		销量	-	*	*	*
		销售单价	-	*	*	*
L-10MC	6 英寸正装晶粒探针台	主营业务收入	3,481.14	1,682.61	1,655.15	-
		收入占比	24.21%	16.94%	29.18%	-
		销量	*	*	*	-
		销售单价	*	*	*	-
L-9MC	4 英寸正装晶粒探针台	主营业务收入	616.00	525.31	1,023.84	-
		收入占比	4.28%	5.29%	18.05%	-
		销量	*	*	*	-
		销售单价	*	*	*	-
其他型号	晶粒探针台为主，少量晶圆探针台	主营业务收入	626.13	580.61	137.17	97.35
		收入占比	4.35%	5.84%	2.42%	14.86%
		销量	*	*	*	*
		销售单价	*	*	*	*
合计		主营业务收入	14,377.56	9,934.66	5,672.61	655.26

	收入占比	100.00%	100.00%	100.00%	100.00%
	销量	*	*	*	*
	销售单价	*	*	*	*

报告期内各期，发行人与三安光电各项订单的具体情况如下表所示：

（1）三安光电

序号	合同编号	合同签订时间	探针台类型	产品型号	单价 （不含税）	合同数量	合同金额 （不含税）	收入确认金额	发货时间	验收时间	验收周期 （月）	合同约定收款条款	实际收款时间
1	5000010630	2018.2	晶粒探针台	L-9DM	*	*	717.95 （注 1）	-	2018.3/ 2018.4	2018.12	8-9	合同生效后预付 90%，验收后付清 10%，分批发货分批付款	2018.3/2019.1/ 2019.7
						*		149.57	2018.3/ 2018.4	2019.7	15-16
2	3000007852	2018.2	晶粒探针台	L-9DM	*	*	286.62	286.62	2018.4	2019.6	14	合同签订后一周内预 付合同总价 90%，验收后一周内付 10%。	2018.3/2019.7
3	3000009096	2018.6	晶粒探针台	L-9DM	*	*	121.72	121.72	2018.7	2019.6	11	合同签订后一周内预付合同总价 90%，验 收后一周内付 10%。	2018.7/2019.7
4	7000000127	2018.10	晶粒探针台	L-9MC	*	*	1,023.84	1,023.84	2018.12	2020.12	24	①合同签订后，支付合同总金额的 40%作为预付款； ②开具发票后 15 个工作日内支付合同总金额的 50%作为货款； ③验收合格后 30 个工 作日内买方支付余下的 10%。	2018.11/2018.12/ 2019.4/2021.3
			晶粒探针台	L-10MC	*	*	595.86	595.86	2019.1	2020.12	23
			晶粒探针台	L-9DM	*	*	15.22	15.22	2019.3	2020.12	21
5	7000000400	2018.12	晶粒探针台	L-9DM	*	*	950.71	950.71	2019.1/ 2019.2	2020.12	22-23	同上	2019.1-5/2021.3
6	7000000401	2018.12	晶粒探 针台	L-9DM	*	*	248.94	248.94	2019.1	2020.12	23	同上	2019.1/2019.5/ 2021.3

序号	合同编号	合同签订时间	探针台类型	产品型号	单价 （不含税）	合同数量	合同金额 （不含税）	收入确认金额	发货时间	验收时间	验收周期 （月）	合同约定收款条款	实际收款时间
7	7000000989	2019.2	晶粒探针台	L-9DM	*	*	190.14	190.14	2019.3	2020.12	21	同上	2019.3/2019.7/ 2019.8/2019.12 /2021.3
					*	*	156.54	156.54	2019.3	2020.12	21
8	2000013010	2019.5	晶粒探 针台	LDM-08	*	*	97.35	97.35	2019.6	2019.11	5	同上	2019.6/2019.10/ 2020.1
9	2000014950	2019.10	晶粒探 针台	L-9DM	*	*	17.29	17.29	2019.12	2020.7	7	同上	2019.12/2020.7/ 2020.9
10	SACS-0C-1911- 1036	2019.12	晶圆探针台	LT-6	*	*	32.74	32.74	2020.4	2021.1	9	①预付款：合同签订后买方支付合同总价的 35%作为预付款； ②验收款：货物安装 调试完并收到发票后支付合同总价 65%。	2020.3/2021.6
11	7000003234	2020.2	晶粒探针台	L-10MC	*	*	2,743.01	1,059.29	2020.4/ 2020.5	2020.12	7-8	①合同签订后分批发货，预付款比例为 40%； ②开具发票后 30 个工作日内支付 50%的到货款； ③验收合格后 30 个工作日内买方支付余下的 10%。	2020.3/2020.4/ 2020.8/2020.10/ 2021.3/2021.4/ 2021.8
						*		1,661.42	2021.2/ 2021.3	2021.12	9-10
						*		22.30	2021.1	2022.5	16
			晶粒探 针台	L-10DM	*	*	656.55	656.55	2020.4/ 2020.5	2020.12	7-8
			晶粒探 针台	LDM-08	*	*	58.41	58.41	2020.5	2020.12	7
			晶圆探 针台	LDM- 08COW	*	*	58.41	58.41	2020.5	2020.12	7
12	7000004079	2020.2	晶粒探 针台	L-9MC	*	*	465.84	465.84	2020.5	2021.6	13	同上	2020.7/2020.9/ 2021.7

序号	合同编号	合同签订时间	探针台类型	产品型号	单价 （不含税）	合同数量	合同金额 （不含税）	收入确认金额	发货时间	验收时间	验收周期 （月）	合同约定收款条款	实际收款时间
13	2000017073	2020.5	晶粒探 针台	L-9DM	*	*	17.29	17.29	2020.6	2021.5	11	同上	2020.6/2021.5
14	2000017046	2020.5	晶圆探 针台	LDM- 08COW	*	*	58.41	58.41	2020.7	2021.5/ 2021.10	10-15	同上	2020.7/2020.10/ 2021.5/2021.9
15	7000004155	2020.3	晶粒探针台	L-9MC	*	*	138.76	59.47	2020.9	2021.6	9	同上	2020.8/2021.1-8
						*		79.29	2021.5	2022.1	8
16	7000004165	2020.4	晶粒探 针台	L-10DM	*	*	621.06	621.06	2020.6	2020.12	6	同上	2020.6-10/ 2021.1/2021.3/ 2021.7
			晶粒探 针台	LDM-08	*	*	19.47	19.47	2021.1	2021.12	11
			晶圆探针台	L-906T	*	*	81.42 （注 2）	20.35	2020.7	2020.12	5
						*		-	未发货	未验收
17	7000008098	2020.9	晶粒探针台	L-11DM	*	*	3,377.12	3,377.12	2020.11/ 2020.12/ 2021.1	2021.12	11-13	同上	2020.12/2021.1- 8/2021.12
			晶粒探 针台	L-11DM	*	*	590.18	590.18	2020.11/ 2020.12	2021.11	11-12
			晶粒探 针台	L-D4	*	*	133.41	133.41	2021.2/ 2021.3	2021.12	9-10
			晶圆探针台	L-D4COW	*	*	246.83	246.83	2021.1	2021.12	11
						*	89.76	89.76	2021.2	2021.11	9
18	1300000066	2021.1	晶圆探 针台	L-D6COW	*	*	106.58 （注 3）	-	2021.5	2022.8	15	同上	2021.1-9/ 2021.12

序号	合同编号	合同签订时间	探针台类型	产品型号	单价 （不含税）	合同数量	合同金额 （不含税）	收入确认金额	发货时间	验收时间	验收周期 （月）	合同约定收款条款	实际收款时间
			晶粒探针台	L-11DM	*	*	8,207.54 （注 3）	3,161.54	2021.2/ 2021.4/ 2021.5	2021.12	7-10
						*		-	2021.1/ 2021.4-7	2022.8	13-20
						*		-	未发货	未验收	-
			晶粒探 针台	L-D6	*	*	202.78 （注 3）	-	2021.6	未验收	-
			晶粒探 针台	L-10MC	*	*	21.19	21.19	2021.4	2021.12	8
19	SACS-OD-2006- 1095	2020.8	晶圆探 针台	VT-X6N	*	*	81.40	81.40	2018.10	2022.5	31	①合同签订后，支付 90%的预付款； ②验收合格后支付剩余 10%	2020.9/2022.8
			晶圆探 针台	VT-X6L	*	*	49.78	49.78	2020.12	2022.5	19
			晶圆探 针台	VT-X6F	*	*	47.24	47.24	2020.12	2022.5	19
20	7000010605	2021.1	晶粒探针台	L-11DM	*	*	6,749.53 （注 4）	2,536.93	2021.1-3	2022.1	10-12	①合同签订后分批发货，预付款比例为 40%； ②开具发票后 30 个工作日内支付 50%的到货款； ③验收合格后 30 个工作日内买方支付余下的 10%。	2021.2-4/2021.8/ 2021.9/2021.12
						*		-	2021.3-5	未验收	-
			晶粒探针台	L-10MC	*	*	1,927.91 （注 4）	1,800.80	2021.3-4	2022.1	9-10
						*		52.96	2021.4	2022.6	14
						*		-	2021.4	2022.8	16
						*		-	2021.4	未验收	-

序号	合同编号	合同签订时间	探针台类型	产品型号	单价 （不含税）	合同数量	合同金额 （不含税）	收入确认金额	发货时间	验收时间	验收周期 （月）	合同约定收款条款	实际收款时间
			晶粒探 针台	L-D6	*	*	304.17 （注 4）	-	2021.6、 2021.9	未验收	-
			晶粒探 针台	L-D4	*	*	152.08	152.08	2021.6	2022.3	9
			晶圆探 针台	L-D6COW	*	*	277.12 （注 4）	-	2021.6、 2021.9	未验收	-
			晶圆探 针台	L-906T	*	*	42.63 （注 4）	-	2021.9	未验收	-
21	7000010602	2021.1	晶粒探 针台	L-11DM	*	*	887.72	887.72	2021.2	2022.2	12	同上	2021.2/2021.4/ 2021.8-9/2021.11
			晶粒探针台	L-9MC	*	*	564.96 （注 5）	536.71	2021.4-6、 2021.9	2022.2	5-10
						*		-	2021.5	2022.8	15
			晶圆探 针台	L-D4COW	*	*	85.27	85.27	2021.6	2022.2	8
			晶粒探 针台	L-D4	*	*	76.04	76.04	2021.6	2022.2	8
			其他	TS-600K	*	*	7.58	7.58	2021.1	2022.2	14
22	7000010902	2021.2	晶粒探 针台	L-11DM	*	*	8,503.44 （注 6）	6,229.63	2021.3-7	2022.1	7-11	同上	2021.4-6/2021.9/ 2021.11/2022.1/ 2022.3
			晶粒探 针台			*		-	2021.4-6	未验收	-
			晶粒探 针台	L-D6	*	*	50.69 （注 6）	-	2021.7	未验收	-

序号	合同编号	合同签订时间	探针台类型	产品型号	单价 （不含税）	合同数量	合同金额 （不含税）	收入确认金额	发货时间	验收时间	验收周期 （月）	合同约定收款条款	实际收款时间
			晶粒探 针台	L-D4	*	*	50.69	50.69	2021.7	2022.1	7
23	4300000069	2021.3	晶粒探 针台	L-10MC	*	*	158.89	158.89	2021.7	2022.6	12	同上	2021.5/2022.1/ 2022.5
			晶粒探 针台	L-11DM- PM/S	*	*	62.30 （注 7）	-	2021.7	未验收	-
			晶圆探 针台	L-906T-SA	*	*	21.32 （注 7）	-	2021.8	未验收	-
24	4300000357	2021.4	晶粒探 针台	L-10MC	*	*	1,446.19	1,446.19	2021.7-8	2022.6	11-12	同上	2021.6-7/2022.3
			晶粒探 针台	L-D4	*	*	76.04	76.04	2021.9	2022.1	5

注 1：该项目下合同金额与收入确认金额存在差异 568.38 万元，系因合同下 38 台设备于 2018 年（报告期前）验收；

注 2：该项目下合同金额与收入确认金额存在差异 61.07 万元，系因合同下 3 台设备尚未验收；

注 3：该项目下合同金额与收入确认金额存在差异合计 5,355.35 万元，均系因合同下 217 台设备于 2022 年 8 月（报告期后）验收或尚未验收；

注 4：该项目下合同金额与收入确认金额存在差异合计 4,910.67 万元，均系因合同下 248 台设备于 2022 年 8 月（报告期后）验收或尚未验收；

注 5：该项目下合同金额与收入确认金额存在差异合计 28.25 万元，均系因合同下 3 台设备于 2022 年 8 月（报告期后）验收；

注 6：该项目下合同金额与收入确认金额存在差异合计 2,324.50 万元，均系因合同下 148 台设备尚未验收；

注 7：该项目下合同金额与收入确认金额存在差异合计 83.62 万元，均系因合同下 5 台设备尚未验收；

注 8：回款情况统计截止至 2022 年 8 月 31 日；

注 9：上表中部分信息涉及商业秘密，已申请豁免披露。

2、兆驰股份

报告期内各期，发行人与兆驰股份的交易情况汇总如下表所示：

法律意见书

单位：万元、台、万元/台

型号	产品类型	项目	2022 年 1-6 月	2021 年度	2020 年度	2019 年度
CL- 150DMC/ LDM-150	6 英寸倒装晶粒探针台	主营业务收入	241.79	-	2,606.84	-
		收入占比	7.16%	-	97.42%	-
		销量	*	-	*	-
		销售单价	*	-	*	-
L-10MC	6 英寸正装晶粒探针台	主营业务收入	3,136.81	-	-	-
		收入占比	92.84%	-	-	-
		销量	*	-	-	-
		销售单价	*	-	-	-
LQC-100	6 英寸正装晶粒探针台	主营业务收入	-	-	68.97	-
		收入占比	-	-	2.58%	-
		销量	-	-	*	-
		销售单价	-	-	*	-
LTS-600K	4 英寸正装晶粒探针台	主营业务收入	-	-	-	18.94
		收入占比	-	-	-	100.00%
		销量	-	-	-	*
		销售单价	-	-	-	*
自动化线	其他	主营业务收入	-	182.15	-	-
		收入占比	-	100.00%	-	-
		销量	-	*	-	-
		销售单价	-	*	-	-
合计		主营业务收入	3,378.61	182.15	2,675.80	18.94
		收入占比	100.00%	100.00%	100.00%	100.00%
		销量	*	*	*	*
		销售单价	*	*	*	*

报告期内各期，发行人与兆驰股份各项订单的具体情况如下表所示：

3-35

单位：万元、万元/台

序号	合同编号	合同签署时间	探针台类型	产品型号	单价 （不含税）	合同数量	合同金额 （不含税）	收入确认金额	发货时间	验收时间	验收周期 （月）	合同约定收款条款	实际收款时间
1	BMTCPRJX A190034	2019.5	晶粒探针台	LTS-600K	*	*	18.94	18.94	2019.5	2019.9	4	验收合格付 90%货款，验收合格 6 个月付 10% 尾款	2019.11/ 2021.6
2	SMTC2018 120601	2019.1	晶粒探针台	LQC-100	*	*	68.97	68.97	2019.8	2020.9	13	①合同约定后 15 个工作天内预付合同总额 15%； ②货到工厂签收后 15 个工作日内付合同 35%货款； ③通过验收合格后付 40%； ④质保一年后付 10%	2019.3/ 2019.10/
3	SMTC2018 030601	2018.3	晶粒探针台	CL- 150DMC	*	*	2,606.84	2,606.84	2019.6/ 2019.8	2020.7	11-13	①合同签订后 15 个工作日预付 15%货款； ②货到 15 个工作日内付 60%货款； ③验收后付 15%货款； ④质保一年后付清 10%	2018.4/ 2019.8/ 2019.10/ 2020.11
			晶粒探针台	LDM-150	*	*	85.38	85.38	2019.8	2022.3	19
			晶粒探针台	LDM-150- SF	*	*	52.14	52.14	2019.8	2022.3	19
			晶粒探针台	LDM-150- WF	*	*	104.27	104.27	2019.8	2022.3	19
			晶粒探针台	自动化线	*	*	182.15	182.15	2019.6/ 2019.8	2021.6	20-22
4	SMTC2020 082102	2020.9	晶粒探针台	L-10MC	*	*	1,690.27 （注）	1,352.21	2021.1-3	2022.3	12-14	①合同签订后预付 30% 货款；	2020.10/ 2022.1/ 2022.5
						*		-	2021.2-3	未验收	-

序号

合同编号

合同签署时间

探针台类型

产品型号

单价 （不含税）

合同数量

合同金额 （不含税）

收入确认金额

发货时间

验收时间

验收周期 （月）

合同约定收款条款

实际收款时间

②设备到货后支付 50% 货款； ③验收合付 10%货款； ④质保一年后付清 10%

5

SMTC2020 082101

2020.9

晶粒探针台

L-10MC

*

*

1,707.17

1,707.17

2021.1-5

2022.4

11-16

同上

2020.10/ 2022.4

L-10MC-RS

*

*

77.43

77.43

2021.1/2 021.4

2022.4

12-16

注 1：该项目下合同金额与收入确认金额存在差异合计 338.06 万元，均系因合同下 20 台设备尚未验收；

注 2：情况统计截止至 2022 年 8 月 31 日；

注 3：上表中部分信息涉及商业秘密，已申请豁免披露。

法律意见书

由上表可见，发行人对三安光电、兆驰股份的合同金额与收入确认金额的匹配。

（二）对三安光电、兆驰股份销售毛利率大幅波动的原因

报告期内，发行人对三安光电、兆驰股份的销售毛利率如下表所示：

公司名称	2019 年度	2020 年度	2021 年度	2022 年 1-6 月
三安光电	36.06%	39.68%	43.33%	44.60%
兆驰股份	43.72%	29.29%	2.74%	32.01%

发行人对三安光电、兆驰股份的销售毛利率波动的原因分析如下：

1、三安光电

报告期内，发行人对三安光电的销售毛利率分别为 36.06%、39.68%、44.33%

及 44.60%，呈逐年提升态势，具体变动原因如下：

2020 年，发行人对三安光电的销售毛利率高于 2019 年，主要系因订单的规模效应导致单位成本快速下降所致。发行人销售至三安光电产品未配置测试组件，产品售价及成本均有所下降，且单位成本下降幅度大于销售单价的下降幅度，导致整体销售毛利率高于 2019 年。

三安光电于当年所验收的产品订单具有型号集中、批量采购的特征，产品型号主要集中在 L-9DM、L-10MC、L-10DM 及 L-9MC 四类型号设备，上述四类型号设备占当年所验收设备数量及金额的比例均超过了 97%，具体如下表所示：

单位：台、万元

设备型号	数量	数量占比	销售收入	收入占比
L-10DM	*	*	1,277.61	22.52%
L-10MC	*	*	1,655.15	29.18%
L-9DM	*	*	1,578.84	27.83%
L-9MC	*	*	1,023.84	18.05%

小计	*	*	5,535.44	97.58%
其他型号	*	*	137.17	2.42%
合计	*	*	5,672.61	100.00%

在相关设备在批量采购、批量生产的规模效应影响下，原材料的采购成本、及每台设备分摊的单位直接人工及单位制造费用均快速下降，从而导致单位成 本快速下降，具体如下：

单位：万元

项目	2020 年度	2019 年度	变动幅度
单位直接材料	6.89	8.32	-17.21%
单位直接人工	0.45	0.59	-24.25%
单位制造费用	0.76	1.07	-29.24%
单位成本	8.09	9.98	-18.92%

2021 年及 2022 年 1-6 月，发行人对三安光电的销售毛利率高于 2020 年，主要系因产品结构变动导致，具体如下：

根据检测晶粒结构的差异，发行人的探针测试技术检测方式可分为正装晶粒检测和倒装晶粒检测，倒装晶粒检测主要应用于倒装结构芯片的晶粒检测，可解决光电参数测试过程中倒装结构芯片电极和发光面不同的问题，实现了倒装LED 芯片的高度精密测试，大量应用于 MiniLED 芯片的检测。由于倒装测试需额外解决各部件之间运动中的互相干涉等技术难题，因此设备整体结构设计较为复杂、对各结构件运动控制的要求也较高。

倒装检测探针台主机与正装检测探针台在机械结构设计层面的主要区别如下：

控制系统	具体配置内容	正装检测 探针台	倒装检测 探针台
	运动控制卡有 4 个轴，分别为 X 轴、Y 轴、Z1 轴和
运动控制 卡	θ 轴 4 个轴，X 轴和 Y 轴控制工作台的平面运动，θ 轴控制工作台的旋转，Z1 轴控制探针的整体上下，	配置	配置
	控制运动完成后通知测试机测试

ARM（机械臂）系	Arm 系统有 4 个轴，分别为 Z2、Z3、Z4 和积分球轴，Z 轴可以切换为微调模式，Z2，Z3，Z4 控制探 针的微调，保证探针在同一个高度；积分球轴控制	未配置	配置
统	积分球的上下，保证积分球到工作位，用于收光测
	试。

由于倒装检测探针台额外配置了 ARM 控制系统，新增 Z2、Z3、Z4 轴及积分球轴，运动轴数量是正装检测探针台的 2 倍，因此倒装产品的售价及单位成本均较高。同时，发行人是中国大陆地区首批应用倒装检测的探针台设备制造商，所以整体设备代表的技术水平较高、具备一定的市场认可度，因此相应产品的毛利率也较高。

2020 年、2021 年及 2022 年 1-6 月，三安光电所验收正装检测探针台和倒装

检测探针台的毛利率基本保持稳定，由于倒装检测探针台于 2021 年及 2022 年

1-6 月的收入占比较高且其毛利率较高，导致 2021 年及 2022 年 1-6 月三安光电的销售毛利率有所提高，具体如下表所示：

单位：台、万元、万元/台

年度	检测方式	数量	销售单价 （不含税）	销售收入	收入占比	毛利率
2020 年度	倒装	*	*	2,973.26	52.41%	*
	正装	*	*	2,699.34	47.59%	*
	合计	*	*	5,672.61	100.00%	*
2021 年度	倒装	*	*	7,693.99	77.45%	*
	正装	*	*	2,240.65	22.55%	*
	合计	*	*	9,934.66	100.00%	*
2022 年 1-6 月	倒装	*	*	10,094.42	70.21%	*
	正装	*	*	4,283.15	29.79%	*
	合计	*	*	14,377.56	100.00%	*

2、兆驰股份

报告期内，发行人对兆驰股份的销售毛利率分别为 43.72%、29.29%、2.74%

及 32.01%，毛利率波动较大。

2019 年，兆驰股份的毛利率较高，主要系因当年仅采购发行人一台探针台用于来料品质检测，采购数量较少且对设备的技术指标要求较高，因此售价较高、毛利率较高。

2020 年，兆驰股份的毛利率较低，主要系因兆驰股份当年的采购量较大， 合计验收CL-150DMC 设备 100 台，具有一定的议价能力。同时，该批次设备配 置测试组件的采购成本较高，以测试组件核心零部件源表为例，上述设备均配 置了四台源表，由于采购时间较早，每台源表的采购单价为*万元/台，高于发 行人当年平均源表采购单价*万元/台。受上述因素影响，与采购同型号产品的 客户士兰明镓相比，销售至兆驰股份的设备在单位成本高出*万元/台的情况下，单位售价仅高出*万元。上述情形导致 2020 年兆驰股份所验收设备的成本较高、毛利率较低。具体如下表所示：

单位：万元/台

项目	兆驰股份	士兰明镓	差异
销售单价	*	*	*
单位成本	*	*	*
成本差异原因	配置测试系统，搭配泰克四芯源表，测试 系统成本为*万元	配置测试系统，搭配泰克单芯源表，测试 系统成本为*万元	测试系统成本差异* 万元
毛利率	*	*	*

注：上表中部分信息涉及商业秘密，已申请豁免披露。

2021 年，兆驰股份的毛利率较低，主要系因当期所验收的设备主要为应用于该客户新设自动化产线的探针台及配套设备，根据双方约定，上述自动化产线存在较高的定制化要求，可实现不低于 32 台探针台的同步运动，并保证该过

程的全自动化及安全可靠。该技术为发行人首次应用，虽然销售单价为 60.72 万元/台，但需要发行人投入较多的资源进行技术研发、现场调试及协同测试，期间发生的物料成本及人力成本均较高，平均单台成本达 59.06 万元/台，从而导致毛利率较低。

2022 年 1-6 月，销售至兆驰股份的毛利率为 32.01%，低于当年发行人晶粒

探针台平均毛利率，主要系受产品结构的影响。当年兆驰股份所验收的产品中 L-10MC-PM 型号设备的收入贡献占比超过92.84%，该型号产品向兆驰股份销售的毛利率为 32.15%、向其他主要客户销售相同型号产品的毛利率为 32.41%，两

者不存在重大差异，具体详见本补充法律意见书之“一、关于客户关联方入股”之“五、（一）对比说明入股前后向三安光电、兆驰股份及向第三方销售相同型 号产品的单价及毛利率、信用政策等，并结合产品定价依据、定价权归属等， 说明向三安光电、兆驰股份销售产品的定价公允性”之相关回复。

三、结合产品流转过程说明三安光电验收时间集中在 12 月份的原因及合理性，并说明报告期内向三安光电、兆驰股份销售产品的验收周期与其他同类客户是否存在差异，如是，请说明原因

（一）结合产品流转过程说明三安光电验收时间集中在 12 月份的原因及合理性

报告期内，发行人销售至泉州三安及湖北三安并于 12 月验收的设备流转情况如下表所示：

序号	合同编号	产品型号	设备数量	合同签订时间	发货时间及到货时 间（注）	开始安装时间	安装完成时间	验收时间	验收周期 （月）
1	7000000127	L-9MC	100	2018.10	2018.12	2019.8	2020.6	2020.12	24
		L-10MC	54		2019.1	2019.8	2019.9	2020.12	23
		L-9DM	1		2019.3	2019.8	2020.6	2020.12	21
2	7000000400	L-9DM	55	2018.12	2019.1	2019.1	2019.2-3	2020.12	23
3	7000000401	L-9DM	15	2018.12	2019.1	2019.3	2019.4	2020.12	23
4	7000000989	L-9DM	11	2019.2	2019.3	2019.4	2019.4	2020.12	21
			10		2019.3	2019.4	2019.4	2020.12	21
5	7000003234	L-10MC	95	2020.2	2020.4-5	2020.5	2020.5	2020.12	7-8
			149		2021.2-3	2021.2	2021.9	2021.12	9-10
		L-10DM	37		2020.4-5	2020.4	2020.7	2020.12	7-8
		LDM-08	3		2020.5	2020.5	2020.6	2020.12	7

		LDM- 08COW	3		2020.5	2020.5	2020.6	2020.12	7
6	7000004165	L-10DM	35	2020.4	2020.6	2020.6	2020.7	2020.12	6
		LDM-08	1		2021.1	2021.1	2021.1	2021.12	11
		L-906T	1		2020.7	2002.7	2020.7	2020.12	5
7	7000008098	L-11DM	206	2020.9	2020.11- 12/2021.1	2020.11	2021.5	2021.12	11-13
		L-11DM	36		2020.11-12	2020.11	2020.12	2021.12	12-13
		L-D4	5		2021.3	2021.3	2021.4	2021.12	9
		L-D4COW	15		2021.1	2021.1	2021.4	2021.12	10
		L-11DM	203		2021.1/4	2021.3	2021.4	2021.12	8
		L-10MC	2		2021.4	2021.5	2021.7	2021.12	8

注：发行人通过陆运方式将设备发送至客户处，运输时间视客户所在地不同通常为 1-5

天，因此发货时间与到货时间较为接近，可视为同一月。

三安光电对发行人设备的验收呈现一定的季节性特征，主要集中在四季度。在各期 12 月验收的设备中，除 2020 年 12 月的个别批次外，其余设备的验收周

期为 6-13 个月，符合晶粒探针台的正常验收周期范围。2020 年 12 月验收设备周期较长的合理性参见本题之“三、（二）说明报告期内向三安光电、兆驰股份销售产品的验收周期与其他同类客户是否存在差异，如是，请说明原因”之相关回复。

三安光电验收时间集中在 12 月份，不存在三安光电提前或延后验收设备的情形，具体分析如下：

1、三安光电新建项目产线的投产期均在当年上半年，相关设备于年底验收具有合理性

泉州三安和湖北三安是三安光电采购发行人设备的两个主要主体，同时也分别是实施“泉州三安半导体科技有限公司半导体研发与产业化一期工程”和 “湖北三安光电有限公司 Mini/Micro 显示产业化项目”的主体。

上述两个项目分别于2020 年及2021 年投产，投产及试运行均在当年完成，

具体的建设和投产进度如下表所示：

项目	泉州三安半导体科技有限公司半导体研 发与产业化一期工程	湖北三安光电有限公司 Mini/Micro 显 示产业化项目
2022 年半年度披露	截至报告期末，该项目已投入 137.81 亿 元，形成固定资产 86.26 亿元、在建工 程 29.30 亿元、无形资产（土地使用权）6.83 亿元，在职员工约 5,000 人。芯片产能达 35.70 万片/月（以 4 吋折算）、特种封装产能 20,825KK/月，产能持续释放中。	截至报告期末，该项目已投入 20.34 亿 元，形成固定资产 13.65 亿元、在建工 程 4.56 亿元、无形资产（土地使用权） 1.70 亿元，在职员工超 800 人，产能约 6.5 万 片/月 ， 主要产品已开始供货 TCL、华星等客户。
2021 年 年报披露	截至 2021 年末，该项目已拥有固定资 产 66.04 亿元、在建工程 32.94 亿元、无形资产（土地使用权）6.83 亿元、预付设备及工程款等 23.99 亿元，产能达 到 28 万片/月（以 4 吋折算）、特种封装产能 15,209KK/月，员工 5,208 人， 产能已在释放，项目仍在持续投入中	截至 2021 年末，湖北三安已完成建筑面积 25 万平方米，23 万平方米已安装设备，尚有 2 万平米处于装修阶段 该项目已拥有固定资产 8.58 亿元、在建 工程 4.12 亿元，产能达到 6.5 万片/月， 员工 806 人
2020 年 年报披露	已到厂生产设备部分安装调试完成的设备正逐步释放产能，后续将继续推进设 备安装调试进度，逐步释放产能	报告期内购买的设备陆续到厂，已有部分设备安装完成，进入调试阶段，待调 试完成后逐步释放产能
2019 年 年报披露	已到厂设备已有部分安装完毕，进入试产阶段，其他设备也将陆续到厂，待安 装调试完成后，逐步投产运行	项目已完成土地摘牌，项目正在建设中
投产时间	根据 2020 年半年报，泉州三安项目首次披露已有部分设备调试完成，产能正 逐步释放	根据项目实施进度安排，湖北三安达到芯片加工 5%产能的投产时间为 2021 年 二季度

由上表可见，泉州三安半导体科技有限公司半导体研发与产业化一期工程 项目及湖北三安光电有限公司 Mini/Micro 显示产业化项目的投产时间分别为 2020 年上半年及 2021 年二季度。由于探针台设备应用于 LED 芯片制造流程中 的晶圆检测，需在整体产线投产后方可完成试运行及后续的验收流程，因此， 三安光电对发行人设备的验收时间在对应产线投产之后一段时间，具有合理性。

2、下游客户通常在年底对设备进行批量验收，导致四季度收入确认金额较高，与同行业可比公司具有一致性

发行人的下游客户通常于年初作出全年的资本性支出计划，此后开展采购、运输、安装、调试、验收等流程，导致公司大部分设备取得客户验收的时点相 对集中于下半年，尤其集中于第四季度，此类情况与同行业可比公司类似。可 比公司及国内半导体专用设备行业（拟）上市公司第四季度确认收入情况如下 表所示：

公司名称	四季度收入占全年收入的比例
	2021 年度	2020 年度	2019 年度
长川科技	29.28%	37.77%	49.24%
华峰测控	27.45%	26.38%	20.99%
联动科技	36.78%	35.84%	31.91%
金海通	未披露	未披露	未披露
可比公司平均值	31.17%	33.33%	34.05%
拓荆科技	51.16%	62.97%	86.16%
盛美上海	32.90%	37.66%	23.67%
中微公司	35.06%	37.47%	40.46%
华海清科	32.43%	61.24%	52.27%
机电一体化半导体专用设备可比公司 平均值	37.89%	49.84%	50.64%
发行人	46.09%	44.99%	52.03%

2019 年至 2021 年，发行人可比公司第四季度确认收入比例的平均值分别为

34.05%、33.33%和 31.17%，低于发行人的比例。主要原因为华峰测控、长川科技及联动科技的主要产品为自动化测试系统，属于电子类半导体专用设备，而探针台属于机电一体化的半导体专用设备。两者之间的主要差异在于：

①测试机属于电子类半导体专用设备，由编程电源，测量单元，切换矩阵 等线路板的硬件和控制软件组成，用来检测半导体器件在不同工作条件下的功 能和性能，测试内容包括电压、电流、时间、温度、电阻、电容、频率、脉宽、占空比等项目，工作时不涉及机械动作，设备功能的实现高度依赖软件系统控 制与分析的有效性，同时，由于软件的工作稳定性与一致性较高，在设备完整 的生命周期内一般不会发生变化，因此电子类半导体专用设备的调试验证项目 有限，整体验证周期较短，通常不超过 6 个月。

②探针台属于机电一体化半导体专用设备，除精密运动控制软件系统外，还包含较多的硬件构造，涉及大量机械部件的高速、精密运动，此类设备设计及装配过程的误差将在长期运行中引发硬件的快速磨损，进而导致设备迅速老

化，乃至失效，因此机电一体化半导体专用设备在完成验收前往往需要进行较长期间的试生产运行，导致整体验证周期延长。

受上述差异影响，发行人产品验收周期特征与机电一体化半导体专用设备制造商更加接近，此处额外选取主要产品同为机电一体化的半导体专用设备制造商的拓荆科技（薄膜沉积设备）、盛美上海（半导体清洗设备）、中微公司

（刻蚀设备、MOCVD）及华海清科（化学机械抛光设备）作为对比。2019 年 至 2021 年，选取的机电一体化半导体专用设备可比公司第四季度确认收入平均 占比分别为 50.64%、49.84%和 37.89%，存在第四季度确认收入占比较高的情形，季节性特征与发行人更为接近。

综上，发行人第四季度收入占比较高的情况符合行业惯例。

3、三安光电于 2022 年一季度持续验收，不存在提前或延后验收的情形

三安光电于 2021 年四季度验收的发行人设备合计确认收入 9,320.37 万元。

2022 年一季度，三安光电持续验收发行人设备，确认收入 12,518.80 万元，验收

规模与 2021 年四季度整体较为接近。

由此可见，自 2021 年四季度至 2022 年一季度，三安光电根据其自身固定资产管理流程对发行人存在持续性验收，不存在提前或延后验收的情形。

综上所述，三安光电对发行人设备的验收时间集中在 12 月份具有合理性。

（二）说明报告期内向三安光电、兆驰股份销售产品的验收周期与其他同类客户是否存在差异，如是，请说明原因；

报告期内，发行人向三安光电、兆驰股份主要销售的产品为晶粒探针台， 收入占比超过 97%。上述客户与其他同类客户验收周期的对比情况如下表所示：

客户名称	2019 年		2020 年		2021 年		2022 年 1-6 月
	验收数量 （台）	周期 （月）	验收数量 （台）	周期 （月）	验收数量 （台）	周期 （月）	验收数量 （台）	周期 （月）
三安光电	42	11.81	419	15.81	656	10.14	1,016	8.74
兆驰股份	1	25.00	101	11.64	3	21.33	195	13.63
其他晶粒探针台客户	205	9.68	140	10.75	810	11.34	29	6.90

晶粒探针台整体平 均验收周期 248 10.10 660 14.10 1,469 10.82 1,240 9.47

1、三安光电与其他同类客户的验收周期对比

报告期内，三安光电的平均验收周期分别为 11.81 个月、15.81 个月、10.14个月和 8.74 个月，2019 年、2021 年及 2021 年 1-6 月，三安光电的验收周期与其他同类客户接近，2020 年三安光电验收周期较长，主要系因三安光电当年验收设备中含 246 台设备验收时间超过 20 个月，该批设备的平均验收周期为 23.23个月，拉长了整体平均验收周期。

该批设备的验收周期较长主要与泉州三安项目的整体采购时间较早及产线建设进度延迟有关。

采购方面，在半导体行业整体国产替代的大背景下，由于国内具备量产能力的探针台制造商数量不多，发行人作为国内领先的探针台设备制造商在 2018

年底的月产能也仅为 150 台左右。出于提前储备未来产能所需设备的考虑，当

时泉州三安于 2018 年底与发行人签署了采购合同，相关设备于 2018 年 12 月至

2019 年 3 月期间陆续发货至泉州三安工厂，发货时间较早，具体情况如下：

序号	合同编号	产品型号	设备数量 （台 ）	合同签订时间	发货时间及到货时间	开始安装时间	安装完成时间	验收时间	验收周期 （月）
1	7000000127	L-9MC	100	2018.10	2018.12	2019.8	2020.6	2020.12	24
		L-10MC	54		2019.1	2019.8	2019.9	2020.12	23
		L-9DM	1		2019.3	2019.8	2020.6	2020.12	21
2	7000000400	L-9DM	55	2018.12	2019.1	2019.1	2019.2-3	2020.12	23
3	7000000401	L-9DM	15	2018.12	2019.1	2019.3	2019.4	2020.12	23
4	7000000989	L-9DM	11	2019.2	2019.3	2019.4	2019.4	2020.12	21
			10		2019.3	2019.4	2019.4	2020.12	21
合计			246	平均验收周期					23.23

产线建设方面，根据三安光电的年度报告，泉州三安半导体科技有限公司半导体研发与产业化一期工程外围配套设施受新冠疫情的影响，建设进度晚于

既定计划。由于发行人设备需在产线投入生产的环境下才可进行工艺验证和试运行，这也导致了泉州三安对发行人设备验收时间的推迟。

上述因素造成了该批设备验收周期较长，拉长了 2020 年三安光电整体验收周期。

2、兆驰股份与其他同类客户的验收周期对比

报告期内，兆驰股份的平均验收周期分别为 25.00 个月、11.64 个月、21.33 个月和 13.63 个月，2020 年的验收周期与其他同类客户接近，2019 年及 2021 年，兆驰股份对发行人的设备验收周期较长，主要系受当年验收设备的数量较少， 分别为 1 台和 3 台，因个体差异导致的验收周期较长。2022 年 1-6 月，兆驰股份 对发行人的设备验收周期较长，主要系因少量设备的调试周期较长，拉长了整 体验收周期。具体如下：

2019 年，兆驰股份验收 1 台发行人设备，该台设备于 2017 年 7 月发货，是发行人首台发货至兆驰股份验证的设备。由于首次验证涉及对客户的生产流程及工艺进行匹配，以适应客户的生产环境，因此前期的安装调试流程及试运行流程较为复杂，导致该台设备的验收周期较长。

2021 年，兆驰股份验收 3 台发行人自动化线设备的配套组件，该批次设备为发行人针对兆驰股份的定制化需求专门研发设计的自动化产线控制设备，相关技术为发行人首次应用，需要客户及发行人投入较多的时间进行验证、现场调试及协同测试，验证周期较长，因此该批设备的验收周期较长。

2022 年 1-6 月，兆驰股份验收 195 台发行人设备，当年验收的设备中 186 台

于 2021 年上半年发货，平均验收周期为 12.80 个月，符合晶粒探针台产品的常

规验收周期范围。另有 9 台LDM-150 型号设备于 2019 年 8 月发货，由于该型号

产品为发行人于 2018 年开发的新产品，在客户处需要较长的调试、验证及试运行周期，该批设备于2019 年8 月发货至兆驰股份，平均验收周期为30.89 个月，拉长了整体验收周期。

综上，报告期内向三安光电、兆驰股份销售产品的验收周期与其他同类客

户在个别年度存在差异，主要系受发货时间较早、产线建设进度拖延、设备验证时间较久等原因，相关差异具有合理性。

四、说明 2021 年对三安光电销售收入大幅增长的原因，与三安光电业务开

展情况是否匹配；并说明 2019 年与 2021 年对兆驰股份销售收入较小的原因及合理性

（一）说明 2021 年对三安光电销售收入大幅增长的原因，与三安光电业务开展情况是否匹配

2021 年，发行人对三安光电的销售收入达 9,979.62 万元，占发行人当年收入比例为 25.00%，较 2020 年增长 75.01%。销售收入大幅增长主要系因三安光电对发行人产品的采购数量及验收数量在报告期内大幅提升，具体如下：

单位：台

公司名称	年度	2019 年度	2020 年度	2021 年度
三安光电	新签订单数量	28	778	3,884
	验收数量	42	423	675

发行人与三安光电之间业务规模实现快速上升的主要原因如下：

1、三安光电近年来快速扩产，对半导体专用设备具有规模化的采购需求 三安光电近年来积极扩产并升级产品结构，主推 mini/micro LED、红外/紫

外 LED、车用 LED、植物照明 LED 等产品。根据三安光电 2021 年年度报告，其营收规模达 125.72 亿元，同比增长 48.71%，mini/micro LED 业务也在 2021 年取得较大突破，与国内外知名客户达成深度合作，销售额同比去年增长 246.61%。

根据三安光电的新建产能规划，LED 业务细分领域的新增产能主要在泉州 三安和湖北三安，两者均为三安光电的全资子公司，核心产品为 LED 外延片、 LED 芯片等。泉州三安及湖北三安是三安光电在 LED 芯片新建项目的实施主体，从而对半导体专用设备具有规模化的采购需求，具体如下：

单位：亿元

项目名称	预算投资额	截至 2022 年 6 月末累 计投资额	其中：设备投资额	拟购买 探针台数量 （台）
泉州三安半导体科技有限公司半 导体研发与产业化一期工程	138.05	137.81	94.05	3,112 （注）
湖北三安光电有限公司 Mini/Micro 显示产业化项目	120.00	20.34	102.57	3,377

注：根据三安光电的公告，湖北三安项目拟计划采购3,377 台探针台，泉州三安项目具体的探针台采购数量未予披露。由于两大项目的核心产品均为 LED 外延片、芯片及其应用产品，生产工艺及设备布局接近。此处假设两项目探针台数量占设备投资额的比重相同，以此推测泉州三安的探针台需求量。

由上表可见，作为新建项目的实施主体，泉州三安及湖北三安对发行人的产品均具有采购需求。报告期内，泉州三安及湖北三安采购发行人探针台的订单量分别为 2,810 台及 1,825 台，采购数量合理。

同时，根据三安光电的 2021 年年度报告，其“在 Mini LED 市场拓展已取 得初步成效，已与 S004、 A006 等国际大客户进入深度合作”，2022 年在 mini- LED 芯片领域的意向性订单约 2.2 亿元/月，为了应对未来预期到来的大量订单，三安光电积极投资建设新产线。三安光电 mini-LED 芯片产品已获国际客户的认 证，发行人的探针台设备为经国际客户认证产线中的探针台设备。在此背景下，对发行人的探针台设备具有规模化采购需求。

2、发行人经过多年与三安光电的合作，通过不断累积项目经验，对其制造工艺、生产环境较为熟悉，得到了三安光电对发行人技术水平及服务质量的认可

如前文所述，发行人与三安光电已形成了多年的合作历史。在与发行人的长期合作过程中，发行人在半导体探针测试技术领域形成的技术水平得到了三安光电的认可。发行人通过长期技术积累掌握了多项探针测试核心技术，技术水平在境内处于领先地位，新一代全自动精密 12 英寸晶圆探针台已实现产业化应用，晶粒探针台性能参数已达到国际同类设备水平。

同时，相较于境外竞争对手，发行人的本土化服务优势凸显。发行人在三安光电的厂房现场均安排技术服务人员定向服务，在地域上更接近客户。自疫情爆发以来，全球芯片供应链受冲击较大，发行人在疫情期间能够更全面、更迅速地提供方案及技术支持，能够更加及时地了解需求，从而获得了三安光电的认可。在此背景下，发行人报告期内获取三安光电的订单数量大幅上升，具有商业合理性。

3、三安光电率先布局 mini-LED 领域，对发行人产品采购的时间早于其他客户

LED 芯片行业近年来积极扩张产能，以应对 mini/micro-LED 技术迭代背景下的 LED 芯片市场。三安光电作为行业龙头，凭借在技术和资金方面的优势，启动布局新市场的时间领先于其同行业竞争对手。因此，无论是在对半导体专用设备的采购方面还是对新技术的研发储备方面，三安光电均具有一定的先发优势。

由于三安光电与发行人签订采购合同的时间早于其他 LED 芯片行业客户，提前占用了发行人的大量产能，对应的原材料采购、生产排产及设备发货时间均较早，因此相关设备完成流转的时间也早于其他客户，导致 2021 年发行人对三安光电的销售收入增速高于其他客户。

4、与三安光电业务开展情况的匹配性

根据三安光电的定期报告，报告期内各期，三安光电的营业收入分别为

74.60 亿元、84.54 亿元、125.72 亿元及 67.62 亿元，收入规模实现快速增长。

业务发展方面， 三安光电近年来积极扩产并升级产品结构， 主推 Mini/Micro LED、红外/紫外 LED、车用 LED、植物照明 LED 等产品。 Mini/Micro LED 业务也在 2021 年取得较大突破，与国内外知名客户达成深度合作，销售额同比去年增长 246.61%。三安光电近年来的重点项目如下：

项目名称	预算投资额 （亿元）	预计达成产能	截至 2022 年 6 月底的建设进度
泉州三安半导体科技	138.05	约 892 万片/年（折合	该项目已投入 137.81 亿元，形成固定

有限公司半导体研发与产业化一期工程		倒装、垂直的产品产能 446 万片/年）和特种封装 8.72KKK/年的生产能力	资产 86.26 亿元、在建工程 29.30 亿元、无形资产（土地使用权）6.83 亿元，在职员工约 5,000 人。芯片产能达 35.70 万片/月（以 4 吋折算）、特种封装 产能 20,825KK/月，产能持续释放中
泉州三安半导体科技有限公司集成电路产业化项目	43.47	-	该项目已投入 33.65 亿元，形成固定资 产 11.14 亿元、在建工程 19.07 亿元， 在职员工 1,300 余人。该项目已部分投产，剩余产线设备陆续进场调试中；滤波器产能 128KK/月，先进封测产能 11.08KK/月
湖北三安光电有限公司 Mini/Micro 显示产业化项目	120.00	新增芯片产能约 236 万片/年（以 4 寸为当量片）和 4K 显示屏用封装产品 8.4 万台/年的生产能力	该项目已投入 20.34 亿元，形成固定资 产 13.65 亿元、在建工程 4.56 亿元、无形资产（土地使用权）1.70 亿元，在职员工超 800 人，产能约 6.5 万片/月，主要产品已开始供货 TCL、华星等客户
湖南三安半导体有限责任公司碳化硅半导体产业化项目	160.00	项目达产后，配套产能约 36 万片/年的生产能力。	该项目已投入 50.98 亿元，形成固定资 产 19.15 亿元、在建工程 6.99 亿元、无形资产（土地使用权）4.60 亿元,在职人员已突破 1,650 人。湖南三安已完成 建筑面积约 36 万平方米，厂房基本投入使用，设备陆续到货中。目前，湖南三安已到产能 6,000 片/月。产能正在逐 步爬坡，收益正逐步显现

综上所述，2021 年发行人对三安光电销售收入大幅增长主要系因三安光电对发行人产品的采购数量及验收数量在报告期内大幅提升。发行人与三安光电之间的交易规模大幅增长来源于三安光电快速扩产背景下对半导体专用设备具有规模化的采购需求以及三安光电对发行人技术水平及服务质量的认可，与三安光电的业务扩展情况相匹配。

（二）说明 2019 年与 2021 年对兆驰股份销售收入较小的原因及合理性报告期内，发行人与兆驰股份的交易情况如下表所示：

单位：万元、台

序号	合同编号	合同签署时间	探针台类型	数量	发货时间	报告期内收入确认 金额	验收时间
1	BMTCPRJ XA190034	2019.5 （注）	晶粒探针台	1	2019.5	18.94	2019.9
2	SMTC2018 120601	2019.1	晶粒探针台	1	2019.8	68.97	2020.9
3	SMTC2018	2018.3	晶粒探针台	100	2019.6-8	2,606.84	2020.7

	030601			3	2019.8	182.15	2021.6
				9	2019.8	241.79	2022.3
4	SMTC2020 082101	2020.9	晶粒探针台	106	2021.1-6	1,784.60	2022.4
5	SMTC2020 082102	2020.9	晶粒探针台	80	2021.1-3	1,352.21	2022.3
				20	2021.2- 3、 2021.10	-	未验收
6	SMTC2020 122101	2021.1	晶粒探针台	2	2021.3-4	-	未验收
7	SMTC2022 031002	2022.3	晶粒探针台	335	2022.6-8	-	未验收
8	SMTC2022 041301	2022.4	晶粒探针台	100	未发货	-	未验收

注：该台设备于 2017 年 7 月发货至兆驰股份，为发行人首台发送至兆驰股份验证的设

备。该设备于 2019 年通过验证并转成销售合同。

由上表可见，2019 年与 2021 年，发行人对兆驰股份的销售收入金额较小，主要系因当年兆驰股份验收的设备数量较少，分别为 1 台和 3 台。其中，2019

年验收的设备是发行人首台发送至兆驰股份验证的设备，于 2019 年通过验证及试运行并完成验收；2021 年验收的 3 台设备是自动化线设备。该批次设备为发行人针对兆驰股份的定制化需求专门研发设计的自动化产线控制设备，涉及较多的现场调试及升级工作，于 2020 年至 2022 年陆续验收。

兆驰股份近年来整体保持业务扩张态势，对发行人的探针台设备存在持续性的采购需求。2020 年及 2022 年 1-6 月，兆驰股份分别验收 100 台和 195 台，验收数量较多。

根据兆驰股份 2021 年年度报告的披露信息，“兆驰半导体（兆驰股份对发行人的采购主体）以 LED 芯片业务为基础，全面布局化合物半导体光电器件产品业务。2021 年上半年氮化镓芯片产能持续爬坡，下半年产能稳中有增，目前月产能可达 65 万片 4 寸片；氮化镓芯片在 LED 通用照明、传统 LED 背光、显示领域已占据主要市场份额，并逐步覆盖高光效照明、MiniLED 背光等高附加值产品。2021 年下半年，砷化镓芯片实现量产且产能逐步爬坡，目前月产能可达 5 万片 4 寸片，同时拓展 MiniLED 显示、植物照明等高端产品。2022 年，兆

驰半导体计划新增 52 腔 MOCVD 及配套生产设备用于氮化镓 MiniLED 芯片扩产项目，预计投产后氮化镓芯片月产能总规模可达 110 万片 4 寸片，扩产项目达产后，预计氮化镓产能居行业前列”。

综上所述，发行人于 2019 年与 2021 年对兆驰股份的销售收入金额较小主要系受其自身产线投产进度及设备试运行进度的影响，具有合理性。兆驰股份预计将继续维持在 LED 芯片方向的资本性支出，发行人与兆驰股份的交易具有可持续性。

五、对比说明入股前后向三安光电、兆驰股份及向第三方销售相同型号产品的单价及毛利率、信用政策等，并结合产品定价依据、定价权归属等，说明向三安光电、兆驰股份销售产品的定价公允性；分析发行人销售至三安光电产品价格低于其他客户的原因；三安光电、兆驰股份对发行人的采购占其同类采购的比例

（一）对比说明入股前后向三安光电、兆驰股份及向第三方销售相同型号产品的单价及毛利率、信用政策等，并结合产品定价依据、定价权归属等，说明向三安光电、兆驰股份销售产品的定价公允性

1、对比说明入股前后向三安光电、兆驰股份及向第三方销售相同型号产品的单价及毛利率、信用政策

（1）三安光电

三安光电采购发行人设备的主要设备型号为 L-10MC、L-11DM、L-9DM、 L-9MC、L-10DM，上述五款设备的收入贡献占比约 95%。除 L-9MC 型号设备不存在可比合同无法比较外,发行人对三安光电的含税销售单价、毛利率、信用政策等与其他客户的对比情况如下表所示：

单位：台，万元/台

探针台型号	客户	合同编号	合同签署时间	合同数量	含税单价	毛利率	信用政策	单价及毛利率与三安光电的主要 差异原因
	三安光电	7000003234	2020.3	246	*	*	①合同签订后按交货其次分批支付 40%预付款； ②到货后支付 50%; ③验收合格后 30 个工作日内支 付剩余 10%
	三安光电	7000010605	2021.1	182	*	*		-
	三安光电	4300000357	2021.5	130	*	*
	三安光电汇总			558	*	*	—	—
					*	*		与普通 L-10MC
								机型相比，额外
								增加了 LED 打点
L- 10MC	华灿光电	4500030088	2020.10	33			①合同签订后支付 20%预付款； ②到货验收后支付 70%; ③验收后 1 年支付剩余 10%	功能，LED 打点效率高于普通的打点功能，可实现对已测试完成 的 LED 晶圆进行
								按需求打点，因
								此单价及毛利率
								较高
	乾照光电	QZ-01/07- 202101671	2021.1	50	*	*	①合同签订后支付 50%； ②到货后支付 40%； ③验收后支付 10%	-
	其他客户汇总			83	*	*	—	—

探针台型号	客户	合同编号	合同签署时间	合同数量	含税单价	毛利率	信用政策	单价及毛利率与三安光电的主要 差异原因
							①合同签订后按交货其次分批
							支付 40%预付款；	三安光电该型号
	三安光电	7000000989	2019.2	21	*	*	②到货后支付 50%;	设备未配置测试
							③验收合格后 30 个工作日内支	系统
							付剩余 10%
	三安光电汇总			21	*	*		-
								配置测试系统，
L-9DM	华灿光电	4500028376	2020.10	86	*	*	①合同签订后支付 20%预付款； ②到货验收后支付 70%; ③验收合格 1 年后支付剩余 10%	包含自制/泰克单芯源表及光谱仪等部件。由于部分设备涉及改 造，因此成本较 高，导致毛利率
								较低
								配置测试系统，
								包含泰克四芯源
	江苏明纳半导体科技有限公司	HT20200918-LN-01	2020.10	100	*	*	①合同签订后支付 30%预付款； ②到发货前支付 30%; ③到货后支付 30%； ④验收后一个月内支付 10%	表及光谱仪等部件。因此单价较高，但增加的售价与配置差异部 件的物料成本接
								近，因此毛利率
								较低
	其他客户汇总			186	*	*		-
	三安光电	7000008098	2020.9	242	*	*

探针台型号	客户	合同编号	合同签署时间	合同数量	含税单价	毛利率	信用政策	单价及毛利率与三安光电的主要 差异原因
	三安光电	7000010605	2021.1	372	*	*	①合同签订后按交货其次分批支付 40%预付款； ②到货后支付 50%; ③验收合格后 30 个工作日内支 付剩余 10%	三安光电该型号设备未配置测试系统
	三安光电	7000010902	2021.4	546	*	*
	三安光电	4300001004	2021.7	200	*	*
	三安光电汇总			1360	*	*	-	-
								配置测试系统，
								包含泰克四芯源
L- 11DM- PM	澳洋顺昌	IPO006493	2021.2	34	*	*	①合同签订后支付 30%预付款； ②设备发货前支付 50%; ③验收合格后 30 天内支付 20%	表及光谱仪等部件。因此单价较高，但增加的售价与配置差异部 件的物料成本接
								近，因此毛利接
								近、毛利率较低
	聚灿光电	SQFLPM22030008	2022.4	63	*	*	①发货前支付 90%预付款； ②到验收合格后一周内支付	配置测试系统，包含自制源表及光谱仪等部件，
							10%尾款	因此单价较高
	其他客户汇总			97	*	*		-
							①合同签订后按交货其次分批
L- 10DM- PM	三安光电	7000003234、 7000004165	2020.2/4	72	*	*	支付 40%预付款； ②到货后支付 50%; ③验收合格后 30 个工作日内支	三安光电该型号设备未配置测试 系统
							付剩余 10%

探针台型号	客户	合同编号	合同签署时间	合同数量	含税单价	毛利率	信用政策	单价及毛利率与三安光电的主要 差异原因
	三安光电汇总			72	*	*		-
							①合同签订后支付 20%预付	配置测试系统，
	华灿光电	4500035108	2021.4	54	*	*	款； ②到货验收后支付 70%;	包含自制源表及 光谱仪等部件。
							③验收后 1 年支付剩余 10%	因此单价较高
							①合同签订后支付 20%预付
							款；	配置测试系统，
	国星光电	AA20210415004	2021.4	30	*	*	②到货后支付 30%; ③验收后支付 40%；	包含自制源表及 光谱仪等部件。
							④验收 12 个月后的 30 日内支	因此单价较高
							付剩余 10%
								配置测试系统，
								包含泰克四芯源
	广东晶相光电科技有限公司	HT20210429-LN-01	2021.5	100	*	*	①合同签订后支付 30%预付款； ②到货后支付 60%; ③验收后支付剩余 10%	表及光谱仪等部件。因此单价较高，但增加的售价与配置差异部 件的物料成本接
								近，因此毛利率
								较低
	东莞市中							配置测试系统，
	麒光电技 术有限公	ZQHTSP002202110 25007	2021.11	90	*	*	同上	包含自制源表及 光谱仪等部件。
	司							因此单价较高
	其他客户汇总			274	*	*		-

注 1：为增强可比性，选取设备采购数量为 30 台以上的订单作为可比对象，下同。注 2：上表中部分信息涉及商业秘密，已申请豁免披露，下同。

由上表可见，入股前后发行人向三安光电的销售单价整体低于向第三方销售相同型号产品的单价，主要系因设备配置及客户议价能力的影响：①设备配置方面的影响主要系因测试系统的成本所致，测试系统主要包括源表、积分球、光谱仪、光纤、ESD 模组、数据采集卡及软件等，测试系统受具体配置、测试通道数（对应源表、ESD 模组的数量）等因素的影响造成成本差异，通常为 3-8 万元不等，最终造成最终产品的单位售价及成本差异。晶粒探针台的客户较为集中，大部分客户均要求配置测试系统，从而导致发行人向三安光电的销售单价整体低于向第三方的销售价格；②同时，三安光电对单一型号产品的采购量较大，相应的议价能力较强，也一定程度上导致了整体销售价格较低。

三安光电与其他客户相比，不同型号产品的毛利率有所差异，个别型号产品三安光电的毛利率较高，主要系因在单台设备毛利金额相对固定的情况下其单价较低，但信用政策不存在重大差异。

（2） 兆驰股份

报告期内，兆驰股份采购发行人设备的设备型号包括 L-10MC-PM、CL-150DMC、SCP8 和 L-D4COW。其中，除 SCP8 型号设备

（报告期内尚未验收）不存在可比合同外，报告期内，发行人对兆驰股份的含税销售单价、毛利率、信用政策等与其他客户的对比情况如下表所示：

单位：台，万元/台

探针台型号	客户	合同编号	合同签署时间	合同数量	含税单价	毛利率	信用政策	单价及毛利率与兆驰股份的主要差异 原因
	兆驰股份	SMTC201803060 1	2018.3	100	*	*	①合同签订后支付 15%预付款； ②到货后支付 60%; ③验收后支付 15%； ④质保期一年后支付 10%	-
	兆驰股份汇总			100	*	*	-	-
	士兰明镓	MJ21SC2016CH	2021.1	67	*	*	①合同签订后支付 30%预付款； ②到货后支付 30%; ③验收后 30 个工作日内支付 30%； ④验收满一年的 30 个工作日内后 支付 10%	-
	士兰明镓	MJ21SC2075CH	2021.5	152	*	*		-
	其他客户汇总			219	*	*	-	-
L-10MC- PM	兆驰股份	SMTC202008210 2	2020.9	100	*	*	①合同签订后支付 30%预付款； ②到货后支付 50%; ③验收后支付 10%； ④质保期一年后的 30 个工作日内 支付 10%	兆驰股份该型号设备配置测试系统，包含自制源表及光谱仪等部件
	兆驰股份	SMTC202008210 1	2020.9	100	*	*
	兆驰股份汇总			200	*	*		-
	士兰明镓	MJ20SC2019CH	2020.8	36	*	*	①合同签订后支付 30%预付款； ②验收后 15 个工作日内支付 60%； ③质保期满 15 个工作日内后支付 10%	配置测试系统，包含泰克四芯源表及光谱仪等部件。因此单价较高

探针台型号	客户	合同编号	合同签署时间	合同数量	含税单价	毛利率	信用政策	单价及毛利率与兆驰股份的主要差异 原因
	华灿光电	4500029372	2020.10	70	*	*	①合同签订后支付 20%预付款； ②到货验收后支付 70%; ③验收后 1 年支付剩余 10%	配置测试系统，包含自制四芯源表及光谱仪等部件。因 此单价较高
	华灿光电	4500030669	2020.11	67	*	*		配置测试系统，包含泰克四芯源表及光谱仪等部件。因 此单价较高
	国星光电	AA20210415007	2021.4	70	*	*	①合同签订后支付 20%预付款； ②到货后支付 30%到货款； ③调试完成并验收后支付 40%验收款； ④验收后 1 年支付剩余 10%质保 款	配置测试系统，包含自制源表及光谱仪等部件。因此单价较高
	其他客户汇总			243	*	*		-
L- D4COW	兆驰股份	SMTC202203100 2	2022.3	29	*	*	①合同签订后支付 30%预付款； ②到货验收后支付 50%; ③验收后 1 年支付剩余 10% ④验收一年后支付剩余 10%	配置测试系统，包含泰克单芯源表及光谱仪等部件。因 此单价较高
	兆驰股份汇总			29	*	*
	三安光电	4300001732	2021.9	48	*	*	①合同签订后按交货其次分批支付 40%预付款； ②到货后支付 50%; ③验收合格后 30 个工作日内支付 剩余 10%	三安光电该型号设备未配置测试系 统，因此单价较低

探针台型号	客户	合同编号	合同签署时间	合同数量	含税单价	毛利率	信用政策	单价及毛利率与兆驰股份的主要差异 原因
	其他客户汇总			48	*	*

法律意见书

由上表可见，入股前后发行人向兆驰股份的销售单价与向第三方销售相同 型号产品的单价互有高低，相关差异具有合理性，且信用政策基本能保持一致。

2、结合产品定价依据、定价权归属等，说明向三安光电、兆驰股份销售产品的定价公允性

（1）产品定价依据、定价权归属

公司产品定价依据主要为成本加成模式，即根据主要原材料的市场价格、因定制化需求发生的技术要求、研发成本、设备配置、制造费用、工艺复杂程度计算价格，并结合当时的市场供求关系、价格波动情况等因素，以适当的利润水平最终确定销售价格。报告期内，公司的定价依据未发生变化，公司综合毛利率较为稳定。

公司根据自身生产成本并结合市场情况确定销售价格，价格的定价权主要归属于公司。

发行人向三安光电、兆驰股份销售产品的定价依据和定价权归属与其他客户不存在差异。

（2）三安光电、兆驰股份销售产品的定价公允性

由于半导体专用设备属于高度定制化的产品，因此不同型号、甚至同一型号不同系列的产品在定价上均会存在一定的差异。如前述表格所示，报告期内发行人销售至三安光电及兆驰股份的产品定价与向其他客户的产品定价存在一定的差异，具体表现及原因如下：

1）三安光电

发行人销售至三安光电的同型号产品相较于其他客户普遍低 20%左右，主要原因在于：①三安光电所采购设备的配置中未含测试系统等组件，因此成本较低，根据发行人成本加成为主的定价模式，最终定价较低；②三安光电作为发行人的第一大客户，采购规模较大，议价能力显著高于发行人其他客户；③三安光电的订单具有同一机型批量采购的特点，在主要原材料的采购、生产方

面具有一定规模效应，可有效降低设备生产成本。

2） 兆驰股份

发行人销售至兆驰股份的CL-150DMC 产品的价格相较于其他客户高11%， 主要系因该型号设备属于兆驰股份定制的全自动化产线中的探针台设备，由于 涉及的全自动同步运动技术属于发行人首次应用，在后续调试安装期间发生了 较高的研发成本和改造升级成本，造成该批设备的定价较高且毛利率较低。发 行人销售至兆驰股份的L-10MC-PM 产品的价格略低于其他公司，主要系因单个 合同的采购量较大且测试组件的成本较低，经协商后发行人给予了一定的折扣。

综上所述，报告期内三安光电和兆驰股份的销售价格除少数机型外整体略低于其他客户，且相关差异具有合理性。发行人向三安光电、兆驰股份销售产品的定价公允。

（二）分析发行人销售至三安光电产品价格低于其他客户的原因

发行人销售至三安光电的同型号产品相较于其他客户普遍低 20%左右，主要原因在于：

① 三安光电所采购设备的配置未含测试系统等配置，因此成本较低

在晶粒检测环节中，探针台设备需搭配测试系统以完成对晶粒的检测。客户可根据需求决定所采购的探针台产品是否搭载测试系统。根据三安光电的采购策略，其采购探针台与测试系统系向不同供应商分别采购，因此三安光电向发行人采购的探针台设备未包含测试系统等配置，成本相对较低。

以 L-9DM 机型为例，报告期内发行人销售至三安光电的 L-9DM 机型平均单价为 19.15 万元/台，销售至江苏明纳半导体科技有限公司的 L-9DM 机型平均单价为 25.50 万元/台。配置方面，江苏明纳半导体科技有限公司在该机型上额外配置了测试系统，测试系统中包含了源表、光谱仪、数据采集卡等部件，上述部件的成本合计高达 5.60 万元，如扣除上述组件的成本，发行人销售至三安光电及江苏明纳半导体科技有限公司的 L-9DM 设备定价接近。

② 三安光电采购产品批量生产具有规模效应，单位成本较低

三安光电的采购订单呈现单体数量较大且型号较为集中的特点。对发行人而言，批量生产同一型号产品具有较强的规模效应，对应分摊对每一台设备的原材料采购成本、单位制造费用和单位人工成本均可有效降低，从而导致销售至三安光电的产品的成本与其他客户相比较低。

根据发行人成本加成为主的定价模式，销售至三安光电的同型号产品在单位成本较低的情况下，定价低于其他客户，具有合理性。

③ 三安光电作为发行人的第一大客户，采购规模较大，议价能力显著高于发行人其他客户

2020 年及 2021 年，三安光电与发行人签订采购订单的数量分别为 673 台和

3,770 台，采购规模远高于其他同类型客户，因此在商务谈判中具有较强的议价能力。同时，大规模采购同类产品也有利于发行人降低客户维护成本和技术开发成本，因此发行人在商务谈判中同意对于采购规模较大的客户给予一定幅度的价格优惠。

综上所述，三安光电采购单价较其他客户相比较低具有合理性。

（三）三安光电、兆驰股份对发行人的采购占其同类采购的比例

根据对三安光电及兆驰股份的访谈，报告期内三安光电及兆驰股份对发行人的采购占其同类采购的比例分别约为 60%-80%及 50%左右，其他同类别供应商包括惠特科技、豪勉科技等中国台湾企业。

六、结合林志强、顾乡入股前后相关产品销量变化、与三安光电、兆驰股 份的合作历史及在手订单情况等，说明林志强、顾乡入股发行人对发行人业务 发展的影响，是否存在为发行人提供商业机会的情形，并谨慎合理分析发行人 与三安光电、兆驰股份之间未来交易的可持续性，综合测算扣除与三安光电、 兆驰股份往来后的收入与利润情况，是否对三安光电、兆驰股份存在重大依赖，相关信息披露及风险揭示是否充分

（一）林志强、顾乡入股前后相关产品销量变化、与三安光电、兆驰股份的合作历史及在手订单情况

发行人与三安光电、兆驰股份分别于 2015 年、2017 年开展商务接触，并分别于 2016 年 9 月和 2017 年 7 月首次发送样机至上述客户处开展验证工作，发行人与上述两家客户已形成了多年的合作历史。在林志强、顾乡入股前，三安光电及兆驰股份已分别验收发行人 115 台和 101 台探针台。

报告期内，在下游行业整体积极扩产、资本性支出大幅增加的背景下，发行人与三安光电及兆驰股份在设备新签订单数量、验收数量方面均呈现增长态势，具体如下表所示：

单位：台

公司名称	年度	2019 年度	2020 年度	2021 年度	2022 年 1-6 月
三安光电	新签订单数量	28	778	3,884	12
	验收数量	42	423	675	1,024
兆驰股份	新签订单数量	2	206	2	435
	验收数量	1	101	3	195
合计	新签订单数量	30	984	3,886	447
	验收数量	43	524	678	1,219

截至 2022 年 6 月 30 日，发行人对三安光电及兆驰股份的在手订单金额分别

为 2.70 亿元及 1.00 亿元。

（二）林志强、顾乡入股发行人对发行人业务发展的影响，是否存在为发行人提供商业机会的情形

发行人与三安光电、兆驰股份在入股前已形成了多年的合作历史，双方长期以来基于平等互惠的商业立场建立业务合作关系，相关交易均来自于其出于扩产目的采购需求，相关购销行为具有商业合理性。发行人与三安光电、兆驰股份之间业务规模的增长主要系因相关客户对发行人设备的认可度提高，以及其自身为满足新建项目生产需求而发生的大量资本性支出所致，具有商业合理

性。

林志强、顾乡以相关客户关联方的身份通过入股发行人，主要系出于其对发行人未来发展前景的看好，具体参见本题之“一、（一）说明林志强与顾乡直接入股发行人的商业合理性及入股价格的定价依据，是否构成股份支付”之相关回复。林志强、顾乡入股未对发行人的业务发展产生影响。

除了与三安光电、兆驰股份的交易以外，发行人与林志强、顾乡之间不存在其他的商业往来。上述二人不存在为发行人提供商业机会的情形。

（三）发行人与三安光电、兆驰股份之间未来交易的可持续性

1、发行人是 LED 芯片行业在探针台设备领域的主要供应商，与三安光电及兆驰股份的交易短期内发生不利变化的可能性较低

（1）发行人是 LED 芯片行业在探针台设备领域的主要供应商

目前国内 LED 芯片厂商的主要企业包括三安光电、华灿光电、兆驰股份、聚灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等代表性厂商，上述企业均为发行人的客户，且报告期内均对发行人进行了规模化的采购，对发行人产品的采购占其同类采购的比例约为 40%至 80%，发行人是其探针台设备的主要供应商，也是其中唯一的国产探针台设备供应商。

发行人在 LED 芯片行业的经验形成了一定的竞争门槛，随着发行人近年来持续加大研发投入力度，以及未来募投项目的实施，发行人的产品竞争力将得到持续增强。

（2）产品的技术水平及服务质量获得了客户的认可

发行人与三安光电已形成了多年的合作历史。在与发行人的长期合作过程 中，发行人在半导体探针测试技术领域形成的技术水平得到了三安光电的认可。发行人通过长期技术积累掌握了多项探针测试核心技术，技术水平在境内处于 领先地位，新一代全自动精密 12 英寸晶圆探针台已实现产业化应用，晶粒探针 台性能参数已达到国际同类设备水平。

同时，相较于境外竞争对手，发行人的本土化服务优势凸显。发行人在三安光电的厂房现场均安排技术服务人员定向服务，在地域上更接近客户。自疫情爆发以来，全球芯片供应链受冲击较大，发行人在疫情期间能够更全面、更迅速地提供方案及技术支持，能够更加及时地了解需求，从而获得了三安光电的认可。

（3）探针台设备的验证成本及转换成本较高，芯片制造企业谨慎选择探针台供应商，不会频繁更换或引入新供应商。

半导体探针台应用于芯片制造过程的晶圆和晶粒测试。探针台产品的质量，尤其是测试设备的精度、测试效率等方面的表现对芯片制造企业最终成品芯片 的产品良率和成本具有重要的影响。随着终端客户对芯片的要求不断提高，芯 片制造企业对芯片测试的要求也逐步提升。因此，芯片制造企业通常会谨慎选 择测试设备供应商。

同时，半导体专用设备的产业化应用需要经过长时间的功能验证方可实现，验证过程需要经过长期的测试和认证、产品验证周期较长、验证成本较高，半 导体专用设备制造商在特定领域的经验和技术水平需要通过长期的客户服务完 成积累，具有一定的技术壁垒。同时，测试数据又属于其重要的商业机密，不 宜对外泄露。在此背景下，芯片制造企业通常不会频繁更换或引入设备供应商。

综上，发行人与三安光电及兆驰股份的交易在短期内发生不利变化的可能性较低。

2、LED 芯片行业技术迭代较快，长期来看龙头企业将保持产能扩张态势

据 Trendforce 统计，2021 年全球 LED 市场规模达 176.5 亿美金，增速高于预期。特别是 Mini-LED 作为新型显示技术，在产业链多年积累后，Mini-LED背光显示应用进入加速渗透阶段，以苹果、三星为代表的主流品牌厂商先后推出 Mini LED 产品，带动了上游 LED 芯片制造的产能需求。LED 行业因终端应用需求高速增长，行业景气度持续上升，Mini LED 正式走向规模化商用。根据 LEDinside 的预测，到 2023 年 Mini LED 背光产品市场规模将超过 10 亿美元。

长期来看，在显示技术迭代的背景下，以三安光电、兆驰股份为首的国内 LED 芯片行业主要企业将仍存在强烈的扩产预期，对半导体测试设备具有持续性的增量需求和存量更替需求。

3、半导体设备国产化替代背景下，存在较大的市场空间

以三安光电、兆驰股份为首的 LED 芯片行业近年来快速发展，产能快速增长，但国际政治环境的变化致使相关企业采购半导体设备受到一定阻碍。近年来，面对国际贸易摩擦不断加深和半导体设备受制于人的情形，我国半导体设备企业不断取得技术突破，包括发行人在内的国产设备制造商凭借具备技术水平及性价比优势的产品、更加及时完善的本地化服务获得了下游客户的认可，半导体设备国产化率快速提升。

根据 SEMI 数据，2022 年中国大陆半导体设备销售额预计将达到 300 亿美元，市场份额有望提升至 30%，呈上升趋势。国产化替代趋势已成为我国半导体设备行业未来数年的发展基调，发行人作为国产半导体探针台设备行业的领先企业，随着包括三安光电、兆驰股份在内的芯片制造企业提高其设备国产化率，未来的市场空间广阔。

4、发行人对三安光电、兆驰股份的在手订单及发出商品金额均具有一定的规模，未来一段时间内的收入具有保障

截至报告期末，发行人对三安光电、兆驰股份的发出商品金额分别为

10,524.54 万元和 815.05 万元。截至 2022 年 6 月末，发行人对三安光电、兆驰股

份的在手订单金额分别为 27,017.25 万元和 10,000.00 万元。三安光电、兆驰股份对发行人的订单量较为充足，未来一段时间内发行人与上述客户仍将保持密切的合作关系。

综上所述，发行人与三安光电、兆驰股份之间未来交易具有可持续性。

（四）综合测算扣除与三安光电、兆驰股份往来后的收入与利润情况，是否对三安光电、兆驰股份存在重大依赖，相关信息披露及风险揭示是否充分。

1、扣除与三安光电、兆驰股份往来后的收入与利润情况

报告期内，模拟扣除与三安光电、兆驰股份往来后的收入与利润情况如下：

单位：万元

项目	计算过程	2022 年 1-6 月	2021 年度	2020 年度	2019 年度
营业收入	①	23,356.89	39,917.19	18,802.96	9,331.73
三安光电营业收入	②	14,431.79	9,979.62	5,702.34	725.98
兆驰股份营业收入	③	3,378.61	205.64	2,675.80	18.94
模拟扣除与三安光电、兆驰股份业务 往来后的营业收入	④=①-②- ③	5,546.49	29,731.93	10,424.82	8,586.81
当期销售净利率	⑤	25.89%	24.06%	17.47%	5.66%
模拟扣除与三安光电、兆驰股份业务 往来后的净利润	⑥=④*⑤	1,436.10	7,153.50	1,821.22	486.01
扣除所得税影响后 的非经常性损益	⑦	119.76	330.87	1,045.96	255.19
模拟扣除与三安光电、兆驰股份业务往来后的扣除非经营性损益后的净利 润	⑧=⑥-⑦	1,316.36	6,822.63	775.26	230.82

经测算，报告期内各期，扣除与三安光电、兆驰股份往来后的收入分别为 8,586.81 万元、10,424.82 万元、29,731.93 万元和 5,546.49 万元，扣非后净利润分别为230.82 万元、775.26 万元、6,822.63 万元和1,316.36 万元，2020 年及2021年累计净利润不低于 5,000 万元，仍符合创业板规定的上市标准“（一）最近两

年净利润均为正，且累计净利润不低于 5,000 万元”。

2、对三安光电、兆驰股份存在是否重大依赖，相关信息披露及风险揭示是否充分

报告期内各期，发行人对三安光电的销售金额占营业收入的比例分别为 7.78%、30.33%、25.00%及 61.79%，对兆驰股份的销售金额占营业收入的比例分别为0.20%、14.23%、0.52%及14.47%。发行人存在单一客户收入较为集中的情形，已在招股说明书“第四节 风险因素”之“一、经营风险”披露“（二）

客户集中度较高的风险”，并在招股说明书“第六节 业务与技术”之“三、2、发行人的客户集中情况”中披露了客户集中情况及单个客户销售占比超过 50%的情况。

根据《首发业务若干问题解答》，发行人来自单一大客户主营业务收入或毛利贡献占比超过 50%以上的，表明发行人对该单一大客户存在重大依赖。2022年 1-6 月，发行人来自三安光电的收入占比超过 50%，当期的经营业绩对三安光电存在重大依赖，发行人来自三安光电的收入具有可持续性，不会对持续经营能力构成重大不利影响。

三安光电、兆驰股份均为发行人的重要客户，收入占比较高的主要原因如下：

（1）下游行业具有市场集中度较高的特点，三安光电、兆驰股份为 LED芯片行业龙头企业，市场占有率较高，销售收入占比较高符合下游行业发展情况以及行业竞争格局

发行人下游行业呈现出集中度较高的格局。发行人报告期各期的前五大客 户中，除了士兰集科、晶导微外，其余前五大客户均为 LED 芯片行业知名企业，国内 LED 芯片行业的市场集中度较高。

根据前瞻产业研究院、国家半导体照明工程研发及产业联盟产业研究院

（CSAResearch）、LEDinside 的数据，以产能为统计口径，三安光电、华灿光电、兆驰股份、乾照光电、蔚蓝锂芯和聚灿光电为 LED 芯片行业前六家企业，产能 占比超过 85%，具体如下表所示：

序号	公司名称	产能分布情况
		2020 年度	2021 年度
1	三安光电	28.29%	31.68%
2	华灿光电	19.74%	14.28%
3	兆驰股份	13.16%	12.42%
4	乾照光电	9.87%	10.56%

序号	公司名称	产能分布情况
		2020 年度	2021 年度
5	蔚蓝锂芯	9.21%	9.63%
6	聚灿光电	6.58%	6.84%
合计		86.85%	85.41%

上表中的 LED 芯片行业主要企业均为发行人报告期内的主要客户。以报告期各期的合计销售收入为统计口径，发行人 LED 芯片行业前五大客户依次为三安光电、华灿光电、兆驰股份、乾照光电和澳洋顺昌，与下游行业市场格局一致。由此可见，发行人对三安光电、兆驰股份的销售收入占比较高与下游行业的格局相匹配

（2）三安光电快速布局 MiniLED，资本支出力度大于其他下游企业

LED 行业处于 MiniLED 背光应用新型显示技术迭代周期。在产业链多年积累后，MiniLED 背光显示应用进入加速渗透阶段，以苹果、三星为代表的主流品牌厂商先后推出 MiniLED 产品，MiniLED 技术在背光电视、笔记本电脑、显示器等领域也纷纷开始应用，MiniLED 背光技术的商业化发展取得长足进步。 Arizton 数据显示，全球Mini LED 市场规模将由2021 年的1.5 亿美元增长至2024年的 23.2 亿美元，2021 年至 2024 年 CARG 为 149.2%。

MiniLED 芯片制造存在一定的工艺设备壁垒。与传统 LED 相比，由于芯片尺寸和点间距更小，MiniLED 芯片对制造和封装的要求变高，晶粒检测量呈几何级增长，因此对具备高检测速度及高检测精度的半导体测试设备产生了大量的需求。

LED 芯片行业的头部效应显著，在 MiniLED 技术迭代时期，作为行业龙头的三安光电凭借在技术和资金方面的优势，启动布局新市场的时间早于其同行业竞争对手。因此，无论是在对半导体专用设备的采购方面还是对新技术的研发储备方面，三安光电均具有一定的先发优势。

根据上市公司定期报告、非公开发行股票预案及问询回复、公司官方网站，

LED 芯片制造企业近年来的扩产项目如下表所示：

客户名称	启动时间	项目名称	产能规划	总投资额	其中： 设备投资额
三安光电	2018 年	泉州三安半导体科技有限公司半导体研发与产业化一期项目	1）氮化镓业务板块：第五代显示芯片（Mini 背光 /MicroLED）161.60 万片/年 （4 寸，下同）； 2）砷化镓业务板块：第五代显示芯片（Mini/MicroLED） 17.60 万片/年； 3）特种封装业务板块： MiniLED 芯片级封装 8,483.00kk/年	138.05	94.05
三安光电	2019 年	湖北三安光电有 限 公 司 Mini/Micro 显示产业化项目	氮化镓 Mini/MicroLED 芯片 161 万 片 / 年 、 砷化镓 Mini/MicroLED 芯片 75万片/年（均以4 寸为当量片）和4K显示屏用封装产品8.4 万台/年	120.00	102.57
乾照光电	2018 年	VCSEL、高端 LED 芯片等半导体研发生产 项目	VCSEL、高端 LED 芯片的生产，预测达产后年销售收入 96,628.29 万元	15.97	8.33
乾照光电	2020 年	Mini/Micro 、高光效 LED 芯片研发及制造项目	项目建成后将合计新增年产 636.00 万片的 MiniLED BLU、MiniLED GB、 MicroLED 芯片、高光效 LED 芯片生产能力。	14.14	10.26
兆元光电	2019 年	福建兆元光电有限公司 LED产业基地建设 项目	设计产能外延片 100 万片/ 月，芯片 68 万片/月	31.77	未披露
华灿光电	2018 年	白 光 LED 、 Mini/MicroLE D 开发及生产线扩建项目	项目建成后，公司将实现年产 720 万片 2 英寸白光LED 外延片及不同规格 LED 芯片的生产规模；实现年产 180 万片 2 英寸 Mini/MicroLED 外延片及不同规格 LED 芯片的生产 规模。	25.00	17.55
华灿光电	2020 年	Mini/MicroLE D 的研发与制 造项目	Mini/MicroLED 外延片（4 英寸）95 万片/年	13.93	13.28
聚灿光电	2020 年	高光效LED 芯 片扩产升级项目	项目建成后形蓝绿光 LED 芯片 950 万片/年的生产能力	9.49	9.35
兆驰股份	2022 年	MiniLED 芯片 及RGB 小间距	项目计划采购 52 腔 MOCVD 设备及相应产能芯片及配套设	50.00	25.00

客户名称	启动时间	项目名称	产能规划	总投资额	其中：设备投 资额
		LED 显示模组项目	备用于生产氮化镓 MiniLED芯片，同时新增 300-500 条采用 COB 技术的小间距 LED 显示模组产线
聚灿光电	2022 年	Mini/MicroLE D 芯片研发及 制造扩建项目	项目建成后形成年产 720 万片 Mini/MicroLED 芯片产能	15.50	15.32

由上表可见，三安光电较地进入并布局 Mini/MicroLED 领域，投资及产能规模均位于同行业公司前列。

设备采购先行于产能扩张，上述情形造成了：1、因资本性支出规模较大， 三安光电向发行人采购设备的规模大于其他客户；2、三安光电与发行人签订采 购合同的时间于其他客户，在发行人的生产计划中排产较且较为集中，对 其他客户的设备生产、交付及验收造成了一定的影响，导致发行人 2022 年 1-6 月验收的设备主要集中在三安光电的设备，造成当期三安光电的收入占比较高。

（3）发行人是 LED 芯片行业主要企业的主要供应商，与三安光电、兆驰股份基于平等互惠的商业立场建立业务合作关系，购销行为具有商业合理性

目前 LED 芯片行业企业随着技术迭代纷纷投资扩产的背景下，三安光电、兆驰股份对半导体专用设备具有采购需求；另一方面，大陆地区符合 LED 芯片制造工艺要求和技术标准的探针台制造商数量较少，发行人是 LED 芯片行业主要企业的主要探针台设备供应商，发行人的技术水平以及在 LED 芯片制造领域的项目经验在行业内处于领先地位。

在此背景下，发行人与三安光电、兆驰股份基于平等互惠的商业立场建立 业务合作关系，报告期内，双方合作关系保持稳定，发行人与三安光电、兆驰 股份之间不存在利益输送，在业务获取、研发、采购、客户开拓等方面均独立、自主开展，对三安光电及兆驰股份不存在重大依赖。

（4）在产能有限的条件下优先保证大客户的订单交付

发行人下游 LED 芯片行业及集成电路行业的需求自 2020 年起大幅增长，发

行人的订单数量大幅提升。尽管发行人已于 2020 年起及时扩张产能，整体产能实现了大幅提升，但受制于资金、人力资源等因素，但仍无法同时满足多家下游行业龙头企业的设备供应需求。

在此背景下，发行人优先保证包括三安光电、华灿光电、兆驰股份、士兰微等大客户的订单需求，实施有限产能向大客户集中的策略，从而导致发行人大客户集中度较高的情况。

（5）三安光电占比超过 50%的情形不具有可持续性

报告期内各期，来自三安光电的收入与占发行人营业收入的比例分别为 7.78%、30.33%、25.00%及 61.79%。如前文所述，2022 年 1-6 月三安光电的收入占比较高部分系因三安光电签订订单时间较，发行人于 2020 下半年至 2021

年集中生产、集中发货三安光电的订单产品，导致了 2022 年 1-6 月对三安光电发出商品的集中验收。

截至报告期末，发行人的发出商品中，三安光电的设备占比为 33.22%。随着前期发货至三安光电的设备陆续验收，以及与其他客户签订的订单产品陆续完成发货及验收，预计未来三安光电的收入占比将有所回落，三安光电收入占比超过 50%的情形不具有可持续性。

（6）发行人具备独立获取业务的能力

近年来，发行人积极开拓市场，随着技术的成熟及市场口碑的积累，发行人客户数量逐步增加。报告期内各期，贡献收入客户的数量分别为 76 家、105家、143 家及 60 家，实现了快速增长。

在 LED 芯片领域，除三安光电、兆驰股份以外，其他行业内的主要企业均为发行人的主要客户。发行人与华灿光电、乾照光电、士兰微、澳洋顺昌、聚灿光电、国星光电等其他知名芯片制造企业建立了较为稳定的合作关系，并持续发生业务往来。发行人实现了在 LED 芯片领域探针台设备的国产替代。

在集成电路芯片领域，发行人目前的主要客户包括士兰微、比亚迪半导体、

燕东微、华润微、华天科技知名企业，高精度 12 英寸全自动探针台的应用及推

广已应用于部分客户的 12 英寸产线，发行人设备得到了客户的认可。发行人将继续开拓与集成电路知名企业的合作，目前正与多家企业在商谈合作或进行技术交流。

剔除与三安光电、兆驰股份的往来后，报告期末，发行人对其他客户的发出商品余额为 2.03 亿元、在手订单金额为 1.54 亿元，发行人具备独立面向市场获取业务的能力。

LED 芯片行业的头部效应显著，在下游行业mini-LED 等技术迭代的时期，三安光电扩产增能的步伐领先于其他同行业公司，三安光电与发行人签订采购合同的时间于其他 LED 芯片行业客户，在发行人的生产计划中排产较，也对其他客户的设备交期及验收造成了一定的影响，因此发行人在报告期内对三安光电的销售收入高于其他 LED 芯片行业客户，且占比有所提升。

综上所述，发行人对三安光电及兆驰股份建立了长期、稳定的战略合作关 系，三安光电及兆驰股份的收入占比较高符合下游行业发展情况以及行业竞争 格局。发行人与三安光电、兆驰股份基于平等互惠的商业立场建立业务合作关 系，同时具备独立获取业务的能力。2022 年 1-6 月，发行人来自三安光电的收 入占比超过 50%，当期的经营业绩对三安光电存在重大依赖，发行人来自三安 光电等主要客户的收入具有可持续性，不会对持续经营能力构成重大不利影响。

二、 《问询函》第 2 题“关于业务与技术”‌

申报材料显示：（1）发行人设立于 2004 年，是国内最研发探针测试技术的企业之一。（2）实际控制人王胜利是公司技术团队带头人，曾任职于香港硅国际公司，且与另一实际控制人杨波皆曾就职于深圳市深爱半导体有限公司。

（3）发行人与捷嘉德合作研发全自动光电器件分选机。（4）发行人报告期扣除非经常性损益后归属于母公司所有者的净利润分别为 273.18 万元、2,316.91

万元及 9,393.05 万元。

请发行人：

（1）说明发行人主要产品晶粒探针台、晶圆探针台、分选机等在具体应用领域的区别，并结合最新数据补充说明各细分领域的市场规模、主要企业及发行人在各细分领域的行业地位、市场份额；

（2）说明半导体测试设备行业主流技术和技术发展趋势，发行人核心技术技术壁垒的具体体现，结合同行业现有技术水平、衡量核心技术先进性的关键指标等，进一步分析核心技术先进性的具体表征及与境内外同行业竞争对手相比的优劣势；

（3）说明发行人核心技术来源，是否与核心技术团队曾任职单位有关，发行人实际控制人、董监高及核心技术人员对其曾任职单位是否附有竞业禁止或保密义务，是否存在纠纷或潜在纠纷；

（4）补充说明合作研发的具体模式、研发主要项目、合作研发权利义务相关约定、费用承担与研发成果权利归属、目前已取得的研发成果等，是否存在纠纷或潜在纠纷；

（5）结合报告期业绩大幅增长的原因、现有技术储备、市场容量、竞争格局、下游客户的产能扩张周期、在手订单等方面进一步说明发行人业绩增长的可持续性，是否存在重大风险以及相关风险披露是否充分。

请保荐人、发行人律师发表明确意见，完善《关于发行人符合创业板定位要求的专项意见》。

核查过程：

1、取得发行人关于主要产品、核心技术及技术来源情况的说明；

2、查阅发行人所处行业的行业研究报告，通过公开取得取得发行人同行业竞争对手的主要产品信息

2、审阅公司董事、监事、高级管理人员及核心技术人员出具的调查表及关于竞业禁止及保密义务的确认函；

3、取得前任职单位出具的关于竞业禁止及保密义务的书面确认；

5、 登 录 中 国 裁 判 文 书 网 （https://wenshu.court.gov.cn/）、 企 查 查

（https://www.qcc.com/）等网站核查发行人、实际控制人及在公司任职的董事、监事、高级管理人员的诉讼、仲裁；

6、查阅报告期内发行人与捷嘉德之间的合作协议；

7、访谈捷嘉德实际控制人。

核查内容及结果：

一、说明发行人主要产品晶粒探针台、晶圆探针台、分选机等在具体应用领域的区别，并结合最新数据补充说明各细分领域的市场规模、主要企业及发行人在各细分领域的行业地位、市场份额

（一）说明发行人主要产品晶粒探针台、晶圆探针台、分选机等在具体应用领域的区别

发行人主要产品晶圆探针台、晶粒探针台、分选机的功能、适用产品及其作用说明如下表所示：

发行人主要产品		功能	主要应用环 节	测试产品
探针台	晶圆探针台	实现未切割晶圆上的器件 PAD 点与探针卡上的探针可靠接触，对晶圆上每一个芯片进行电性能力和电路机能的测试， 并将测试结果记录或者标识标志点	半导体制造晶圆检测环节，以及设计验证和成品测试环节	集成电路分立器件传感器
	晶粒探针台	扫描排序记录晶圆划片后晶粒位置，并在测试时根据所记录的位置运动与对应 的探针接触，并记录测试结果		光电器件
分选机		根据前道工序检测及 AOI 的结果，自动把同一类型的 BIN 值芯片通过顶针从蓝膜上顶起，使用吸嘴吸住芯片，按照特 定的规格要求搬运在指定蓝膜上	半导体制造晶圆检测环节	光电器件

各产品具体运用领域的区别如下：

1、探针台与分选机应用领域的区别

由上表可知，发行人探针台产品用以完成半导体器件特性或故障检测，分选机产品则用以完成对芯片的分级筛选。

二者均主要用于半导体制造晶圆检测环节，但探针台在分选机前道工序中使用：探针台搭配测试机完成对待测器件的电性能、光性能或其他指标的测试后，记录器件检测结果。分选机结合探针台的测试结果与 AOI 的检测结果，对已切割芯粒根据分类的要求进行分级分类。

2、晶圆探针台与晶粒探针台应用领域的区别

晶圆探针台与晶粒探针台的主要应用领域差异体现在测试产品方面。晶圆探针台主要应用于集成电路、分立器件和传感器测试领域，晶粒探针台主要应用于光电器件测试领域。

由于集成电路等产品功能复杂，需对较多 PAD 进行扎针测试，且测试对象包括数字集成电路、模拟集成电路、数模混合集成电路、存储芯片等，产品类型多样，因此晶圆探针台侧重于提升综合定位精度、测试刚性及对不同类型器件的适配性。而由于光电器件一般仅有两个 PAD 点，但待测产品数量较多，且为已切割产品，需要对各产品进行位置识别定位；此外，光电器件不仅需要测试电性能，还需测试光性能，因此晶粒探针台在保证机台定位精度的前提下侧重于提升产品自动化水平和探针测试一体化水平，满足客户大规模高效率测试需求。

（二）结合最新数据补充说明各细分领域的市场规模、主要企业及发行人在各细分领域的行业地位、市场份额

1、各细分领域的市场规模

（1）半导体探针台设备

根据 SEMI 统计，2021 年全球半导体设备销售规模已达 1,026 亿美元，其中中国大陆半导体设备销售规模已达 296.20 亿美元，占全球半导体设备市场的 28.87%；同时，2021 年全球半导体测试设备市场为 78 亿美元，占全球半导体设

备市场的 7.60%。据此比例推算，2021 年中国大陆的半导体测试设备的市场规模约为 22.52 亿美元。

根据 SEMI 的另一项统计，半导体测试设备市场中探针台占据了 15.20%的市场份额，据此比例推算，2021 年中国大陆的半导体探针台设备的市场规模约为 3.42 亿美元，约合人民币 22.06 亿元（采用 2021 年美元兑人民币平均汇率计算）。

由于晶粒探针台及晶圆探针台的市场较为细分，目前尚无权威的第三方机构发布关于上述两类探针台的市场规模的数据。

（2）分选机设备

据 SEMI 统计，半导体测试设备市场中分选机占据了 17.40%的市场份额，据此推算，2021 年中国大陆的半导体分选机设备的市场规模约为 3.92 亿美元，约合人民币 25.29 亿元（采用 2021 年美元兑人民币平均汇率计算）。

2、各细分领域的主要企业及发行人的行业地位、市场份额

（1）半导体探针台设备

全球探针台设备市场目前由东京电子、东京精密、旺矽科技、惠特科技等海外公司占据主导地位。根据 SEMI 和 CSA Research 统计，截至 2019 年，发行人占全球半导体市场份额为 3%，东京精密、东京电子、旺矽科技、惠特科技市场占比分别为 46%、27%、10%、4%。

中国大陆探针台设备市场竞争激烈，进口设备占据了主要市场份额，高端市场主要由进口设备垄断。根据 SEMI 和 CSA Research 统计，2019 年矽电股份占中国大陆探针台设备市场 13%的市场份额，市场份额排名第四，为中国大陆设备厂商第一名；另根据上文测算结果，2021 年中国大陆探针台设备市场规模为 22.06 亿元，发行人当年探针台销售规模为 3.90 亿元，考虑增值税影响，发行人占据的市场份额已增长至 19.98%。

截至本补充法律意见书出具之日，尚未有权威机构发布晶粒探针台和晶圆

探针台细分领域内的市场排名和市场占有率的数据。根据发行人的销售情况及下游主要客户的反馈情况，发行人在晶粒探针台领域已具备较强的竞争力，在晶圆探针台领域也已成功进入下游主要企业产线，具体如下：

①晶粒探针台

晶粒探针台主要面向光电行业客户，发行人的主要竞争对手为旺矽科技、惠特科技、豪勉科技等中国台湾地区企业。

发行人晶粒探针台设备的性能参数已达到国际同类设备水平。近年来，随着发行人在探针测试技术领域先进性和本地化服务优势的凸显，发行人在晶粒探针台细分领域的竞争优势逐年提升。

在国内 LED 芯片行业领域，半导体探针台设备市场长期被中国台湾地区的旺矽科技、惠特科技、豪勉科技等公司占据。发行人设立之初主要聚焦于集成电路领域的探针测试技术应用。自进入光电行业以来，发行人凭借技术优势迅速打开市场，成功跻身为国内 LED 芯片行业主要企业的探针台设备供应商，发行人产品在客户芯片制造产线上实现了大批量应用。发行人在 LED 芯片行业的探针台领域打破了进口垄断、实现了在商业应用领域的国产替代。

国内 LED 芯片行业的主要企业包括三安光电、华灿光电、兆驰股份、聚灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等代表性厂商，上述厂商均为发行人的主要客户，且报告期内均对发行人进行了规模化的采购。根据报告期内主要客户的访谈，上述厂商对发行人产品的采购占其同类采购的比例约为 40%至 80%，发行人是其探针台设备的主要供应商，也是其中唯一的国产探针台设备供应商。

根据前瞻产业研究院的报告，前述 6 家厂商占光电行业总产能的比例接近 90%。由此可见，发行人是在国内晶粒探针台细分行业内打破了进口垄断格局，大力推动了国产替代进程的企业。

②晶圆探针台

晶圆探针台主要面向集成电路、分立器件及传感器行业客户，发行人的主

要竞争对手为东京电子、东京精密等国际领先的半导体专用设备制造企业。

发行人晶圆探针台设备的性能参数在境内处于领先地位，实现了 12 英寸晶圆探针台设备的产业化应用。同时，与代表国际领先水平的同类产品相比，发行人设备尚存在一定的差距。

目前，发行人的晶圆探针台下游客户包括士兰微、比亚迪半导体股份有限公司、北京燕东微电子股份有限公司（以下简称“燕东微”）、华天科技、武汉光迅科技股份有限公司、歌尔微电子股份有限公司、晶导微等境内领先的晶圆制造、封装测试、分立器件及传感器生产厂商，发行人新一代全自动精密 12 英寸晶圆探针台也已在燕东微、厦门士兰集科微电子有限公司（以下简称“士兰集科”）实现产业化应用。

（2）分选机设备

从全球范围来看，分选机市场由爱德万、科休等海外企业垄断，根据 SEMI统计，2019 年两家厂商合计占据全球 85%以上的分选机市场份额。中国大陆的主要分选机厂商为长川科技、金海通等。在 LED 芯片行业，分选机设备的主要供应商为惠特科技、旺矽科技。

但相较于测试机和探针台，分选机市场整体竞争格局较为分散，行业内新晋竞争者仍存在市场机会。

目前，发行人分选机业务尚处于起步阶段，销量较小，暂无市场规模排名及占比数据。

二、说明半导体测试设备行业主流技术和技术发展趋势，发行人核心技术技术壁垒的具体体现，结合同行业现有技术水平、衡量核心技术先进性的关键指标等，进一步分析核心技术先进性的具体表征及与境内外同行业竞争对手相比的优劣势

（一）说明半导体测试设备行业主流技术和技术发展趋势

在半导体行业中，下游半导体厂商新工艺迭代会带动半导体设备的同步更

新。在集成电路领域，目前主流制程正从 28nm、14nm 向 10nm、7nm 发展，部分先进半导体制造厂商已实现 5nm 工艺的量产并开始 3nm 工艺的研发，三维 FinFET 晶体管、3DNAND 等新技术亦逐渐成为目前行业内主流技术。随着工艺不断进步，产品制程步骤越来越多，微观结构逐渐复杂，生产成本呈指数级提升。为了获取尽量高的晶圆良品率，必须严格控制晶圆之间、同一晶圆上的工艺一致性，因此各厂商对集成电路生产过程中的测试设备需求将越来越大。

而在光电器件领域，随着应用场景的丰富，显示终端的增加，以及显示技术的更新换代，尤其是 Mini/Micro LED 技术的应用推广，光电器件尺寸正逐步缩小，最小的 Micro LED 尺寸已达到 50μm 以下；器件尺寸缩小导致单片晶圆上的器件数量迅速增长至数百万个以上，由此产生了巨量的高精度光电器件测试需求。为提升经济效益，降低单位生产成本，加快 Mini/Micro LED 技术应用落地，相关厂商同样需要加大测试设备的投资，以保证光电器件的检测精度和检测效率。

基于上述，未来半导体测试设备需在灵敏度、准确性、稳定性、吞吐量等指标上进一步提升，保证每道工艺均落在容许的工艺窗口内，保证整条生产线平稳连续的运行，保证各类半导体器件的检测速率。半导体测试技术的提升主要体现在以下三个方面：

（1）设备检测速度及设备性价比的提升

半导体测试设备是晶圆厂的重要投资支出之一，设备投入产出比是其选购时的重要考虑因素。测试设备检测速度提升将有效降低半导体生产厂商的单位检测成本，从而实现降本增效。因此，检测速度更高的半导体测试设备可帮助下游客户更好地控制生产成本。

另一方面，更优的测试方式使得测试性价比提升，降低设备测试成本，也是一个趋势，比如测试耗材减少，选用非接触测试；更多芯同时测试，降低单位时间内测试成本及提升效率。

（2）测试解决方案的多样性

半导体晶圆产品使用不同的工艺技术及不同的衬底，可应用于不同产品的 领域，同时每个领域对于自身的应用特点，对于测试的要求各有不同，随着技 术的发展，越来越多的不同测试需求提出，探针台也要具备相应的测试能力才 能满足多样性的测试应用，由此也需要与客户更紧密配合，熟悉客户应用特点，开发不同应用的产品。

（3）测试算法和软件重要性凸显

保证机台的稳定，无故障运行，精度的长期保持，除了硬件的可靠性，需要控制系统和软件算法深度结合，晶圆检测的算法专业性较强，半导体测试设备的检测速度和精度高度依赖相关算法的先进性和可靠性。目前，市场上不存在专业的半导体测试设备算法和软件供应商，各半导体测试设备厂商均需在自家半导体测试设备上自行研制开发相关算法和软件。

随着未来对半导体测试设备的检测速度和精度的要求进一步提升，相关算法软件的重要性将日渐凸显，下游客户对相关算法软件的要求也会越来越高。

（4）自动化技术及设备的高可靠性保障

随着人工成本的上升及劳动力的减少，设备往自动化智能化发展的趋势，结合工业互联网，远程控制设备运行，监控生产状态，远程进行设备异常处理将会是常态。由此也需要探针台设备保证高稳定可靠性，减少异常的发生。

（二）发行人核心技术技术壁垒的具体体现，结合同行业现有技术水平、衡量核心技术先进性的关键指标等，进一步分析核心技术先进性的具体表征及与境内外同行业竞争对手相比的优劣势

（1）发行人核心技术壁垒的具体体现

公司自成立以来就扎根探针测试技术领域，经过多年研发和技术创新，积累了较多行业经验、知识产权，形成了一系列核心技术。公司已掌握了高精度快响应大行程精密步进技术、定位精度协同控制、探针卡自动对针技术、晶圆自动上下片技术、基于智能算法的机器视觉、电磁兼容性设计技术等多项探针

测试核心技术。基于已掌握的核心技术，公司推出的产品规格种类齐全的探针台产品及其他半导体专用设备，已在半导体制造产线得到广泛应用。发行人核心技术壁垒，具体体现在以下三个方面：

① 综合定位精度壁垒

综合定位精度是机台核心性能指标。由于半导体器件尺寸极小，晶圆裸 DIE上 PAD 点的边长在 50μm，一颗裸 DIE 上存在多个 PAD 点，将 PAD 点与探针实现精确对准是实现探针台功能的核心要求。因此，探针测试技术的核心就是要实现设备长时间、快响应、高精度、高可靠、高频率、大行程无故障的精密稳定步进，通过机械、控制、软件程序、智能机器视觉的综合设计，不断提高综合定位精度。目前，发行人产品综合定位精度可达到±1.3μm。

② 机台自动化运行壁垒

机台设备运行效率是产业应用的关键因素。半导体设备在半导体产线中需要与其他工序的多种设备搭配使用，才能实现产线的整体运行。单台设备的运行效率以及与产线 MES 系统的匹配能力，影响整个晶圆产线的产能水平。发行人研发了探针卡自动对针、晶圆自动上下片、自定义机台数量串联自动化系统等机台自动化技术，并通过机台并行传输级联和对天车系统的支持实现对产线 MES 系统的高度匹配，设备机台自动化运行水平较高。

③ 多种半导体器件适配壁垒

半导体器件存在多种类型，晶圆存在多种尺寸，各类产品需要半导体设备的支持保障。发行人已推出满足 12 英寸、8 英寸、6 英寸和 4 英寸各尺寸晶圆的探针台系列设备，贴合不同产线的设备需求。发行人面向功率半导体器件设计了高低温耐压测试环境；面向光电器件设计了光电型号测试模块；面向射频器件开发了温控负压下的测试技术，满足不同种类半导体器件的测试需求。

综上，发行人的核心技术已在设备性能参数和产业化应用领域建立了坚实的技术壁垒。

（2）结合同行业现有技术水平、衡量核心技术先进性的关键指标等，进一步分析核心技术先进性的具体表征及与境内外同行业竞争对手相比的优劣势

发行人产品的性能参数与境内外同行业竞争对手的情况对比具体如下：

① 发行人与境外竞争对手对比情况

项目	发行人	东京电子	东京精密	惠特科技	旺矽科技
定位精度	±1.3μm	±0.8μm	±0.8μm	±4μm	±2μm
OTS 功能	有	有	有	无	无
Docking 测试 能力	有	有	有	无	无
100μm 以下超薄晶圆全自 动测试能力	有	有	未披露	无	无
高低温耐压全 自动测试能力	8kv，-55- 200	3kv,-55-200	8kv,-55-300	未披露	200v，-50- 200
自动化生产线能力	支持天车系统；自动化生产线并行 传输级联	支持天车系统	支持天车系统	自动化生产线串行传输级联	无
测试可靠性保证	墨点监控、针痕检测、高压防打 火、探针位 置自动校正	墨点监控、针痕检测、探针位置自动校正	墨点监控、针痕检测、高压防打 火、探针位 置自动校正	针痕检测、探针位置自动校正	针痕检测、探针位置自动校正
探针测试一体化解决方案	Mini/Micro LED、 PD/APD、 VCSEL、 MLCC、 GPP、RF、 红外传感器	未披露	采用第三方测试系统测试分立器件	Mini/Micro LED、 PD/APD、 VCSEL	Mini/Micro LED、 PD/APD、 VCSEL、RF

日本厂商东京电子、东京精密是目前探针台领域技术水平最领先的厂商。日本厂商较进入半导体专用设备领域，通过多年的技术研发和产业化运行经验，能够紧跟国际晶圆制造、封装测试领先厂商的技术需求，不断提高产品技术水平。目前，日本厂商探针台综合定位精度已达到±0.8μm 水平，占据了 12 英寸晶圆探针台市场的主要份额。发行人在综合定位精度和 12 英寸高端市场份额与日本厂商存在一定差距。

中国台湾厂商惠特科技、旺矽科技主要覆盖晶粒探针台市场，设备覆盖了光电器件、集成电路和分立器件等半导体器件测试领域，其综合定位精度最高达±2μm，且开发了自动化水平较串行级联运输系统。与之相比，发行人产品已覆盖集成电路、分立器件、光电器件及传感器多个领域，推出了全自动、半自动及手动各类产品，且综合定位精度更高，达±1.3μm，同时，发行人推出并行级联运输系统，提高了多台探针台同时测试的效率，自动化水平较串行级联运输系统更高。

② 发行人与境内竞争对手技术水平对比

项目	发行人	中电科四十五所	长川科技
支持的晶圆尺寸	4-12 英寸	4-8 英寸	8-12 英寸
综合定位精度	±1.3μm	±5μm	±1.5μm
OTS 功能	有	未披露	有
Docking 测试能力	有	未披露	未披露
100μm 以下超薄晶 圆全自动测试能力	有	未披露	未披露
高低温耐压全自动 测试能力	8kv，-55-200	未披露	-40~150（可选- 55）
自动化生产线能力	支持天车系统；自动化生产线并行传输级 联	未披露	未披露
测试可靠性保证	墨点监控、针痕检 测、高压防打火、探针位置自动校正	未披露	未披露
探针测试一体化解决方案	Mini/Micro LED、 PD/APD、VCSEL、 MLCC、GPP、RF、 红外传感器	未披露	未披露

中国大陆其他主要厂商包括中电科四十五所及长川科技。中电科四十五所是国内较研发探针台设备的厂商，主要产品面向4-8 英寸晶圆探针台市场；长川科技主要专注于测试机和分选机产品，近年来进入探针台市场，上市公司公告尚未披露探针台产品收入金额。上述两家厂商产品的综合定位精度分别为

±5μm 和±1.5μm，与发行人技术水平存在一定差距。在产品自动化水平、高低温耐压测试环境、产品覆盖种类、超薄晶圆测试能力等多个方面，发行人处于领

先水平。

综上，基于发行人持续的研发投入及形成的核心技术成果，发行人在综合定位精度、机台自动化水平及多种半导体器件适配方面已领先于中国台湾和中国大陆其他厂商。但是在 12 英寸晶圆设备市场及综合定位精度方面，与日本设备厂商仍然存在一定差距。

三、说明发行人核心技术来源，是否与核心技术团队曾任职单位有关，发行人实际控制人、董监高及核心技术人员对其曾任职单位是否附有竞业禁止或保密义务，是否存在纠纷或潜在纠纷

序 号	技术名称	技术 来源	主要应用产品	形成过程
				探针台主要是按照固定的步距进行运动实现
				精确定位，同样的步距下，行程越大精度越
1	高精度快响应大行程精密步进技术	自主研发	探针台、分选机、曝光机、 AOI	不容易保证。公司成立之初，在 6 英寸范围内，定位精度为±5um，2007 年实现在 8 英寸范围内，定位精度为±5um，2012 年实现 12 英寸范围内，定位精度为±5um，2018 年 实现 8 英寸范围内，定位精度为±2um； 2019 年实现 12 英寸范围内，定位精度为± 3um，2019 年实现12 英寸范围内，定位精度为±1.3um。 基于该研发成果，公司已授权发明专利共 3 项。
				定位精度是设备精密度的首要指标，涉及多
				环节、多学科的协同。整个系统在硬件（机
				械）、软件（控制、算法）两个方面实现闭
2	定位精度协同控制	自主研发	探针台、分选机、曝光机、 AOI	环定位精度协同控制。具体来说，机械方面综合运用精密装配、力学分析等；控制方面包括信号反馈、系统响应等；算法方面包括 各类型误差优化。经过多年实践，设备综合
				定位精度达到±1.3μm。 基于该研发成果，公司已授权发明专利共 2 项。
3	探针卡自动对针技术	自主研发	探针台	自动针对技术是 2012 年 12 寸探针台研发过程中的关键技术。2018 年在硬件和软件算法上攻克对针模组的自动对针功能，2019 年攻 克自动计算晶圆厚度技术，结合自动对针模

（一）说明发行人核心技术来源，是否与核心技术团队曾任职单位有关根据发行人的说明，发行人的核心技术及来源情况如下：

				组形成自动对针的闭环控制系统，保证功能的可靠性并批量使用。 基于该研发成果，公司已授权发明专利共 1 项。
4	晶圆自动上下片技术	自主研发	探针台、曝光机、AOI	2006 年第一代晶圆全自动探针台的研发，攻克双机械臂取放晶圆片技术、晶圆片自动找切边技术。2010 年针对晶粒测试，实现了扩晶环铁环的全自动上下料。2019 年，实现多台机器串联，形成集中收发料机台自动线控制技术。 基于该研发成果，公司已授权发明专利共 2 项。
5	基于智能算法的机器视觉	自主研发	探针台、分选机、AOI	2007 年视觉硬件运动机构及软件算法结合，实现了晶圆的自动扫直、标记点定位及圆心定位功能。2009 年实现已切割晶粒位置定位技术。2011 年实现将缺陷算法开发技术应用于 AOI。 基于该研发成果，公司已授权发明专利共 3 项。
6	电磁兼容性设计技术	自主研发	探针台	晶圆测试中的参数都是通过电信号进行测量和计算，电磁兼容性设计技术尤为重要，通过选用综合性能好的材料，优化设备及其组件的结构和参数，优化设备的电磁屏蔽系统，一方面保障处在复杂电磁环境中测试结果正常，另一方面也保障设备测试过程所产生的电磁干扰不会对设备稳定性产生影响，从而保证测试数据的准确性和产能水平。 在公司探针台研发初期，电磁兼容技术为研发的重点技术。2011 年晶粒探针台测试一体机研发过程中，基于一体机的性能要求，测试系统的电磁兼容设计也是研发的重点。 基于该研发成果，公司已授权发明专利共 1 项。

除矽电股份及其附属公司外，公司实际控制人、董事（不含外部董事、独立董事）、监事（不含外部监事）、高级管理人员、核心技术人员的曾任职单位情况如下：

姓名	身份	任职期间	任职单位	主营业务
		1985 年至 1989 年	原电子部第八七一厂技术员	集成电路和半导体分立器件设计、生产、封 装、测试（注 1）
	实际控			生产经营镀膜电玻璃产
何沁修	制人、董事长	1989 年至 1992 年	深圳市先科企业集团深圳南亚技术有限公司副总经理	品和太阳能电池、照相底板、磁记忆盘镀膜产品,工业和民用仪器、仪 表零件、钟表零件的真
				空镀膜产品,研究生产镀

				膜玻璃的配套技术开发新产品,开展与镀膜玻璃产品相关的原材料、设备、零配件。经营仪 器、仪表的技术咨询服 务（注 2）
		1993 年至 1994 年	深圳爱文博电子有限公司高级工程师、副总经理	生产经营光电显示系统组件、光电子产品、电子元器件、视听器材、仪器仪表、化工产品、建筑材料、装饰材料,并提供相关的技术服务 （注 3）
		1996 年至 2018 年	深圳市成光实业有限公司 董事长、总经理	商品贸易
王胜利	实际控制人、董事、总经 理、核心技术人员	1985 年至 1994 年	原电子部第八七一厂车间副主任	集成电路和半导体分立器件设计、生产、封 装、测试（注 1）
		1994 年至 2000 年	深圳市深爱半导体有限公司工程师、设备动力部部 长	功率半导体器件及芯片的研发、生产与销售
		2000 年至 2004 年	香港硅国际有限公司深圳代表处首席代表	代表公司开展联络、咨询活动,不得直接从事经 营活动（注 4）
杨波	实际控制人、董事、董事会秘书、副总经 理	1998 年至 2002 年	深圳市深爱半导体有限公司设备工程师	功率半导体器件及芯片的研发、生产与销售
辜国文	实际控制人、董事	1993 年至 1996 年	航天部一院二三Ο厂工程 师	运载火箭技术
		1996 年至 2005 年	深圳市龙岗区龙岗镇文记 机械模具加工厂经理	机械加工
		2005 年至 今	深圳市文记精密机械有限 公司执行董事、总经理	机械加工
		2007 年至 今	东莞市文记精密机械有限 公司执行董事、总经理	机械加工
		2016 年至 今	武汉市文记精密机械有限 公司执行董事、总经理	机械加工
胡泓	实际控制人、董事	1991 年至 1998 年	电子科技大学讲师、副教 授	学历教育
		2004 年至 今	哈尔滨工业大学（深圳） 教授、博士生导师	学历教育
刘振辉	监事会主席、核心技 术人员	2004 年至 2006 年	贵州航天电器股份有限公司工艺工程师	高端连接器、微特电机、继电器、光电器 件、电缆组件的研制、 生产和销售

刘兴波	副总经理	2000 年至 2005 年	甘肃欣源电子有限公司售后部主管	电子产品（不含卫星、广播地面接收设施）制 造、销售（注 5）
罗仁宇	副总经理	1986 年至 1998 年	天光集成电路厂销售处处 长	集成电路、半导体分立 器件、家用电器（注 6）
		1998 年至 1999 年	中山市小霸王电子工业公司销售部部长、南京分公 司经理	投资家用电器制造业
李凯军	副总经理	1997 年至 2001 年	甘肃兰光科技股份有限公 司财务主管	通信及相关设备制造业 （注 7）
		2001 年至 2013 年	深圳市同洲电子股份有限公司财务副经理、审计部部长、财务总监、总裁助理	广电全业务融合云平 台、数字电视中间件、智能电视操作系统 TVOS、智能数字终端、智能网关、数字电视前端设备等的研发、制 造、服务与销售以及与智慧家庭相关的增值业 务的开发、集成和运营
		2014 年至 2016 年	深圳市邦彦信息技术有限公司财务总监	信息通信和信息安全设备的研发、制造、销售 和服务
		2016 年至 2019 年	深圳市华信长盛资产管理有限公司副总经理、财务总监	受托管理股权投资基金、受托资产管理、投资咨询、财务咨询、投 资管理、企业管理咨询
吴江丽	财务负责人	2009 年至 2012 年	深圳鹏飞会计师事务所审 计经理	审计业务
		2012 年至 2017 年	玩美假期（深圳）股份有 限公司财务总监	旅游
		2017 年至 2020 年	深圳市大米和小米教育科技有限公司财务经理	从事文化教育交流、咨询、服务；心理咨询；自闭症、智力障碍、语言障碍、学习障碍、发育迟缓的信息咨询及服务、教育培训（不含学科类教育培训和职业类培训）；会议服务；从事广告业务；多媒体与平面设计；玩具、文体用品及工艺品（象牙及其 制品除外）销售
		2020 年至 2021 年	深圳市瑞沃物联科技有限 公司财务总监	物联网技术
杨应俊	核心技 术人员	2002 年至 2005 年	深圳市文记精密机械有限 公司机械品管部部长	机械加工
雷迪	核心技 术人员	2004 年至 2005 年	西安瑞阳计算机技术有限 责任公司软件工程师	计算机软件
吴贵阳	核心技 术人员	1997 年至 1999 年	重庆华光仪器厂助理工程 师	照像器材,照像机,光学仪 器,光学元件,枪瞄具望远

				镜制造、销售
		1999 年至 2000 年	宗申产业集团有限公司故障分析工程师	研发、销售、制造各类发动机及零配件、摩托车零部件、通用机械零部件、汽车零部件、大型农机零部件、机械产品、高科技产品；热动力机械项目的投资、经营管理及相关高新技术产业开发；实业投资； 货物及技术进出口
		2000 年至 2007 年	东莞南城万利合电子厂测 试工程师兼主管	电子产品、五金制品、 眼镜的生产销售
		2007 年至 2008 年	东莞长安发利达电子厂测试工程师兼主管	加工：电子产品（报警器、镇流器等）包装电池,手持诊断工具（报警 器用）
		2008 年至 2017 年	东莞长安新科电子制品有 限公司测试研发高级工程师	磁头、硬盘、及部分电 子产品的研发、生产、销售
王业文	核心技术人员 （注 8）	—	—	—

注：1.原电子部第八七一厂现改名为天水天光半导体有限责任公司。

2.该公司已于 2014 年 4 月被吊销，目前尚未注销。

3.该公司已于 2009 年 11 月被吊销，目前尚未注销。

4.该主体已被吊销，目前尚未注销。

5.该主体已于 2004 年 11 月 19 日被吊销，目前尚未注销。

6.该主体已注销。

7.该公司现已更名为“银亿股份有限公司”，该公司于 2011 年 5 月主营业务为房地产开

发及相关设备制造业，于 2018 年 2 月主营业务增加汽车零部件的生产、研发和销售，上表中的主营业务为李凯军任职期间该公司的主营业务。

8.王业文毕业至今均在矽电股份及其附属公司任职，不存在其他任职公司。

根据公司实际控制人、董事（不含外部董事、独立董事）、监事（不含外部

监事）、高级管理人员、核心技术人员的书面确认，并经本所律师的网络核查，公司实际控制人、董事（不含外部董事、独立董事）、监事（不含外部监事）、高级管理人员、核心技术人员的曾任职单位与发行人及其子公司的主营业务并不相同，公司的核心技术均系自主研发，不存在来源于核心技术团队曾任职单位的情形。

（二）发行人实际控制人、董监高及核心技术人员对其曾任职单位是否附有竞业禁止或保密义务，是否存在纠纷或潜在纠纷

根据《劳动合同法》第二十四条的规定，竞业限制的人员限于用人单位的高级管理人员、高级技术人员和其他负有保密义务的人员。竞业限制的范围、地域、期限由用人单位与劳动者约定，竞业限制的约定不得违反法律、法规的规定。在解除或者终止劳动合同后，前款规定的人员到与本单位生产或者经营同类产品、从事同类业务的有竞争关系的其他用人单位，或者自己开业生产或者经营同类产品、从事同类业务的竞业限制期限，不得超过二年。

截至本补充法律意见书出具之日，除公司财务负责人吴江丽外，其他在公司任职的实际控制人、董事、监事、高级管理人员、核心技术人员在公司任职均超过两年，不存在根据《劳动合同法》相关规定仍在有效期内的竞业禁止协议约定。根据公司财务负责人吴江丽前任单位的书面确认，吴江丽在前任单位任职期间并未与该公司签署保密协议及竞业禁止协议。

根据报告期内公司实际控制人、在公司任职的董监高的银行流水，报告期内不存在前任职单位向该等人员支付竞业禁止补偿金的情形。

根据公司实际控制人、在公司任职的董监高、核心技术人员的书面确认，该等人员在曾任职单位任职前，未签署竞业禁止及保密协议，且与曾任职单位之间不存在关于竞业禁止或保密义务纠纷或潜在纠纷。

综上所述，发行人核心技术均为自主研发，不存在来源于核心技术团队曾任职单位的情形；截至本补充法律意见书出具之日，发行人实际控制人、在公司任职的董监高及核心技术人员与曾任职单位之间不存在仍在有效期内的竞业

禁止协议及保密协议，与曾任职单位之间不存在关于竞业禁止或保密协议的纠纷或潜在纠纷。

四、补充说明合作研发的具体模式、研发主要项目、合作研发权利义务相关约定、费用承担与研发成果权利归属、目前已取得的研发成果等，是否存在纠纷或潜在纠纷

报告期内，发行人曾与深圳市捷嘉德科技有限公司（以下简称“捷嘉德”）开展合作研发项目，相关《技术合作框架协议》及双方权利与义务均已履行完毕。双方合作研发的具体模式、研发主要项目、合作研发权利义务相关约定等情况具体如下表所示：

项目	内容
合作研发的具体模式	由矽电股份向深圳市捷嘉德科技有限公司采购技术服务，矽电股份委托捷嘉德参与产品的研发工作，根据矽电股份 需求确定工作量，并向捷嘉德支付相关费用。
研发主要项目	光电器件全自动分选机的研发
合作研发权利义务相关约定	针对具体研发项目应在《技术合作框架协议》确定的原则和基础上另行签署技术开发协议；由捷嘉德根据矽电股份需求制定项目研究及开发的时间表和确定项目组成员，通过矽电股份书面确认；双方定期就项目进度及研发过程中的相关问题进行研究磋商，共同推动项目完成；矽电股份提供技术图纸、技术资料等技术文件格式，捷嘉德按照矽电股份的格式输出技术资料；矽电股份负责项目研发成果样机的所有物料采购加工，特殊物料矽电股份现有供应商资源无法采购和加工，捷嘉德须协助提供相应的供应商资 源。
费用承担	矽电股份在具体项目开发协议签署后 3 个工作日内支付开发费用的 50%给捷嘉德；捷嘉德图纸完成且交付涉及资料给矽电股份 3 个工作日内，矽电股份支付开发费用的 30% 给捷嘉德；样机制作完成且达到矽电股份质量标准后 3 个 工作日内，矽电股份向捷嘉德支付剩余 20%的开发费用。
研发成果权利归属	每一个具体研发项目完成且矽电股份足额向捷嘉德支付开发费用后，研发项目所涉及的技术资料所有权归矽电股份 所有，否则归捷嘉德所有。
目前已取得的研发成果	双方已完成光电器件全自动分选机的合作研发，研发成果 已形成产品并实现销售。

鉴于分选机业务在发行人业务板块中属于未来的战略发展方向，发行人于报告期内设立了子公司希芯智能，以吸收原捷嘉德研发团队。2021 年 11 月 30日，捷嘉德股东杨立伟及六名主要研发人员与捷嘉德解除了劳动关系。2021 年

12 月，上述 7 人与希芯智能签订劳动合同并加入发行人的研发团队，持续开展分选机技术研发。

经捷嘉德确认，上述人员与捷嘉德没有签订保密协议、竞业禁止协议和其他相关约束性协议，与捷嘉德不存在纠纷或潜在纠纷。截至本补充法律意见书出具之日，捷嘉德已启动公司注销程序，目前捷嘉德正在注销中。

根据对捷嘉德的访谈，并经本所律师的网络核查，发行人与捷嘉德之间的合作研发合同均已履行完毕，双方不存在纠纷或者潜在纠纷。

五、结合报告期业绩大幅增长的原因、现有技术储备、市场容量、竞争格局、下游客户的产能扩张周期、在手订单等方面进一步说明发行人业绩增长的可持续性，是否存在重大风险以及相关风险披露是否充分

（一）结合报告期业绩大幅增长的原因、现有技术储备、市场容量、竞争格局、下游客户的产能扩张周期、在手订单等方面进一步说明发行人业绩增长的可持续性

基于发行人的在手订单情况、报告期业绩大幅增长的原因、现有技术储备、行业下游发展情况及市场容量、竞争格局、下游客户的产能扩张周期及发行人 产品迭代周期等方面等各因素的判断，发行人的业绩增长具有可持续性，具体 如下：

1、在手订单充足

截至报告期末，发行人在手订单的金额分别为 52,433.14 万元，剔除增值税影响，在手订单金额为发行人 2021 年度收入的 116.24%，发行人的在手订单充足。随着下游行业整体需求的增长，预计未来订单金额将持续增加。

除在手订单外，截至报告期末，发行人已发货未验收的发出商品余额为 31，

640.82 万元，发出商品对应的不含税合同金额超过 5 亿元。

发行人在手订单及发出商品规模均较大，可为发行人未来一定期间内的业绩提供一定保证。

2、影响报告期业绩大幅增长的因素具有可持续性

报告期内，发行人业绩增长系下游半导体制造行业需求爆发及发行人自身产品技术水平的综合体现。上述因素在可预见的未来具有一定的可持续性，具体如下：

（1）半导体制造行业持续扩产，对半导体专用设备的需求持续增长

中国大陆半导体制造行业高速发展，设备采购需求持续增长。在国家产业支持政策和科技研发政策的支持下，中国大陆半导体行业在过去十年间经历了稳步增长的阶段。根据中国半导体行业协会统计结果，中国大陆集成电路销售规模已由 2010 年的 1,440 亿元增长至 2021 年的 10,458 亿元，年复合增长率为 19.75%，远超全球平均水平。据 SEMI 统计，2021 年至 2022 年全球预计建设投产的 29 座半导体晶圆厂中有 8 座位于中国大陆，占比达 27.59%。下游行业的蓬勃发展，带动上游半导体设备需求持续增长，发行人主要产品探针台是半导体制造的关键测试设备，市场需求持续增长。

（2）发行人不断夯实技术基础，产品功能满足客户需求

发行人自成立以来一直立足于自主研发，专注于探针测试技术领域，不断 深研核心技术，丰富迭代产品性能和功能。发行人成立初期即基于对探针测试 基本原理的研究和半导体制造行业的经验开发了第一代产品 6 英寸晶圆探针台。

此后，发行人依靠技术和经验的不断积累并顺应市场需求，陆续推出了 8 英寸 晶圆探针台、12 英寸晶圆探针台和晶粒探针台，丰富了自身产品线。报告期内，发行人持续投入研发，提高产品技术丰富产品功能，持续推出新一代 12 英寸全 自动晶圆探针台、5G 光器件探针台、晶粒探针测试一体机、光电器件探针台自 动化线等新产品。

3、发行人现有技术储备较为丰富，为业务拓展提供了技术基础

发行人顺应半导体测试设备行业上下游发展趋势，结合国内半导体制造封装产业的实际需求，持续提高发行人技术水平，丰富技术应用。目前，发行人已储备了面向 12 英寸数字芯片、8/6 英寸第三代半导体功率器件、分立器件自

序 号	项目名称	研究目标	对应产品	应用领域
1	12 英寸数字 IC 测试探针台	针对大规模数字 IC技术要求，开发综合定位精度±0.8μm 及以下，负载更高的全新一代 12 英寸探针 台产品。	12 英寸全自动探针台	存储芯片产线
2	12 英寸 IC分析探针台	开发全新一代分析探针台，综合可控精度达到±0.8μm及以下，兼容12英寸/8英寸晶 圆探针测试需求。	12/8英寸手动探针台	芯片研发
3	6/8 英寸第三代化合物半导体测试探针 台	针对第三代化合物半导体芯片特点开发新一代6/8英寸探针台产品，支持高温高压 测试环境。	6/8英寸第三代化合物半导体全自动探针探	第三代化合物半导体产线
4	晶圆图形全自动多次套刻曝光机	开发分立器件多次曝光的全自动套刻接触式曝光机，解决分立器件4/6英寸的全自动多次套刻接触式曝 光需求。	分立器件曝光机	分立器件前道曝光工序
5	分立器件自动化传输及检测 系统	将多台探针台串联运行，统一自动收发 料，满足4/6英寸芯 片的批量测试。	分立器件自动化探针系统	分立器件测试工序
6	高清显示器件光电参数探针测试技术	①32芯针卡光电同测技术的开发；②8芯 16针针座的开发及应用；③全闭环高精度定位平台装配及应 用。	多芯同测探针测试一体机	Mini LED器件制造

动化传输系统、新一代光电器件探针测试一体机多种技术。发行人主要在研项目及对应产品的情况如下：

4、下游行业发展情况及市场容量

（1）半导体行业持续快速发展，有助于下游市场规模增长

近年来半导体行业整体呈快速增长态势，终端半导体产品的不断迭代推动晶圆厂开发新的工艺。如根据 SEMI 数据显示，从 2015 年开始，我国大陆集成电路测试设备市场规模稳步上升，2015 年至 2020 年，我国大陆地区集成电路测

试设备市场规模由 25.26 亿元增长至 91.35 亿元，年均复合增长率为 29.32%。

随着下游 5G 通信、计算机、消费电子、网络通信等行业需求的稳步增长，以及物联网、人工智能、汽车电子、智能手机、智能穿戴、云计算、大数据和安防电子等新兴领域的快速发展，半导体产业面临着新型芯片或先进工艺的产能扩张需求，为半导体专用设备行业带来广阔的市场空间。

（2）半导体产业重心转移至中国、为本土设备厂商提供巨大机遇

根据美国半导体行业协会（SIA）发布的数据，中国大陆地区是全球最大的半导体市场，2021 年销售总额达到 1925 亿美元，增长 27.10%。广阔的下游市场和不断完善的上下游产业链带动全球产能中心逐步向中国大陆转移。

根据 SEMI 的统计，2017 年至 2020 年，全球新投产的 62 座晶圆厂中有 26座来自中国大陆。根据 SEMI 的预测，全球半导体制造商将在 2021 年年底前开始建设 19 座新的晶圆厂，并在 2022 年再开工建设 10 座；中国大陆、中国台湾

将在新晶圆厂建设方面处于领先地位，各有 8 座新增晶圆厂。中国大陆半导体产业规模的不断扩大将为国内设备厂商带来巨大发展机遇，国产设备将加速导入大陆晶圆厂，因此国产半导体设备将迎来快速发展期。

（3）国产化替代逐步深入，有助于市场份额提高

半导体探针台设备行业集中度较高，目前主要由国外厂商主导，行业呈现高度垄断的竞争格局。从全球市场上看，东京精密、东京电子两家公司占据全球约七成的市场份额；从中国大陆市场上看，2019 年东京电子、东京精密、惠特科技、旺矽科技占据了 74%的市场份额，中国大陆市场进口替代空间巨大。

近年来，国产半导体设备制造厂商已凭借突出的产品性价比、高效的服务响应、显著的地缘成本优势快速发展，进一步加快了我国半导体设备的国产化进程。

受益于自主可控和国产替代战略的实施，近年来下游产品市场规模的扩张使得市场对发行人产品的需求不断增长，为发行人未来的业绩增长提供了良好的市场保障。

（4）发行人主要产品所处市场容量较大

SEMI 数据显示，全球半导体设备市场规模在 2021 年已达 1,026 亿美元，其中半导体测试设备市场为 78 亿美元。2020 年全球半导体测试设备市场中探针台占据 15.2%的市场份额，探针台产品市场规模约为 11.86 亿美元。2021 年中国大陆半导体设备市场规模为 296.20 亿美元，通过上述数据测算，2021 年中国大陆半导体探针台设备市场规模约为 3.42 亿美元。

5、在行业竞争格局中发行人是重要的市场参与者

半导体专用设备行业壁垒较高，细分领域参与竞争的企业较少。在中国大 陆市场，除发行人外，主要参与竞争的探针台厂商包括东京电子、东京精密、 惠特科技、旺矽科技、中电科四十五所及长川科技。根据SEMI 和CSA Research 统计，2019 年中国大陆探针台设备市场中，矽电股份占据 13%的市场份额，市 场排名第 4 名，是排名第一的境内厂商。发行人主要竞争对手的市场份额如下：东京精密占 34%，东京电子占 24%，惠特科技 14%，旺矽科技 2%，其他境内外 厂商合计占 13%。发行人经过多年研发，已成为中国大陆探针台设备领域重要 的市场参与者。

6、下游客户的产能扩张周期

发行人下游客户主要包括晶圆厂、封测厂、芯片 IDM 厂商、第三方测试代工厂、光电器件 IDM 厂商等。目前，相关厂商正处于持续扩产增能的状态，随着加大晶圆厂投资力度，中国大陆已建成/在建中的晶圆厂带来更强劲的设备采购需求，为半导体设备行业尤其是国产半导体设备行业的未来发展奠定了广阔的市场。2019 年以来，国内包括燕东微、士兰明镓、士兰集科等公司的新建设半导体产线也取得新进展。根据公开信息，发行人主要下游客户的产能扩张计划如下：

公司名称	投产/量产情况	产能规划	投资计划
燕东微	首期 8 英寸项目 2020 年一季度量产	5 万片/月的 8 英寸生 产线	48 亿元
士兰明镓	截至 2021 年底，已形成 GaN 和 GaAS 高端 LED 芯片的产能	7.2 万片 4 英寸/月	50 亿元