SPM 腔满足以下要求 样本条款

SPM 腔满足以下要求. 4.2.1.配置离子泵（抽速 75 l/s）,钛升华 泵，独立真空泵组等，腔体最高烘烤温度 140℃，在完全烘烤后，本底真空优于 3×10- 10mbar；