底部接口. (1)底部水冷套接口：12个CF125； (2)挡板接口：12个CF100； (3)真空泵接口：不小于CF100。 2.顶部接口 衬底架接口：1个CF250。 3.侧壁预留端口： (1)高能电子衍射仪接口：1个CF40； (2)四极质谱接口：1个CF35； (3)高能电子衍射仪荧光屏接口：1个CF100； (4)观察窗尺寸：1个不小于CF100； (5)红外测温窗接口1个CF63； (6)真空规接口：1个CF35； (7)束流规接口:1个CF63； (8)与除气室连接接口:1个CF150。 15 （三）主腔体组件包含但不限于： 16 1.主腔体具有相应的液氮屏蔽冷阱组件，冷屏尺寸与主腔室相当，在系统工作时充液氮，接口尺 寸A5，确保真空腔体中真空度长时间保持稳定状态； ★ 17 2.★
