MBE komora a čerpací systém. Komora musí být vyrobena z nerezové oceli. Velikost průměru komory je nejméně 300 mm. Musí být možno instalovat alespoň 5 portů pro efuzní cely a přidružené clony vhodné pro efuzní cely specifikované v odstavci 12. Musí být možno instalovat články pro napařování elektronovým svazkem s nejméně 4 zásobníky uvedenými v odstavci 12. Systém musí být vybaven sestavou RHEED pro sledování růstu vzorků. Systém musí být vybaven minimálně dvouosým manipulátorem. Depozice vzorku musí být provedena v horizontální orientaci a všechny zdroje/cely pro odpařování jsou umístěny ve spodní části komory. Vzdálenost mezi výparníky a vzorkem musí umožňovat homogenní růst na celém povrchu 2“ (2 palcových) vzorků. Komora MBE musí být vybavena kryopanelem s kapalným dusíkem. Komora MBE musí obsahovat všechny výřezy s uzávěry a olovnatým sklem. Počet výřezů musí být zvolen takovým způsobem, že kdykoli během manipulace se vzorkem a růstu vzorku musí umožňovat dobrou vizuální kontrolu jedním operátorem MBE. Kromě toho musí systém zahrnovat výřezy pro prohlížení do všech zdrojů/cel. Komora MBE musí obsahovat rozprašovací argonový iontový zdroj pro čištění substrátů. Do budoucna musí být zajištěna možnost připojení hmotnostního spektrometru ke komoře MBE. Dosažený základní tlak po vypékání a s kryopanelem při pokojové teplotě je alespoň 5x10-10mbar. MBE komora musí být vybavena vhodným měřením tlaku v rozsahu alespoň od 5x10-03 mbar do ultra vysokého vakua (UHV) vakua (méně než 1x10-10 mbar). Alespoň jedna turbomolekulární pumpa se jmenovitou rychlostí čerpání alespoň 600 l/s pro N2, a s maximální hladinou hluku 50 dB. Uzavírací ventil, který bude v uzavřené poloze a utěsní/uchová vakuum v případě výpadku proudu Alespoň jedna primární bezolejová spirálová pumpa s čerpací rychlostí nejméně 11 m3/h a maximální hladinou hluku 55 dB. Musí být zahrnuto alespoň jedno titanové sublimační čerpadlo. Alespoň jedno iontové čerpadlo s čerpací rychlostí alespoň 300 l/s pro N2.
