探针台台体. 1） ★卡盘尺寸：要求适合 12 英寸及 12 英寸以内样品（可向下兼容 8/6/4 英寸Wafer及单个 DUT，最小应能支持 4*4mm）真空吸附式测试载台，并且具有单独的前缘真空吸附区，卡盘平整度：＜10 微米，材质：镀金铝
2） ★样品台真空吸附：单个 DUT（4 孔设计或更优）、75mm（前孔设计）、 150/200/300mm 真空孔自动监测选择设计
3） ★半自动系统集成
4） 样品台Z 轴移动范围：30mm 或更优；分辨率：0.2μm 或更优；移动精度：±2 μm 或更优
5） 样品台倾斜角度范围：±5.0°或更优；分辨率：0.2μm 或更优；重复性＜1μ m；精度＜2μm
6） ★样品台在极限高低温下无结构平整度变形，无探针漂移接触不良情况，样品台加激励偏置高低温下，漏电精度≤5pA 7） ★stage 移动行程：≥ 310(X)，≥ 310(Y)；移动分辨率：0.5μm 或更优；移动精度：±2μm 或更优
