生产独立. 公司 ALD 设备的生产包括了产品设计、工艺设计、部件采购/加工、组装、系统集成、设备功能检测、厂内工艺调试、拆机包装出货、现场安装、工艺调试以及验收 10 多道环节，其中核心工序为产品设计、工艺设计和工艺调试等环节。 ALD 设备生产装配工序相对简单，即生产人员根据公司研发部门提供的图纸及投料清单，进行装配工作。但不同装配环节人员需求相对固定，考虑到人工利用 率等问题，公司在早期规模较小时，选择以代加工的形式委托先导智能进行设备装配。前述生产工序的具体内容与代加工阶段的分工情况具体如下： 工序 具体内容 分工情况 产品设计 公司根据客户需求、对市场发展的战略判断等进行产品设计，研发部电气、机械组分别完成对设备电气部分、机械部分的设计，并结合工艺组工艺设计评估的结果，确定完整的图纸与安装说 明，并形成 BOM 清单 公司独立完成 工艺设计 对产品需达到效果的工艺环境进行整体评估与工艺环境模拟，以研发部工艺组为牵头方，研发部其他部门配合设计能够实现前述工艺环境的 机台主体结构 公司独立完成 元器件采购/加工 采购人员根据 BOM 清单内容向对应合格供应商进行询价，并根据询价结果进行采购 公司提供 BOM 清单与合格供应商库、先导智能完 成采购 组装 生产人员按照反应腔体、源输送模组、传送模组、 电气模块等模块进行组装，并安装成整机 公司提供图纸，委托先导 智能完成 系统集成 完成反应腔体、传送模组等主要模块的系统集成 工作，为后续终测及工艺调试做准备 公司独立完成 设备功能检测 对安装完成的设备进行出货前的检测工作，包括电路通路、数字及模拟输入/输出信号及反馈、机械手传送、真空及漏率检查、气体质量流量计调试、射频发生器等一系列硬件及其他必要的检验 项目 公司独立完成 厂内工艺调试 结合工艺实现情况，在厂内对设备的工艺参数进 行调试 公司独立完成 拆机包装出货 根据包装清单，对已完成终测及工艺调试的设备 进行检验、分拆、包装及装箱作业 公司独立完成 现场安装 在客户现场对产品进行安装 公司独立完成 工艺调试 在客户现场对设备进行工艺调试，同时保证自身机台的工艺实现与和电池片生产线上扩散、激光、丝网印刷等其他工序的协同效用，达到客户 对生产良率与光电转换效率的预期 公司独立完成 其中最关键环节在于产品与工艺的研发设计和工艺调试，该等关键环节均由公司自主完成，先导智能协助完成的仅包括元器件采购/加工与组装工序，前述工序系由于公司处于早期发展阶段，集中主要资源和精力在产品开发上，因此，首台商用设备开发成功并取得订单后，公司即先行委托先导智能进行加工装配，对于委托加工所需的零配件，亦由先导智能按照市场化原则直接向相关供应商采购，在装配过程中，先导智能完全参照微导纳米的技术图纸进行，技术含量较低 且非核心工序。委托经营管理与生产事项无关，自 2019 年以来，公司与先导智能仅有少量的导杆、底板等零部件采购，未发生新的委托先导智能组装设备的情况。公司已建立独立的采购部门、生产部门，采购、装配均由公司独立完成。