Conditions Générales de Vente pour l’accès aux salles blanches et l’utilisation des équipements
Conditions Générales de Vente pour l’accès aux salles blanches et l’utilisation des équipements
V1.1 – Décembre 2023
1. Objet et champ d’application
Les présentes conditions générales sont applicables à tous les devis et contrats conclus par Univ. Eiffel - ESIEE Paris pour l’accès aux salles blanches et l’utilisation des équipements qui s’y trouvent, sous réserve de conventions spéciales y dérogeant en tout ou partie et constatées par accord écrit.
Sous cette seule réserve, toute commande ou acceptation d'un devis implique pour le client l'adhésion pleine et entière aux présentes conditions générales de vente qui prévalent sur tout autre document du client et, notamment, sur ses conditions générales d'achat, sauf accord dérogatoire exprès et préalable d’Univ. Eiffel – ESIEE Paris.
Ces conditions de vente ne sont pas applicables aux opérations confiées au personnel Univ. Eiffel - ESIEE Paris (équipements en service guichet et sous-traitance, Annexe 1), pour lesquelles les conditions de vente relatives aux prestations salles blanches s’appliquent.
2. Validité des devis
La durée de validité des devis est de trois (3) mois sauf mention contraire sur celui-ci. Au-delà, un accord écrit de notre part est nécessaire pour en prolonger la validité. Les tarifs sont basés sur la grille tarifaire validée par le Conseil d’Administration ou par le Président d’Univ. Eiffel en vigueur à la date d’édition du devis.
3. Conditions financières
Le tarif d’accès journalier n’inclut pas les wafers et consommables spécifiques tels que les masques de photolithographie, les résines et développeurs spécifiques.
Sauf mention contraire, les montants indiqués dans le devis sont hors taxes et en Euros (€). Lorsque cela est applicable, ces montants seront majorés de la TVA au taux en vigueur.
N° identification TVA : XX 00 000000000 Xx XXXXX : 130 026 123 00013
Les commandes sont à adresser :
• par courier à:
ESIEE Paris
Service pour la Microélectronique et les Microsystèmes 2 boulevard Xxxxxx Xxxxxx
Xxxx Xxxxxxxxx, XX 00
00000 Xxxxx-xx-Xxxxx Xxxxx, XXXXXX
• ou par e-mail à xxxxxxx.xxx@xxxxx.xx.
Les factures sont émises par l’Agence comptable d’Univ. Eiffel. Elles sont transmises à votre convenance par courrier, par mail ou déposées sur un portail suivant vos directives. Les modes de règlement acceptés sont :
• par virement bancaire sur le compte
AG MELUN - 00 XX XXXXXX - 00000 XXXXX Xxxxxx 10071 - 77000 - 00001002435 - 23
IBAN : XX00 0000 0000 0000 0000 0000 000 BIC / SWIFT : XXXXXXX0XXX
• par chèque à l'ordre de l'Agent Comptable de l’Université Xxxxxxx Xxxxxx, à adresser à :
Université Xxxxxxx Xxxxxx 0 xxxxxxxxx Xxxxxxxxx
00000 Xxxxxx-xxx-Xxxxx, Xxxxxx.
Le délai de paiement est de trente (30) jours à réception de facture. Le non-respect du délai de paiement pourra entraîner l'application de pénalités de retard qui seront applicables au prorata temporis, par application à la somme due d’un taux égal à trois (3) fois le taux de l’intérêt légal, ainsi que de l’indemnité forfaitaire de recouvrement prévue par l’article L441-6 du Code de commerce (quarante (40) Euros). Si l’affaire est ensuite portée au contentieux auprès d’un cabinet de recouvrement Univ. Xxxxxx se réserve le plein droit, sans mise en demeure préalable, de refacturer au client la totalité des frais facturés à Univ. Eiffel par le cabinet de recouvrement. Univ. Xxxxxx se réserve également le droit d’interrompre la réalisation des autres commandes ou contrats du client en cours d’exécution en cas de défaut de paiement non solutionné dans un délai de trois (3) mois au maximum.
4. Suivi de l’utilisation
L’unité de facturation est la demi-journée (matinée ou après- midi, quatre (4) heures maximum). Toute demi-journée commencée est due. Les durées d’utilisation se cumulent lorsque plusieurs équipements sont utilisés en parallèle (sauf pour la photolithographie : tournette + plaque chauffante / étuve + aligneur + paillasse de développement).
Univ. Eiffel - ESIEE Paris et le client valideront conjointement, a minima chaque trimestre, un bilan du suivi de consommation sur la période concernée, établi sur la base des éléments respectivement collectés en toute bonne foi.
Univ. Xxxxxx - ESIEE Paris se réserve le droit de facturer toute réservation non utilisée qui n’aura pas été annulée au moins vingt-quatre (24) heures auparavant, étant précisé que cette facturation n'aura pas lieu si le client exerce son droit de rétractation conformément à l'article L221-18 du code de la consommation, dans les cas où une telle rétractation n'est pas exclue par le code de la consommation, dans les quatorze (14) jours à compter de la conclusion du contrat.
La liste des produits chimiques inclus dans le tarif journalier est fournie en Annexe 3.
5. Horaires d’ouverture
Les heures d’ouverture normales des salles blanches ESIEE Paris sont de 8h à 18h du lundi au vendredi. Les périodes de fermeture et de maintenance des salles blanches ESIEE Paris sont généralement plus courtes que celle de l’établissement et seront régulièrement communiquées dans les meilleurs délais aux utilisateurs. Univ. Eiffel – ESIEE Paris se réserve le droit de limiter les co-activités pendant les travaux pratiques des étudiants et sessions de formation. A titre indicatif, les salles blanches ESIEE
Paris sont accessibles aux utilisateurs externes environ deux cents
(200) jours dans l’année.
6. Responsabilité, sécurité et assurance
Les salariés du client restent placés sous la responsabilité de leur employeur. Ils devront se conformer au règlement intérieur de l’établissement Univ. Eiffel - ESIEE Paris et à celui des salles blanches.
Hors visite ponctuelle accompagnée par un personnel Univ. Eiffel
- ESIEE Paris habilité, l’accès aux salles blanches est conditionné au suivi préalable d’une formation sécurité. L’utilisation d’un équipement de manière autonome ne peut se faire qu’après obtention de l’habilitation individuelle pour l’équipement concerné, à l’issue de la formation spécifique dispensée par un membre de l’équipe technique. En cas de manquement grave à la sécurité ou aux bonnes pratiques de laboratoire, Univ. Eiffel - ESIEE Paris se réserve le droit d’exclure définitivement la personne concernée, avec prise d’effet immédiat.
L’introduction de tout nouveau produit chimique ou matériau est soumise au préalable à l’autorisation d’Univ. Eiffel - ESIEE Paris après examen de la fiche de données de sécurité. Les conditions et les lieux de stockage et de manipulation seront ensuite conjointement définis.
Tout incident devra être signalé à xxxxxxxx.xxx@xxxxx.xx.
Le client est responsable, dans les conditions du droit commun, des dommages éventuellement causés de son fait ou de celui de ses salariés et affiliés, à Univ. Eiffel - ESIEE Paris, à son personnel et ses étudiants. Il devra fournir préalablement à son accès une attestation d’assurance en responsabilité civile couvrant les préjudices qu’il peut causer vis-à-vis des tiers à l’occasion des accidents corporels, dommages matériels et immatériels qui pourraient subvenir du fait de ses activités dans le cadre de l’exécution de la commande ou du contrat, pendant toute la durée de l’accès. Réciproquement, Univ. Eiffel - ESIEE Paris déclare avoir souscrit une assurance en responsabilité civile couvrant les accidents corporels, dommages matériels et immatériels, éventuellement causés de son fait ou de celui de son personnel, aux salariés et affiliés du client dans le cadre de l’exécution de la commande ou du contrat.
7. Confidentialité
Le client accepte de fournir à Univ. Eiffel – ESIEE Paris toutes les informations sur ses activités nécessaires à leur bon déroulement sur la plateforme (par exemple nature des matériaux et type d’étapes réalisées à l’extérieur, pour la maîtrise de la contamination). Ces informations sont considérées comme confidentielles et traitées par Univ. Xxxxxx - ESIEE Paris comme telles, avec le même soin que ses propres informations confidentielles. Elles ne sont divulguées qu’à son personnel ayant à en connaître. Cette obligation de confidentialité reste valide pendant deux (2) ans à compter de la date de divulgation des informations. Elle ne s’applique pas aux informations qui étaient déjà accessibles publiquement avant leur transmission par le client dans cet objectif, ni dans le cas où Univ. Xxxxxx - ESIEE Paris en a eu connaissance à une date antérieure ou si elle les a reçues sans obligation de confidentialité de la part d’un tiers autorisé à les divulguer.
Tout utilisateur des salles blanches ESIEE Paris est tenu de signer en son nom, en tant que personne physique, une obligation de confidentialité. Les salles blanches ESIEE Paris étant une plateforme ouverte à de multiples utilisateurs, il appartient au
client de mettre en œuvre toutes les précautions nécessaires pour protéger ses propres informations confidentielles.
8. Propriété intellectuelle
Univ. Eiffel - ESIEE Paris assure la formation à l’utilisation des équipements et un support technique en cas de panne résultant d’une utilisation normale (inclus dans le tarif journalier). Elle accepte de fournir au client, dans le cadre de son accès et sur demande, quelques recettes standard pour certaines étapes technologiques basiques (Annexe 2) afin de faciliter le démarrage de ses travaux. Cela ne vaut ni concession de licence ni garantie de la performance de ces recettes pour les besoins du client. Il appartient à ce dernier de mener ses propres développements technologiques pour atteindre les performances visées.
Le client conserve la pleine et entière propriété de ses connaissances antérieures, son savoir-faire et les développements réalisés intégralement par ses soins en utilisant les moyens matériels de la plateforme dans le cadre de la commande ou du contrat. Il peut s’il le souhaite s’appuyer sur l’expertise d’Univ. Xxxxxx – ESIEE Paris pour l’accompagner dans ses développements, soit sous la forme de prestations avec les conditions applicables (cf. §1), soit de projets de recherche collaboratifs avec une convention spécifique précisant les règles de partage de la propriété intellectuelle.
9. Garantie
En tant que professionnel précautionneux, Univ. Eiffel - ESIEE Paris fournit ses meilleurs efforts pour assurer la bonne fonctionnalité des équipements auxquels les utilisateurs accèdent, ainsi que la qualité de l’environnement contrôlé salle blanche dans lesquels ils se trouvent.
Univ. Xxxxxx - ESIEE Paris s’engage à informer le client dans les plus brefs délais de toute panne ou dérive survenue sur un équipement qu’il a pu ou pourrait utiliser, et des travaux à venir pouvant impacter le planning et son accès à la plateforme et à ses équipements.
Toute réclamation doit être notifiée par écrit à xxxxxxx.xxx@xxxxx.xx ou à l’adresse postale en bas de page, dans un délai de deux (2) mois au plus tard après la survenance de l’événement. Au-delà, l’exécution est réputée conforme et pleinement acceptée.
10. Force majeure
ESIEE Paris ne pourra être tenu responsable de la non-exécution totale ou partielle de ses obligations si cette non-exécution est provoquée par un "événement constitutif de force majeure échappant au contrôle du débiteur de ses obligations qui ne pouvait être raisonnablement prévu lors de la conclusion du contrat et dont les effets ne peuvent être évités par des mesures appropriées" (article 1218 du Code Civil). Elle devra en aviser par écrit le client dans les quinze (15) jours suivant la survenance de cet événement. Les délais d'exécution seront prolongés pour une période au moins égale au retard subi. Aucune des parties ne pourra invoquer la force majeure pour résilier l’accord conclu ou pour prétendre à des dommages-intérêts résultant du retard ou de la non-exécution des obligations nées de l’accord, sauf dans le cas d’une impossibilité définitive où l’accord sera alors résolu de plein droit et les parties libérées de leurs obligations conformément à l’alinéa 2 de l’article 1218 du Code Civil. Cependant, si le retard provoqué par la force majeure dépasse trente (30) jours, les parties se rencontreront pour examiner d'un commun accord les modalités de poursuite des relations contractuelles ou, le cas échéant, les conditions de cessation.
11. Droit applicable, attribution de juridiction et litiges
La loi applicable est la loi française.
Les parties s’engagent à d’abord rechercher de bonne foi une solution amiable à tout différend au sujet de l'application des présentes conditions générales de vente et de leur interprétation, de leur exécution et des contrats de vente conclus par Univ. Eiffel
- ESIEE Paris, ou au paiement du prix. Si le règlement amiable n’aboutit pas, les litiges seront portés devant le tribunal compétent de la Cour d’Appel de Paris, auquel les parties font attribution de compétence, nonobstant toute clause contraire, et même en cas d'appel en garantie ou de pluralité de défendeurs.
Annexe 1 – Liste des équipements accessibles après habilitation vs. en service guichet
Zone | Equipements accessibles après obtention de l’habilitation à leur utilisation | Equipements en service guichet (accès limité, réservé au SMM) |
CH01 | Paillasses de nettoyage et gravure humide, lift-off | Libération HF vapeur |
XX00 | Xxxxxxx humide Au et Cr Paillasses de nettoyage | Electrodéposition Cu et Au |
CR01 | Ellipsomètre Microscope Electronique à Balayage (MEB) Microscopes optiques Profilomètre mécanique Dektak XT Profilomètre optique Wyko Stations sous pointes manuelles Vibromètre laser Polytec | Microscope numérique Profilomètres optiques Sensofar et Contour GT Station sous pointe automatique (prober SLB) |
DP01 | Cablâge filaire (wire bonding) Four de refusion, four de recuit polyimide Paillasse PDMS Plasma cleaner O2 Report de composants (pick and place) | Ablation laser Bâti CVD parylène Scie de découpe Sonification |
FO01 | -- | Fours d’oxydation thermique Fours de dépôt LPCVD Four de recuit sous vide Cu / polyimide Dépôt PECVD Four de recuit Al (DG05) |
GR01 | Pulvérisation cathodique Alcatel Pulvérisation cathodique Plassys RIE Nextral1 | Evaporateur multi-creusets Gravure RIE-ICP Gravure profonde DRIE manuelle et auto Nettoyage plasma O2 Matrix Réacteurs croissance diamant intrinsèque et dopé |
GR02 | Pulvérisation cathodique SLB | Atomic Layer Deposition (ALD) |
PH01 (zone à accès limité selon les projets) | Aligneur semi-automatique MA150 Paillasses de nettoyage et développement Tournette semi-automatique Süss MicroTec Plaques chauffantes, étuves | Aligneur manuel MA6 (SLB) Aligneur pour bonder Süss MicroTec BA8 Bonders EVG et Süss MicroTec Rinser-dryer 4" et 6" Tournette automatique Falcon Tournette manuelle NASA |
PH02 | Aligneurs MA1006 BSA et IR, aligneur MA6 Aligneur sans masque POLOS µprinter Microscopes optiques Paillasses de nettoyage et de développement Tournettes, plaques chauffantes et étuves | -- |
Annexe 2 – Liste des recettes standard disponibles sur demande
Dépôt de couches minces métalliques par pulvérisation cathodique Al, Au, Cr, Cu, Ni, Pt, SiO2, Ti, TiW Photolithographie avec résines PFR (1,1 µm), nLOF2020 (2 µm), AZ4562 (10 à 15 µm)
Nettoyage Piranha et acides
Gravure humide Al, Au, Cr, Cu, SiO2, TiW
Annexe 3 – Liste des produits chimiques inclus dans le coût journalier
Acides minéraux (HF, H2SO4, HNO3…) et H2O2 Solvants (acétone, isopropanol et éthanol)
Résines photosensibles (SIPR3251M 3.0, PFR7790, AZ nLoF2020, AZ4562) et développeurs correspondants (PRD238, XX000X, XX000XXX, XX000X), remover 1112A
Métaux listés ci-avant (hors métaux précieux Au et Pt) pour le dépôt de couches minces Electrolyte Cu
Solutions de gravure chimique pour Al, Au, SiO2, TiW
Terms & Conditions of Sales for cleanroom access and equipment use
V1.1 – December 2023
Preamble
Please note that translation in English language is given here only for convenience. The original French text will be binding and prevails in case of any variance in any translation.
1. Purpose and scope
These terms and conditions of sales are applicable to all quotes and contracts concluded by Univ. Eiffel - ESIEE Paris for cleanroom access and the use of the equipment therein, except for special agreements derogating from them completely or partially by written agreement.
With this sole reservation, any order or acceptance of a quote implies for the customer the full acceptance of these terms and conditions prevailing over any other document of the customer and, in particular, over his/her general conditions of purchase, except express and prior derogatory agreement from our company.
These Sales Terms & Conditions are not applicable to services performed by Univ Eiffel - ESIEE Paris staff (limited-access equipment in Annex 4 and subcontracting), for which Sales Terms & Conditions for cleanroom services apply.
2. Quote validity
The validity period of our quotes is three (3) months unless specific mention on it. Beyond this duration, our written agreement is necessary to extend its validity. Prices are based on the ones validated by the Administration Council or by the President of Univ. Xxxxxx, in effect at the quote date.
3. Financial conditions
Except if specifically mentioned, the amounts indicated in the quote are excluding taxes and in Euros (€). When applicable, these amounts should be increased by VAT at the current rate.
VAT identification number: XX 00 000000000
XXXXX number: 130 026 123 00013
The purchase orders should be sent:
• by mail to:
ESIEE Paris
Service for Microelectronics & Microsystems (SMM) 0 xxxxxxxxx Xxxxxx Xxxxxx
Xxxx Xxxxxxxxx, XX 00
00000 Xxxxx-xx-Xxxxx Xxxxx, XXXXXX
• or by e-mail to xxxxxxx.xxx@xxxxx.xx.
Invoices are issued by the Accounting Agency of the University Xxxxxxx Xxxxxx. They are sent at your convenience by mail, email or deposited on a portal according to your instructions. The accepted payment methods are:
• by bank wire to the account
AG MELUN - 00 xx Xxxxxx - 00000 Xxxxx, XXXXXX 10071 – 77000 – 00023057957 – 23
IBAN : XX00 0000 0000 0000 0000 0000 000 BIC / SWIFT: XXXXXXX0XXX
• by check payable to “Agent Comptable de l’Université Xxxxxxx Xxxxxx”, sent by mail to the following address:
Université Xxxxxxx Xxxxxx 0 xxxxxxxxx Xxxxxxxxx
00000 Xxxxxx-xxx-Xxxxx, XXXXXX
The payment period is thirty (30) days upon receipt of invoice. Failure to comply with the payment deadline may result in the application of late payment penalties which will apply prorata temporis, by application to the amount due at a rate equal to three (3) times the rate of legal interest, as well as the fixed recovery indemnity provided for by article L441-6 of the French Commercial Code (forty euros, 40 €). If the matter is then brought to litigation with a collection firm, Uniy. Eiffel reserves the full right, without prior notice, to charge the customer all of the costs invoiced to Uni. Eiffel by the debt collection agency.
Univ. Xxxxxx reserves the full right to interrupt the execution of other orders or contracts of the customer, in progress, in the event of non-payment not resolved within a maximum of three
(3) months.
4. Use follow-up
The billing unit is the half-day (morning or afternoon, 4 hours max.). Any half-day started is due. The durations of use are cumulative when several machines are used in parallel (except for photolithography: spin-coater + heating plate / oven + aligner + development bench).
Univ. Eiffel - ESIEE Paris and the customer will validate together, at least every quarter, a report of use on the billing period, established based on the elements respectively collected with sincerity.
Univ. Eiffel - ESIEE Paris reserves the right to invoice any unused reservation which has not been canceled at least twenty-four (24) hours previously, it being specified that this invoicing will not take place if the customer exercises his/her right of withdrawal in accordance with article L221-18 of the Consumer Code, in cases where such withdrawal is not excluded by the Consumer Code, within fourteen (14) days from the conclusion of the contract.
The list of chemicals included in the daily access fees is given in Annex 6.
5. Opening hours
The normal opening hours of ESIEE Paris cleanrooms are from 8am to 6pm, Monday to Friday. The cleanroom closure and maintenance periods are generally shorter than the ones of ESIEE Paris establishment and users will be priorly informed of them. Univ. Eiffel - ESIEE Paris reserves the right to limit co-activities during Practical Courses and training sessions. For information, ESIEE Paris cleanrooms are accessible to external users approximately two hundred days a year.
6. Responsibility, safety and insurance
The client staff remains under the responsibility of their employer. They must comply with the internal rules of Univ. Eiffel
– ESIEE Paris and cleanrooms.
Except for occasional visits accompanied by an authorized person from Univ Eiffel - ESIEE Paris staff, access to cleanrooms requires to follow a prior safety training. The autonomous use of an equipment requires first obtaining an individual authorization
after validating a specific training provided by a member of the technical team. In case of a serious default to safety or to good laboratory practices, Univ. Eiffel - ESIEE Paris reserves the right to permanently exclude the person concerned, with immediate effect.
The introduction of any new chemical product or material is subject to prior authorization from Univ. Eiffel - ESIEE Paris after examination of the safety data sheet. The conditions and places of storage and handling will then be jointly defined.
Any incident must be reported to xxxxxxxx.xxx@xxxxx.xx.
The customer is liable, under the conditions of common law, for any damage caused by him or by his to Univ. Eiffel - ESIEE Paris, its staff and students. He must provide, prior to access, a certificate of civil liability insurance covering the damage he may cause to third parties including bodily accidents, material and immaterial damage that could result from his activities in the frame of the execution of the order or the contract, for the entire duration of the access. Reciprocally, Univ. Eiffel - ESIEE Paris declares to have subscribed a civil liability insurance covering bodily injury, material and immaterial damage, possibly caused by its fault or that of its staff, to the employees and affiliates of the customer in the frame of the execution of the order or the contract.
7. Confidentiality
Customer agrees to provide Univ. Eiffel – ESIEE Paris all the information on its activities necessary for their smooth operation on the platform (i.e. nature of the materials and kind of previous steps carried out outside, for contamination risk management). This information is considered as confidential and treated by Univ. Eiffel - ESIEE Paris with the same attention as its own confidential information. They are disclosed only to staff who need to know them. This confidentiality obligation remains valid for two (2) years from the date of disclosure of the information. This does not apply to information which was already publicly accessible before its transmission by the customer for this purpose, nor in the case where Univ. Xxxxxx - ESIEE Paris already knew it before transmission by the customer or if received it without confidentiality from a third party authorized to disclose them.
Any user of ESIEE Paris cleanrooms is required to sign in his own personal name, a non-divulgation agreement. Since ESIEE Paris cleanrooms are a platform open to multiple users, this is the client responsibility to take all the necessary precautions to protect its own confidential information.
8. Intellectual Property
Univ. Eiffel - ESIEE Paris provides training to equipment use and technical support in case of breakdown (included into the price). It agrees to provide to the customer, in the frame of his access and upon request, some standard recipes for some basic technological steps (Annex 5) in order to facilitate the work starting. This does not give a license or guarantee of the performance of these recipes for the needs of the customer. It is up to the customer to carry out its own technological developments to achieve the targeted performance.
The customer has the full and complete ownership of his previous knowledge, his know-how and the developments carried out entirely by himself using the means of the platform in the frame of the order or the contract. He can, if desired, ask for Univ. Eiffel
– ESIEE Paris expertise to support him in its developments, either in the form of services with the applicable conditions (see §1), or
in the frame of collaborative research projects with a specific agreement specifying the rules for sharing intellectual property.
9. Guarantee
As a careful professional, Univ. Eiffel - ESIEE Paris provides its best reasonable efforts to ensure the proper functionality of the equipment to which users have access, as well as the quality of the cleanroom controlled where they are installed.
Univ. Eiffel - ESIEE Paris undertakes to inform the customer as soon as possible of any failure or deviation occurring on equipment that the customer used or could use, and of future work that may affect the schedule and its access to the platform and to its equipment.
Any complaint must be notified in writing to xxxxxxx.xxx@xxxxx.xx or to the postal address in the footer, within two (2) months at the latest following the occurrence of the event. Afterwards, the execution is deemed to be fully accepted.
10. Force majeure
Univ. Eiffel - ESIEE Paris cannot be held liable for the total or partial non-performance of its obligations if such non- performance is caused by "an event constituting force majeure beyond the control of the debtor of its obligations which could not reasonably have been foreseen at the time of the conclusion of the contract and whose effects cannot be avoided by appropriate measures" (Article 1218 of the French Civil Code). It must notify the customer in writing within fifteen (15) days following the occurrence or threat of such event. The execution deadlines will be extended for a period at least equal to the delay suffered. Neither of the Parties may invoke force majeure to terminate the agreement entered into or to claim damages resulting from the delay or non-performance of the obligations arising from this Agreement, except in the case of a definitive impossibility where the Contract is then fully terminated and the parties released from their obligations in accordance with article 1218 of the Civil Code, alinea 2. However, if the delay caused by force majeure exceeds thirty (30) days, the Parties shall meet to examine by mutual agreement the terms and conditions for the continuation of the contractual relationship or, where applicable, the conditions for termination.
11. Applicable law, jurisdiction and disputes
The applicable law is the French law.
The Parties undertake to first seek in good faith an amicable solution to any dispute concerning the application of these general terms and conditions of sale and their interpretation, their execution and the sales contracts concluded by Univ. Eiffel - ESIEE Paris, or the payment of the price. If the amicable settlement does not succeed, the disputes will be brought before the competent court, to which the Parties attribute jurisdiction, notwithstanding any clause to the contrary, and even in the event of an appeal in warranty or plurality of defendants.
Annex 4 – List of equipments accessibles for use by trained users vs. only by SMM team
Room | Equipments accessibles for use by trained users | Equipments with reserved access only by SMM team |
CH01 | Cleaning, wet etching and lift-off benches | HF vapour |
CH02 | Cu, Au and Cr wet etching Cleaning wet benches | Cu and Au electrodeposition |
CR01 | Ellipsometer Scanning Electron Microscope (SEM) Optical microscopes Mechanical profilometer Dektak XT Optical Profilometer Wyko Manual probers Vibrometer laser Polytec | Numerical microscope Optical profilometers Sensofar & Contour GT Semi-automated prober (SLB) |
DP01 | Wire bonding Reflow oven, polyimide oven PDMS bench Plasma cleaner O2 Pick and place for surface mounting | Ablation laser Bâti CVD parylène Scie de découpe Sonification |
FO01 | -- | Thermal oxidation furnaces LPCVD deposition Furnace for vaccuum annealing Cu / polyimide PECVD Furnace for Al annealing (DG05) |
GR01 | Alcatel sputtering Plassys sputtering RIE Nextral1 | Multi-crucible evaporator RIE-ICP Manual and auto deep etching DRIE O2 plasma cleaning Matrix Reactors for intrinsic and doped diamond growth |
GR02 | SLB sputtering | Atomic Layer Deposition (ALD) |
PH01 (limited access depending on projects) | Semi-automatic aligner MA150 Cleaning and development benches Semi-automatic spin coater Süss MicroTec Hot plates, ovens | Manual aligner MA6 (SLB) Aligner for bonder Süss MicroTec BA8 Bonders EVG and Süss MicroTec Rinser-dryer 4" & 6" Automatic spin-coater Falcon Manuel spin-coater NASA |
PH02 | Aligners MA1006 BSA and IR, aligner MA6 Maskless aligner POLOS µprinter Optical microscopes Cleaning and development benches Spin-coaters, hot plates and ovens | -- |
Annex 5 – List of standard recipes available on demand
Thin film deposition of Au, Cr, Cu, Ni, Pt, SiO2, Ti, TiW by sputtering
Photolithography with the following resists: PFR (1,1 µm), nLOF2020 (2 µm), AZ4562 (10 to 15 µm) Acid and Piranha cleaning
Wet etching of Al, Au, Cr, Cu, SiO2, TiW
Annex 6 – List of chemicals included in the daily access fees
Mineral acids (HF, H2SO4, HNO3…) & H2O2 Solvents (acetone, isopropanol & ethanol)
Photoresists (SIPR3251M 3.0, PFR7790, AZ nLoF2020, AZ4562) and related developpers (PRD238, XX000X, XX000XXX, XX000X), remover 1112A
Metals listed before (excluding precious metals i.e. Au and Pt) for thin film deposition Copper electrolyte
Etchants for Al, Au, SiO2, TiW