Common use of 作业记录 Clause in Contracts

作业记录. 1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风速，晃动频率，作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。 4 ★

作业记录. 1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风速，晃动频率，作业槽体等2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次、作业起止时间、作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量、时间、排风量、晃动频率、作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。 4 5 ★

作业记录. 1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风速，晃动频率，作业槽体等2.记录每片产品的作业相关信息、如晶圆批次、作业起止时间、作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量、时间、排风量、晃动频率、作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。 4 ★排放方式：重力排放到制程槽

作业记录. 1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风速，晃动频率，作业槽体等2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风量，晃动频率，作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。 4 ★

作业记录. 1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风速，晃动频率，作业槽体等2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风量，晃动频率，作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。 4 5 ★

作业记录. 1.人员操作轨迹（记录程序编辑时间及工号）； 2.记录每片产品的作业相关信息，如晶圆批次，作业起止时间，作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量，时间，排风速，晃动频率，作业槽体等2.记录每片产品的作业相关信息、如晶圆批次、作业起止时间、作业过程中温度（进槽温度、出槽温度、温度曲线）流量、时间、排风量、晃动频率、作业槽体等； 3.工艺参数超出/低出报警记录等。 4 ★