标配 ULPA 级超高效过滤器,对于微粒在 0.1 到 0.3μm 颗粒的截留效率达到 99.999%,保证工作站内达到 ISO14644.1 样本条款

标配 ULPA 级超高效过滤器,对于微粒在 0.1 到 0.3μm 颗粒的截留效率达到 99.999%,保证工作站内达到 ISO14644.1. 标准 Class3 级、十级超净无菌(高于国家要求百级评级)。

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