能自动化地进行工艺控制, 包括但不限于可以进行工艺的排程, 自动化的执行各种沉积工艺、温度控制、排程控制; 样本条款

能自动化地进行工艺控制, 包括但不限于可以进行工艺的排程, 自动化的执行各种沉积工艺、温度控制、排程控制;. 9. 溅射制程可以梯度升降的方式自动施加磁控溅射电源功率, 可实现自动传片和自动样品镀膜。

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