真空系统. 高真空无油分子涡轮泵系统，空气冷却，无需水冷，源区和分析区形成差分抽气系统，自动断电保护功能。
真空系统. 2.2.1真空泵和油雾过滤器，同轴电机设计 2.2.2 真空泵抽气速率：≥98L／min，在低真空0.01mbar时，抽速≥30L／min; 2.2.3
真空系统. 3.10.1 完全无油真空系统；
3.10.2 真空度：电子枪真空度<5 x10⁻⁶ Pa；样品区真空度<3.0 x10⁻⁵ Pa；
真空系统. ★3.6.1.高真空：＞380L/s 双入口差动式涡轮分子泵排气系统。须提供涡轮分子泵抽力的证明图片。
真空系统. 配备仅有一个分子涡轮泵和一个前级真空泵的自动真空系统，无需差分泵，真空系统≤5×10-8 mbar，分子涡轮泵直接安装于离子源下方，可及时去除未被离子化的气体；仪器可实现对前级旋片泵的完全及自动化控制。
真空系统. 包含特殊设计的大抽速机械泵及长寿命涡轮分子泵组合差分抽气高真空系统, 无需额外水冷却系统，自动断电保护功能；
真空系统. 配备分子涡轮泵和大抽速的前级机械泵，带有差动抽气真空系统，具有自动断电保护功能。
真空系统. 自动启停无油机械泵+分子泵系统，基本压力>5x10-6torr 工作压力>8x10-5torr
真空系统. 1.4.1 样品室真空度：高真空模式不低于 2×10-4 Pa，电子枪真空度：不低于 10-7Pa；
1.4.2 三级真空系统，包括机械泵，分子泵，离子泵
1.4.3 无油磁悬浮涡轮分子泵，≥250 升每秒
真空系统. 2.1 100L/s分子泵及控制器 1套