真空系统 样本条款

真空系统. 配备仅有一个分子涡轮泵和一个前级真空泵的自动真空系统，无需差分泵，真空系统≤5×10-8 mbar，分子涡轮泵直接安装于离子源下方，可及时去除未被离子化的气体；仪器可实现对前级旋片泵的完全及自动化控制。

真空系统. 4.1 高真空：≥360L/sec双入口差动式涡轮分子泵排气系统。（须提供技术规格书或涡轮分子泵抽力的证明图片）

真空系统. 高真空无油分子涡轮泵系统，空气冷却，无需水冷，源区和分析区形成差分抽气系统，自动断电保护功能。

真空系统. 带有涡轮分子泵和前级真空泵的自动真空系统。

真空系统. 2.2.1真空泵和油雾过滤器，同轴电机设计 2.2.2 真空泵抽气速率：≥98L／min，在低真空0.01mbar时，抽速≥30L／min; 2.2.3

真空系统. 空气冷却的高真空大抽速分子涡轮泵，分子涡轮泵抽速≥80L/s(He) 。

真空系统. 3.14.1 完全无油真空系统 3.14.2 样品室真空：< 2 x 10-5 Pa，电子枪真空：< 5 x 10-6 Pa

真空系统. 特殊设计的抽溶剂大抽速机械泵和长寿命涡轮分子泵组合高真空系统, 无需额外水冷却系统，自动断电保护功能。 ★

真空系统. 样品分析站与样品脱气站须分别配备真空系统，不可共用同一真空系统，避免污染。其中，样品分析站需配备“双级机械泵+无油分子涡轮泵”组成的双泵真空系统以确保测试所需真空度；脱气系统需配备独立的双级机械泵。

真空系统. 空气冷却的高真空大抽速分子涡轮泵 3.2.7.1 单入口分子涡轮泵抽速为300L/s(He) 3.2.7.2 前级机械泵抽速为3.3 立方米/小时